基本信息
殷伯华  男  硕导  中国科学院电工研究所
电子邮件: yinbh@mail.iee.ac.cn
通信地址: 北京市海淀区中关村北二条6号
邮政编码: 100190

招生信息

   
招生专业
080805-电工理论与新技术
招生方向
微纳加工与检测技术研究
电子束应用研究
AFM成像技术研究

教育背景

2007-04--2011-05   中国科学院研究生院   工学博士学位
2000-09--2003-07   北京工业大学   硕士学位
1992-09--1996-07   南京航空航天大学   学士学位

工作经历

   
工作简历
2007-04~2011-05,中国科学院研究生院, 工学博士学位
2003-08~现在, 中国科学院电工研究所, 高级工程师
2000-09~2003-07,北京工业大学, 硕士学位
1996-08~1999-10,中国航空精密机械研究所, 助理工程师
1992-09~1996-07,南京航空航天大学, 学士学位
社会兼职
2020-06-01-今,全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测分技术委员会, 委员

教授课程

综合实验(力、热、电)
综合实验(力、热、电)-实验课

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 计量型扫描电子显微镜标准装置的研究, 二等奖, 部委级, 2020
(2) 辽宁省科学技术进步奖, 二等奖, 省级, 2017
(3) 科学院“现有关键技术人才”奖, 部委级, 2014
(4) 以纳米生物医学为核心的多功能微纳尺度三维操作、表征及加工系统, 三等奖, 省级, 2011
(5) 图形发生器及其在微纳加工中的应用, 三等奖, 省级, 2011
专利成果
( 1 ) 一种具有静电消除功能的电子束加工装置, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113163564A

( 2 ) 热反射测量系统, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN109085197B

( 3 ) 一种光学元件损伤的在线监测方法及系统, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111983032A

( 4 ) 一种小型荷电控制电子枪, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN111489947A

( 5 ) 高功率密度的电子束聚焦装置, 2019, 第 8 作者, 专利号: CN109585244A

( 6 ) 一种近场热反射测量装置, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109444212A

( 7 ) 一种电子束对中检测管以及电子束对中检测装置, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109211101A

( 8 ) 一种基于激光供能技术的X射线灯丝电源装置, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107666763A

( 9 ) 大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置及其使用方法, 2015, 第 6 作者, 专利号: CN105140088A

( 10 ) 大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置, 2015, 第 6 作者, 专利号: CN105047509A

( 11 ) 一种应用于快速扫描原子力显微镜的探针自减振方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104155478A

( 12 ) 一种原子力声学显微镜探针接触谐振频率追踪方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104155477A

( 13 ) 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103645348A

( 14 ) 微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103645347A

( 15 ) 扫描探针显微镜进针装置及方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102788888A

( 16 ) 一种原子力显微镜的进针方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102788889A

( 17 ) 一种计量型扫描电子显微镜成像控制系统及扫描成像方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102680741A

( 18 ) 一种用于吸收光谱测定的气体吸收池, 2011, 第 4 作者, 专利号: CN102297839A

( 19 ) 柴油机氮氧化合物排放检测传感器的标定装置及标定方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN102162811A

( 20 ) 氮氧化合物检测传感器的标定装置, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN201662569U

( 21 ) 柔性铰链位移台耦合振动主动补偿系统, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN101551318A

( 22 ) 电子束曝光过程样片步进定位误差动态补偿系统, 2007, 第 2 作者, 专利号: CN1888979A

( 23 ) 电子束曝光过程实时显示系统, 2006, 第 1 作者, 专利号: CN1773378A

出版信息

   
发表论文
(1) 基于纳米晶材料的高频大范围偏转器研究, Research on high frequency and wide range deflectors based on nanocrystalline materials, 电子显微学报, 2021, 第 4 作者
(2) 电子束选区熔化加工过程实时检测方法研究, 热加工工艺, 2021, 
(3) X射线探测器双指数信号时间常数, Time constant of double exponential signal for X-ray energy spectrum detector, 核技术, 2021, 第 2 作者
(4) 基于PLC的微焦点X射线源控制系统设计, Design of Microfocus X-ray Source Control System Based on PLC, 机床与液压, 2020, 第 5 作者
(5) 电子束选区熔化加工中的离焦和像散分析, Journal of Physics, ICMTIM 2020, 2020, 第 1 作者
(6) 电子束选区融合成像方法研究, Materials Science and Engineering, 2019, 第 1 作者
(7) 丈量纳米世界的慧眼:可溯源计量型扫描电子显微镜, 科技纵览, 2019, 第 1 作者
(8) 计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动, Micro-nanometer scale vibration in imaging of metrological scanning electron microscope, 光学精密工程, 2019, 第 4 作者
(9) 计量电镜中纳米位移台控制方法研究, Research on control method of nano-displacement table in metrology electron microscope, 电子显微学报, 2019, 
(10) 基于激光干涉方法的扫描电子显微镜线宽测量研究, Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,, 2019, 第 1 作者
(11) Optimal Design of Micro/Nano Positioning Stage with Wide Range and High Speed Based on Flexure Structures, 1ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON FRONTIERS OF MATERIALS SYNTHESIS AND PROCESSING (FMSP 2017), 2017, 
(12) 工业原子力显微镜快速进针系统的设计, 现代科学仪器, 2016, 通讯作者
(13) X-ray microscopy using reflection targets based on SEM with tungsten filament, 8TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: DESIGN, MANUFACTURING, AND TESTING OF MICRO- AND NANO-OPTICAL DEVICES AND SYSTEMS; AND SMART STRUCTURES AND MATERIALS, 2016, 
(14) 大范围快速AFM的高速高精度控制系统, High-speed High-precision Control System Design for Large-range High-speed AFM, 仪表技术与传感器, 2015, 第 4 作者
(15) 基于环境扫描电镜的联合成像表征操纵及微加工设备功能群, Integrated system of imaging, micro-manipulation and fabrication based on environmental scanning electron microscopy, 电子显微学报, 2015, 第 3 作者
(16) 基于可调谐激光器的局部放电光纤法珀传感器, Fiber Fabry-Perot Sensor for Partial Discharges Based on Tunable Lasers, 光子学报, 2015, 第 3 作者
(17) A Traceable Metrological Method with Nanometer Scale Resolution for Micro-Structure, Key Engineering Materials, 2015, 
(18) Micron and Nanometer Measuring Methods Based on Metrological Scanning Electron Microscope, Key Engineering Materials, 2014, 
(19) High-speed AFM for scanning the architecture of living cells, NANOSCALE, 2013, 第 7 作者
(20) 压电直线电机驱动的精密工件台研制及应用, 振动.测试与诊断, 2013, 第 2 作者
(21) Large Scanning Range and Rapid AFM for Biological Cell Topography Imaging, Key Engineering Materials, 2013, 
(22) 大范围高速原子力显微镜的前馈反馈混合控制方法, Feed-forward and feed-back controller for large-range and high-speed AFM, 光学精密工程, 2011, 第 4 作者
(23) 高速大扫描范围原子力显微镜系统的设计, Design of AFM system with high speed and large scanning range, 光学精密工程, 2011, 第 1 作者
(24) 高速大范围AFM系统设计及扫描方法研究, 2011, 第 1 作者
(25) 大范围扫描原子力显微镜自动调平控制技术, Auto leveling control technique for large-range atomic force microscope, 仪器仪表学报, 2011, 第 2 作者
(26) PI参数自动寻优控制器设计, Design of Scanning Parameters Optimization for PI Controller, 纳米技术与精密工程, 2011, 第 2 作者
(27) 基于气象规范的电线积冰自动监测系统的研究, Investigation on Monitoring System of Electric Wire with Ice Accretion Based on the Meteorological Technical Standards, 气象, 2010, 第 5 作者
(28) 基于SEM的压电式微纳操纵系统, Piezoelectric Micro-Nano Manipulating System Based on SEM, 压电与声光, 2010, 第 3 作者
(29) 高速高精度SPM研究现状及发展趋势, Current State and Development Trends of SPM with High Speed and Precision, 现代科学仪器, 2010, 第 2 作者
(30) 以纳米生物医学为核心的多功能微纳尺度三维操作、表征及加工系统, 2010, 第 2 作者
(31) 小型微纳米图形电子束曝光制作系统(英文), Miniature Electron Beam Lithography System for Micro/Nanometer Pattern Fabrication, 纳米技术与精密工程, 2010, 第 1 作者
(32) CD-AFM在45nm节点半导体芯片检测过程中的应用, CD-AFM application semiconductor in 45 nm node of metrology, 电子显微学报, 2009, 第 1 作者
(33) 基于FPGA的电子束曝光村工件台控制器设计, E-beam Lithography Stage Controller Design Based on FPGA, 电子工业专用设备, 2009, 第 4 作者
(34) 基于FPGA的悬臂梁品质因数提高方法, Amplify Method of Quality Factor of Micro Cantilever Based on FPGA, 现代科学仪器, 2009, 第 3 作者
(35) 透射电子显微镜透镜稳流电源的研究, The Study of Current-Invariable Lens Power Supply for TEM, 微计算机信息, 2008, 第 3 作者
(36) 基于扫描电子显微镜的集成电路显微拍摄系统, Integrated Circuit Photomicrography System Based on SEM, 微细加工技术, 2008, 第 2 作者
(37) 电子束曝光机工件台控制系统设计, Stage Control System in the E-Beam Lithography System, 组合机床与自动化加工技术, 2005, 第 1 作者
(38) 基于单片机彩色液晶实时显示系统设计, Real-Time Display System Design for E-beam Lithography Process, 工业控制计算机, 2004, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 快速大范围柔性铰链位移台耦合振动机理和控制方法研究, 负责人, 国家任务, 2014-01--2017-12
( 2 ) 纳米生物医学共聚焦激发/扫描探针光声成像系统, 参与, 中国科学院计划, 2014-10--2016-10
( 3 ) 现有关键技术人才”计划项目, 负责人, 中国科学院计划, 2015-01--2017-12
( 4 ) 基于纳米位移平台的 SPM 扫描系统应用开发及光电子器件测量, 负责人, 国家任务, 2017-07--2019-06
( 5 ) 大功率、长寿命、多模式电子枪及阵列研制与增材制造中的应用, 参与, 国家任务, 2018-05--2021-04
( 6 ) 电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化, 参与, 国家任务, 2018-01--2020-12
( 7 ) 生物医学场发射扫描电子显微镜, 负责人, 中国科学院计划, 2018-12--2021-11
( 8 ) 微区X射线能谱仪研制, 负责人, 中国科学院计划, 2020-08--2022-08
( 9 ) 微纳加工技术共性关键技术研发团队, 负责人, 中国科学院计划, 2020-01--2022-12
( 10 ) 计量技术攻关-扫描电子显微镜, 负责人, 国家任务, 2020-09--2022-12