基本信息
张永奎  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: zhangyongkui@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029

研究领域

集成电路制造技术,先进CMOS器件,垂直沟道环栅器件(V-GAA),垂直沟道CFET

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
招生方向
先进CMOS器件
集成电路先导工艺技术
垂直沟道晶体管

教育背景

2001-10--2004-03   北京科技大学   硕士
1993-09--1997-07   曲阜师范大学   学士

工作经历

   
工作简历
2012-08~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师
2004-04~2012-08,中芯国际集成电路(北京)有限公司, 资深工程师
1997-08~2001-09,山东省新汶矿业集团公司第一中学, 教师

专利与奖励




奖励信息
(1) 全国颠覆性技术创新大赛, 一等奖, 部委级, 2022
专利成果
( 1 ) 一种半导体器件的制备方法及半导体器件, 发明专利, 2021, 第 10 作者, 专利号: CN113178488A

( 2 ) 一种半导体器件及其制造方法、集成电路、电子设备, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN112652664A

( 3 ) 具有交错结构的半导体装置及其制造方法及电子设备, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111584486A

( 4 ) 一种刻蚀装置及刻蚀方法, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110581095A

( 5 ) 冷源结构MOS晶体管及其制作方法, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109920842A

( 6 ) 半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109888001A

( 7 ) 半导体器件及其制造方法及包括其的电子设备, 专利授权, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN109473429B

( 8 ) 半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109449121A

( 9 ) 半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109449206A

( 10 ) 一种高精度的刻蚀方法, 发明专利, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN110867373A

( 11 ) 半导体器件及其制作方法, 发明专利, 2017, 第 8 作者, 专利号: CN107068769A

( 12 ) 半导体器件及其制作方法, 专利授权, 2020, 第 8 作者, 专利号: CN107068769B

( 13 ) 一种垂直纳米线MOSFET及其制造方法, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN106711227B

( 14 ) Semiconductor device and method for manufacturing the same, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: US9431504(B2)

( 15 ) 一种形成小间距鳍体的方法, 发明专利, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106601610A

( 16 ) 鳍式场效应晶体管的制造方法, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN105513968B

( 17 ) 半导体器件及其制造方法, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN105489652B

( 18 ) 控制鳍式场效应晶体管器件鳍片尺寸的方法, 发明专利, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN105374682B

( 19 ) 半导体设置及其制造方法, 发明专利, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN104716171B

( 20 ) 一种后栅工艺中ILD层的处理方法, 发明专利, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN104637797A

( 21 ) 半导体器件及其制造方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104112666A

( 22 ) semiconductor Device and method for manufacturing the same, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: US9431504

出版信息

​[1]. Q. Zhang & Y. Zhanget al., National Science Review 11:nwae008

[2]. Y. Zhanget al., IEEE Transactions on Electron Devices, vol. 68, 2021

[3]. Y. Zhanget al., ECS J. Solid State Sci. Technol. 12 074009, 2023

[4]. Lu Xie, Y. Zhang*, et al., ACS Nano, 2023

[5]. Chen Li, Y. Zhang*, et al., Nano Letters 2021 21 (11)

[6]. W. Huang, Y. Zhang* et al., IEEE Electron Device Letters, vol. 43, 2022

[7]. Y. Liu, Y. Zhang*, et al 2022 J. Semicond. 43 014101

[8]. Z. Zhao, Y. Zhang*, et al 2019 Semicond. Sci. Technol. 34 125008

[9]. X. YinY. Zhang, et al., IEEE Electron Device Letters, vol. 41, 2020


科研活动

   
科研项目
( 1 ) 新型纳米线晶体管及应用研究(二期), 参与, 中国科学院计划, 2020-05--2022-04
( 2 ) 14纳米FinFET工艺技术研发, 参与, 境内委托项目, 2017-03--2021-12
( 3 ) 3-1纳米集成电路先导工艺预研, 参与, 中国科学院计划, 2019-08--2022-12
( 4 ) 水平堆叠环栅器件研制与新型沟道原型器件研究, 参与, 地方任务, 2019-07--2021-06
( 5 ) 垂直围栅纳米晶体管DRAM存储器器件与工艺研发, 参与, 地方任务, 2021-04--2023-12
( 6 ) 高性能VCT驱动晶体管的集成工艺研究, 负责人, 其他, 2023-01--2025-12
( 7 ) 高性能SRAM存储单元研制和验证:关键工艺模块技术研发, 负责人, 中国科学院计划, 2022-11--2025-10
( 8 ) GAA晶体管核心工艺技术, 参与, 中国科学院计划, 2022-01--2024-12