微纳光学及亚波长电磁学

   

140100-集成电路科学与工程

微纳加工和测试技术
仪器仪表工程

2002-09--2005-06   中国科学院研究生院   硕士
1993-09--1997-06   西南师范大学   本科

2005年于中国科学院研究生院获光学工程硕士学位，2013年考取吉林大学物理电子学专业博士研究生。

1997年起在中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室工作

1997-07~现在, 中国科学院光电技术研究所, 高级工程师（正研级）

2023-11-01-今,中国光学工程学会微纳专业委员会, 秘书长

授权发明专利近30项，2009年和2010年连续2年获四川省科学技术进步奖一等奖。

（ 1 ） 用于干法刻蚀的修正板的设计方法、修正板和干法刻蚀方法, 发明专利, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN116644570A

（ 2 ） 照明补偿方法, 发明专利, 2023, 第 9 作者, 专利号: CN115963705A

（ 3 ） 具有改善电子束光刻邻近效应功能的掩模版及其制备方法, 发明专利, 2023, 第 6 作者, 专利号: CN116047856A

（ 4 ） 复合非线性超表面及其二次谐波左右旋相位独立调控方法, 发明专利, 2023, 第 8 作者, 专利号: CN115616827A

（ 5 ） 利用有机薄膜快速去除颗粒的方法和装置, 发明专利, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN115642077A

（ 6 ） 衬底上光刻结构的返工清洗方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115440576A

（ 7 ） 超分辨光刻结构、制备方法及图形传递的方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115472492A

（ 8 ） 对准标记结构及其形成方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115440707A

（ 9 ） 柱销式衬底保持器及其制备方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115440650A

（ 10 ） 一种双模式高分辨干涉光刻装置及方法, 发明专利, 2022, 第 7 作者, 专利号: CN115309009A

（ 11 ） I线单组分光刻胶组合物、制备方法及其图案形成方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115407608A

（ 12 ） 一种低粗糙度和介电常数可控的银膜及其制备方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115233159A

（ 13 ） 一种介电常数可调控的多晶银薄膜及其制备方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115261813A

（ 14 ） 基于双曲超材料的超衍射结构照明显微成像系统及方法, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN115128789A

（ 15 ） 基于布洛赫表面波结构光照明的超分辨成像系统及方法, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN115047609A

（ 16 ） 等离子体共振腔透镜光刻的成像结构保护方法及其结构, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115047728A

（ 17 ） 一种材料填充保护光刻掩模及其制备方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115079506A

（ 18 ） 一种高强度平面掩模及其制备方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN115047709A

（ 19 ） 一种基于深度学习网络模型的大口径超构透镜及其设计方法, 发明专利, 2022, 第 8 作者, 专利号: CN115017563A

（ 20 ） 一种双波段激光低反射的多功能材料结构, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN114628914A

（ 21 ） 基于高阶旋转对称单元的非线性几何相位超表面, 发明专利, 2022, 第 7 作者, 专利号: CN114762191A

（ 22 ） 一种超表面测试装置、测试方法及PB相位测试方法, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN114371348A

（ 23 ） 一种超表面测试装置、测试方法及PB相位测试方法, 发明授权, 2023, 第 5 作者, 专利号: CN114371348B

（ 24 ） 光刻方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN114217510A

（ 25 ） 光刻方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN114217510A

（ 26 ） 基于金属-介质条形阵列的超分辨透镜的制备方法及应用, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN114114481A

（ 27 ） 光刻胶组合物及其应用, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN114153123A

（ 28 ） 一种宽带手性光谱分析和大视场成像系统和设计方法, 发明专利, 2022, 第 7 作者, 专利号: CN113946034A

（ 29 ） 一种表面等离子体近场光刻掩模拓扑优化的方法及系统, 发明授权, 2023, 第 8 作者, 专利号: CN113962185B

（ 30 ） 一种表面等离子体近场光刻掩模拓扑优化的方法及系统, 发明专利, 2022, 第 8 作者, 专利号: CN113962185A

（ 31 ） 一种近场光刻浸没系统及其浸没单元和接口模组, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113189849A

（ 32 ） 一种近场光刻浸没系统及其浸没单元和接口模组, 发明授权, 2023, 第 2 作者, 专利号: CN113189849B

（ 33 ） 一种曲面衬底上微纳结构图形高精度刻蚀传递方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN111517274B

（ 34 ） 一种基于金属网栅的透明电磁屏蔽材料的制备方法, 专利授权, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN110831419B

（ 35 ） 一种基于无掩模直写光刻的光学窗口透射波前修正方法, 发明专利, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN110658695B

（ 36 ） 一种基于无掩模直写光刻的薄膜微结构加工方法, 发明专利, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN110647014B

（ 37 ） 超大面积扫描式反应离子刻蚀机及刻蚀方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN111383883B

（ 38 ） 一种大面积超分辨光刻装置, 专利授权, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN108089409A

（ 39 ） 一种扫描式局域增强生化传感装置, 发明专利, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN108106994A

（ 40 ） 一种基于超表面的芯片激光雷达位相调控的波导结构, 发明专利, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN108037561A

（ 41 ） 一种大口径平面消色差反射阵天线, 发明专利, 2018, 第 7 作者, 专利号: CN108110404A

（ 42 ） 一种应用于光刻装置的被动式调平锁紧机构, 专利授权, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN108089408A

（ 43 ） 真空表面等离子体光刻装置, 专利授权, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN107817654A

（ 44 ） 二次成像光学光刻方法和设备, 发明专利, 2019, 第 6 作者, 专利号: CN109901362A

（ 45 ） 光刻胶涂覆方法和装置, 发明专利, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106707690A

（ 46 ） 一种高精度光刻胶面形控制方法, 发明专利, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106773535A

（ 47 ） 一种可拉伸变形的超表面彩色显示器件, 专利授权, 2017, 第 8 作者, 专利号: CN106383403A

（ 48 ） 一种基于超表面的热辐射红外波束调控器件, 专利授权, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106371263A

（ 49 ） 一种动态可调的多频电磁吸波材料, 专利授权, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106405697A

（ 50 ） 一种基于啁啾光栅的间隙检测与控制的超分辨光刻装置, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN106547173B

（ 51 ） 一种基于啁啾光栅间隙检测与控制的超分辨光刻装置, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106547173A

（ 52 ） 一种多功能柔性动态偏振调制器件, 专利授权, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106450766A

（ 53 ） 一种Bessel纳米聚焦器件, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106338795A

（ 54 ） 一种照明深度可调的宽波段光源超分辨表层显微成像方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105954866A

（ 55 ） 一种大视场超分辨成像器件, 发明专利, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN106199997A

（ 56 ） 一种宽带远场超分辨成像装置, 发明专利, 2016, 第 5 作者, 专利号: CN105929560A

（ 57 ） 宽带电磁波相位调控的方法和超表面亚波长结构, 发明专利, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105866981A

（ 58 ） 一种波长选择型超表面器件, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105629364A

（ 59 ） 一种多光谱位相型超表面器件, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105676314A

（ 60 ） 一种基于表面等离子体共振的高精度纳米间隙检测结构及方法, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103968770A

（ 61 ） 一种基于双光束聚合引发以及抑制的高分辨成像光刻方法, 发明专利, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN103984211A

（ 62 ） 一种增强表面等离子体光场激发强度的方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103969843A

（ 63 ） 一种针对超衍射结构材料近场倏逝波光场透过率传输特性函数的远场检测方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103969225A

（ 64 ） 一种实现远场超分辨成像的方法和装置, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103901629A

（ 65 ） 一种波导共振耦合表面等离子体光场的激发和调控方法, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103926707A

（ 66 ） 表面等离子体功能结构器件及低能电子的纳米光刻方法, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103488059A

（ 67 ） 增强照明数值孔径超分辨光刻成像设备及光刻成像方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103472689A

（ 68 ） 基于表面等离子体波照明的光刻成像设备及光刻成像方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103454866A

（ 69 ） 一种基于弧形手性人工结构材料的双频双圆极化天线, 发明专利, 2013, 第 5 作者, 专利号: CN103457034A

（ 70 ） 一种基于双层胶技术的掩模平坦化方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103399461A

（ 71 ） 一种纳米激光器激光合束器件的制备方法, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103457157A

（ 72 ） 一种用于制备金属/介质纳米多层膜高质量断面的方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103399459A

（ 73 ） 一种超衍射纳米光学探针, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103149805A

（ 74 ） 一种亚波长光栅周期的测量器件, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103076162A

（ 75 ） 一种2,4-二硝基甲苯快速检测方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103091301A

（ 76 ） 一种超衍射材料光传输特性的测试分析方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103149153A

（ 77 ） 一种纳米尺度超分辨光学聚焦器件的制作方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103076646A

（ 78 ） 基于人工电磁结构材料的高增益低雷达散射截面平板天线, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103078185A

（ 79 ） 一种纳米缝隙金属聚焦透镜的制备方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN102862950A

（ 80 ） 一种光栅辅助纳米成像的光刻方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN102866594A

（ 81 ） 一种利用人工结构材料实现天线波束宽度切换的天线罩, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN102882001A

（ 82 ） 一种超衍射定向传输材料结构制备后的测试分析方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN102879360A

（ 83 ） 一种位相型纳米物体表面等离子体超分辨成像方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN102879916A

（ 84 ） 基于金属—介质—探针结构的表面等离子体超衍射光刻方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN102880010A

（ 85 ） 一种表面等离子体超分辨干法光刻方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102636965A

（ 86 ） 高灵敏度、高稳定性表面增强拉曼芯片的制备方法及应用方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102628808A

（ 87 ） 一种利用超衍射离轴照明技术的纳米表层光学显微成像器件及成像方法, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102628985A

（ 88 ） 一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102621822A

（ 89 ） 一种尖劈型超透镜的制备方法, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102621803A

（ 90 ） 一种超长工作距表面等离子体超衍射光刻装置及方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102621821A

（ 91 ） 一种用于光刻的高效超分辨聚焦器件制备方法, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102621820A

（ 92 ） 一种平面像场超分辨成像透镜的制备方法, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102621601A

（ 93 ） 一种用于表面等离子体光刻的纳米光栅掩模制备方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102629073A

（ 94 ） 亚微米尺度球面或者柱面微透镜阵列的制备方法, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102621604A

（ 95 ） 一种双平面超分辨成像透镜的制备方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102621602A

（ 96 ） 一种高分辨力超衍射聚焦结构透镜的制作方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102621610A

（ 97 ） 一种利用两次离子束刻蚀技术制备成像面为平面的超透镜制备方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102633229A

（ 98 ） 一种基于面激元辐射模式的表面沟槽结构, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102169199A

（ 99 ） 一种介质加载型周期沟槽缝隙天线, 发明专利, 2010, 第 4 作者, 专利号: CN101719597A

（ 100 ） 一种单馈源周期沟槽缝隙平板天线, 发明专利, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101719596A

（ 101 ） 一种介质加载型沟槽缝隙阵列天线, 发明专利, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101719595A

（ 102 ） 一种基于亚波长金属孔阵列的电磁完美吸收体, 发明专利, 2010, 第 3 作者, 专利号: CN101724811A

（ 103 ） 一种可用于光束整形的金属槽缝结构, 发明专利, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101726869A

（ 104 ） 一种基于周期金属线的宽带半反半透膜层, 发明专利, 2010, 第 4 作者, 专利号: CN101740872A

（ 105 ） 一种介质加载型沟槽缝隙波导端头天线, 发明专利, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101728648A

（ 106 ） 一种低互耦的沟槽阵列天线, 发明专利, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN101645539A

（ 107 ） 一种超分辨i线光刻装置, 发明专利, 2011, 第 6 作者, 专利号: CN101446777B

（ 108 ） 利用周期金属线构成奇异人工复合材料的设计方法, 发明专利, 2009, 第 3 作者, 专利号: CN101414320A

（ 109 ） 一种基于金属覆盖层的负折射人工材料, 发明专利, 2009, 第 3 作者, 专利号: CN101424758A

（ 110 ） 一种低折射率异向介质材料双频双极化微带贴片天线的制作方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN101383450B

（ 111 ） 基于非对称金属光栅结构的双频可调磁共振人工复合材料, 发明专利, 2010, 第 3 作者, 专利号: CN100588742C

（ 112 ） 一种二维沟槽定向微带贴片天线, 发明专利, 2009, 第 4 作者, 专利号: CN101359775A

（ 113 ） 一种利用AAO模板制作光波段人工复合结构材料, 发明专利, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101306795

（ 114 ） 一种金属网格结构喇叭天线的设计方法, 发明专利, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101272004A

（ 115 ） 采用电磁带隙结构和金属网格结构相结合的高方向性天线的设计方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN101320845B

（ 116 ） 一种电磁带隙结构的喇叭天线, 发明专利, 2008, 第 2 作者, 专利号: CN101202379A

（ 117 ） 一种采用步进式数控冲压制作大面积周期网格材料的方法, 发明专利, 2008, 第 2 作者, 专利号: CN101168180A

（ 118 ） 一种高增益沟槽波导缝隙阵列微波天线, 发明专利, 2008, 第 4 作者, 专利号: CN101174726A

（ 119 ） 基于微光学技术的大气湍流光学效应实验室模拟系统, 发明专利, 2007, 第 4 作者, 专利号: CN1912563A

（ 120 ） 掩膜遮蔽变角度沉积制作纳米周期结构图形的方法, 发明专利, 2006, 第 1 作者, 专利号: CN1794093A

（ 121 ） 缩微文字阵列防伪标识及其制作方法, 发明专利, 2006, 第 2 作者, 专利号: CN1775564A

（ 122 ） 缩微文字平板放大镜, 发明专利, 2006, 第 2 作者, 专利号: CN1760712A

（ 123 ） 一种离心分离牺牲层工艺, 发明专利, 2006, 第 1 作者, 专利号: CN1817781A

（ 124 ） 含有缩微文字的微型防伪金属片, 发明专利, 2006, 第 3 作者, 专利号: CN1741095A

（ 125 ） 采用微光刻技术制作缩微汉字的方法, 发明专利, 2005, 第 2 作者, 专利号: CN1687846A

（ 126 ） 光栅尺双向对接曝光法, 发明专利, 2009, 第 1 作者, 专利号: CN100483253C

（ 127 ） 金属光栅模版制作方法, 发明专利, 2006, 第 1 作者, 专利号: CN1740404A

（ 128 ） 半色调掩模光刻热熔成形微透镜阵列方法, 发明专利, 2005, 第 5 作者, 专利号: CN1702481A

（ 129 ） 人眼高阶像差矫正方法, 发明专利, 2005, 第 4 作者, 专利号: CN1702494A

已指导学生

王兴平  硕士研究生  080300-光学工程  

彭若冰  硕士研究生  430103-光学工程  

蒲明博  博士研究生  080300-光学工程  

杜文娟  硕士研究生  085202-光学工程  

张俊楠  硕士研究生  080901-物理电子学  

陈伟国  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

许盟  硕士研究生  085202-光学工程  

严璟  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

靳金金  博士研究生  080300-光学工程  

何德伟  硕士研究生  085203-仪器仪表工程  

梁卓承  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

黄奕嘉  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

邓泉  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

罗乙雄  硕士研究生  085400-电子信息  

现指导学生

胡黔豫  硕士研究生  085400-电子信息  

姚舒予  硕士研究生  140100-集成电路科学与工程  

孔维杨  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

刘琛  硕士研究生  140100-集成电路科学与工程  

微纳光学及亚波长电磁学研究团队，负责人罗先刚研究员，成员包括2名研究员、6名副研究员、10名助理研究员。

以电磁波为手段，实现微纳尺度、亚波长尺度下的光学成像、精细加工、传感、光束操纵、能量收集转化、信息传输等功能，是当前最为活跃的电磁波技术研究领域，广泛应用于信息、环保、生物医学、能源、国防安全等各个领域，包括各种微处理器、通信、传感，光电池、LED照明等等。
研究团队依托于微细加工光学技术国家重点实验室，拥有国内外一流的微纳加工、检测设备平台，承担了国家财政部重大仪器装备研制项目、国家973项目、863课题、国家自然科学基金面上、青年和重点项目。近十年来，一直致力于研究微纳尺度、亚波长尺度下电磁行为特性规律，发展具有特定功能的人工结构材料和器件原理方法，研究相关设计、加工和表征分析方法和技术，并构建了以此为核心的光机电功能模块和系统，以及开展了在轻量化和超分辨成像、纳米光刻精细加工、生化传感、电磁隐身材料、智能天线和电子对抗等领域应用。
近年来，发表SCI论文200多篇，包括Nature Communications、Science Adv. (Science子刊)、Scientific Reports（Nature 子刊）、Advanced Materials、Laser Photonics & Reviews、Light & Science Application、Nano Scale、Advanced Optical Materials、Applied Physics Letter、Optics letter、Optics Express等期刊文章。
十年来，培养硕博士研究生六十余名，获得包括中科院院长特别奖、朱李月华奖学金、刘永龄奖学金、中国科学院优秀百篇博士论文各类奖学金四十余人次。团队老师也多次获得朱李月华优秀导师、中科院优秀导师等荣誉称号。研究团队与美国、欧洲、日本、新加坡等国家的本领域科研团队建立了良好合作关系，多名学生以联合培养和深造方式，前往美国密歇根大学、美国宾州州立大学、澳大利亚昆士兰大学、新加坡国立大学等单位从事科研工作。

研究生招生专业：光学工程、测试计量技术及仪器、精密仪器与机械
主要研究方向：
表面等离子体光学及应用研究：1）SP功能结构和人工材料；2）生化传感；3）纳米光学光刻技术。
轻量化、超分辨成像光学：1）超分辨显微；2）超分辨望远成像；3）薄膜光学成像。
超表面、超材料和功能光电子器件：1）超构表面和超材料；2）电磁隐身材料；3）微波人工电磁材料和功能器件；4）平面光子器件。

课题组面向全国招收推荐免试研究生，同时也欢迎各位同学积极报考本团队硕士/博士研究生。招收本科专业包括但不限于，光学工程、电子科学与技术、物理、光学、微波与电磁场技术、化学、材料和通信等专业。请有意向同学与团队联系，并将个人简历电子版发送至邮箱lxg@ioe.ac.cn。