微光机电系统技术

MEMS工艺、器件与系统

量子传感技术

   

080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息

微光机电系统技术
MEMS工艺、器件与系统
量子传感技术

2006-12--2011-02   德国乌尔姆大学，工程与计算机学院   工学博士
2004-10--2006-11   德国乌尔姆大学，先进材料专业   理学硕士
2000-09--2004-06   山东大学，物理学基地班   理学学士

   

2021-11~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术实验室, 研究员/主任
2020-05~2021-10,中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术实验室, 研究员/副主任
2020-01~2020-04,中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术实验室, 研究员
2018-10~2019-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术实验室, 副研究员
2011-02~2018-10,德国博世公司，传感技术研发部, 高级工程师/项目经理

微纳信息功能材料与器件

   

   

（1） Microfabricated sensor device for CW and pulsed laser power measurements, Optics Express, 2023, 通讯作者
（2） A two-step wet etching process of PZT thin film with ultra-low undercut for MEMS applications, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2023, 通讯作者
（3） Resolution adjustable Lissajous scanning with piezoelectric MEMS mirrors, Optics Express, 2023, 通讯作者
（4） A Composite-Type MEMS Pirani Gauge for Wide Range and High Accuracy, SENSORS, 2023, 第 9 作者
（5） A microfabricated fiber-integrated diamond magnetometer with ensemble nitrogen-vacancy centers, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2022, 通讯作者
（6） Process Control Monitor (PCM) for Simultaneous Determination of the Piezoelectric Coefficients d31 and d33 of AlN and AlScN Thin Films, Micromachines, 2022, 通讯作者
（7） Process Optimization and Performance Evaluation of TSV Arrays for High Voltage Application, MICROMACHINES, 2022, 第 10 作者
（8） A microfabricated fiber-integrated diamond magnetometer with ensemble nitrogen-vacancy centers, Applied Physics Letters, 2022, 
（9） Realization of high-dynamic-range broadband magnetic-field sensing with ensemble nitrogen-vacancy centers in diamond, 2022, 第11作者
（10） AlScN Piezoelectric MEMS Mirrors with Large Field of View for LiDAR Application, MICROMACHINES, 2022, 通讯作者
（11） 用于钻石磁传感器量子态操控的微波谐振器, 功能材料与器件学报, 2021, 通讯作者
（12） Synthesis of Silver/Poly(2-hydroxyethyl methacrylate) Particles via a Combination of Inverse Miniemulsion and Silver Ion Reduction in a "Nanoreactor", LANGMUIR, 2011, 第 4 作者
（13） Magnetic, Multilayered Nanotubes of Low Aspect Ratios for Liquid Suspensions, ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS, 2011, 第 2 作者
（14） Enhancing the Magnetoviscosity of Ferrofluids by the Addition of Biological Nanotubes, ACS NANO, 2010, 第 1 作者
（15） Preparation and magnetoviscosity of nanotube ferrofluids by viral scaffolding and ALD on porous templates, PHYSICA STATUS SOLIDI B-BASIC SOLID STATE PHYSICS, 2010, 第 1 作者

（1） 汽车电子技术——硬件、软件、系统集成和项目管理, 机械工业出版社, 2014-03, 第 1 作者
（2） 汽车上的测量与自动化手册, 机械工业出版社, 2018-02, 第 5 作者
（3） 微纳机电系统与微纳传感器技术, 科学出版社, 2020-08, 第 其他 作者
（4） 智能传感器导论, Introduction to Intelligent Sensor, 中国科学技术出版社, 2022-09, 第 其他 作者

   

（ 1 ） MEMS工艺与多维感知传感器研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2022-12
（ 2 ） 激光快速扫描共聚焦活体细胞显微成像系统, 负责人, 中国科学院计划, 2020-01--2021-12
（ 3 ） 高精度电磁测量核心技术装备, 参与, 中国科学院计划, 2020-01--2022-12
（ 4 ） 8英寸MEMS传感器加工中试平台, 负责人, 国家任务, 2021-12--2024-11
（ 5 ） 空间激光通信MEMS快速反射镜, 负责人, 地方任务, 2021-09--2023-12

已指导学生

余子昊  硕士研究生  085400-电子信息  

张浩  硕士研究生  085209-集成电路工程  

王曹  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

黄昊  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

谢非  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王楠  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李安娜  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

薛文立  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

朱耀晨  硕士研究生  085400-电子信息  

张程  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

彭霄  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘艺晨  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张家昌  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

发表科研论文目录（ORCID）：https://orcid.org/0000-0002-0025-3521

中国科学院上海微系统与信息技术研究所：http://www.sim.cas.cn/