基本信息
赵立新  男  硕导  中国科学院光电技术研究所
电子邮件: zhaolixin@ioe.ac.cn
通信地址: 四川成都双流西航港光电大道1号
邮政编码: 610209

研究领域

微电子专用设备研究


招生信息

   
招生专业
080401-精密仪器及机械
招生方向
机械设计
自动化控制

教育背景

2003-03--2006-09   电子科技大学   硕士
1994-09--1998-06   武汉测绘科技大学   本科

工作经历

   
工作简历
2008-01~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2003-01~2007-12,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员
1998-07~2002-12,中国科学院光电技术研究所, 实习研究员

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 四川省科技进步三等奖, 三等奖, 省级, 2008
(2) 四川省科技进步二等奖, 二等奖, 省级, 2005
(3) 四川省科技进步三等奖, 三等奖, 省级, 2001
专利成果
[1] 邵洪禹, 赵立新, 何渝, 龚天诚, 吴斯翰, 王彦钦, 王长涛. 多功能匀光耦合装置及标定检测的方法. CN: CN115598768A, 2023-01-13.
[2] 罗先刚, 邵洪禹, 赵立新, 何渝, 龚天诚, 吴斯翰, 王彦钦, 王长涛. 成像光学系统和成像检测系统. CN: CN115407486A, 2022-11-29.
[3] 罗先刚, 李奕, 冯金花, 吴斯翰, 张绍宇, 何渝, 赵立新. 照明场非均匀性探测系统及方法. CN: CN115265772A, 2022-11-01.
[4] 罗先刚, 吴斯翰, 李奕, 张绍宇, 邵洪禹, 何渝, 赵立新. 照明场非均匀性检测系统的标定和校正方法及装置. CN: CN115265767A, 2022-11-01.
[5] 王化宾, 何渝, 赵立新. 一种用于透明基底的双面光刻方法. CN: CN114967367A, 2022-08-30.
[6] 王化宾, 何渝, 赵立新. 一种用于红外波段的大视场变焦镜头. CN: CN114815195A, 2022-07-29.
[7] 王化宾, 何渝, 赵立新. 一种用于微纳结构表面三维形貌上的光刻方法. CN: CN114995053A, 2022-09-02.
[8] 罗文韬, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 一种宽光谱自参考干涉对准系统. CN: CN114628300A, 2022-06-14.
[9] 罗文韬, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 将S变换用于宽光谱自参考干涉对准系统光谱解相位方法. CN: CN114636372A, 2022-06-17.
[10] 罗文韬, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 将S变换用于宽光谱自参考干涉对准系统光谱解相位方法. CN: CN114636372B, 2023-03-31.
[11] 康霞, 杜婧, 周吉, 刘文静, 路雨桐, 程阳洋, 胡松, 赵立新. 一种光学元件轴向微动调整装置. CN: CN114442253A, 2022-05-06.
[12] 康霞, 杜婧, 周吉, 刘文静, 路雨桐, 程阳洋, 胡松, 赵立新. 一种光学元件轴向微动调整装置. CN: CN114442253A, 2022-05-06.
[13] 康霞, 周吉, 刘文静, 程阳洋, 路雨桐, 胡松, 赵立新. 一种镜片六自由度柔顺机构运动台. CN: CN114114585A, 2022-03-01.
[14] 康霞, 朱咸昌, 胡松, 赵立新, 刘俊伯, 杜婧, 周清华, 杨超, 刘文静, 周吉. 一种镜片弹性支撑装置. CN: CN113917645B, 2023-03-31.
[15] 康霞, 朱咸昌, 杜婧, 周清华, 周吉, 胡松, 赵立新. 一种动镜三自由度微调装置. CN: CN113917646A, 2022-01-11.
[16] 康霞, 朱咸昌, 胡松, 赵立新, 刘俊伯, 杜婧, 周清华, 杨超, 刘文静, 周吉. 一种镜片弹性支撑装置. CN: CN113917645A, 2022-01-11.
[17] 周吉, 康霞, 刘文静, 程阳洋, 胡松, 赵立新. 一种镜片六自由度微动平台. CN: CN113917644A, 2022-01-11.
[18] 刘磊, 唐燕, 赵立新, 胡松. 一种基于调制度半宽恒定的自校准结构光测量方法. CN: CN113916154A, 2022-01-11.
[19] 王大志, 胡松, 赵立新. 一种1-UU&2-UPU二自由度球面并联机构. CN: CN215471119U, 2022-01-11.
[20] 兰俊, 刘锡, 杨勇, 陈磊, 余斯洋, 龚健文, 赵立新, 胡松. 一种简易紫外纳米压印光刻装置. CN: CN113031391A, 2021-06-25.
[21] 兰俊, 杨勇, 唐燕, 赵立新, 胡松. 一种自动交接的多尺寸硅片传输装置. CN: CN112053984A, 2020-12-08.
[22] 龚健文, 胡松, 于军胜, 赵立新, 杨勇, 杜婧. 一种接近接触式光刻真空曝光工件台装置. CN: CN213210718U, 2021-05-14.
[23] 杨可君, 谢仲业, 刘江辉, 冯金花, 唐燕, 赵立新, 胡松. 基于结构光照明显微系统的超薄膜器件三维形貌检测方法. CN: CN111829457A, 2020-10-27.
[24] 龚健文, 胡松, 于军胜, 赵立新, 杨勇, 杜婧. 一种紫外纳米压印光刻自动脱模系统. CN: CN213149470U, 2021-05-07.
[25] 龚健文, 胡松, 于军胜, 赵立新, 杨勇, 杜婧. 一种紫外纳米压印光刻自动脱模系统和方法. CN: CN111522197A, 2020-08-11.
[26] 魏宏斌, 胡松, 刘磊, 位浩杰, 赵立新, 唐燕. 一种可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法. CN: CN111260561A, 2020-06-09.
[27] 刘俊伯, 冯金花, 赵立新, 杜婧, 胡淘. 一种非接触自动中心对准套刻投影光刻机. CN: CN111025855A, 2020-04-17.
[28] 刘俊伯, 赵立新, 杨勇, 胡松, 冯金花, 杜靖. 一种表面等离子体光刻机的高光功率密度照明系统. CN: CN110806681A, 2020-02-18.
[29] 刘磊, 唐燕, 谢仲业, 位浩杰, 赵立新, 胡松. 一种基于聚焦评价算法的结构光微纳三维形貌测量方法. CN: CN110715616B, 2021-09-07.
[30] 刘江辉, 刘俊伯, 赵立新, 唐燕, 胡松. 一种适用于无掩模数字光刻的邻近效应校正方法. CN: CN110456609A, 2019-11-15.
[31] 刘锡, 唐燕, 赵立新, 胡松, 刘江辉. 一种基于微球薄膜的超分辨显微镜系统. CN: CN110376756A, 2019-10-25.
[32] 金川, 何渝, 唐燕, 冯金花, 胡松, 赵立新. 一种大梯度自由曲面测量方法. CN: CN110030944A, 2019-07-19.
[33] 谢仲业, 唐燕, 刘俊伯, 何金花, 赵立新, 胡松. 一种基于空域相移单帧图像调制度解调方法. CN: CN109945801A, 2019-06-28.
[34] 位浩杰, 唐燕, 谢仲业, 刘磊, 赵立新, 胡松. 一种基于复合光栅的结构光微纳结构三维检测方法. CN: CN109916331A, 2019-06-21.
[35] 金川, 何渝, 唐燕, 魏宏斌, 赵立新, 胡松. 一种超分辨率数字全息成像系统和成像方法. CN: CN109709786A, 2019-05-03.
[36] 刘磊, 唐燕, 谢仲业, 位浩杰, 赵立新, 胡松. 一种基于时域相移算法的高精度微纳三维测量方法. CN: CN109596065A, 2019-04-09.
[37] 刘锡, 唐燕, 谢仲业, 刘江辉, 赵立新, 胡松. 一种基于单光镊介质微球高分辨率光学检测方法. CN: CN109269980A, 2019-01-25.
[38] 位浩杰, 唐燕, 谢忠业, 刘磊, 赵立新, 胡松. 一种基于结构光的微纳结构三维形貌高速检测方法. CN: CN109341574A, 2019-02-15.
[39] 谢仲业, 唐燕, 杨可君, 刘锡, 赵立新, 胡松. 用于多层复杂微纳结构检测的结构光照明显微测量方法. CN: CN109269438B, 2020-07-10.
[40] 谢仲业, 唐燕, 杨可君, 刘锡, 赵立新, 胡松. 一种用于多层复杂微纳结构检测的结构光照明显微测量方法. CN: CN109269438A, 2019-01-25.
[41] 刘锡, 唐燕, 谢仲业, 杨可君, 赵立新, 胡松. 一种基于光镊介质微球的超分辨三维形貌测量方法. CN: CN108917651A, 2018-11-30.
[42] 杨可君, 陈楚怡, 谢仲业, 周毅, 刘锡, 唐燕, 赵立新, 胡松. 基于结构光调制的快速超分辨成像方法. CN: CN108319009A, 2018-07-24.
[43] 周毅, 唐燕, 陈楚怡, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 一种基于SiO 2 介质微球的超分辨成像方法. 中国: CN107229133A, 2017-10-03.
[44] 周毅, 唐燕, 陈楚怡, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 一种基于SiO 2 介质微球的超分辨成像方法. CN: CN107229133A, 2017-10-03.
[45] 周毅, 唐燕, 陈楚怡, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 基于结构光与介质微球联合调制的微纳结构超分辨三维形貌检测方法. CN: CN107388984A, 2017-11-24.
[46] 周毅, 唐燕, 陈楚仪, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 一种基于相位纵向拼接的宽光谱干涉形貌检测方法. CN: CN106643558A, 2017-05-10.
[47] 周毅, 唐燕, 陈楚仪, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法. CN: CN106643559A, 2017-05-10.
[48] 陈楚怡, 周毅, 刘俊伯, 邓钦元, 邓茜, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 基于调制度的宽光谱干涉的零级条纹的寻找方法. CN: CN106556340A, 2017-04-05.
[49] 谢仲业, 周毅, 陈楚怡, 邓钦元, 邓茜, 唐燕, 赵立新, 胡松. 一种结合相移干涉与垂直扫描干涉的3D形貌恢复方法. CN: CN106767496A, 2017-05-31.
[50] 杜婧, 赵立新, 龚健文, 杨春利. 一种双面光刻工件台. CN: CN106371292A, 2017-02-01.
[51] 杨勇, 邓钦元, 胡松, 赵立新, 陈磊, 余斯洋, 唐燕, 龚健文, 周毅, 张满. 一种微纳跨尺度高分辨力紫外压印光刻机. CN: CN106154745A, 2016-11-23.
[52] 姚靖威, 唐燕, 邓茜, 周毅, 邓钦元, 刘俊伯, 田鹏, 杨帆, 赵立新, 胡松. 一种适用于大行程高精度白光干涉仪的扫描系统. CN: CN106323195A, 2017-01-11.
[53] 唐燕, 何渝, 胡松, 赵立新, 周毅. 振幅相位联合调制超分辨三维微纳结构形貌测量装置. CN: CN106197257A, 2016-12-07.
[54] 姚靖威, 邓茜, 刘俊伯, 程依光, 司新春, 邓钦元, 周毅, 赵立新, 胡松. 一种适用于投影光刻机的实时调平系统及其调平方法. CN: CN105607431A, 2016-05-25.
[55] 邓茜, 刘俊伯, 赵立新, 胡松, 司新春, 邓钦元, 周毅, 程依光. 一种用于光刻系统的单倍双远心光刻投影物镜. CN: CN105259740A, 2016-01-20.
[56] 邓茜, 刘俊伯, 姚靖威, 程依光, 司新春, 邓钦元, 周毅, 赵立新, 胡松. 基于紫外宽光谱自成像制备二维周期阵列的光刻方法及装置. CN: CN105259739A, 2016-01-20.
[57] 程依光, 刘俊伯, 何渝, 周毅, 邓钦元, 胡松, 赵立新. 一种单焦点光子筛. CN: CN105204102A, 2015-12-30.
[58] 姚靖威, 刘俊伯, 邓茜, 程依光, 司新春, 邓钦元, 周毅, 赵立新, 胡松. 一种基于紫外宽光谱泰伯自成像的光刻系统. CN: CN105242500A, 2016-01-13.
[59] 邓茜, 刘俊伯, 赵立新, 胡松, 司新春, 邓钦元, 周毅. 基于数字微镜阵列制作不同深度的多台阶光栅的无掩模光刻机. CN: CN105137720A, 2015-12-09.
[60] 李金龙, 胡松, 赵立新, 蒋薇. 一种基于外差干涉和二次衍射效应的光栅位移测量系统. CN: CN104634254A, 2015-05-20.
[61] 程依光, 刘俊伯, 胡松, 赵立新. 一种透镜热变形对光学系统成像结果影响的分析方法. CN: CN104537182A, 2015-04-22.
[62] 李金龙, 胡松, 赵立新. 一种掩模与基底六自由度对准装置. CN: CN104331116A, 2015-02-04.
[63] 刘俊伯, 程依光, 赵立新, 胡松. 一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜. CN: CN104238092A, 2014-12-24.
[64] 程依光, 刘俊伯, 胡松, 赵立新, 朱江平. 一种有限元仿真分析中的轴承简化方法. CN: CN104239654A, 2014-12-24.
[65] 朱咸昌, 胡松, 赵立新. 一种基于光栅泰伯效应的检焦方法. CN: CN104238284A, 2014-12-24.
[66] 朱咸昌, 胡松, 赵立新. 一种基于哈特曼波前检测原理的检焦方法. CN: CN104198164A, 2014-12-10.
[67] 朱咸昌, 胡松, 赵立新. 一种单倍率对称式投影曝光物镜. CN: CN104199173A, 2014-12-10.
[68] 朱咸昌, 胡松, 赵立新. 一种基于二维双频光栅剪切干涉的纳米级检焦方法. CN: CN104199258A, 2014-12-10.
[69] 严伟, 何渝, 李艳丽, 唐燕, 赵立新, 胡松. 一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛. CN: CN104199135A, 2014-12-10.
[70] 朱咸昌, 胡松, 赵立新. 一种应用于投影光刻机的大视场投影曝光物镜. CN: CN104199175A, 2014-12-10.
[71] 唐燕, 何渝, 赵立新, 朱江平, 胡松. 基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法. CN: CN103900493A, 2014-07-02.
[72] 李金龙, 胡松, 赵立新. 一种气浮导轨. CN: CN103899647A, 2014-07-02.
[73] 程依光, 朱江平, 胡松, 赵立新, 陈磊, 刘俊伯. 基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法. CN: CN103838093A, 2014-06-04.
[74] 刘俊伯, 赵立新, 陈铭勇, 朱咸昌, 胡松, 何渝, 陈昌龙. 一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜. CN: CN103837966A, 2014-06-04.
[75] 李金龙, 胡松, 赵立新, 李兰兰, 邸成良. 一种投影物镜焦面形状测量标记装置及应用. CN: CN103616166A, 2014-03-05.
[76] 陈磊, 赵立新, 马平, 胡松. 一种动镜轴向卸载装置. CN: CN103278907A, 2013-09-04.
[77] 李兰兰, 胡松, 赵立新, 马平, 刘旗, 李金龙, 钟玲娜. 一种步进扫描投影光刻机掩模台硅片台扫描运动同步误差校正系统. CN: CN103207531A, 2013-07-17.
[78] 王楠, 胡松, 赵立新, 王淑蓉, 陈铭勇, 其他设计人请求不公开姓名. 无掩膜光刻机. CN: CN302497425S, 2013-07-10.
[79] 王楠, 胡松, 赵立新, 王淑蓉, 陈铭勇, 其他设计人请求不公开姓名. 无掩膜光刻机. CN: CN302497424S, 2013-07-10.
[80] 何渝, 陈铭勇, 赵立新, 朱江平, 胡松. 一种应用步进投影数字光刻机制作方孔型光子筛的方法. CN: CN103048718A, 2013-04-17.
[81] 李金龙, 胡松, 赵立新. 一种气浮导轨. CN: CN102878203A, 2013-01-16.
[82] 何渝, 陈铭勇, 赵立新, 唐燕. 基于光子筛的蓝光光学头. CN: CN102737664A, 2012-10-17.
[83] 李兰兰, 胡松, 赵立新, 马平, 盛壮, 刘旗, 李金龙. 一种基于FPGA的DMD数字无掩模光刻机工件台控制系统. CN: CN102629081A, 2012-08-08.
[84] 李金龙, 胡松, 赵立新, 李兰兰, 盛壮. 一种用于光刻机的浸没控制装置. CN: CN102621818A, 2012-08-01.
[85] 邢薇, 赵立新, 胡松, 王建, 李金龙. 一种动镜弹性支撑装置. CN: CN102540386A, 2012-07-04.
[86] 邢薇, 赵立新, 胡松, 王建, 杨勇. 一种动镜轴向微调装置. CN: CN102565983A, 2012-07-11.
[87] 赵立新, 胡松, 邢薇, 杨勇, 王建, 何渝. 一种动镜平面微调机构装置. CN: CN102508360A, 2012-06-20.
[88] 赵立新, 胡松, 邢薇, 杨勇, 王建. 一种动镜二维平面调整装置. CN: CN102508359A, 2012-06-20.
[89] 李金龙, 胡松, 赵立新, 徐峰, 李兰兰, 盛壮. 一种适用于双工件台投影光刻机的检焦装置. CN: CN102236270A, 2011-11-09.
[90] 李兰兰, 胡松, 赵立新, 李金龙, 徐锋, 盛壮. 一种对投影光刻机步进及扫描运动轨迹的规划方法. CN: CN102236269A, 2011-11-09.
[91] 李金龙, 胡松, 赵立新. 一种空气静压止推轴承. CN: CN102207130A, 2011-10-05.
[92] 李金龙, 胡松, 赵立新. 一种空气静压止推轴承. CN: CN102128206A, 2011-07-20.
[93] 唐燕, 胡松, 赵立新, 严伟. 一种交织型光子筛. CN: CN102053294A, 2011-05-11.
[94] 唐燕, 胡松, 赵立新, 严伟. 一种复合型光子筛. CN: CN102053295A, 2011-05-11.
[95] 严伟, 胡松, 赵立新, 李艳丽, 杨勇, 王建, 陈铭勇, 马平, 徐文祥. 一种双变密度盘的可变衰减器. CN: CN102096189A, 2011-06-15.
[96] 邢薇, 胡松, 赵立新, 徐文祥, 胡淘, 陈磊. 一种光刻机真空曝光装置. CN: CN102012642A, 2011-04-13.
[97] 王建, 赵立新, 陈铭勇, 胡松. 一种红外成像光学读出系统的照明装置. CN: CN102169018A, 2011-08-31.
[98] 王建, 赵立新, 徐文祥, 严伟, 胡松. 一种用于光刻设备中的光束稳定装置. CN: CN102103329A, 2011-06-22.
[99] 周绍林, 胡松, 唐小萍, 赵立新, 徐峰, 陈旺富, 杨勇, 陈明勇. 一种基于相位分布的单点掩模硅片调平方法. CN: CN101968611A, 2011-02-09.
[100] 周绍林, 胡松, 唐小萍, 赵立新, 杨勇, 陈旺富, 徐峰, 陈明勇. 纳米光刻掩模硅片间隙测量及调平装置. CN: CN101950132A, 2011-01-19.
[101] 周绍林, 胡松, 唐小萍, 赵立新, 杨勇, 徐锋, 陈旺富, 陈明勇. 一种接近式纳米光刻中的间隙测量方法. CN: CN101876538A, 2010-11-03.
[102] 王建, 胡松, 赵立新, 邢薇. 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构. CN: CN101710204A, 2010-05-19.
[103] 赵立新, 胡松, 王建, 邢薇. 一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构. CN: CN101702051A, 2010-05-05.
[104] 蒋文波, 胡松, 赵立新, 徐锋, 邢嶶, 杨勇, 严伟. 一种位相型光子筛. CN: CN101694532A, 2010-04-14.
[105] 陈旺富, 胡松, 周绍林, 杨勇, 赵立新, 严伟, 蒋文波, 徐锋, 张博. 一种投影光刻中的同轴对准系统. CN: CN101639630A, 2010-02-03.
[106] 蒋文波, 胡松, 赵立新, 邢薇, 杨勇, 严伟, 周绍林, 陈旺富, 徐锋, 张博. 基于光子筛的激光直写光刻系统. CN: CN101561637A, 2009-10-21.
[107] 严伟, 唐小萍, 胡松, 邢薇, 赵立新, 杨勇, 杨文波, 杨波, 周绍林, 陈旺富. 基于数字微镜阵列的步进式无掩模数字曝光装置. CN: CN101320222A, 2008-12-10.
[108] 王淑蓉, 王肇志, 张正荣, 邢薇, 赵立新, 胡松, 唐小萍. 一种电子束曝光机片夹库系统. CN: CN101261453B, 2011-03-16.
[109] 赵立新, 张青川, 陈大鹏, 胡松, 唐小萍. 一种阵列微梁单元偏角测量系统. CN: CN101261139A, 2008-09-10.
[110] 赵立新, 邢薇, 唐小萍, 胡松. 一种具有面积微分的球面光刻系统. CN: CN101216684A, 2008-07-09.
[111] 杨勇, 胡松, 姚汉民, 唐小萍, 邢薇, 赵立新, 张春梅, 严伟. 一种逆向照明接近接触纳米光刻装置. CN: CN101216683A, 2008-07-09.
[112] 张春梅, 邢薇, 唐小萍, 严佩英, 胡松, 王淑蓉, 赵立新, 严伟. 一种具有反射式光学系统的亚波长光刻方法和系统. CN: CN101126904A, 2008-02-20.
[113] 赵立新, 唐小萍, 胡松, 邢薇. 一种位相共轭成像光刻系统. CN: CN101118390A, 2008-02-06.
[114] 张雨东, 王建, 赵立新, 胡松, 董小春, 饶学军, 高洪涛, 戴云. 个性化隐形眼镜定制设备. CN: CN1916768A, 2007-02-21.
[115] 赵立新, 唐小萍, 胡松, 严伟, 邢薇. 具有光电瞄准定位的刀具预调系统. CN: CN1857860A, 2006-11-08.
[116] 赵立新, 王肇志, 胡松, 唐小萍, 严伟, 邢薇. 一种二维扫描精密激光曝光系统. CN: CN1851557A, 2006-10-25.
[117] 唐小萍, 王肇志, 罗正全, 刘业异, 田宏, 余国彬, 赵立新. 飞机发电机加载系统. 中国: CN1553565, 2004-12-08.
[118] 赵立新, 胡松, 王肇志, 陈兴俊. 恒定光源步进扫描实现大面积光刻方法及其光刻装置. 中国: CN1503063, 2004-06-09.
[119] 赵立新, 胡松, 张强. 一种光学焦平面补偿机构. CN: CN2586974Y, 2003-11-19.
[120] 赵立新, 林大键, 胡松, 王肇志. 高质量光学积分器件. CN: CN2461025Y, 2001-11-21.

出版信息

   
发表论文
[1] Deng, Qian, Liu, Junbo, Zhou, Shaolin, Tang, Yan, Zhao, Lixin, Hu, Song, Chen, Yinghong, Luo, X, Ye, T, Xin, T, Hu, S, Hong, M, Gu, M. UV spectrum-integral Talbot lithography for amplitude periodic micro-grating fabrication. 8TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: DESIGN, MANUFACTURING, AND TESTING OF MICRO- AND NANO-OPTICAL DEVICES AND SYSTEMS; AND SMART STRUCTURES AND MATERIALS. 2016, 第 5 作者9685: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8512.
[2] Yao, Jingwei, Zhao, Lixin, Deng, Qian, Hu, Song, Luo, X, Ye, T, Xin, T, Hu, S, Hong, M, Gu, M. High precision locating control system based on VCM for Talbot lithography. 8TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: DESIGN, MANUFACTURING, AND TESTING OF MICRO- AND NANO-OPTICAL DEVICES AND SYSTEMS; AND SMART STRUCTURES AND MATERIALS. 2016, 第 11 作者9685: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8506.
[3] Zhu, Xianchang, Hu, Song, Zhao, Lixin. Wafer focusing measurement of optical lithography system based on Hartmann-Shack wavefront testing. OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING[J]. 2015, 第 3 作者66: 128-131, http://dx.doi.org/10.1016/j.optlaseng.2014.09.001.
[4] Liu Junbo, Hu Song, Gao Hongtao, Zhao Lixin, Zhu Xianchang. Design of a projection objective with high numeric aperture and large view field. 7TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES: DESIGN, MANUFACTURING, AND TESTING OF MICRO- AND NANO-OPTICAL DEVICES AND SYSTEMS. 2014, 第 4 作者9283: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7662.
[5] 蒋薇, 蒲小琼, 陈军, 赵立新, 胡松. 基于人机工程学的光刻机嵌入式控制面板界面设计. 机械设计与制造工程[J]. 2014, 第 4 作者43(1): 35-37, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=48634147.
[6] Zhu, Xianchang, Hu, Song, Zhao, Lixin. Focal length measurement of a microlens-array by grating shearing interferometry. APPLIED OPTICS[J]. 2014, 第 3 作者53(29): 6663-6669, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1108134.
[7] 赵立新. Model and calibrating of a 5-DOF objective. Proc. SPIE. 2014, 第 1 作者
[8] Li, Jinlong, Hu, Song, Zhao, Lixin. Study of the influence of the shape of projection lens focal plane on the focus control of advanced lithography. OPTIK[J]. 2014, 第 3 作者125(22): 6775-6777, http://dx.doi.org/10.1016/j.ijleo.2014.07.089.
[9] Lanlan Li, Song Hu, Lixin Zhao, Ping Ma, Jinlong Li, Lingna Zhong. A new synchronization control method of wafer and reticle stage in step and scan lithographic equipment. OPTIK - INTERNATIONAL JOURNAL FOR LIGHT AND ELECTRON OPTICS. 2013, 第 3 作者124(24): 6861-6865, http://dx.doi.org/10.1016/j.ijleo.2013.07.003.
[10] 赵立新. Iterative Learning Control for Synchronization of Reticle Stage and Wafer Stage in Step-and-Scan Lithgraphic Equipment. Proc.SPIE. 2013, 第 1 作者
[11] 赵立新. Synchronous Control Strategy of Wafer and Reticle Stage of Step and Scan Lithography. Proc.SPIE. 2012, 第 1 作者
[12] Jinlong Li, Lixin Zhao, Song Hu, Shaolin Zhou. Focusing and leveling in dual stage lithographic system. Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering. 2010, 第 2 作者7657: 76571H (7 pp.), http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7637.
[13] Jiang, Wenbo, Hu, Song, Zhao, Lixin, Yan, Wei, Yang, Yong. Design and application of phase photon sieve. OPTIK[J]. 2010, 第 3 作者121(7): 637-640, http://dx.doi.org/10.1016/j.ijleo.2008.10.007.
[14] 李金龙, 赵立新, 胡松, 周绍林. 双工件台光刻机中的调平调焦技术. 微纳电子技术[J]. 2010, 第 2 作者47(8): 494-498, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=34909308.
[15] 蒋文波, 胡松, 赵立新, 杨勇, 严伟, 周绍林, 陈旺富. 基于矢量衍射理论的振幅型光子筛设计与分析. 光学学报[J]. 2010, 第 3 作者428-432, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=32921665.
[16] 赵立新. Tilt-modulated spatial phase imaging method for wafer-mask leveling in proximity lighography. Optics letters. 2010, 第 1 作者
[17] Cheng, Guanxiao, Hu, Chao, Xu, Ping, Xing, Tingwen. Zernike apodized photon sieves for high-resolution phase-contrast x-ray microscopy. OPTICS LETTERS[J]. 2010, 35(21): 3610-3612, http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/3407.
[18] 蒋文波, 胡松, 赵立新, 严伟, 杨勇, 周绍林, 陈旺富. 位相型衍射光学元件设计的混合算法. 光电工程[J]. 2009, 第 3 作者36(5): 47-51, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=30375434.
[19] 赵立新, 严伟, 王建, 胡松, 唐小萍, 王肇志, 王淑蓉, 张正荣, 张雨东. 数字灰度投影光刻技术. 微纳电子技术[J]. 2009, 第 1 作者46(3): 181-185, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29764967.
[20] 严伟, 佟军民, 陈大鹏, 胡松, 赵立新, 杨勇, 蒋文波, 周绍林, 陈旺富. 微悬臂梁阵列成像系统光学特性分析. 四川大学学报[J]. 2009, 第 5 作者46(4): 988-992, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/1108065.
[21] Jiang, Wenbo, Hu, Song, Zhao, Lixin, Yan, Wei, Yang, Yong, Zhou, Shaolin, Chen, Wangfu. Fabrication of Nanoscale Line Width Using the Improved Optical Maskless Lithographic System. JOURNAL OF COMPUTATIONAL AND THEORETICAL NANOSCIENCE[J]. 2009, 第 3 作者6(5): 1170-1174, http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/3283.
[22] 赵立新, 张雨东, 王建, 戴云, 高洪涛, 董小春, 饶学军. 球面投影光刻物镜的设计. 光电工程[J]. 2009, 第 1 作者36(1): 93-97, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29313199.

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 高精度投影光刻物镜结构设计与分析, 主持, 国家级, 2009-01--2016-12
( 2 ) 双工件台原理实验与验证, 主持, 国家级, 2009-01--2016-12

指导学生

已指导学生

李兰兰  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

何渝  博士研究生  080300-光学工程  

邓茜  硕士研究生  085202-光学工程  

程依光  博士研究生  080300-光学工程  

陈楚怡  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

姚靖威  硕士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

张绍宇  硕士研究生  085203-仪器仪表工程  

刘锡  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

刘江辉  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

罗文韬  硕士研究生  080401-精密仪器及机械  

位浩杰  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器