基本信息
卢增雄  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: luzengxiong@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
085400-电子信息
招生方向
先进光刻
精密仪器、光刻技术,光学检测
集成电路光刻技术

教育背景

2008-09--2013-07   中国科学院长春光学精密机械与物理研究所   理学博士学位
2004-09--2008-07   西南大学   理学学士学位

工作经历

   
工作简历
2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2016-12~2018-10,中国科学院光电研究院, 副研究员
2013-10~2016-11,中国科学院光电研究院, 助理研究员
2008-09~2013-07,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 理学博士学位
2004-09~2008-07,西南大学, 理学学士学位

教授课程

光刻技术

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 《中国激光》2019年第6期“优秀论文”, 其他, 2019
(2) 《中国激光》2016年第8期“优秀论文”, , 其他, 2015
(3) 2015年度“领跑者5000中国精品科技期刊顶尖学术论文”, , 其他, 2015
专利成果
( 1 ) 一种多光束合束调节装置及方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202110092740.2

( 2 ) 自参考干涉仪棱镜的退偏补偿方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: 202011374250.3

( 3 ) 大口径紧凑型索雷-巴比涅补偿器装置, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202011367433.2

( 4 ) 一种能够降低光程差的偏振分光棱镜, 2020, 第 2 作者, 专利号: 202011341828.5

( 5 ) 一种衍射光栅的设计方法及系统, 2020, 第 3 作者, 专利号: 202010594125.7

( 6 ) 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法, 2020, 第 2 作者, 专利号: 201710242017.1

( 7 ) 一种光谱共焦测量系统标定装置及标定方法, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201710242019.0

( 8 ) 高稳定偏振保持合束装置及方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201911212132.X

( 9 ) 高稳定低串扰分束装置, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201911212058.1

( 10 ) 激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201611204744.0

( 11 ) 一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201710247966.9

( 12 ) 一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201611169812.4

( 13 ) 一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201710102163.4

( 14 ) 一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201611169770.4

( 15 ) 投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法, 2018, 第 3 作者, 专利号: 201810416484.6

( 16 ) 光刻光源传输光路系统的辅助调整装置及调整方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: 201810416485.0

( 17 ) 光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810415080.5

( 18 ) 一种高分辨率低畸变微型投影镜头, 2018, 第 4 作者, 专利号: 201810144424.3

( 19 ) 一种基于全反射原理的液体透过率测量装置及方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: 201810144422.4

( 20 ) 用于光学元件性能检测的试验台及试验台安装方法, 2018, 第 4 作者, 专利号: 201810053466.6

( 21 ) 光路传输换向装置及光学性能参数检测系统, 2018, 第 4 作者, 专利号: 201810053988.6

( 22 ) 一种光谱共焦测量系统标定装置, 2018, 第 1 作者, 专利号: ZL201720388267.1

( 23 ) 一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置, 2018, 第 2 作者, 专利号: ZL201720397461.6

( 24 ) 一种微位移测量装置, 2018, 第 2 作者, 专利号: ZL201720342171.1

( 25 ) 一种光谱共焦测量系统在线标定装置, 2018, 第 2 作者, 专利号: ZL201720388229.6

( 26 ) 光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法, 2017, 第 2 作者, 专利号: ZL201510147724.3

( 27 ) 光纤点衍射干涉仪等光程位置调整方法, 2017, 第 2 作者, 专利号: ZL201510147806.8

( 28 ) 一种微位移测量装置与测量方法, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201710213938.5

( 29 ) 一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510264841.8

( 30 ) 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201410185411.2

( 31 ) 一种光学系统波像差测量装置与测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201410373440.1

( 32 ) 基于多孔阵列板的光束空间相干长度测量仪, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201621424000.5

( 33 ) 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 201610548151.X

( 34 ) 一种用于光学传感器测量光路调整的集成调节结构, 2016, 第 4 作者, 专利号: ZL201620733644.6

( 35 ) 一种微孔衍射波前质量的测量装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201520337327.8

( 36 ) 一种光学系统波像差测量装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL201420429293.0

( 37 ) 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL201420224944.2

( 38 ) 可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201110129360.8

出版信息

   
发表论文
(1) 光束偏振对自参考干涉信号对比度影响分析, Analysis of the Influence of Beam Polarization on the Contrast of Self-Reference Interference Signal, 激光与光电子学进展, 2021, 通讯作者
(2) 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计, Design of linear dispersive objective for chromatic confocal displacement sensor, 中国激光, 2019, 通讯作者
(3) Design of digital light processing mini-projection lens, Proc. SPIE, 2019, 第 4 作者
(4) The angular measurement of the motion direction of the stack motion platform based on the dual-frequency laser interferometer, Proc. SPIE, 2019, 第 4 作者
(5) Research on micro displacement measurement technology based on chromatic confocal method, Proc. SPIE, 2019, 通讯作者
(6) Non-paraxial diffraction of tiny pinhole illuminated by partially coherent light, Proc. SPIE, 2019, 第 1 作者
(7) Design of a miniature grating displacement sensor with large range, Proc. SPIE, 2019, 第 3 作者
(8) 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析, Analysis of Effect of Ambient Temperature Variation on Measurement Accuracy of Shack-Hartmann Wavefront Sensor, 中国激光, 2016, 通讯作者
(9) Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE, 2016, 第 2 作者
(10) Ultra-high accuracy point diffraction interferometer: development, acccuracy evaluation and application, Proc. SPIE, 2016, 第 6 作者
(11) 纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析, Optimized Analysis of Random Point Array Illumination Source for Nanometer Accuracy Wavefront Error Testing, 光学学报, 2015, 第 1 作者
(12) Analysis of the pinhole array illumination source for high precision wavefront error metrology, Proc. SPIE, 2015, 第 1 作者
(13) Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE, 2015, 第 3 作者
(14) 照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析, Analysis of Effect of Numerical Aperture of Illumination Objective Lens on Quality of Wavefront Diffracted by Tiny Pinhole, 中国激光, 2015, 通讯作者
(15) 亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究, Research on Focusing Properties of Sub-Wavelength Metal Single-Slit Containing Mental Strip, 激光与光电子学进展, 2014, 第 3 作者
(16) Effect of illumination parameters on the quality of wavefront diffracted by pinhole, Proc. SPIE, 2014, 第 3 作者
(17) A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE, 2014, 通讯作者
(18) Effect of the edge roughness of the pinhole in point diffraction interferometer on light diffraction, Proc. SPIE, 2013, 第 1 作者
(19) 照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析, Rigorous Vector Analysis of the Effect of Illumination Objective Lens Aberration on the Quality of Far-Field Diffracted Wave Front, 光学学报, 2012, 第 1 作者
(20) 极紫外光刻离轴照明技术研究, Study on the Off-Axis Illumination for Extreme Ultraviolet Lithography, 光学学报, 2012, 第 4 作者
(21) 微小孔偏差对远场波前质量影响分析, Analysis of Effect of Tiny Pinhole Deviation on Far-Field Wave-Front Quality, 光学学报, 2011, 第 1 作者
(22) 极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析, Wave-Front Quality Analysis of Three-Dimension Pinhole Vector Diffractional in Extreme Ultraviolet Region, 光学学报, 2010, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 深紫外纳米精度波像差检测消相干技术研究, 负责人, 研究所自选, 2014-09--2018-12
( 2 ) 基于光谱共焦法的微位移在线监测技术研究, 负责人, 研究所自选, 2016-01--2018-12
( 3 ) 投影曝光系统系统参数检测, 参与, 国家任务, 2009-07--2020-12
( 4 ) 投影曝光系统性能检测与评估, 参与, 国家任务, 2009-07--2020-12
( 5 ) 投影曝光系统像质参数检测, 负责人, 国家任务, 2009-07--2020-12
( 6 ) 平面光栅位置测量干涉仪信号强度分析检测, 负责人, 企业委托, 2018-01--2018-12
( 7 ) 浸没光刻套刻对准关键技术研究, 参与, 国家任务, 2018-01--2020-12
参与会议
(1)The Polarization tracing in Self-Referencing Interferometer for Displacement Measurement   第九届国际先进光学制造与检测学术会议   2020-11-05
(2)Non-paraxial diffraction of tiny pinhole illuminated by partially coherent light   第九届国际先进光学制造与检测学术会议   Lu Zengxiong, Qi Yuejing, Su Jiani, Zhang Qingyang, Li Bing, Yang Guanghua, Qi Wei   2018-06-26
(3)Ultra-high accuracy point diffraction interferometer: development, acccuracy evaluation and application   第八届国际先进光学制造与检测学术会议   2016-04-26
(4)Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor   2016-02-21
(5) Analysis of the pinhole array illumination source for high precision wavefront error metrology   2015光学仪器与技术国际会议   2015-05-17
(6)Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor    2015光学仪器与技术国际会议   2015-05-17
(7)A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor   第七届国际先进光学制造与检测学术会议   2014-04-25
(8)Effect of illumination parameters on the quality of wavefront diffracted by pinhole   第七届国际先进光学制造与检测学术会议   2014-04-25