基本信息

张志宇  男  研究员  博士生导师  

中科院长春光机所
电子邮件: zhangzhiyu@ciomp.ac.cn
通信地址: 长春市东南湖大路3888号
邮政编码: Tel:13514498767                  

光学系统先进制造技术重点试验室

研究领域

  • (1)计算全息检具(CGH)制造
    • 无掩膜激光直写

    • 扫描离子束/反应离子刻蚀

    •                     


  • (2)光学元件高效率制造

    • 超精密切削

    • 表面缺陷的激光光整与激光修复

                     

招生信息

招生专业
080201-机械制造及其自动化
080300-光学工程
招生方向
超精密与微纳加工
计算全息检测原理与技术
激光加工系统与缺陷修复机理

教育背景

2007-10--2010-09   日本东北大学   博士
2004-09--2007-01   吉林大学   硕士
2000-09--2004-07   吉林大学   本科

工作经历

   
工作简历
2020-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 研究员
2013-09~2020-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2011-12~2013-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员
2007-06~2007-09,日本东北大学, 研究支援者
社会兼职
2020-05-31-今,中国光学工程学会青年专家委员会, 委员
2020-05-25-2025-05-25,全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会, 委员

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 指导的学生安君儒获得2022年度中科院院长奖学金, 一等奖, 部委级, 2022
(2) 长春光机所优秀成果奖, 特等奖, 研究所(学校), 2022
(3) 指导的学生任英明获得2021年博士研究生国家奖学金, , 国家级, 2021
(4) 大口径SiC非球面高精度制造技术, 一等奖, 省级, 2018
专利成果
[1] 王孝坤, 蔡梦雪, 张学军, 胡海翔, 李凌众, 张志宇. 球面测试板及其制作方法以及干涉仪传递函数的标定方法. CN: CN116586640A, 2023-08-15.

[2] 王孝坤, 蔡梦雪, 胡海翔, 张志宇, 李凌众, 张学军. 基于仪器传递函数的光学元件拼接检测方法. CN: CN116577931A, 2023-08-11.

[3] 魏鸿达, 白莹莹, 张志宇. 一种非球面补偿元件的加工方法及非球面补偿元件. CN: CN114326297A, 2022-04-12.

[4] 张志宇, 任英明, 魏鸿达, 邓伟杰. 一种基于单点金刚石车削表面的电化学抛光方法和应用. CN: CN114378532A, 2022-04-22.

[5] 张志宇, 刘琛, 魏鸿达, 邓伟杰. 一种磁射流抛光装置. CN: CN114248204A, 2022-03-29.

[6] 张志宇, 刘琛, 魏鸿达, 邓伟杰. 一种基于增材制造技术的轻量化反射镜结构. CN: CN114252944A, 2022-03-29.

[7] 胡海翔, 张学军, 徐凯, 张志宇, 薛栋林. 等效元件、等效元件的制备方法、检测精度校验方法. CN: CN114076573A, 2022-02-22.

[8] 胡海翔, 张学军, 张志宇, 薛栋林, 张鑫. 一种衍射元件加工及精度补偿方法. CN: CN113848603A, 2021-12-28.

[9] 吕深圳, 邓伟杰, 胡海翔, 陶小平, 张志宇, 张斯特, 徐萌萌, 魏鸿达, 张学军. 一种基于极线几何的三维测量方法及系统. CN: CN113686264A, 2021-11-23.

[10] 白杨, 张志宇, 罗霄, 王孝坤, 张学军. 金属材料的抛光液、抛光磨盘及抛光方法. CN: CN113528027A, 2021-10-22.

[11] 魏鸿达, 邓伟杰, 胡海翔, 陶小平, 王若秋, 徐萌萌, 张志宇. 一种光学元件的增材制造方法及光学元件. CN: CN115073144A, 2022-09-20.

[12] 曾雪锋, 陈天宝, 张学军, 白莹莹, 张志宇, 张峰. 基于超透镜阵列与光子集成芯片干涉成像方法及成像系统. CN: CN112925050A, 2021-06-08.

[13] 曾雪锋, 陈天宝, 张学军, 白莹莹, 张志宇. 一种干涉平板成像方法及其系统. CN: CN112924026A, 2021-06-08.

[14] 曾雪锋, 陈天宝, 张学军, 白莹莹, 张峰, 张志宇. 一种基于微透镜阵列与光子集成芯片干涉成像方法及系统. CN: CN113433688A, 2021-09-24.

[15] 曾雪锋, 陈天宝, 张学军, 白莹莹, 张峰, 张志宇. 基于微透镜阵列与光子集成芯片干涉成像方法及系统. CN: CN112924027A, 2021-06-08.

[16] 曾雪锋, 陈天宝, 张学军, 白莹莹, 张峰, 张志宇. 多孔径干涉成像方法. CN: CN112284288A, 2021-01-29.

[17] 王若秋, 白莹莹, 张志宇, 王旭, 陈天宝, 薛栋林, 张学军. 一种高线密度CGH制作精度的测量方法及系统. CN: CN113553735A, 2021-10-26.

[18] 王若秋, 尹小林, 张志宇, 李兴昶, 薛栋林, 张学军. 一种基于衍射原理的平行光管结构及设计方法. CN: CN110954979B, 2021-04-13.

[19] 张斌智, 王若秋, 尹小林, 张志宇, 薛栋林, 张学军. 一种衍射元件衍射效率的测量装置及测量方法. CN: CN111060292B, 2021-05-14.

[20] 王若秋, 张志宇, 尹小林, 薛栋林, 张学军. 一种振幅/位相混合型计算全息板及其制备方法. CN: CN111103758B, 2022-01-28.

[21] 张志宇, 王若秋, 薛栋林, 张学军. 一种辊筒表面微结构制作设备、系统及方法. CN: CN110919172B, 2021-04-02.

[22] 张志宇, 王凤, 王若秋, 薛栋林, 张学军, 张峰. 一种激光分束器分束角度测量方法、装置、设备及系统. CN: CN110864647A, 2020-03-06.

[23] 张志宇, 王凤, 王若秋, 薛栋林, 张学军, 张峰. 一种光学系统畸变测量方法及设备. CN: CN110879136A, 2020-03-13.

[24] 王东方, 夏操, 杜旭, 郑果文, 万胜来, 冯昊楠, 滕浩, 安临君, 杨旭, 刘欣, 殷志富, 王昕, 张志宇. 一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器. CN: CN208818603U, 2019-05-03.

[25] 陶小平, 张学军, 张志宇. 一种反射镜面形的在线检测方法. CN: CN108286950A, 2018-07-17.

[26] 张志宇, 李兴昶, 熊玲, 罗霄, 李锐钢, 薛栋林, 张学军. 一种工件面形测量系统及方法. CN: CN108037730A, 2018-05-15.

[27] 张志宇, 李兴昶, 王若秋, 薛栋林, 张学军. 基于微织构刀具的切削装置、方法及刀具加工方法. CN: CN108044138A, 2018-05-18.

[28] 张志宇, 李兴昶, 王若秋, 薛栋林, 张学军. 基于微织构刀具的切削装置及方法. CN: CN108044138B, 2019-05-14.

[29] 王若秋, 国成立, 张志宇, 薛栋林, 张学军. 一种变台阶衍射元件及其制备方法. CN: CN107976732A, 2018-05-01.

[30] 张学军, 张志宇, 薛栋林, 王孝坤. 一种半导体器件及其制作方法. CN: CN106707715A, 2017-05-24.

[31] 姚鹏, 牛佳慧, 黄传真, 张志宇, 薛栋林, 朱洪涛, 王冲. 反应烧结碳化硅表面残留物的磨料水射流选择性去除方法. CN: CN106625282A, 2017-05-10.

[32] 张学军, 李英杰, 薛栋林, 张志宇, 殷龙海. 基于刀具磨损补偿的迭代式超大口径反射镜铣磨加工方法. CN: CN106271966A, 2017-01-04.

[33] 张学军, 张志宇, 薛栋林, 王孝坤, 程强. 一种半导体器件及其制作方法. CN: CN107665807B, 2020-02-11.

[34] 张志宇, 薛栋林, 张学军, 郑立功, 张峰. 一种提高大口径菲涅耳波带片衍射效率的方法. CN: CN106842396A, 2017-06-13.

[35] 张志宇, 郑立功. 离轴非球面反射镜的砂轮原位自动整形铣磨加工方法. CN: CN103737451A, 2014-04-23.

[36] 张志宇, 郑立功. 大口径离轴非球面反射镜的五轴精密超声铣磨加工方法. CN: CN103056731A, 2013-04-24.

[37] 张志宇, 郑立功. 铣磨加工前离轴非球面反射镜镜面CAD模型的建立方法. CN: CN103034767A, 2013-04-10.

出版信息

发表论文
(1) High precision polishing of aluminum alloy mirrors through a combination of magnetorheological finishing and chemical mechanical polishing, Optics Express, 2024, 第 2 作者
(2) On the surface characteristics and removability of RB-SiC composite processed by nanosecond pulsed laser, Composites Part A: Applied Science and Manufacturing, 2024, 第 4 作者
(3) Accuracy verification methodology for computer-generated hologram used for testing a 3.5-meter mirror based on an equivalent element, Light: Advanced Manufacturing, 2024, 通讯作者
(4) Fabrication and functional characteristics of micro/nano structures on the RB-SiC surface through nanosecond pulsed laser irradiation, Ceramics International, 2023, 第 4 作者
(5) Elimination of surface/subsurface defects on additively manufactured AlSi10Mg mirrors through nano-second laser irradiation, Optics Express, 2023, 第 2 作者
(6) Patterned laser ablation of microgrooves with controllable cross-sections, Advanced Materials Technologies, 2023, 通讯作者
(7) 高陡度镜面干涉检测的仪器传递函数标定(特邀), 红外与激光工程, 2023, 第 3 作者
(8) Nitrogen assisted formation of large-area ripples on Ti6Al4V surface by nanosecond pulse laser irradiation, PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY, 2022, 第 4 作者
(9) 双步激光辐射提升纳秒激光抛光单晶硅的表面, Surface of Nanosecond Laser Polished Single-Crystal Silicon Improved by Two-Step Laser Irradiation, 光学学报, 2022, 第 2 作者
(10) Microstructures and mechanical properties of Zr-based metallic glass ablated by nanosecond pulsed laser in various gas atmospheres, JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2022, 第 3 作者
(11) Influence of Wax Lubrication on Cutting Performance of Single-Crystal Silicon in Ultraprecision Microgrooving, INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING-GREEN TECHNOLOGY, 2021, 第 3 作者
(12) Scanning ion beam etching: A method for the fabrication of computer-generated hologram with nanometric accuracy for aspherical testing, OPTICSANDLASERSINENGINEERING, 2021, 通讯作者
(13) Perspectives of 2D materials for optoelectronic integration, Advanced Functional materials, 2021, 第 1 作者
(14) Influences of initial surface conditions on response characteristics of amorphous silicon films to nanosecond laser irradiation, MICROMACHINES, 2021, 通讯作者
(15) Imperfections of Scalar Approximation in Calibration of Computer-Generated Holograms for Optical Surface Measurements, APPLIED SCIENCES, 2021, 第 2 作者
(16) REM: A simplified revised entropy image reconstruction for photonics integrated interference imaging system, OPTICS COMMUNICATIONS, 2021, 第 3 作者
(17) On the transformation between micro-concave and micro-convex in nanosecond laser ablation of a Zr-based metallic glass, JOURNAL OF MANUFACTURING PROCESSES, 2021, 第 3 作者
(18) Friction and cutting characteristics of micro-textured diamond tools fabricated with femtosecond laser, TRIBOLOGY INTERNATIONAL, 2021, 通讯作者
(19) Formation mechanism of nanosecond-laser-induced microstructures on amorphous silicon film surfaces, OPTICS EXPRESS, 2021, 通讯作者
(20) Sparse-aperture photonics-integrated interferometer (spin) imaging system: Structural design and imaging quality analysis, OPTICS EXPRESS, 2021, 第 4 作者
(21) One-step fabrication of regular hierarchical micro/nano-structures on glassy carbon by nanosecond pulsed laser irradiation, JOURNAL OF MANUFACTURING PROCESSES, 2021, 第 4 作者
(22) Comprehensive study of the rapid stressed mirror polishing method for off-axis aspheric SiC thin-plate mirrors, OPTICS EXPRESS, 2020, 
(23) Equivalent thin-plate method for stressed mirror polishing of an off-axis aspheric silicon carbide lightweight mirror, OPTICS EXPRESS, 2020, 第 4 作者
(24) Distribution model of the surface roughness in magnetorheological jet polishing, APPLIED OPTICS, 2020, 第 4 作者
(25) High-speed femtosecond laser plasmonic lithography and reduction of graphene oxide for anisotropic photoresponse, LIGHT-SCIENCE & APPLICATIONS, 2020, 第 8 作者
(26) Manufacturing technologies toward extreme precision, Manufacturing technologies toward extreme precision, INTERNATIONAL JOURNAL OF EXTREME MANUFACTURING, 2019, 第 1 作者
(27) Investigation and modeling of microgrooves generated on diamond grinding wheel by abrasive waterjet based on BoxBehnken experimental design, INTERNATIONAL JOURNAL OF ADVANCED MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2019, 第 7 作者
(28) Distortion measurement of optical system using phase diffractive beam splitter, OPTICS EXPRESS, 2019, 通讯作者
(29) Noncontact on-machine measurement system based on capacitive displacement sensors for single-point diamond turning, OPTICALENGINEERING, 2018, 通讯作者
(30) Spatiotemporal Summation and Recognition Effects for a Dual-Emitter Light-Induced Neuromorphic Device, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2018, 第 8 作者
(31) High-performance etching of multilevel phase-type Fresnel zone plates with large apertures, OPTICS COMMUNICATIONS, 2018, 通讯作者
(32) Fabrication of a high-accuracy phase-type computer-generated hologram by physical vapor deposition, APPLIED OPTICS, 2018, 通讯作者
(33) Ultra-precision fabrication of a nickel-phosphorus layer on aluminum substrate by SPDT and MRF, APPLIED OPTICS, 2018, 第 2 作者
(34) Mapping distortion correction in freeform mirror testing by computer-generated hologram, APPLIED OPTICS, 2018, 第 4 作者
(35) A novel technique for dressing metal-bonded diamond grinding wheel with abrasive waterjet and touch truing, INTERNATIONAL JOURNAL OF ADVANCED MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2017, 通讯作者
(36) 用于空间望远镜的大口径高衍射效率薄膜菲涅尔衍射元件, Large-diameter high-efficiency diffractive Fresnel membrane elements for space telescope, 红外与激光工程, 2017, 第 2 作者
(37) On-Chip Integration Operating Under the Extraordinary Light Detection Mode of an InGaN/GaN Diode, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2017, 通讯作者
(38) Swing arm profilometer: high accuracy testing for large reaction-bonded silicon carbide optics with a capacitive probe, OPTICAL ENGINEERING, 2017, 第 4 作者
(39) GaN directional couplers for on-chip optical interconnect, SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2017, 第 7 作者
(40) Hybrid-level Fresnel zone plate for diffraction efficiency enhancement, OPTICS EXPRESS, 2017, 通讯作者
(41) Saturation Behavior for a Comb-Like Light-Induced Synaptic Transistor, IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2017, 第 7 作者
(42) 高衍射效率衍射望远镜系统的设计/加工及成像性能测试, 光子学报, 2017, 第 2 作者
(43) High-performance grinding of a 2-m scale silicon carbide mirror blank for the space-based telescope, INTERNATIONAL JOURNAL OF ADVANCED MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2017, 通讯作者
(44) Effects of fabrication errors on diffraction efficiency for a diffractive membrane, CHINESE OPTICS LETTERS, 2016, 通讯作者
(45) 激光直写机床导轨正交性误差影响下计算全息图位相分析, 光学学报, 2016, 第 1 作者
(46) 激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析, 光学学报, 2016, 第 3 作者
(47) Light Induced Synaptic Transistor With Dual Operation Modes, IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2016, 第 6 作者
(48) 大口径SiC离轴非球面的高效磨削加工, Fast grinding of large SiC off-axis aspheric surface, 光学精密工程, 2015, 第 5 作者
(49) Grinding strategies for machining the off-axis aspherical reaction-bonded SiC mirror blank, CHINESE OPTICS LETTERS, 2014, 通讯作者
(50) 用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作, Fabrication of High Precision Computer Generated Hologram for Aspheric Surface Testing by Laser-Direct Writing, 激光与光电子学进展, 2014, 第 2 作者
(51) Micro-cutting characteristics of EDM fabricated high-precision polycrystalline diamond tools, INTERNATIONAL JOURNAL OF MACHINE TOOLS & MANUFACTURE, 2013, 第 1 作者
(52) Micro-cutting characteristics of EDM fabricated high-precision polycrystalline diamond tools, INTERNATIONAL JOURNAL OF MACHINE TOOLS AND MANUFACTURE, 2013, 第 1 作者
(53) 离轴非球面SiC反射镜的精密铣磨加工技术, Precision Grinding Technology for the Off-axis Aspherical Silicon Carbide Mirror Blank, 机械工程学报, 2013, 
(54) Study on tool wear characteristics in diamond turning of reaction-bonded silicon carbide, INTERNATIONAL JOURNAL OF ADVANCED MANUFACTURING TECHNOLOGY, 2011, 第 1 作者
(55) Mechanism for material removal in diamond turning of reaction-bonded silicon carbide, INTERNATIONAL JOURNAL OF MACHINE TOOLS & MANUFACTURE, 2009, 第 2 作者
(56) 基于机器视觉的宏/微双驱动与控制系统的研究, Research of Macro/Micro Dual -Drive and Control System Based on Machine Vision, 微特电机, 2008, 第 2 作者
(57) 流量最佳频率为50 Hz的压电泵特性, Characteristics of piezoelectric pump with optimal for flow rate frequency 50 Hz, 吉林大学学报:工学版, 2008, 第 2 作者
(58) 尺蠖型压电驱动器的闭环控制, Close-loop control of inchworm-type piezoelectric actuator, 光学精密工程, 2008, 第 4 作者
(59) 电流变技术的发展与应用, Development and Application of Electrorheological Technology, 机床与液压, 2007, 第 1 作者
(60) 压电微位移精密驱动器的设计研究, The Design Research on the Piezoelectric Actuators for Precision Micro-Displacement, 机械工程师, 2007, 第 2 作者
发表著作
(1) Microfabrication by Laser Lithography Combined with Ion Etching, Springer, 2018-02, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 基于砂轮原位自动修整的大型SiC离轴非球面精密铣磨研究, 负责人, 国家任务, 2014-01--2016-12
( 2 ) 面向高附加值光电产品的气体团簇抛光机理与技术研究, 负责人, 地方任务, 2015-01--2017-12
( 3 ) 聚酰亚胺薄膜超湿滑刀具时变切削的减摩抗粘机理与技术研究, 负责人, 国家任务, 2018-02--2021-12
( 4 ) 超大口径光学元件超声磨抛加工技术及装备, 负责人, 国家任务, 2018-01--2020-12
( 5 ) 宽波段平面超表面太阳能聚光器及其集热系统, 负责人, 国家任务, 2020-07--2025-06
( 6 ) 基于微纳结构的超高集成XXXX关键技术研究, 负责人, 国家任务, 2021-01--2024-12
( 7 ) 3D打印超轻量化大口径金属反射镜XXXX研究, 负责人, 中国科学院计划, 2022-01--2024-12
( 8 ) 铝合金多尺度结构与应力系统调控精准制造, 负责人, 国家任务, 2024-01--2026-12

合作情况

   
项目协作单位
吉林大学:国家自然科学基金委面上项目

指导学生

已指导学生

国成立  博士研究生  080300-光学工程  

王凤  博士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

张海东  博士研究生  070207-光学  

任英明  博士研究生  080201-机械制造及其自动化  

安君儒  博士研究生  080201-机械制造及其自动化  

刘琛  博士研究生  080201-机械制造及其自动化  

徐凯  硕士研究生  080201-机械制造及其自动化