严伟，研究员，男，光电所环境光学研究室负责人，中科院特聘研究员，国家技术预测专家组、科技部信息光子技术重点专项专家。围绕国家高技术装备发展需求，主要从事光学微纳加工和精密测量技术研究与装备研发。

先后入选2023年中国科学院区域发展青年学者、2022年中科院特聘研究员、2022年江苏省333高层次人才，2018年四川省学术和技术带头人后备人选、2017（2020、2024）年中科院关键技术研发团队、2016年微电子装备四川省青年科技创新研究团队、2015年四川省杰青等人才培养计划、2009 年获“中科院光电所青年创新科技人才”、2010年入选中科院“西部之光联合学者”、2011年入选“中科院青年创新促进会”。

2000~2019期间，作为总师和副总师完成国家科技重大专项、仪器专项各1项；主持国家863、自然科学基金、院重大装备、省团队等项目；研发光刻机、芯片检测设备、精密工件台获欧盟认证，IOS9002质量体系认证，获得中国半导体创新产品奖、四川省科技进步二等奖；累计销售900余台套。

2020年至今，开拓了光电所多尺度激光干涉测量技术和仪器研究方向，承担了科技部XX3攻关专项、中国科学院战略性先导C项目、ZF XX8工程、JKW应用推进项目、中国科学院关键技术团队、中国科学院重大装备研制等攻关任务，成功研制了影像仪、高精度面型测量干涉仪、全息显微镜等系列高端光学检测仪器。

先后担任所学位委员会、学术委员会委员，省光学、科青联常务理事，成都经信局、重庆经信局委等学术职务，累计在SMALL、Advanced Materials Technologies、Opt.Express等国际期刊发表SCI论文63篇（总影响因子:218.36），专利63项（授权34项）。

本专业主要研究光(电磁波)的行为和性质，以及光与物质、微纳结构的相互作用的物理学科及其应用，主要涉及超分辨成像、干涉测量、相位恢复等。

080402-测试计量技术及仪器

精密运动控制,高精度相位提取算法,多波长干涉研究

2020-03 至 今      中国科学院光电技术研究所          研究员（环境光学研究院负责人）

2014-12 至 2020-03      中国科学院光电技术研究所            研究员（研究室主任助理）

2009-12 至 2014-11      中国科学院光电技术研究所            副研究员

2004-12 至 2009-11      中国科学院光电技术研究所            助理研究员

一直从事微纳加工与精密检测技术领域的研究工作，2009年获中科院光电所青年创新科技人才，2010年入选西部之光联合学者， 2011年入选中科院青年创新促进会，2014年被评为四川省杰青，2014年被评为中科院光电技术研究所先进工作者、创新标兵，2015年入选为国家科技专家库专家/四川省科技专家库专家/四川省国防科工办专家，2016年被评为中科院光电技术研究所优秀共产党员，2016年授予四川省省直机关共产党员示范岗，2016年入选微电子装备四川省青年科技创新研究团队（团队负责人）。2017年入选“中国科学院微纳加工技术及装备研究团队”，2018年入选四川省学术技术带头人后备人选，2022年入选江苏省333高层次人才计划，2023年入选中科院区域发展青年学者。获中国半导体行业协会半导体创新产品和技术奖1项，四川省科技进步二等、三等奖各1项。

（ 1 ） 用于非球面计算全息检测的计算机辅助调整装置及方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114252023A

（ 2 ） 一种基于CCD成像检焦对准的微结构加工方法和装置, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113391527A

（ 3 ） 一种基于径向偏振光的长焦生纳米光管产生方法, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111308724A

（ 4 ） 一种基于角向偏振光的纳米光针的产生方法, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN110955054A

（ 5 ） 一种可实现长焦深小焦斑结构的高效率激光直写光刻方法, 专利授权, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN110837215B

（ 6 ） 一种高分辨率长焦深纳米光针的产生系统, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110716304A

（ 7 ） 一种集成偏振光栅制备系统及方法, 专利授权, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN108227063A

（ 8 ） 一种激光双光束干涉光刻系统, 发明专利, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN107643656A

（ 9 ） 一种单筒光场显微镜, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107219620A

（ 10 ） 一种三点构面定轴的旋转角度测量方法, 专利授权, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107192368A

（ 11 ） 一种数字同轴全息显微三维工件台控制系统, 专利授权, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106681376A

（ 12 ） 一种数字同轴全息显微控制系统, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN106791464A

（ 13 ） 一种基于空心杯电机的数字舵机, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN106533278A

（ 14 ） 一种集成式蛋白芯片扫描仪, 发明专利, 2016, 第 5 作者, 专利号: CN106248578A

（ 15 ） 纳米芯片扫描仪, 外观设计, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN304158189S

（ 16 ） 一种具有转酯活性的脂肪酶Lip-1及其编码基因与应用, 专利授权, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105400752A

（ 17 ） 一种高精度调焦调平测量系统, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105242501A

（ 18 ） 一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛, 发明专利, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104199135A

（ 19 ） 一种长焦深光子筛, 发明专利, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN104199136A

（ 20 ） 一种将矢量图形转化成位图并进行自适应分割的方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104240245A

（ 21 ） 一种基于光束波前调制的同轴检焦装置, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103913961A

（ 22 ） 一种光刻式的3D打印机, 发明专利, 2014, 第 6 作者, 专利号: CN103631097A

（ 23 ） 一种通用多通道数据采集系统, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103336667A

（ 24 ） 一种基于Agent的分布式智能光刻设备, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103365266A

（ 25 ） 一种基于B样条的硅片表面形貌重构的方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103295203A

（ 26 ） 一种基于自适应技术的二维平面采样方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103310447A

（ 27 ） 一种基于双光栅莫尔条纹的检焦装置, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103217873A

（ 28 ） 一种用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103226293A

（ 29 ） 一种用于高精度数据采集系统的数据校正方法, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103236825A

（ 30 ） 一种叶丝宽度快速测量装置, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103206922A

（ 31 ） 一种用于光刻机的嵌入式控制设备及控制方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103092114A

（ 32 ） 叶丝测量仪, 外观设计, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN302402412S

（ 33 ） 一种基于图像处理的烟丝宽度测量方法, 发明专利, 2012, 第 8 作者, 专利号: CN102679883A

（ 34 ） 一种压电陶瓷定位的复合控制方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102621889A

（ 35 ） 光子筛直写光刻机操作控制柜, 外观设计, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN302030772S

（ 36 ） 一种工件台密珠轴承二维运动装置, 实用新型, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN202331009U

（ 37 ） 一种控制和解析PI微动台的装置, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102385326A

（ 38 ） 一种用于检焦系统中的光线倾角调节机构, 实用新型, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN202256839U

（ 39 ） 一种光闸莫尔条纹焦面检测方法, 发明专利, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN102231046A

（ 40 ） 一种投影光刻调焦的图像处理方法, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102193340A

（ 41 ） 基于双相锁相放大原理的检焦装置的检焦方法, 发明专利, 2011, 第 4 作者, 专利号: CN102279530A

（ 42 ） 一种交织型光子筛, 发明专利, 2011, 第 4 作者, 专利号: CN102053294A

（ 43 ） 一种复合型光子筛, 发明专利, 2011, 第 4 作者, 专利号: CN102053295A

（ 44 ） 一种基于边缘检测的生物芯片样点识别方法, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102073876A

（ 45 ） 一种可变矩形窗调节机构, 发明专利, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN102096333A

（ 46 ） 一种双变密度盘的可变衰减器, 发明专利, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN102096189A

（ 47 ） 一种用于光刻设备中的光束稳定装置, 发明专利, 2011, 第 4 作者, 专利号: CN102103329A

（ 48 ） 一种可调光束能量衰减装置, 发明专利, 2011, 第 3 作者, 专利号: CN102063021A

（ 49 ） 一种适用于投影光刻系统的检焦系统及检焦方法, 发明专利, 2010, 第 3 作者, 专利号: CN101916040A

（ 50 ） 一种位相型光子筛, 发明专利, 2010, 第 7 作者, 专利号: CN101694532A

（ 51 ） 一种投影光刻中的同轴对准系统, 发明专利, 2010, 第 6 作者, 专利号: CN101639630A

（ 52 ） 基于光子筛的激光直写光刻系统, 发明专利, 2009, 第 6 作者, 专利号: CN101561637A

（ 53 ） 一种自成像双面套刻对准方法, 发明专利, 2009, 第 5 作者, 专利号: CN101551597A

（ 54 ） 基于数字微镜阵列的步进式无掩模数字曝光装置, 发明专利, 2008, 第 1 作者, 专利号: CN101320222A

（ 55 ） 一种逆向照明接近接触纳米光刻装置, 发明专利, 2008, 第 8 作者, 专利号: CN101216683A

（ 56 ） 一种具有反射式光学系统的亚波长光刻方法和系统, 发明专利, 2008, 第 8 作者, 专利号: CN101126904A

（ 57 ） 亚纳米级双频激光干涉仪信号细分系统, 发明专利, 2007, 第 6 作者, 专利号: CN101050941A

（ 58 ） 高精度双频激光干涉仪信号细分系统, 发明专利, 2007, 第 6 作者, 专利号: CN101050940A

（ 59 ） 具有光电瞄准定位的刀具预调系统, 发明专利, 2006, 第 4 作者, 专利号: CN1857860A

（ 60 ） 一种二维扫描精密激光曝光系统, 发明专利, 2006, 第 5 作者, 专利号: CN1851557A

（ 61 ） 热循环控制聚合酶链式反应生物检测系统, 发明专利, 2006, 第 4 作者, 专利号: CN1800411A

1) Aqueous Phase Exfoliating Quasi-2D CsPbBr3 Nanosheets with Ultrahigh Intrinsic Water Stability Xie, Meilin; Liu, Huan; Chun, Fengjun; Deng, Wen; Luo, Chao; Zhu, Zhihao; Yang, Min; Li, Yongmei; Li, Wen*; Yan, Wei*; Yang, Weiqing* Small, 2019, 15(34): 0-1901994.  SCIE. (Impact Factor:13.0) (共同通讯)

2) Cheng, W., Yan, W*. & Miao, P*. TNF-α responsive DNA star trigon formation from four hairpin probes and the analytical application. Sci. China Chem. 60, 405–409 (2017). (Impact Factor:10.4) (通讯)

3) S. Wang, J. Zhang, P. Tian, F. Yang, S. Yu, J. Wang, W. Yan*, F. Li*, Laser Superdiffraction Optical Needle Direct Writing Lithography Method for Single-Exposure Fabrication of High-Aspect-Ratio Microstructures. Adv. Mater. Technol. 2023, 8, 2201454. (Impact Factor:6.4) (通讯)

4) W. Cheng, J. Xu, Z. Guo, D. Yang, X. Chen, W. Yan* and P. Miao*, Hydrothermal synthesis of N,S co-doped carbon nanodots for highly selective detection of living cancer cells. J. Mater. Chem. B, 2018, 6, 5775. (Impact Factor:6.1) (通讯)

5) Z Tian, S Yu, Q Chen, F Yang, J Wang, J Liu, J Yang, F Li, W Yan*, A data-driven feedforward control combining feedforward tuning and cascaded iterative learning control, Measurement, 253, 117414(2025) (Impact Factor:5.2) (通讯)

6) J Jiang, F Li, F Yang, W Yan*, J Du*, Single-shot color-coded LED microscopy for quantitative differential phase contrast imaging, Optics & Laser Technology, 161, 109192(2023) (Impact Factor:4.6) (通讯)

7) J Du, S Sun, F Li, J Jiang, W Yan*, S Wang, P Tian*, Large range nano autofocus method based on differential centroid technique, Optics & Laser Technology, 159, 109015(2023) (Impact Factor:4.6) (通讯)

8) J Li, K Zhang, J Du, F Li, F Yang, W Yan*, Design and theoretical analysis of the image-side telecentric zoom system using focus tunable lenses based on Gaussian brackets and lens modules, Optics and Lasers in Engineering, 164, 107494(2023) (Impact Factor:3.5) (通讯)

已指导学生

邸成良  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

马驰飞  硕士研究生  081102-检测技术与自动化装置  

汤东亮  博士研究生  080300-光学工程  

张伟  博士研究生  080300-光学工程  

程文播  博士研究生  080300-光学工程  

余斯洋  博士研究生  081002-信号与信息处理  

杨帆  博士研究生  081002-信号与信息处理  

田鹏  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

李凡星  博士研究生  081002-信号与信息处理  

张莹  博士研究生  080300-光学工程  

杜佳林  博士研究生  081002-信号与信息处理  

彭伏平  博士研究生  081002-信号与信息处理  

王思沫  博士研究生  081002-信号与信息处理  

王雨萌  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

张帅  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

现指导学生

刘吉潇  博士研究生  081002-信号与信息处理  

田宗威  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

蒋吉鑫  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

王健  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

李京宸  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

杨聚圃  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

詹芷雯  硕士研究生  085400-电子信息  

杨超  博士研究生  080400-仪器科学与技术  

李建科  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器