080300-光学工程
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先进光刻
光学检测、精密仪器
集成电路光刻技术

2008-09--2013-07   中国科学院长春光学精密机械与物理研究所   理学博士学位
2004-09--2008-07   西南大学   理学学士学位

   

2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2016-12~2018-10,中国科学院光电研究院, 副研究员
2013-10~2016-11,中国科学院光电研究院, 助理研究员
2008-09~2013-07,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 理学博士学位
2004-09~2008-07,西南大学, 理学学士学位

光刻技术

   

（1） 《中国激光》2019年第6期“优秀论文”, 其他, 2019
（2） 《中国激光》2016年第8期“优秀论文”, , 其他, 2015
（3） 2015年度“领跑者5000中国精品科技期刊顶尖学术论文”, , 其他, 2015

（ 1 ） 位置敏感探测器的位置测量标定方法及装置, 2023, 第 2 作者, 专利号: 2023102324057

（ 2 ） 一种调校装置及其调校方法, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114114603A

（ 3 ） 多干涉仪组合应用安装调整装置, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN114088215A

（ 4 ） 一种调制和解调信号的同步控制方法以及装置, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114035460A

（ 5 ） 小波阈值去噪方法、装置、设备及介质, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN113971641A

（ 6 ） 一种多波长光束处理装置及方法, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN113946058A

（ 7 ） 硅片高度数据的处理系统及方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113871323A

（ 8 ） 对准误差测量方法, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN110967948B

（ 9 ） 高稳定偏振保持合束装置及方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN110927880B

（ 10 ） 对准误差测量方法及装置, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN110824865B

（ 11 ） 多光束合束调节装置及调节方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112925064A

（ 12 ） 第9衍射级衍射效率增强的相位光栅结构, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN112902996A

（ 13 ） 自参考干涉仪棱镜的退偏补偿方法, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112539696A

（ 14 ） 一种能够降低光程差的偏振分光棱镜, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112394531A

（ 15 ） 大口径紧凑型索雷-巴比涅补偿器装置, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112255779A

（ 16 ） 一种衍射光栅的设计方法及系统, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111610586A

（ 17 ） 高稳定低串扰分束装置, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110927983A

（ 18 ） 一种多轴干涉仪测量装置, 2019, 第 7 作者, 专利号: CN110146011A

（ 19 ） 一种气浴装置, 2019, 第 8 作者, 专利号: CN110068122A

   

（1） 光束偏振对自参考干涉信号对比度影响分析, 激光与光电子学进展, 2021, 通讯作者
（2） 深紫外CMOS图像传感器测试匀光系统设计, Design of Homogenizing Optical System for Testing CMOS Image Sensor in Deep Ultraviolet Region, 半导体光电, 2020, 第 3 作者
（3） Design of digital light processing mini-projection lens, 9TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING TECHNOLOGIES, 2019, 第 4 作者
（4） Design of Linear Dispersive Objective for Chromatic Confocal Displacement Sensor, CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG, 2019, 通讯作者
（5） Research on micro displacement measurement technology based on chromatic confocal method, Proc. SPIE, 2019, 通讯作者
（6） 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计, Design of Linear Dispersive Objective for Chromatic Confocal Displacement Sensor, 中国激光, 2019, 第 3 作者
（7） The angular measurement of the motion direction of the stack motion platform based on the dual-frequency laser interferometer, Proc. SPIE, 2019, 第 4 作者
（8） Non-paraxial diffraction of tiny pinhole illuminated by partially coherent light, Proc. SPIE, 2019, 通讯作者
（9） Design of a miniature grating displacement sensor with large range[, SPIE, 2018, 第 3 作者
（10） Ultra-high accuracy point diffraction interferometer: development, acccuracy evaluation and application, Proc. SPIE, 2016, 第 6 作者
（11） 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, Analysis of Effect of Ambient Temperature Variation on Measurement Accuracy of Shack-Hartmann Wavefront Sensor, 中国激光, 2016, 第 3 作者
（12） Confocal position alignment in high precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXIX, 2016, 第 2 作者
（13） Analysis of the pinhole array illumination source for high precision wavefront error metrology, 2015 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL INSTRUMENTS AND TECHNOLOGY: OPTOELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY AND SYSTEMS, 2015, 通讯作者
（14） Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE, 2015, 第 3 作者
（15） 纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析, Optimized Analysis of Random Point Array Illumination Source for Nanometer Accuracy Wavefront Error Testing, 光学学报, 2015, 第 1 作者
（16） 照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析, Analysis of Effect of Numerical Aperture of Illumination Objective Lens on Quality of Wavefront Diffracted by Tiny Pinhole, 中国激光, 2015, 第 2 作者
（17） A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor, 7TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: OPTICAL TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY AND EQUIPMENT, 2014, 第 2 作者
（18） Effect of illumination parameters on the quality of wave-front diffracted by pinhole, Proc. SPIE Vol.9282(2014), 2014, 第 3 作者
（19） 亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究, Research on Focusing Properties of Sub-Wavelength Metal Single- Slit Containing Mental Strip, 激光与光电子学进展, 2014, 第 3 作者
（20） Effect of the edge roughness of the pinhole in point diffraction interferometer on light diffraction, PROCEEDINGS OF SPIE, 2012, 
（21） 照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析, Rigorous Vector Analysis of the Effect of Illumination Objective Lens Aberration on the Quality of Far-Field Diffracted Wave Front, 光学学报, 2012, 第 1 作者
（22） 极紫外光刻离轴照明技术研究, 光学学报, 2012, 第 4 作者
（23） 微小孔偏差对远场波前质量影响分析, Analysis of Effect of Tiny Pinhole Deviation on Far-Field Wave-Front Quality, 光学学报, 2011, 第 1 作者
（24） 极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析, Wave-Front Quality Analysis of Three-Dimension Pinhole Vector Diffractional in Extreme Ultraviolet Region, 光学学报, 2010, 第 1 作者

   

（ 1 ） 深紫外纳米精度波像差检测消相干技术研究, 负责人, 研究所自主部署, 2014-09--2018-12
（ 2 ） 基于光谱共焦法的微位移在线监测技术研究, 负责人, 研究所自主部署, 2016-01--2018-12
（ 3 ） 投影曝光系统系统参数检测, 参与, 国家任务, 2009-07--2020-12
（ 4 ） 投影曝光系统性能检测与评估, 参与, 国家任务, 2009-07--2020-12
（ 5 ） 投影曝光系统像质参数检测, 负责人, 国家任务, 2009-07--2020-12
（ 6 ） 平面光栅位置测量干涉仪信号强度分析检测, 负责人, 境内委托项目, 2018-01--2018-12
（ 7 ） 浸没光刻套刻对准关键技术研究, 参与, 国家任务, 2018-01--2020-12
（ 8 ） XXXXX系统中主要损耗零部件的XXXXXX验证, 参与, 境内委托项目, 2023-01--2025-12

（1）The Polarization tracing in Self-Referencing Interferometer for Displacement Measurement   第九届国际先进光学制造与检测学术会议   2020-11-05
（2）Non-paraxial diffraction of tiny pinhole illuminated by partially coherent light   第九届国际先进光学制造与检测学术会议   Lu Zengxiong, Qi Yuejing, Su Jiani, Zhang Qingyang, Li Bing, Yang Guanghua, Qi Wei   2018-06-26
（3）Ultra-high accuracy point diffraction interferometer: development, acccuracy evaluation and application   第八届国际先进光学制造与检测学术会议   2016-04-26
（4）Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor   2016-02-21
（5） Analysis of the pinhole array illumination source for high precision wavefront error metrology   2015光学仪器与技术国际会议   2015-05-17
（6）Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor    2015光学仪器与技术国际会议   2015-05-17
（7）A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor   第七届国际先进光学制造与检测学术会议   2014-04-25
（8）Effect of illumination parameters on the quality of wavefront diffracted by pinhole   第七届国际先进光学制造与检测学术会议   2014-04-25