基本信息
卢增雄  男  硕导  中国科学院微电子研究所
email： luzengxiong@ime.ac.cn
address： 北京市朝阳区北土城西路3号
postalCode：

招生信息

   
招生专业
140100-集成电路科学与工程
招生方向
先进光刻
光学检测、精密仪器
集成电路光刻技术

教育背景

2008-09--2013-07   中国科学院长春光学精密机械与物理研究所   理学博士学位
2004-09--2008-07   西南大学   理学学士学位

工作经历

   
工作简历
2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2016-12~2018-10,中国科学院光电研究院, 副研究员
2013-10~2016-11,中国科学院光电研究院, 助理研究员
2008-09~2013-07,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 理学博士学位
2004-09~2008-07,西南大学, 理学学士学位

教授课程

光刻技术