基本信息
周娜  女  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: zhouna@ime.ac.cn
通信地址: 中国科学院微电子研究所北土城西路3号
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
招生方向
微电子工艺,MEMS器件

教育背景

2009-09--2013-01   中国科学院物理研究所   博士

工作经历

   
工作简历
2016-06~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2013-04~2016-05,北方华创公司, 资深研发工程师
2009-09~2013-01,中国科学院物理研究所, 博士

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 北京信息电子技术大型仪器区域中心优秀个人, 市地级, 2020
专利成果
( 1 ) 一种二维半导体场效应管及其制备工艺、一种半导体器件, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN113206091A

( 2 ) 一种微电极结构及其制作方法及包括该器件的电子设备, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN110174453B

( 3 ) 一种低噪声热电堆器件的制作方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112563403A

( 4 ) 一种悬桥结构热电堆器件的制作方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112563402A

( 5 ) 一种红外吸收薄膜及其制备方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN110137308B

( 6 ) 一种纳米森林结构的制备方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112520688A

( 7 ) 内侧墙的刻蚀方法、刻蚀气体及纳米线器件的制备方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN110938434B

( 8 ) 纳米线阵列围栅MOSFET结构及其制作方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN108364910B

( 9 ) 堆叠纳米线环栅器件及其制作方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN112151386A

( 10 ) 一种电容结构及其制备方法和半导体器件, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN112018090A

( 11 ) 一种多重图形化的方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN112017950A

( 12 ) 高吸收热电堆及其制作方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111969098A

( 13 ) 高吸收纳米结构热电堆及其制作方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111964794A

( 14 ) 闸阀控制电路、抽真空设备以及真空室, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111927748A

( 15 ) 一种具有高深宽比结构的半导体器件及其制造方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111900123A

( 16 ) 晶圆转移机构、半导体制造设备以及晶圆转移方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111900118A

( 17 ) DRAM存储单元及其制造方法、存储单元阵列、芯片, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111883531A

( 18 ) 半导体器件的隔离的形成方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111863705A

( 19 ) 三维固态电容器的制造方法、三维固态电容器及电子设备, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN110164851B

( 20 ) 一种半导体清洗设备及半导体清洗设备的紧急排水方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111799196A

( 21 ) 一种刻蚀方法及系统, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111710603A

( 22 ) 一种用于转移晶圆的机器臂, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111660309A

( 23 ) 厚度测量装置、系统及测量方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111649680A

( 24 ) 氧化钇薄膜的形成方法及系统, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111653477A

( 25 ) 射频电源的谐波监控系统以及监控方法、半导体设备系统, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111600307A

( 26 ) 半导体加工设备、沉积钝化层方法及PRAM制作方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111584411A

( 27 ) 水平纳米通道阵列、微纳流控芯片及其制作方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111569963A

( 28 ) 刻蚀沟槽的方法, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111584358A

( 29 ) 热电堆及其制作方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111540824A

( 30 ) 一种热电堆及其制备方法、探测器, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111207828A

( 31 ) 一种鳍状结构、半导体器件及其制备方法, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111146089A

( 32 ) 一种微纳通孔的制备方法及具有微纳通孔的结构, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111115561A

( 33 ) 一种金属纳米线或片的制作方法及纳米线或片, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN110620033A

( 34 ) 纳米线、纳米线围栅器件以及纳米孔筛的制备方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN110164762A

( 35 ) 一种红外吸收薄膜结构及制作方法及其电子设备, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN110137275A

( 36 ) 一种各向异性刻蚀图形化聚酰亚胺层的方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN110137073A

( 37 ) 选择性刻蚀方法及纳米针尖结构的制备方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN110002393A

( 38 ) 一种纳米线围栅器件及其制造方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109904234A

( 39 ) 环栅纳米线晶体管及其制备方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109599335A

出版信息

   
发表论文
(1) A Thermopile Detector Based on Micro-Bridges for Heat Transfer, Micromachines, 2021, 第 1 作者
(2) Infrared thermopile sensors with in-situ integration of composite nanoforests for enhanced optical, IEEE MEMS, 2021, 第 4 作者
(3) Hierarchical ZnO Nanospikes on Rough Nanopillars for Gas Sensing with Self-Cleaning Properties, 2021 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2021, 通讯作者
(4) Quasi-Ordered Nanoforests with Hybrid Plasmon Resonances for Broadband Absorption and Photodetection, ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS, 2021, 第 7 作者
(5) A Sensitivity Controllable Thermopile Infrared Sensor by Monolithic Integration of a N-channel Metal Oxide Semiconductor, ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2021, 通讯作者
(6) Performance Enhanced Humidity Sensor by In-Situ Integration of Nanoforests, IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2021, 第 4 作者
(7) SERS devices with "hedgehog-like" nanosphere arrays for detection of trace pesticides, JOURNAL OF INNOVATIVE OPTICAL HEALTH SCIENCES, 2021, 第 4 作者
(8) Study of selective isotropic etching Si1-xGex in process of nanowire transistors, JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS, 2020, 第 4 作者
(9) The Study of Reactive Ion Etching of Heavily Doped Polysilicon Based on HBr/O-2/He Plasmas for Thermopile Devices, MATERIALS, 2020, 通讯作者
(10) Study of Silicon Nitride Inner Spacer Formation in Process of Gate-all-around Nano-Transistors, NANOMATERIALS, 2020, 第 3 作者
(11) A Novel Dry Selective Isotropic Atomic Layer Etching of SiGe for Manufacturing Vertical Nanowire Array with Diameter Less than 20 nm, MATERIALS, 2020, 第 3 作者
(12) Deep silicon etching for thermopile structures using a modified Bosch process, JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 2019, 通讯作者
(13) Fabricating metal structures with taper angles and smooth sidewalls, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017, 第 5 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 红外热电堆探测器, 负责人, 企业委托, 2020-06--2022-12
( 2 ) 红外热电堆阵列, 负责人, 企业委托, 2020-09--2022-09
( 3 ) 高性能红外探测器, 负责人, 企业委托, 2021-03--2022-03
( 4 ) 青促会项目, 负责人, 中国科学院计划, 2022-01--2025-12