基本信息
龚学鹏  男  硕导  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件: gongxuepeng120@foxmail.com
通信地址: 吉林长春东南湖大路3888号
邮政编码:

研究领域

   

招生信息

   
招生专业
080201-机械制造及其自动化
招生方向
束线光学及装备技术,EUV光刻关键技术

教育背景

2007-09--2010-06   吉林大学   博士
2005-09--2007-07   吉林大学   硕士
2001-09--2005-07   吉林大学   学士
学历
   
学位
   

工作经历

   
工作简历
2018-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 研究员
2012-09~2018-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2010-07~2012-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员
2007-09~2010-06,吉林大学, 博士
2005-09~2007-07,吉林大学, 硕士
2001-09~2005-07,吉林大学, 学士
社会兼职
   

教授课程

   

专利与奖励

   
奖励信息
   
专利成果
( 1 ) 一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN201510190428.1
( 2 ) 超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN201410311668.8
( 3 ) 一种EUV反射镜清洗装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN201510229051.6
( 4 ) 具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510289240.2
( 5 ) 一种X射线波段光学元件高精度面形控制装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510316760.8
( 6 ) EUV多层膜碳污染实验装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510213471.5

出版信息

   
发表论文
(1) Mechanical design and finite element analyses of surface bending mechanism for X-ray optics, Precision Engineering- Journal of the International Societies for Precision Engineering, 2018, 第 1 作者
(2) 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统, 光学精密工程, 2017, 第 11 作者
(3) Mechanical design and performance evaluation of KB mirror system for the ARPES beamline at SSRF, Precision Engineering- Journal of the International Societies for Precision Engineering, 2016, 第 1 作者
(4) Mechanical design and performance evaluation for plane grating monochromator in a soft X-ray microscopy beamline at SSRF, Journal of X-Ray Science and Technology, 2015, 第 1 作者
(5) X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析, 仪器仪表学报, 2015, 第 1 作者
(6) Structure Design and Numerical Simulation of a High Performance Slit in Soft X-Ray Interference Lithography Beamline at SSRF, Advances in Mechanical Engineering, 2014, 第 1 作者
(7) X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试, 光学精密工程, 2014, 第 1 作者
发表著作
   

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 极紫外多层膜表面碳沉积的机理、检测方法及去除策略研究, 主持, 国家级, 2015-01--2017-12
( 2 ) 激光位移传感器产业化技术研究, 主持, 省级, 2015-01--2017-12
( 3 ) 短波段光学元件碳污染原位清洗与检测技术研究, 主持, 国家级, 2015-07--2018-07
( 4 ) EUV多层膜光学元件寿命实验研究平台, 参与, 国家级, 2012-01--2018-12
( 5 ) 软X射线共振发射(RXES)谱仪机械系统, 参与, 研究所(学校), 2016-12--2017-12
( 6 ) 同步辐射双偏转镜和聚焦镜系统, 主持, 研究所(学校), 2017-12--2020-12
( 7 ) 软X射线光栅单色器, 参与, 研究所(学校), 2017-11--2020-06
( 8 ) 基于X射线诱发激进粒子反应机制的短波增反膜表面碳沉积原位、高效、无损清洗方法的研究, 主持, 国家级, 2020-01--2023-12
参与会议
   

合作情况

   
项目协作单位
   

指导学生