080201-机械制造及其自动化

束线光学及装备技术
EUV多层膜寿命研究

2007-09--2010-06   吉林大学   博士
2005-09--2007-07   吉林大学   硕士
2001-09--2005-07   吉林大学   学士

   

2022-06~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 中国科学院特聘研究岗位人员
2020-06~2022-10,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 应用光学国家重点实验室室务会成员
2018-10~2022-10,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 应用光学国家重点实验室短波光学研究室副主任
2018-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 研究员
2012-09~2018-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2010-07~2012-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员
2007-09~2010-06,吉林大学, 博士
2005-09~2007-07,吉林大学, 硕士
2001-09~2005-07,吉林大学, 学士

2022-06-01-今,吉林省C类人才，部级领军人才,
2021-06-01-今,评审专家, 国家自然科学基金委
2021-06-01-今,评审专家, Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, A
2020-07-01-今,中国科学院长春光机所旭光人才,

   

（ 1 ） 振动控制方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114185263.A

（ 2 ） 振动控制装置及其控制方法, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114035626A

（ 3 ） 一种双驱动非等力矩的压弯装置和压弯方法, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN113526852A

（ 4 ） 一种在线分析面粉样品的装置和方法, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113231336A

（ 5 ） 一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN111258340B

（ 6 ） X射线真空设备中冷却循环系统用低真空保护与监测装置, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN111022804B

（ 7 ） X射线波长扫描光学元件极限运动位置探测和保护装置, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN110989480B

（ 8 ） 一种真空条件下光学元件多自由度精密定位装置, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111273418A

（ 9 ） 一种高效收集EUV光的多层膜光学元件碳污染实验装置, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111257232A

（ 10 ） 用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN110618516A

（ 11 ） 用于曲面镜反射率测量的夹持装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106596403A

（ 12 ） 一种X射线波段光学元件高精度面形控制装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104950594A

（ 13 ） EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104934278A

（ 14 ） 具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104914681A

（ 15 ） 一种光学元件表面碳污染清洗方法及装置, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104907287A

（ 16 ） 一种EUV反射镜清洗装置, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104874569A

（ 17 ） EUV多层膜碳污染实验装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104865257A

（ 18 ） 光学元件表面碳污染的ArH清洗方法, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN104865700A

（ 19 ） 一种EUV光学元件的碳污染清洗方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN104834187A

（ 20 ） 一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104749327A

（ 21 ） 用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN104226637A

（ 22 ） 超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN104049337A

   

（1） Research on the Mechanism of Flow-Induced Vibration in the Cooling System of a Double Crystal Monochromator, APPLIED SCIENCES-BASEL, 2024, 通讯作者
（2） A hybrid surface shape control method for optimizing thermal deformation of FEL reflection mirror, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 2024, 通讯作者
（3） Application of adaptive filtering algorithm to the stability problem for double crystal monochromator. Part I: Typical filtering algorithms, NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, 2023, 通讯作者
（4） A new active vibration control method of double crystal monochromator based on FuLMS-ADRC hybrid algorithm, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 2022, 通讯作者
（5） Research on efficient and stable control of EUV-induced hydrogen plasma, Journal of Applied Physics, 2022, 通讯作者
（6） Study on the characteristics of atomic hydrogen cleaning carbon contamination on multilayers, VACUUM, 2022, 通讯作者
（7） Improvement of the performance of a cryo-cooled monochromator at SSRF. Part II: Angular stability of the exit beam, NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, 2021, 第 2 作者
（8） Active vibration control method of double crystal monochromator of P2 protein crystallography beam line at SSRF, NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, 2021, 通讯作者
（9） Improvement of the performance of a cryo-cooled monochromator at SSRF. PartI: Double-crystal parallelism, NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, 2021, 第 2 作者
（10） Enhanced removal of X-ray-induced carbon contamination using radio-frequency Ar/H_2 plasma, NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2019, 第 4 作者
（11） Mechanical design and finite element analyses of surface bending mechanism for X-ray optics, PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY, 2018, 第 1 作者
（12） Mechanical design and performance evaluation of KB mirror system for the ARPES beamline at SSRF, PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY, 2016, 第 1 作者
（13） Mechanism and model of atomic hydrogen cleaning for different types of carbon contamination on extreme ultraviolet multilayers, THIN SOLID FILMS, 2016, 第 3 作者
（14） Establishment of theoretical model and experimental equipment for researching on carbon contamination of EUV multi-layer mirror, 9th International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation, 2015, 第 1 作者
（15） Mechanical design and performance evaluation for plane grating monochromator in a soft X-ray microscopy beamline at SSRF, JOURNAL OF X-RAY SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2015, 第 1 作者
（16） Structure Design and Numerical Simulation of a High Performance Slit in Soft X-Ray Interference Lithography Beamline at SSRF, ADVANCES IN MECHANICAL ENGINEERING, 2014, 第 1 作者

   

（ 1 ） 极紫外多层膜表面碳沉积的机理、检测方法及去除策略研究, 负责人, 国家任务, 2015-01--2017-12
（ 2 ） 激光位移传感器产业化技术研究, 负责人, 地方任务, 2015-01--2017-12
（ 3 ） 短波段光学元件碳污染原位清洗与检测技术研究, 负责人, 国家任务, 2015-07--2018-07
（ 4 ） EUV多层膜光学元件寿命实验研究平台, 参与, 国家任务, 2012-01--2020-12
（ 5 ） 软X射线共振发射(RXES)谱仪机械系统, 参与, 其他国际合作项目, 2016-12--2017-12
（ 6 ） 同步辐射双偏转镜和聚焦镜系统, 负责人, 其他国际合作项目, 2017-12--2021-12
（ 7 ） 软X射线光栅单色器, 参与, 其他国际合作项目, 2017-11--2021-12
（ 8 ） 基于X射线诱发激进粒子反应机制的短波增反膜表面碳沉积原位、高效、无损清洗方法的研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2023-12
（ 9 ） 旭光人才计划项目, 负责人, 研究所自主部署, 2020-08--2023-12
（ 10 ） 光栅单色器, 负责人, 其他国际合作项目, 2021-12--2022-12
（ 11 ） 复杂干扰因素下具备面形精度保持特性的高动力学性能X射线高端双晶单色器关键技术研究, 负责人, 国家任务, 2024-01--2027-12

（1）光束线关键设备设计与制造   第三届特种光电功能材料与器件应用会议   2021-10-16
（2）长春光机所光束线关键设备的研制   先进光源光束线技术研讨会   2021-01-27
（3）EUV光学元件寿命   深圳中能高重复频率X射线自由电子激光极紫外光刻实验站用户研讨会   2020-12-12