微光机电系统技术

MEMS工艺、器件与系统

量子传感技术

   

080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息

微光机电系统技术
MEMS工艺、器件与系统
量子传感技术

2006-12--2011-02   德国乌尔姆大学，工程与计算机学院   工学博士
2004-10--2006-11   德国乌尔姆大学，先进材料专业   理学硕士
2000-09--2004-06   山东大学，物理与微电子学院   理学学士

   

2021-11~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术实验室, 研究员/主任
2020-05~2021-10,中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术实验室, 研究员/副主任
2020-01~2020-04,中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术实验室, 研究员
2018-10~2019-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术实验室, 副研究员
2011-02~2018-10,德国博世公司，传感技术研发部, 高级工程师/项目经理

微纳信息功能材料与器件

   

   

[1] Yuqiang Hu, Fei Xie, Qihui Liu, Nan Wang, Jin Zhang, Yichen Liu, Yongquan Su, Yang Wang, Hao Chen, Zhenyu Wu. Microfabricated sensor device for CW and pulsed laser power measurements. Optics Express[J]. 2023, 2(16): 2330-, [2] Su, Yongquan, Liu, Yichen, Fei, Yue, Wang, Lihao, Cai, Jindong, Chen, Siqi, Wu, Zhenyu. A two-step wet etching process of PZT thin film with ultra-low undercut for MEMS applications. SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL[J]. 2023, 349: http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2022.114014.
[3] Yuyao Zhang, Yichen Liu, Lihao Wang, Yongquan Su, Yonggui Zhang, Weihong Zhu, Yang Wang, Zhenyu Wu. Resolution adjustable Lissajous scanning with piezoelectric MEMS mirrors. Optics Express[J]. 2023, 31(2): 2846-, [4] Chen, Shuo, Feng, Liuhaodong, Guo, Song, Ji, Yucheng, Zeng, Shuwen, Peng, Xinlin, Xu, Yang, Hu, Tianbao, Wu, Zhenyu, Wang, Shinan. A Composite-Type MEMS Pirani Gauge for Wide Range and High Accuracy. SENSORS[J]. 2023, 23(3): http://dx.doi.org/10.3390/s23031276.
[5] Xie, Fei, Hu, Yuqiang, Li, Lingyun, Wang, Cao, Liu, Qihui, Wang, Nan, Wang, Lihao, Wang, Shuna, Cheng, Jiangong, Chen, Hao, Wu, Zhenyu. A microfabricated fiber-integrated diamond magnetometer with ensemble nitrogen-vacancy centers. APPLIED PHYSICS LETTERS[J]. 2022, 120(19): http://dx.doi.org/10.1063/5.0089732.
[6] Hao Zhang, Yang Wang, Lihao Wang, Yichen Liu, Hao Chen, Zhenyu Wu. Process Control Monitor (PCM) for Simultaneous Determination of the Piezoelectric Coefficients d31 and d33 of AlN and AlScN Thin Films. Micromachines[J]. 2022, 13(4): [7] Liuhaodong Feng, Shuwen Zeng, Yongquan Su, Lihao Wang, Yang Xu, Song Guo, Shuo Chen, Yucheng Ji, Xinlin Peng, Zhenyu Wu, Shinan Wang, Nan Wang, Tao Wu, Jicong Zhao, Chen Liu. Process Optimization and Performance Evaluation of TSV Arrays for High Voltage Application. MICROMACHINES[J]. 2022, 14(1): https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC9863637/.
[8] Fei Xie, Yuqiang Hu, Lingyun Li, Cao Wang, Qihui Liu, Nan Wang, Lihao Wang, Shuna Wang, Jiangong Cheng, Hao Chen,  Zhenyu Wu. A microfabricated fiber-integrated diamond magnetometer with ensemble nitrogen-vacancy centers. Applied Physics Letters[J]. 2022, [9] Wang, Cao, Liu, Qihui, Hu, Yuqiang, Xie, Fei, Krishna, Krishangi, Wang, Nan, Wang, Lihao, Wang, Yang, Toussaint Jr, Kimani C, Cheng, Jiangong, Chen, Hao, Wu, Zhenyu. Realization of high-dynamic-range broadband magnetic-field sensing with ensemble nitrogen-vacancy centers in diamond. 2022, http://arxiv.org/abs/2209.11360.
[10] Yichen Liu, Lihao Wang, Yongquan Su, Yuyao Zhang, Yang Wang, Zhenyu Wu. AlScN Piezoelectric MEMS Mirrors with Large Field of View for LiDAR Application. MICROMACHINES[J]. 2022, 13(9): https://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC9504672/.
[11] 刘启慧, 汪洋, 李凌云, 武震宇. 用于钻石磁传感器量子态操控的微波谐振器. 功能材料与器件学报[J]. 2021, 153-164, https://kns.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?dbcode=CJFQ&dbname=CJFDAUTODAY&filename=GNCQ202103002&v=MTU2NDNVUjd1ZlllVnZGeUhoV3J2T0lpUElmN0c0SE5ETXJJOUZab1I4ZVgxTHV4WVM3RGgxVDNxVHJXTTFGckM=.
[12] Cao, Zhihai, Walter, Constanze, Landfester, Katharina, Wu, Zhenyu, Ziener, Ulrich. Synthesis of Silver/Poly(2-hydroxyethyl methacrylate) Particles via a Combination of Inverse Miniemulsion and Silver Ion Reduction in a "Nanoreactor". LANGMUIR[J]. 2011, 27(16): 9849-9859, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000293662800026.
[13] Zierold, Robert, Wu, Zhenyu, Biskupek, Johannes, Kaiser, Ute, Bachmann, Julien, Krill, Carl E, III, Nielsch, Kornelius. Magnetic, Multilayered Nanotubes of Low Aspect Ratios for Liquid Suspensions. ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS[J]. 2011, 21(2): 226-232, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000285887100004.
[14] Wu, Zhenyu, Mueller, Anna, Degenhard, Sven, Ruff, S Emil, Geiger, Fania, Bittner, Alexander M, Wege, Christina, Krill, Carl E, III. Enhancing the Magnetoviscosity of Ferrofluids by the Addition of Biological Nanotubes. ACS NANO[J]. 2010, 4(8): 4531-4538, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000281052700025.
[15] Wu, Zhenyu, Zierold, Robert, Mueller, Anna, Ruff, S Emil, Ma, Chenchen, Khan, Abid A, Geiger, Fania, Sommer, Bernd A, Knez, Mato, Nielsch, Kornelius, Bittner, Alexander M, Wege, Christina, Krill, Carl E, III. Preparation and magnetoviscosity of nanotube ferrofluids by viral scaffolding and ALD on porous templates. PHYSICA STATUS SOLIDI B-BASIC SOLID STATE PHYSICS[J]. 2010, 247(10): 2412-2423, http://dx.doi.org/10.1002/pssb.201046208.

（1） 汽车电子技术——硬件、软件、系统集成和项目管理, 机械工业出版社, 2014-03, 第 1 作者
（2） 汽车上的测量与自动化手册, 机械工业出版社, 2018-02, 第 5 作者

   

（ 1 ） MEMS工艺与多维感知传感器研究, 主持, 国家级, 2020-01--2022-12
（ 2 ） 激光快速扫描共聚焦活体细胞显微成像系统, 主持, 部委级, 2020-01--2021-12
（ 3 ） 高精度电磁测量核心技术装备, 参与, 部委级, 2020-01--2022-12
（ 4 ） 8英寸MEMS传感器加工中试平台, 主持, 国家级, 2021-12--2024-11
（ 5 ） 空间激光通信MEMS快速反射镜, 主持, 省级, 2021-09--2023-12

现指导学生

余子昊  硕士研究生  085400-电子信息  

王楠  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

黄昊  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

彭霄  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张浩  硕士研究生  085209-集成电路工程  

王曹  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

发表科研论文目录（ORCID）：https://orcid.org/0000-0002-0025-3521

中国科学院上海微系统与信息技术研究所：http://www.sim.cas.cn/