精密位移测量

   

070207-光学

精密位移测量

2012-09--2017-06   中国科学院大学   博士
2006-09--2010-06   哈尔滨工业大学   学士

研究生

博士

   

2020-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2017-07~2020-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员

[1] 李文昊, 刘兆武, 吉日嘎兰图, 尹云飞, 王玮, 周文渊, 白宇. 二维光栅位移测量装置. CN: CN115046482B, 2023-07-07.
[2] 刘兆武, 王玮, 李文昊, 姜珊, 巴音贺希格, 李烁. 一种长行程工作台精密位移分步测量方法和装置. CN: CN115638734A, 2023-01-24.
[3] 刘兆武, 姜岩秀, 孙宇佳, 刘林, 李文昊, 姜珊, 王玮, 张桐, 于硕. 光栅栅距测量装置及方法. CN: CN115597511A, 2023-01-13.
[4] 于硕, 王玮, 李文昊, 姚雪峰, 张桐, 刘兆武, 白雪龙. 轴承内外径测量装置及其测量方法. CN: CN115355835B, 2023-01-03.
[5] 李文昊, 于硕, 王玮, 张桐, 姚雪峰, 刘兆武, 白雪龙. 回转类零件测量时轴心对准方法. CN: CN115355861A, 2022-11-18.
[6] 于硕, 王玮, 李文昊, 姚雪峰, 张桐, 刘兆武, 白雪龙. 轴承内外径测量装置及其测量方法. CN: CN115355835A, 2022-11-18.
[7] 李文昊, 刘兆武, 吉日嘎兰图, 尹云飞, 王玮, 周文渊, 白宇. 二维光栅位移测量装置. CN: CN115046482A, 2022-09-13.
[8] 李文昊, 刘兆武, 吉日嘎兰图, 尹云飞, 王玮, 周文渊, 刘林. 一维光栅位移测量装置. CN: CN114877811A, 2022-08-09.
[9] 吉日嘎兰图, 尹云飞, 李文昊, 刘兆武, 刘林, 白宇. 外差一维光栅位移测量装置. CN: CN112504131B, 2022-01-28.
[10] 吉日嘎兰图, 李文昊, 刘兆武, 尹云飞, 王玮, 糜小涛, 李晓天. 一种刀具颤振状态的在线检测装置. CN: CN113932909A, 2022-01-14.
[11] 李文昊, 刘兆武, 王玮, 刘林, 姜珊, 于宏柱, 姜岩秀. 锥面衍射式光栅位移测量装置及测量方法. CN: CN113819846A, 2021-12-21.
[12] 刘兆武, 刘林, 李文昊, 于宏柱, 姚雪峰, 吉日嘎兰图, 王玮. 光栅位移测量装置. CN: CN112097652B, 2021-12-17.
[13] 李文昊, 刘林, 刘兆武, 尹云飞, 白宇, 王玮, 于宏柱, 吉日嘎兰图. 拼接光栅位移测量系统及测量方法. CN: CN112097644B, 2021-12-17.
[14] 刘兆武, 李文昊, 于宏柱, 姚雪峰, 王玮, 吉日嘎兰图, 刘林. 外差光栅位移测量光学系统. CN: CN112097649B, 2021-10-26.
[15] 张桐, 李文昊, 张伟, 姜岩秀",null,"姜珊, 刘兆武, 王玮. 光栅衍射效率测试装置. CN: CN113514230A, 2021-10-19.
[16] 吉日嘎兰图, 李文昊, 刘兆武, 尹云飞, 王玮, 姜珊, 刘林, 白宇. 六维测量装置及方法. CN: CN113465514A, 2021-10-01.
[17] 王玮, 李文昊, 刘兆武, 白雪龙, 于宏柱, 姚雪峰. 一种基于误差分离的轴承内外圈跳动测量方法和装置. CN: CN113418481A, 2021-09-21.
[18] 王玮, 刘兆武, 李文昊, 白雪龙, 姚雪峰, 于宏柱. 一种高精度轴承信息测量方法和测量装置. CN: CN113358354A, 2021-09-07.
[19] 李文昊, 刘兆武, 姚雪峰, 王玮, 吉日嘎兰图, 于宏柱, 白宇. 外差光栅位移测量装置. CN: CN112097647B, 2021-06-15.
[20] 巴音贺希格, 吕强, 宋莹, 李文昊, 刘兆武, 王玮, 李烁. 一种测量装置. CN: CN112797873A, 2021-05-14.
[21] 吉日嘎兰图, 尹云飞, 李文昊, 刘兆武, 刘林, 白宇. 外差一维光栅位移测量装置. CN: CN112504131A, 2021-03-16.
[22] 吉日嘎兰图, 尹云飞, 李文昊, 刘兆武, 王玮. 零差一维光栅位移测量装置. CN: CN112484646A, 2021-03-12.
[23] 刘兆武, 李文昊, 吉日嘎兰图, 于宏柱, 王玮, 姚雪峰, 尹云飞. 外差二维光栅位移测量系统及测量方法. CN: CN112097651A, 2020-12-18.
[24] 李文昊, 刘兆武, 王玮, 于宏柱, 吉日嘎兰图, 姚雪峰. 外差光栅位移测量方法. CN: CN112097650A, 2020-12-18.
[25] 李文昊, 刘兆武, 于宏柱, 王玮, 吉日嘎兰图, 姚雪峰. 光栅位移测量方法. CN: CN112097648A, 2020-12-18.
[26] 巴音贺希格, 吕强, 宋莹, 李文昊, 刘兆武, 王玮, 李烁. 一种测量装置. CN: CN209311495U, 2019-08-27.
[27] 王玮, 巴音贺希格, 吕强, 李文昊, 宋莹, 刘兆武, 姜珊. 一种位移与角度同步测量系统. CN: CN109632011A, 2019-04-16.
[28] 王玮, 巴音贺希格, 吕强, 李文昊, 宋莹, 刘兆武, 姜珊. 一种位移与角度同步测量方法. CN: CN109632010A, 2019-04-16.
[29] 巴音贺希格, 刘兆武, 李文昊, 陈成, 张嬛, 姜珊, 王玮. 一种位移测量光学系统. CN: CN109520428A, 2019-03-26.
[30] 李文昊, 吕强, 巴音贺希格, 唐玉国, 刘兆武, 于宏柱. 实现长行程三维位移测量的光栅位移测量系统及方法. CN: CN108775869A, 2018-11-09.
[31] 李文昊, 吕强, 刘兆武, 吉日嘎兰图, 于宏柱, 巴音贺希格, 巴音贺希格, 唐玉国, 齐向东. 一种品字型位移测量光栅的制作方法. CN: CN108444389A, 2018-08-24.
[32] 巴音贺希格, 朱春霖, 王玮, 谭鑫, 焦庆斌, 吕强, 刘兆武, 胡昊, 邱俊. 一种大面积金属光栅的制备方法及制备系统. CN: CN108345057A, 2018-07-31.
[33] 李文昊, 刘兆武, 巴音贺希格, 李晓天, 宋莹, 姜珊, 王玮, 吕强. 应用于光刻系统工作台的位移测量光学系统. CN: CN108286943A, 2018-07-17.
[34] 于宏柱, 吕强, 李文昊, 吉日嘎兰图, 刘兆武, 巴音贺希格, 巴音贺希格, 齐向东. 一种品字型位移测量光栅的制作方法. CN: CN108254819A, 2018-07-06.
[35] 李文昊, 吕强, 巴音贺希格, 唐玉国, 刘兆武, 于宏柱. 衍射光栅外差式二维位移测量系统及方法. CN: CN108225193A, 2018-06-29.
[36] 巴音贺希格, 王玮, 宋莹, 姜珊, 吕强, 李文昊, 刘兆武. 一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法. CN: CN107942426A, 2018-04-20.
[37] 巴音贺希格, 王玮, 宋莹, 姜珊, 吕强, 李文昊, 刘兆武. 一种光束姿态调整系统. CN: CN107907929A, 2018-04-13.
[38] 巴音贺希格, 李烁, 宋莹, 李文昊, 刘兆武, 王玮, 吕强. 一种用于大面积光栅制造的涂布装置及方法. CN: CN107899891A, 2018-04-13.
[39] 巴音贺希格",null,null,null,"刘兆武, 王玮. 一种测量装置. CN: CN107806822A, 2018-03-16.
[40] 巴音贺希格, 吕强, 宋莹",null,"刘兆武, 王玮. 一种测量装置. CN: CN107687814A, 2018-02-13.
[41] 李文昊, 吕强, 巴音贺希格, 宋莹, 刘兆武, 王玮. 长行程、高精度测量的光栅位移测量系统. CN: CN107655411A, 2018-02-02.
[42] 李文昊, 吕强, 巴音贺希格, 宋莹, 刘兆武, 王玮. 基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量系统. CN: CN107607045A, 2018-01-19.
[43] 宋莹, 吕强, 李文昊, 刘兆武, 王玮, 巴音贺希格. 用于扫描干涉场曝光系统的精密光栅位移测量系统及方法. CN: CN107588728A, 2018-01-16.
[44] 李文昊, 吕强, 巴音贺希格, 宋莹, 刘兆武, 王玮. 基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量方法. CN: CN107462166A, 2017-12-12.
[45] 李文昊, 吕强, 巴音贺希格, 宋莹, 刘兆武, 王玮. 长行程、高精度测量的光栅位移测量方法. CN: CN107462167A, 2017-12-12.
[46] 姚东, 刘兆武, 李文昊, 李晓天, 宋莹, 姜珊, 王玮, 李烁, 吕强. 一种位移测量光学系统. CN: CN106643478A, 2017-05-10.
[47] 李晓天, 于海利, 唐玉国, 齐向东, 卢禹先, 于宏柱, 糜小涛, 刘兆武. 一种光栅机械刻划机的激光干涉控制方法. CN: CN104678889A, 2015-06-03.
[48] 李晓天, 于海利, 唐玉国, 刘兆武, 杨超, 齐向东. 一种具有阿贝误差校正功能的光栅刻刀主动调整装置. CN: CN104536073A, 2015-04-22.
[49] 李晓天, 刘兆武, 于海利, 唐玉国, 巴音贺希格, 齐向东, 李文昊, 白志红. 全息扫描曝光二维工作台位移和摆角测量光路结构. CN: CN104515470A, 2015-04-15.
[50] 李晓天, 于海利, 唐玉国, 刘兆武, 杨超, 齐向东. 一种消像差平面衍射光栅的机械刻划方法. CN: CN104516037A, 2015-04-15.
[51] 宋楠, 李晓天, 于海利, 唐玉国, 刘兆武, 糜小涛, 于宏柱, 齐向东. 一种双气浮导轨式光栅刻划刀架驱动装置. CN: CN104459858A, 2015-03-25.
[52] 李晓天, 于海利, 唐玉国, 杨超, 刘兆武, 齐向东. 一种光栅刻线弯曲自动控制校正方法. CN: CN104237987A, 2014-12-24.

   

（ 1 ） 基于光栅的桥梁伸缩缝位移监测技术研究, 负责人, 地方任务, 2020-01--2022-12
（ 2 ） 2020-曙光计划, 负责人, 研究所自选, 2020-07--2023-07
（ 3 ） 光刻系统中工作台位移的长行程高精度双色差分干涉测量方法研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2022-12
（ 4 ） 长量程高精度双色差分激光干涉位移测量方法研究, 负责人, 地方任务, 2019-01--2020-12
（ 5 ） 中国科学院青年创新促进会2021会员项目, 负责人, 中国科学院计划, 2021-01--2024-12

现指导学生

滕海瑞  硕士研究生  070207-光学  

1.​      Song Ying*, Liu Yujuan, Jiang Shan, Zhu Yang, Zhang Liu, Liu Zhaowu, Method for exposure dose monitoring and control in scanning beam interference lithography[J]. Applied Optics, 2021, 60(10): 2767-2774.

2.      Yin Yunfei, Liu Lin, Bai Yu, Jirigalantu, Yu Hongzhu,  Bayanheshig, Liu Zhaowu*, Li Wenhao. Littrow 3D measurement based on 2D grating dual-channel equal-optical path interference[J]. Optics Express, 2022, 30(23): 41671-41684.

3.      Yin Yunfei; Liu Zhaowu; Jiang Shan; Wang Wei; Yu Hongzhu; Jiri Galantu; Hao Qun; Li Wenhao*. High-precision 2D grating displacement measurement system based on double-spatial heterodyne optical path interleaving[J]. Optics and Lasers in Engineering, 2022, 158: 107167. 

4.      Liu Lin; Liu Zhaowu; Jiang Shan; Wang Wei; Yu Hongzhu; Jiang Yanxiu; Li Wenhao *. Polarization-modulated grating interferometer by conical diffraction[J]. Optics Express, 2022, 30(2): 689-699.

5.      Liu Zhaowu*; Yang Hang; Li Yubo; Jiang Shan; Wang Wei; Song Ying; Bayanheshig; Li Wenhao*. Active control technology of a diffraction grating wavefront by scanning beam interference lithography[J]. Optics Express, 2021, 29(23): 37066-37074. 

6.      Yin Yunfei, Liu Zhaowu, Jiang Shan, Wang Wei, Yu Hongzhu, Li Wenhao, Jirigalantu*, Grating-based 2D displacement measurement with quadruple optical subdivision of a single incident beam[J]. Optics express, 2021, 29(15): 24169-24181

7.      尹云飞; 刘兆武; 吉日嘎兰图; 于宏柱; 王玮; 李晓天; 鲍赫; 李文昊*; 郝群*. 二维光栅位移测量技术综述[J]. 中国光学, 2020, 13(6): 1224.

8.      吕强，王玮，刘兆武，宋莹，姜珊，刘林，巴音贺希格，李文昊. 五维自由度衍射光栅精密测量系统[J].中国光学，2020, 13(11):189-202

9.      Lv Qiang, Liu Zhaowu, Wang Wei, Jiang Shan, Bayanheshig, Li Wenhao*. Fast method to detect and calculate displacement errors in Littrow grating-based interferometer[J]. Applied Optics: 2019,58(12):3193-3199

10.   Lv Qiang, Liu Zhaowu, Wang Wei, Li Xiaotian, Li Shuo, Song Ying, Yu Hongzhu, Bayanheshig, Li Wenhao^*. Simple and compact grating-based heterodyne interferometer with the Littrow configuration for high-accuracy and long-range measurement of two-dimensional displacement[J]. Applied Optics: 2018,57(31):9455-9463

11.   Zhaowu Liu, Wenhao Li^*, Bayanheshig, Xiaotian Li, Shan Jiang, Ying Song, and Qiang Lv. Two-color heterodyne laser interferometry for long-distance stage measurement with correction of uncertainties in measured optical distances[J]. Scientific Reports, 2017, 7(1): 8173

12.   Zhaowu Liu, Shan Jiang, Xiaotian Li, Ying Song, Wenhao Li^*, and Bayanheshig^*. Precision measurement of X-axis stage mirror profile in scanning beam interference lithography by three-probe system based on bidirectional integration model[J]. Optics Express, 2017, 25 (9) :10312-21

13.   刘兆武，李文昊^*，巴音贺希格，宋莹，姜珊，李晓天，吕强. 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测[J]. 中国激光， 2017 (1) :225-230

14.   吕强，李文昊^*，巴音贺希格，柏杨，刘兆武，王玮. 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统[J]. 中国光学，2017 , 10 (1) :39-50

15.   刘兆武，李文昊，王敬开，姜珊，宋莹，潘明忠，巴音贺希格. 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测[J]. 光学精密工程，2016,24 (9):2134-2141