严伟，男，1977年2月生，研究员，博士生导师，四川省杰青，国家科技专家库专家，西部之光联合学者，首届青促会会员，中国科学院光电所青年创新人才。2000年至今一直在中国科学院光电技术研究所“微电子装备总体研究室”工作，主要研究集中于微电子装备研制，以及相关微纳光学、光学测量的关键技术研究工作。  

近5年承担的科研任务包括：作为总师完成国家科技重大专项课题“下一代193nm光子筛聚焦无掩模光刻关键技术”；主持国家自然科学基金面上项目、中国科学院国防科技创新基金项目、四川省杰青基金、西部之光项目、院装备项目等科研任务。获中国半导体行业协会半导体创新产品和技术奖1项、四川省科技进步二等奖和三等奖各1项、中国烟草总公司科学技术发明奖三等奖1项。发表科技论文40余篇（第1作者10篇），发明专利16项，软件版权2项（第一申请人8项，授权发明专利11项），培养研究生15名（独立执导硕士3名，博士6名）。

081002-信号与信息处理

检测技术，信号处理，控制技术

2004-09--2007-07   中国科学院研究生院   博士
2000-09--2004-07   中国科学院研究生院   硕士
1996-09--2000-07   四川大学   学士

研究生

博士

1996年—2000年，四川大学，学士 机械制造及其自动化2001年—2004年，中科院光电技术研究所，硕士， 光学工程2004年—2007年，中科院光电技术研究所，博士， 信号与信息处理 工作经历： 自2000年7月起，一直在“中科院光电所微电子装备研究室”工作

目前在国家科技重大专项工程项目中的重点工程中担任主任设计师、仪器专项工程项目主任设计师，正在开展整机测控系统的研制工作。作为项目总师和项目负责人承担过十余项国家及中科院重点重大项目：国家重大科技专项（总师）“下一代193nm光子筛聚焦直写关键技术研究”；国家重大仪器专项（副总师）“表面等离子体超分辨光刻装备研制”。中国科学院知识创新工程重大交叉项目（分系统负责人）“激光共聚焦扫描仪研制”，此外还主持承担国家863计划、国家自然科学基金、四川省杰青基金、院国防创新基金、中科院重大装备、西部之光、院创新人才基金等多个项目。

在重大科研任务的牵引下，依托微电子装备总体实验室，组建一支多学科交叉融合，极具创新能力和基础研究实力的青年人才队伍，团队突破了各种复合光场调控下的特种微纳加工与成像检测技术，结合纳米定位工件台技术、大面积扫描拼接技术等形成了系列微电子装备：首台数字掩模光刻机、首台光子筛激光直写光刻机、大面积干涉光刻机、微透镜制备专用掩模移动光刻机、同轴全息微纳结构3D成像仪、线宽测量仪、激光共聚焦扫描成像仪、高精度轮廓测量仪、精密气浮定位工件台，截至目前推广600余台。设备目前广泛应用于微电子器件、声表面器件、红外探测器、衍射光学元件、微光机电系统、太阳能薄膜等微纳系统的加工与检测，并为发现微纳结构在纳米尺度下可能存在的新现象与新效应、探索基于纳米结构的新原理器件，提供实用化专用设备。

一直从事微电子装备、新型微纳器件及微细加工技术领域的研究工作，2009年获中科院光电所青年创新科技人才，2010年入选西部之光联合学者， 2011年入选中科院青年创新促进会，2014年被评为四川省杰青，2014年被评为中科院光电技术研究所先进工作者、创新标兵，2015年入选为国家科技专家库专家/四川省科技专家库专家/四川省国防科工办专家，2016年被评为中科院光电技术研究所优秀共产党员，2016年授予四川省省直机关共产党员示范岗，2016年入选微电子装备四川省青年科技创新研究团队（团队负责人）。2017年入选“中国科学院微纳加工技术及装备研究团队”。获中国半导体行业协会半导体创新产品和技术奖1项，四川省科技进步二等、三等奖各1项，组织编写了生物芯片检测仪器医疗器械标准，获得生物芯片检测系统分析软件版权2项，获授权发明专利40余项，发表学术论文60余篇。

   

（ 1 ） 四川省杰青：同轴全息3D形貌检测方法研究, 主持, 省级, 2015-01--2017-12
（ 2 ） 微分干涉相衬-数字同轴全息3D形貌检测新型系统, 主持, 部委级, 2015-01--2016-12
（ 3 ） 院国防创新基金, 主持, 部委级, 2015-01--2017-12
（ 4 ） 国家863：***视觉技术, 主持, 国家级, 2015-10--2016-06
（ 5 ） 适用于双工件台光刻机的高精度离焦量解耦算法研究, 主持, 国家级, 2013-01--2016-12
（ 6 ） 集成偏振成像系统, 主持, 院级, 2016-01--2017-12
（ 7 ） 精密气浮工件台定位系统技术研发, 主持, 院级, 2015-01--2016-12

已指导学生

邸成良  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

马驰飞  硕士研究生  081102-检测技术与自动化装置  

汤东亮  博士研究生  080300-光学工程  

张伟  博士研究生  080300-光学工程  

杨帆  博士研究生  081002-信号与信息处理  

田鹏  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

现指导学生

程文播  博士研究生  080300-光学工程  

余斯洋  博士研究生  081002-信号与信息处理  

吴云飞  博士研究生  081002-信号与信息处理  

李凡星  博士研究生  081002-信号与信息处理  

张莹  博士研究生  080300-光学工程  

杜佳林  博士研究生  081002-信号与信息处理  

王思沫  硕士研究生  081002-信号与信息处理  

彭伏平  博士研究生  081002-信号与信息处理  

1 201518015120003 程文播 男 中国科学院光电技术研究所 光学工程 博士研究生 博士研究生 普通招考 在培养单位

2 201518015121035 田鹏 男 中国科学院光电技术研究所 测试计量技术及仪器 博士研究生 博士研究生 普通招考 在培养单位

3 201618015120029 张莹 女 中国科学院光电技术研究所 光学工程 博士研究生 博士研究生 普通招考 在培养单位

4 201618015127051 吴云飞 女 中国科学院光电技术研究所 信号与信息处理 博士研究生 博士研究生 普通招考 在培养单位

5 201618015127055 杨帆 男 中国科学院光电技术研究所 信号与信息处理 博士研究生 博士研究生 硕博连读 在培养单位

6 201618015127057 余斯洋 男 中国科学院光电技术研究所 信号与信息处理 博士研究生 博士研究生 普通招考 在培养单位

7 201628015127033 彭伏平 男 中国科学院光电技术研究所 信号与信息处理 硕士研究生 硕士研究生 全国统考 在培养单位

8 201718015127041 李凡星 女 中国科学院光电技术研究所 信号与信息处理 博士研究生 博士研究生 硕博连读 在培养单位

9 201718015127043 唐惜 女 中国科学院光电技术研究所 信号与信息处理 博士研究生 博士研究生 硕博连读 在培养单位

10 201718015127046 吴浩然 男 中国科学院光电技术研究所 信号与信息处理 博士研究生 博士研究生 硕博连读 在培养单位