
张宇 女 中国科学院微电子研究所
电子邮件: zhangyu2022@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:100029
研究领域
混合键合三维集成封装, 先进封装材料
招生信息
微电子学与固体电子学
教育背景
工作经历
2020-06~2022-07,清华大学, 博士后/助理研究员
专利与奖励
( 1 ) 混合键合方法和半导体器件, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: 202410271611.3
( 2 ) 一种适用于混合键合中芯片表面颗粒控制的方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: 202410273691.6
( 3 ) 一种适用于芯片到晶圆混合键合激活的颗粒控制方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: 202410163056.2
( 4 ) 一种适用于等离子体激活中抑制芯片表面颗粒的方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: 202410273690.1
( 5 ) 一种 D2W 混合键合芯片贴装方法, 发明专利, 2024, 第 1 作者, 专利号: 202410123268.8
出版信息
(1) The High-Adhesion Die-Cleaning Tape with Dual-Functional Groups for Die to Wafer (D2W) Hybrid Bonding, ACS Appl. Electron. Mater., 2024, 通讯作者
(2) Research progress of hybrid bonding technology for three-dimensional integration, Microelectronics Reliability, 2024, 通讯作者
(3) Collaborative Assembly of a Fluorine-Enriched Heterostructured Solid Electrolyte Interphase for Ultralong-Life Lithium Metal Batteries, ACS Appl. Mater. Interfaces, 2022, 第 1 作者
(4) 3D cubic framework of fluoride perovskite SEI inducing uniform lithium deposition for air-stable and dendrite-free lithium metal anodes, Chemical Engineering Journal, 2022, 第 1 作者
科研活动
( 2 ) 面向图像传感器的晶圆级混合键合技术研究, 负责人, 国家任务, 2022-11--2026-10