基本信息
喻波  男    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件: yubo@ciomp.ac.cn
通信地址: 长春市东南湖大路3888号
邮政编码:

研究领域

极紫外/软x射线多层膜,极紫外光学

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
招生方向
极紫外/软X射线多层膜
极紫外光学

教育背景

2012-09--2016-06   中国科学院大学大珩学院   博士/研究生
2007-07--2009-07   哈尔滨工业大学   硕士/研究生
2003-08--2007-07   哈尔滨工业大学   学士/本科

工作经历

   
工作简历
2017-09~现在, 长春光机所, 副研究员
2011-09~2017-09,长春光机所, 助理研究员
2009-07~2011-09,长春光机所, 研究实习员

出版信息

   
发表论文
(1) Mo/Si multilayers sputtered onto inclined substrates: experiments and simulations, Optics Express, 2020, 第 2 作者
(2) Modeling multilayer coating profiles with defects on EUV collector with grating, Optical Engineering, 2019, 第 3 作者
(3) Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for extreme ultraviolet lithography by magnetron sputtering deposition with bias assistance, Applied Optics, 2017, 第 1 作者
(4) Control of lateral thickness gradients of Mo–Si multilayer on curved substrates using genetic algorithm, Optics Letters, 2015, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 中国科学院青年创新促进会-喻波, 主持, 部委级, 2021-01--2024-12
( 2 ) 极紫外光刻机核心子系统关键技术攻关与验证, 参与, 国家级, 2018-01--2021-12