基本信息
殷伯华 男 硕导 中国科学院电工研究所
email: yinbh@mail.iee.ac.cn
address: 北京市海淀区中关村北二条6号
postalCode: 100190
email: yinbh@mail.iee.ac.cn
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招生信息
招生专业
080805-电工理论与新技术
招生方向
电子束曝光技术微纳加工与检测技术
教育背景
2007-04--2011-05 中国科学院研究生院 工学博士学位2000-09--2003-07 北京工业大学 硕士学位1992-09--1996-07 南京航空航天大学 学士学位
工作经历
工作简历
2024-04~现在, 中国科学院电工研究所, 正高级工程师2012-12~2024-04,中国科学院电工研究所, 高级工程师2007-04~2011-05,中国科学院研究生院, 工学博士学位2003-08~2012-11,中国科学院电工研究所, 助理研究员2000-09~2003-07,北京工业大学, 硕士学位1996-08~1999-10,中国航空精密机械研究所, 助理工程师1992-09~1996-07,南京航空航天大学, 学士学位
社会兼职
2022-09-29-2027-08-01,全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测分技术委员会, 委员
教授课程
综合实验(力、热、电)-实验课综合实验(力、热、电)
专利与奖励
奖励信息
(1) 计量型扫描电子显微镜标准装置的研究, 二等奖, 部委级, 2021(2) 辽宁省科学技术进步奖, 二等奖, 省级, 2017(3) 科学院“现有关键技术人才”奖, 部委级, 2014(4) 以纳米生物医学为核心的多功能微纳尺度三维操作、表征及加工系统, 三等奖, 省级, 2011(5) 图形发生器及其在微纳加工中的应用, 三等奖, 省级, 2011
专利成果
( 1 ) 一种小型荷电控制电子枪, 2023, 第 5 作者, 专利号: CN111489947B( 2 ) 一种具有多级差分真空系统的环境电子束加工设备, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN116387124A( 3 ) 一种透镜组件及具有其的激光位移传感器, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN113721346B( 4 ) 一种物镜及环境扫描电镜, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN115527823A( 5 ) 一种多束电子束束斑的测量装置及方法, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN115206756A( 6 ) 一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方法, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115166810A( 7 ) 一种数字多道脉冲幅度分析装置, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114063139A( 8 ) 一种电子枪束斑性能的测量装置及测量方法, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN111308542B( 9 ) 一种透镜组件及具有其的激光位移传感器, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113721346A( 10 ) 一种具有选择功能的法拉第杯装置, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113270306A( 11 ) 一种具有静电消除功能的电子束加工装置, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113163564A( 12 ) 热反射测量系统, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN109085197B( 13 ) 一种纳米位移台扫描运动控制系统及其实现方法, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN109062268B( 14 ) 一种光学元件损伤的在线监测方法及系统, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111983032A( 15 ) 一种小型荷电控制电子枪, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111489947A( 16 ) 高功率密度的电子束聚焦装置, 2019, 第 8 作者, 专利号: CN109585244A( 17 ) 一种近场热反射测量装置, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109444212A( 18 ) 一种电子束对中检测管以及电子束对中检测装置, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109211101A( 19 ) 一种基于激光供能技术的X射线灯丝电源装置, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107666763A( 20 ) 大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置及其使用方法, 2015, 第 6 作者, 专利号: CN105140088A( 21 ) 大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置, 2015, 第 6 作者, 专利号: CN105047509A( 22 ) 一种应用于快速扫描原子力显微镜的探针自减振方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104155478A( 23 ) 一种原子力声学显微镜探针接触谐振频率追踪方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104155477A( 24 ) 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103645348A( 25 ) 微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103645347A( 26 ) 扫描探针显微镜进针装置及方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102788888A( 27 ) 一种原子力显微镜的进针方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102788889A( 28 ) 一种计量型扫描电子显微镜成像控制系统及扫描成像方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102680741A( 29 ) 一种用于吸收光谱测定的气体吸收池, 2011, 第 4 作者, 专利号: CN102297839A( 30 ) 柴油机氮氧化合物排放检测传感器的标定装置及标定方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN102162811A( 31 ) 氮氧化合物检测传感器的标定装置, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN201662569U( 32 ) 柔性铰链位移台耦合振动主动补偿系统, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN101551318A( 33 ) 电子束曝光过程样片步进定位误差动态补偿系统, 2007, 第 2 作者, 专利号: CN1888979A( 34 ) 电子束曝光过程实时显示系统, 2006, 第 1 作者, 专利号: CN1773378A
出版信息
发表论文
(1) 电子束曝光中圆环图形的实时生成, Real-time generation of circular patterns in electron beam lithography, 纳米技术与精密工程, 2024, (2) 微型阵列束闸电子束偏转特性研究, Study on the deflection characteristics of electron beam in micro-arrayed beam blanker, 电子显微学报, 2023, 第 5 作者(3) 电子束增材制造聚焦消像散控制技术研究, Research on Focusing and Astigmatism Elimination Control Technology of Electron Beam Additive Manufacturing, 热加工工艺, 2022, 第 2 作者(4) 微区X射线能谱信号实时梯形成形算法研究, Research on real-time trapezoidal shaping algorithm of X-ray energy dispersive spectroscopy, 电子显微学报, 2022, 第 2 作者(5) Accuracy requirements of the microarrayed Einzel lens, JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2022, 第 5 作者(6) 基于纳米晶材料的高频大范围偏转器研究, Research on high frequency and wide range deflectors based on nanocrystalline materials, 电子显微学报, 2021, 第 4 作者(7) 电子束选区熔化加工过程实时检测方法研究, Study on Real-time Detection Method of Electron Beam Selective Melting Process, 热加工工艺, 2021, 第 2 作者(8) X射线探测器双指数信号时间常数, Time constant of double exponential signal for X-ray energy spectrum detector, 核技术, 2021, 第 2 作者(9) DNA-functionalized biosensor for amplifying signal detection of DNA methyltransferase activity, JOURNAL OF ELECTROANALYTICAL CHEMISTRY, 2021, 第 6 作者(10) 基于PLC的微焦点X射线源控制系统设计, Design of Microfocus X-ray Source Control System Based on PLC, 机床与液压, 2020, 第 5 作者(11) 电子束选区熔化加工中的离焦和像散分析, Journal of Physics, ICMTIM 2020, 2020, 第 1 作者(12) 电子束选区融合成像方法研究, Materials Science and Engineering, 2019, 第 1 作者(13) 丈量纳米世界的慧眼:可溯源计量型扫描电子显微镜, 科技纵览, 2019, 第 1 作者(14) 计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动, Micro-nanometer scale vibration in imaging of metrological scanning electron microscope, 光学精密工程, 2019, 第 4 作者(15) 计量电镜中纳米位移台控制方法研究, Research on control method of nano-displacement table in metrology electron microscope, 电子显微学报, 2019, 第 2 作者(16) 基于激光干涉方法的扫描电子显微镜线宽测量研究, Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,, 2019, 第 1 作者(17) Optimal Design of Micro/Nano Positioning Stage with Wide Range and High Speed Based on Flexure Structures, 1ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON FRONTIERS OF MATERIALS SYNTHESIS AND PROCESSING (FMSP 2017), 2017, 第 2 作者(18) 工业原子力显微镜快速进针系统的设计, 现代科学仪器, 2016, 第 11 作者(19) X-ray microscopy using reflection targets based on SEM with tungsten filament, 8TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: DESIGN, MANUFACTURING, AND TESTING OF MICRO- AND NANO-OPTICAL DEVICES AND SYSTEMS; AND SMART STRUCTURES AND MATERIALS, 2016, 第 6 作者(20) 大范围快速AFM的高速高精度控制系统, High-speed High-precision Control System Design for Large-range High-speed AFM, 仪表技术与传感器, 2015, 第 4 作者(21) 基于环境扫描电镜的联合成像表征操纵及微加工设备功能群, Integrated system of imaging, micro-manipulation and fabrication based on environmental scanning electron microscopy, 电子显微学报, 2015, 第 3 作者(22) 基于可调谐激光器的局部放电光纤法珀传感器, Fiber Fabry-Perot Sensor for Partial Discharges Based on Tunable Lasers, 光子学报, 2015, 第 3 作者(23) A Traceable Metrological Method with Nanometer Scale Resolution for Micro-Structure, KEY ENGINEERING MATERIALS, 2015, 第 1 作者(24) AFM fast tip approach based on fiber optic sensor, MICRO-NANO TECHNOLOGY XV, 2014, 第 2 作者(25) Micron and Nanometer Measuring Methods Based on Metrological Scanning Electron Microscope, KEY ENGINEERING MATERIALS, 2014, 第 1 作者(26) 压电直线电机驱动的精密工件台研制及应用, 振动.测试与诊断, 2013, 第 2 作者(27) High-speed AFM for scanning the architecture of living cells, NANOSCALE, 2013, 第 7 作者(28) Large Scanning Range and Rapid AFM for Biological Cell Topography Imaging, KEY ENGINEERING MATERIALS, 2013, 第 1 作者(29) 大范围高速原子力显微镜的前馈反馈混合控制方法, Feed-forward and feed-back controller for large-range and high-speed AFM, 光学精密工程, 2011, 第 4 作者(30) 高速大扫描范围原子力显微镜系统的设计, Design of AFM system with high speed and large scanning range, 光学精密工程, 2011, 第 1 作者(31) 大范围扫描原子力显微镜自动调平控制技术, Auto leveling control technique for large-range atomic force microscope, 仪器仪表学报, 2011, 第 2 作者(32) PI参数自动寻优控制器设计, Design of Scanning Parameters Optimization for PI Controller, 纳米技术与精密工程, 2011, 第 2 作者(33) 基于气象规范的电线积冰自动监测系统的研究, Investigation on Monitoring System of Electric Wire with Ice Accretion Based on the Meteorological Technical Standards, 气象, 2010, 第 5 作者(34) 基于SEM的压电式微纳操纵系统, Piezoelectric Micro-Nano Manipulating System Based on SEM, 压电与声光, 2010, 第 3 作者(35) 高速高精度SPM研究现状及发展趋势, Current State and Development Trends of SPM with High Speed and Precision, 现代科学仪器, 2010, 第 2 作者(36) 小型微纳米图形电子束曝光制作系统(英文), Miniature Electron Beam Lithography System for Micro/Nanometer Pattern Fabrication, 纳米技术与精密工程, 2010, 第 1 作者(37) 以纳米生物医学为核心的多功能微纳尺度三维操作、表征及加工系统, 2010, 第 2 作者(38) CD-AFM在45nm节点半导体芯片检测过程中的应用, CD-AFM application semiconductor in 45 nm node of metrology, 电子显微学报, 2009, 第 1 作者(39) 基于FPGA的电子束曝光村工件台控制器设计, E-beam Lithography Stage Controller Design Based on FPGA, 电子工业专用设备, 2009, 第 4 作者(40) 基于FPGA的悬臂梁品质因数提高方法, Amplify Method of Quality Factor of Micro Cantilever Based on FPGA, 现代科学仪器, 2009, 第 3 作者(41) 透射电子显微镜透镜稳流电源的研究, The Study of Current-Invariable Lens Power Supply for TEM, 微计算机信息, 2008, 第 3 作者(42) 基于扫描电子显微镜的集成电路显微拍摄系统, Integrated Circuit Photomicrography System Based on SEM, 微细加工技术, 2008, 第 2 作者(43) 电子束曝光机工件台控制系统设计, Stage Control System in the E-Beam Lithography System, 组合机床与自动化加工技术, 2005, 第 1 作者(44) 基于单片机彩色液晶实时显示系统设计, Real-Time Display System Design for E-beam Lithography Process, 工业控制计算机, 2004, 第 1 作者
科研活动
科研项目
( 1 ) 高精度电子背散射衍射探测器研制, 参与, 国家任务, 2023-12--2026-11( 2 ) 聚焦离子束/电子束双束显微镜, 参与, 国家任务, 2022-01--2024-12( 3 ) 计量技术攻关-扫描电子显微镜, 负责人, 国家任务, 2020-09--2022-12( 4 ) 微区X射线能谱仪研制, 负责人, 中国科学院计划, 2020-08--2022-08( 5 ) 微纳加工技术共性关键技术研发团队, 负责人, 中国科学院计划, 2020-01--2022-12( 6 ) 生物医学场发射扫描电子显微镜, 负责人, 中国科学院计划, 2018-12--2021-11( 7 ) 大功率、长寿命、多模式电子枪及阵列研制与增材制造中的应用, 参与, 国家任务, 2018-05--2021-04( 8 ) 电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化, 参与, 国家任务, 2018-01--2020-12( 9 ) 基于纳米位移平台的 SPM 扫描系统应用开发及光电子器件测量, 负责人, 国家任务, 2017-07--2019-06( 10 ) 现有关键技术人才”计划项目, 负责人, 中国科学院计划, 2015-01--2017-12( 11 ) 纳米生物医学共聚焦激发/扫描探针光声成像系统, 参与, 中国科学院计划, 2014-10--2016-10( 12 ) 快速大范围柔性铰链位移台耦合振动机理和控制方法研究, 负责人, 国家任务, 2014-01--2017-12