1. 微光机电系统技术

2. MEMS工艺、器件与系统

3. 量子传感技术

发表科研论文目录：https://orcid.org/0000-0002-0025-3521

Google Scholar:  https://scholar.google.com/citations?user=ZAHalVIAAAAJ&hl=zh-CN

中国科学院上海微系统与信息技术研究所：http://www.sim.cas.cn/

主要招收以下三类优秀学生，如果志向符合其中一类或多类，欢迎来函、来电联系：

1. 未来的科学家，探索学术前沿，立志科研深造的学术型研究生。热爱科研工作、基础理论扎实，对探索未知充满兴趣，开展原创性、前沿性科研探索，为学术深造、从事科研工作夯实基础。

2. 未来的工程师，深耕共性工艺，专注MEMS技术的工程型研究生。动手能力强、踏实肯钻研，立志深耕MEMS制造技术、微纳材料和结构制备，为工程工作积累扎实的研发与工程实践能力。

3. 未来的科创家，聚焦成果落地，勇于推动应用的科创型研究生。思维活跃、善于与应用对接，聚焦科创与产业深度融合，依托创新成果开展项目落地与创新创业实践，成长为复合型创新人才。

080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息

微光机电系统技术
MEMS工艺、器件与系统
量子传感技术

2006-12--2011-02   德国乌尔姆大学，工程与计算机学院   工学博士
2004-10--2006-11   德国乌尔姆大学，先进材料专业   理学硕士
2000-09--2004-06   山东大学，物理学基地班   理学学士

2025-11~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感器技术全国重点实验室, 主任

2021-11~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术实验室, 主任

2020-05~2021-10,中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术实验室, 研究员/副主任

2020-01~2020-04,中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术实验室, 研究员

2018-10~2019-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术实验室, 副研究员

2011-02~2018-10,德国博世公司，传感技术研发部, 高级工程师/项目经理

微纳信息功能材料与器件

已指导学生

余子昊  硕士研究生  085400-电子信息  

黄昊  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

谢非  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张浩  硕士研究生  085209-集成电路工程  

王曹  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王楠  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

彭霄  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘启慧  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

张程  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘艺晨  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张鹏程  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李安娜  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

薛文立  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张家昌  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

余兆洋  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

吴星伟  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

发表科研论文目录（ORCID）：https://orcid.org/0000-0002-0025-3521

Google Scholar:  https://scholar.google.com/citations?user=ZAHalVIAAAAJ&hl=zh-CN

中国科学院上海微系统与信息技术研究所：http://www.sim.cas.cn/