基本信息
夏洋  男  博导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: kjc@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程
招生方向
集成电路先导工艺技术
新原理装备技术
新型太阳能电池

教育背景

1995-09--1998-07   北京科技大学材料物理系   博士学位
1987-09--1990-07   北京科技大学材料物理系   硕士学位
1979-09--1983-07   北京大学物理系   学士学位

工作经历

   
工作简历
1998-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 仪器设备中心主任
1990-07~1995-09,北京航空材料研究院, 工程师
1983-09~1987-07,江西师范大学, 任教

教授课程

半导体工艺与制造技术
集成电路制造工艺与设备
微电子技术系列讲座

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 朱李月华优秀教师奖, 院级, 2017
(2) 北京市科学进步奖, 三等奖, 市地级, 2017
(3) 中国电子学会科技奖, 一等奖, 市地级, 2017
(4) 中国科学院教育教学成果奖, 特等奖, 部委级, 2016
(5) 27nmCMOS器件, 一等奖, 市地级, 2008
专利成果
[1] 张艳清, 夏洋, 李超波, 万军, 吕树玲, 陈波, 石莎莉, 李楠. 一种原子层沉积设备. CN: CN114107954A, 2022-03-01.

[2] 董亚斌, 夏洋, 李超波, 张阳. 一种原子层沉积设备. CN: CN114107948A, 2022-03-01.

[3] 符庭钊, 王欢, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种图形转移方法. CN: CN113707541A, 2021-11-26.

[4] 刘键, 夏洋, 吴茹菲, 李勇滔. 一种微透镜阵列的制备方法. CN: CN113687452A, 2021-11-23.

[5] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 刘键, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种氮化铝薄膜的制备方法. CN: CN113488565A, 2021-10-08.

[6] 卢维尔, 明帅强, 夏洋, 冷兴龙, 赵丽莉, 何萌, 李楠. 一种高温原子层沉积装置和方法. CN: CN112899653A, 2021-06-04.

[7] 卢维尔, 明帅强, 夏洋. 一种原子层沉积制备薄膜材料的装置和方法. CN: CN112899652A, 2021-06-04.

[8] 明帅强, 卢维尔, 夏洋, 何萌, 冷兴龙, 李楠, 赵丽莉. 一种薄膜材料结晶的装置和方法. CN: CN112899655A, 2021-06-04.

[9] 李楠, 陈波, 李培源, 夏洋, 卢维尔. 一种短脉冲激光沉积薄膜的制备方法. CN: CN112853278A, 2021-05-28.

[10] 席峰, 胡冬冬, 刘训春, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种进气结构. CN: CN212980552U, 2021-04-16.

[11] 节喜, 卢维尔, 李楠, 夏洋. 一种转移金属基底上石墨烯薄膜的方法. CN: CN112551517A, 2021-03-26.

[12] 节喜, 卢维尔, 夏洋. 一种用于湿法转移石墨烯薄膜的装置和方法. CN: CN112551516A, 2021-03-26.

[13] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 等离子体浸没离子注入设备. CN: CN112376029A, 2021-02-19.

[14] 夏洋, 刘邦武, 沈泽南, 李超波, 刘杰, 李勇滔. 一种异质结太阳能电池及其制备方法. CN: CN107946470B, 2021-01-12.

[15] 解婧, 屈芙蓉, 邢建鹏, 刘金虎, 李超波, 夏洋. 一种微流道网络芯片. CN: CN110961167A, 2020-04-07.

[16] 王欢, 符庭钊, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种3D打印装置. CN: CN107379528B, 2020-04-07.

[17] 卢维尔, 夏洋. 一种场发射阴极电子源及其阵列. CN: CN110875165A, 2020-03-10.

[18] 张永奎, 朱慧珑, 卢维尔, 夏洋, 李琳, 郭晓龙, 尹晓艮, 文庆涛. 一种刻蚀装置及刻蚀方法. CN: CN110581095A, 2019-12-17.

[19] 关彦涛, 解婧, 屈芙蓉, 李楠, 赵丽莉, 夏洋. 一种石墨烯选取刻蚀的方法及装置. CN: CN110548996A, 2019-12-10.

[20] 解婧, 屈芙蓉, 关彦涛, 夏洋, 李楠, 赵莉丽. 一种石墨烯薄膜材料的加工方法. CN: CN110550624A, 2019-12-10.

[21] 夏洋, 刘邦武, 李超波, 刘杰, 汪明刚, 李勇滔. 一种黑硅太阳能电池及其制备方法. CN: CN108172657B, 2019-10-22.

[22] 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉. 一种多支撑膜辅助的石墨烯电化学转移方法. CN: CN109850882A, 2019-06-07.

[23] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种石墨的制备方法. CN: CN109851358A, 2019-06-07.

[24] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 离子注入机. CN: CN208674055U, 2019-03-29.

[25] 闫美菊, 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉. 一种中心柱形玻璃光纤的制备方法. CN: CN109336418A, 2019-02-15.

[26] 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉. 一种石墨烯单晶的制备方法. CN: CN109321973A, 2019-02-12.

[27] 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉. 一种场发射阴极电子源、阵列及电子发射方法. CN: CN109300750A, 2019-02-01.

[28] 席峰, 王佳, 刘训春, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种激光检测装置. CN: CN108519113A, 2018-09-11.

[29] 彭明娣, 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉, 李楠. 一种脉冲激光沉积装置及其方法. CN: CN108342697A, 2018-07-31.

[30] 王胜涛, 卢维尔, 夏洋. 一种X射线波带片制备系统. CN: CN108300980A, 2018-07-20.

[31] 陈波, 李楠, 夏洋, 饶晓雯. 一种半导体基片的处理方法及装置. CN: CN108242414A, 2018-07-03.

[32] 陈波, 李楠, 夏洋. 一种去除基片刻蚀后残余物的方法及装置. CN: CN108242388A, 2018-07-03.

[33] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种用于减薄半导体基片的装置及方法. CN: CN108242413A, 2018-07-03.

[34] 程嵩, 卢维尔, 夏洋, 李楠, 李超波, 张庆钊. 一种P型氧化锌薄膜制备装置及方法. CN: CN108070843A, 2018-05-25.

[35] 解婧, 卢维尔, 屈芙蓉, 李楠, 王欢, 赵丽莉, 邢建鹏, 李超波, 夏洋. 一种MOS器件原子层沉积原位制备方法. CN: CN108063089A, 2018-05-22.

[36] 符庭钊, 王欢, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种半导体上纳米级尺寸光刻胶的剥离方法. CN: CN107665810A, 2018-02-06.

[37] 李勇滔, 赵章琰, 秦威, 李英杰, 夏洋. 射频连接装置. GB: CN107431262A, 2017-12-01.

[38] 张思敏, 夏洋, 卢维尔, 程嵩, 李楠. 一种用于生长单一晶向氧化锌的预处理方法. CN: CN107400920A, 2017-11-28.

[39] 王欢, 符庭钊, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种光纤夹具及光纤固定方法. CN: CN107272136A, 2017-10-20.

[40] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种基片清洗方法及装置. CN: CN107154340A, 2017-09-12.

[41] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种硅片抛光装置. CN: CN107154366A, 2017-09-12.

[42] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种硅片抛光方法及装置. CN: CN107154351A, 2017-09-12.

[43] 王欢, 李超波, 路鑫超, 刘虹遥, 夏洋. 一种用于微流体系统中的对准键合结构及其制作方法. CN: CN107150996A, 2017-09-12.

[44] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种利用臭氧清洗基片的方法及装置. CN: CN107154339A, 2017-09-12.

[45] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种薄膜封装方法. CN: CN107123753A, 2017-09-01.

[46] 王欢, 符庭钊, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种3D打印装置. CN: CN106891005A, 2017-06-27.

[47] 夏洋. 一种石墨烯材料制备方法及器件制备方法. CN: CN106744860A, 2017-05-31.

[48] 卢维尔, 程嵩, 夏洋, 李楠. 一种可变电场调制的远程等离子体原子层沉积系统. CN: CN106756885A, 2017-05-31.

[49] 卢维尔, 夏洋, 程嵩, 李楠, 李超波. 一种变电场原子层沉积系统的控制方法. CN: CN106756886A, 2017-05-31.

[50] 卢维尔, 夏洋, 程嵩, 张庆钊, 王欢, 李楠. 一种石墨烯化学修饰方法. CN: CN106783560A, 2017-05-31.

[51] 李勇滔, 夏洋, 孙小孟. 一种具有旋转工件台的全时测量PV组件功率特性的装置. CN: CN106788245A, 2017-05-31.

[52] 李勇滔, 夏洋, 孙小孟. 一种具有旋转工件台的测量PV组件功率特性的装置. CN: CN106603010A, 2017-04-26.

[53] 解婧, 屈芙蓉, 卢维尔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种石墨烯表面选区改性加工方法及装置. CN: CN106531613A, 2017-03-22.

[54] 解婧, 屈芙蓉, 卢维尔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种原子层沉积系统原位实时检测方法及装置. CN: CN106525883A, 2017-03-22.

[55] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种用于半导体基片兆声波清洗装置. CN: CN106391557A, 2017-02-15.

[56] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种刻蚀半导体基片的方法及装置. CN: CN106409672A, 2017-02-15.

[57] 窦伟, 李楠, 李超波, 夏洋. 电感耦合等离子体注入装置. CN: CN103165382B, 2016-06-29.

[58] 胡冬冬, 郜晨希, 李超波, 夏洋. 一种半导体设备进气装置. CN: CN105702600A, 2016-06-22.

[59] 陈波, 李楠, 夏洋. 循环供液桶. CN: CN105620879A, 2016-06-01.

[60] 王文东, 夏洋, 刘金虎. 一种应用于铝基基材的Y 3 Al 5 O 12 涂层的制备方法. CN: CN105624602A, 2016-06-01.

[61] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 李超波, 陈波, 刘键, 江莹冰, 石莎莉, 李勇滔. 一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法. CN: CN105568229A, 2016-05-11.

[62] 陈波, 李楠, 夏洋. 一种承片台. CN: CN105225999A, 2016-01-06.

[63] 夏洋, 李超波, 解婧, 罗巍, 张阳. 石墨烯晶片的制备方法. CN: CN103204493B, 2015-09-30.

[64] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘训春. 一种金属氮化物阻挡层的制备方法. CN: CN103021931B, 2015-09-23.

[65] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 交替结构薄膜封装层界面的处理方法. CN: CN104752634A, 2015-07-01.

[66] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种薄膜封装方法. CN: CN104746036A, 2015-07-01.

[67] 王文东, 夏洋, 李楠. 一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法. CN: CN104711504A, 2015-06-17.

[68] 王文东, 夏洋, 李楠. 一种应用于石英基材的碳化硼梯度涂层及其制备方法. CN: CN104711503A, 2015-06-17.

[69] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 刘键, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种碳化硅薄膜的制备方法. CN: CN104498897A, 2015-04-08.

[70] 李勇滔, 夏洋, 刘邦武, 王文东. 一种全时测量PV组件功率特性的装置. CN: CN103888075A, 2014-06-25.

[71] 李勇滔, 夏洋, 刘邦武, 王文东. 一种测量PV组件功率特性的装置. CN: CN103888076A, 2014-06-25.

[72] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种薄膜封装系统. CN: CN203659835U, 2014-06-18.

[73] 解婧, 李超波, 夏洋. 一种氧化锌薄膜的制备方法. 中国: CN103866284A, 2014-06-18.

[74] 解婧, 李超波, 夏洋. 一种氮化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866263A, 2014-06-18.

[75] 解婧, 李超波, 夏洋. 一种原位光学检测装置. CN: CN103868850A, 2014-06-18.

[76] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧, 张阳. 用于N-Zr共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866267A, 2014-06-18.

[77] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 张阳, 解婧, 董亚斌. 基于氮的施主-受主共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866268A, 2014-06-18.

[78] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 董亚斌, 解婧. 一种P-N共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866289A, 2014-06-18.

[79] 李超波, 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 一种等离子体浸没离子注入系统. CN: CN103866394A, 2014-06-18.

[80] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 董亚斌. 用于施主-受主共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866271A, 2014-06-18.

[81] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 董亚斌, 李楠. 原子层沉积制备Te-N共掺的氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866269A, 2014-06-18.

[82] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧, 李楠. 原子层沉积制备共掺的氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866276A, 2014-06-18.

[83] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 董亚斌. 原子层沉积制备N-Zr共掺的氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866273A, 2014-06-18.

[84] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧. 原子层沉积的共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866275A, 2014-06-18.

[85] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 石莎莉. 用于增加原子层沉积前驱体数量的方法. CN: CN103866278A, 2014-06-18.

[86] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧, 张阳. 用于Te-N共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866270A, 2014-06-18.

[87] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧. 一种原子层沉积制备施主-受主共掺氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866280A, 2014-06-18.

[88] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 李楠, 解婧. 一种原子层沉积制备双受主共掺氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866277A, 2014-06-18.

[89] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 张阳, 董亚斌. 原子层沉积制备N-As共掺的氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866279A, 2014-06-18.

[90] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 李楠, 解婧. 用于提高氧化锌薄膜P型稳定性的方法. CN: CN103866272A, 2014-06-18.

[91] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧. 基于氮的双受主共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866265A, 2014-06-18.

[92] 张阳, 卢维尔, 董亚斌, 解婧, 李超波, 夏洋. 一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866264A, 2014-06-18.

[93] 张阳, 董亚斌, 卢维尔, 解婧, 李超波, 夏洋. 一种制备低表面粗糙度氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866266A, 2014-06-18.

[94] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 射频信号相位可数字式调节的射频电源. CN: CN103855911A, 2014-06-11.

[95] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 射频信号相位可调节的射频电源. CN: CN103855910A, 2014-06-11.

[96] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 一种射频电源外部输入信号相位同步的方法. CN: CN103856214A, 2014-06-11.

[97] 李勇滔, 孙小孟, 李英杰, 夏洋, 王文东. 可实现快速阻抗匹配的射频电源系统. CN: CN103619117A, 2014-03-05.

[98] 刘涛, 王林梓, 李国光, 夏洋, 艾迪格·基尼欧, 马铁中. 利用反射光谱测量单晶硅基太阳能表面增透膜的方法. CN: CN103575703A, 2014-02-12.

[99] 吴文镜, 王林梓, 李国光, 刘涛, 夏洋, 马铁中. 太阳能基板薄膜多任务测量系统. CN: CN103575222A, 2014-02-12.

[100] 解婧, 张阳, 罗巍, 李超波, 夏洋. 一种绝缘体上二维薄膜材料的制备方法. CN: CN103570001A, 2014-02-12.

[101] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李晓波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 用于双腔室结构等离子体浸没离子注入的隔板装置. CN: CN102315068B, 2014-01-29.

[102] 王文东, 刘邦武, 黄春, 夏洋. 一种低压等离子喷涂技术制备碳化硼涂层的方法. CN: CN103540889A, 2014-01-29.

[103] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种半导体设备中黑色Y 2 O 3 陶瓷涂层制造方法. 中国: CN103132003A, 2013.06.05.

[104] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种超音速等离子体喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. 中国: CN103074566A, 2013.05.01.

[105] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 射频信号相位可数字式调节的射频电源. CN: CN203071795U, 2013-07-17.

[106] 席峰, 李楠, 李勇滔, 张庆钊, 夏洋. 一种载片台. CN: CN103208409A, 2013-07-17.

[107] 席峰, 李楠, 李勇滔, 张庆钊, 夏洋. 腔室加热装置. CN: CN103208440A, 2013-07-17.

[108] 胡冬冬, 周宗义, 刘训春, 夏洋. 真空隔离阀装置. CN: CN103206552A, 2013-07-17.

[109] 饶志鹏, 夏洋, 万军, 李超波, 陈波, 刘键, 江莹冰, 石莎莉, 李勇滔. 一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN103205805A, 2013-07-17.

[110] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 陈波, 李超波, 石莎莉, 李勇滔, 李楠. 一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN103205806A, 2013-07-17.

[111] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 陈波, 李超波, 石莎莉, 李勇滔, 李楠. 用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法. CN: CN103205729A, 2013-07-17.

[112] 王文东, 黄春, 闫坤坤, 夏洋. 一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y 3 Al 5 O 12 涂层的方法. 中国: CN103194715A, 2013-07-10.

[113] 张艳清, 夏洋, 李超波, 万军, 吕树玲, 陈波, 石莎莉, 李楠. 一种气体分配器及原子层沉积设备. CN: CN103194736A, 2013-07-10.

[114] 张艳清, 夏洋, 李超波, 万军, 吕树玲, 陈波, 石莎莉, 李楠. 一种用于原子层沉积设备的气体分配器. CN: CN103194737A, 2013-07-10.

[115] 王文东, 黄春, 闫坤坤, 夏洋. 一种等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法. CN: CN103194714A, 2013-07-10.

[116] 王文东, 闫坤坤, 黄春, 刘邦武, 夏洋. 一种反应等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法. CN: CN103194716A, 2013-07-10.

[117] 李国光, 刘涛, 赵江艳, 吴文镜, 王林梓, 马铁中, 夏洋. 宽带偏振光谱仪和光学测量系统. CN: CN103185638A, 2013-07-03.

[118] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 刘键, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种金刚石的制备方法. CN: CN102304696B, 2013-07-03.

[119] 张阳, 解婧, 罗巍, 李超波, 夏洋. 一种利用混合溶剂相剥离石墨制备石墨烯的方法. CN: CN103172053A, 2013-06-26.

[120] 李国光, 刘涛, 赵江艳, 郭青杨, 艾迪格·基尼欧, 马铁中, 夏洋. 包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统. CN: CN103162832A, 2013-06-19.

[121] 李国光, 吴文镜, 刘涛, 赵江艳, 郭青杨, 马铁中, 夏洋. 宽带偏振光谱仪及光学测量系统. CN: CN103162831A, 2013-06-19.

[122] 汪明刚, 李超波, 屈芙蓉, 夏洋. 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测方法. CN: CN103165488A, 2013-06-19.

[123] 窦伟, 李楠, 李超波, 夏洋. 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置. CN: CN103165382A, 2013-06-19.

[124] 万军, 赵柯杰, 黄成强, 饶志鹏, 陈波, 李超波, 夏洋, 吕树玲, 石莎莉. 掺氮二氧化钛薄膜的制备方法. CN: CN103160802A, 2013-06-19.

[125] 万军, 赵柯杰, 黄成强, 饶志鹏, 陈波, 李超波, 夏洋, 吕树玲, 石莎莉. 提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法. CN: CN103160807A, 2013-06-19.

[126] 窦伟, 李楠, 李超波, 夏洋. 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置. CN: CN103165383A, 2013-06-19.

[127] 汪明刚, 李超波, 屈芙蓉, 夏洋. 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置. CN: CN103165489A, 2013-06-19.

[128] 屈芙蓉, 李超波, 陈瑶, 夏洋. 一种等离子体腔室内衬结构. CN: CN103165379A, 2013-06-19.

[129] 刘杰, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种等离子体浸没注入电极结构. CN: CN103165377A, 2013-06-19.

[130] 李超波, 汪明刚, 屈芙蓉, 夏洋. 一种用于等离子体浸没注入中剂量检测方法. CN: CN103165378A, 2013-06-19.

[131] 汪明刚, 夏洋, 李超波, 刘杰, 李勇滔, 陈瑶, 赵丽莉. 一种等离子体浸没注入装置. CN: CN103165376A, 2013-06-19.

[132] 汪明刚, 李超波, 夏洋. 用于等离子体浸没注入中控制注入元素分布陡度的方法. CN: CN103165372A, 2013-06-19.

[133] 李超波, 汪明刚, 夏洋. 一种控制注入结深度的方法. CN: CN103165423A, 2013-06-19.

[134] 李超波, 汪明刚, 屈芙蓉, 夏洋. 一种用于等离子体浸没注入中剂量检测装置. CN: CN103165371A, 2013-06-19.

[135] 李超波, 屈芙蓉, 陈瑶, 刘传钦, 夏洋. 半导体腔室用压片装置. CN: CN103165375A, 2013-06-19.

[136] 李勇滔, 秦威, 赵章琰, 李英杰, 夏洋. 射频功率放大模块及具有散热风道的大功率射频电源. CN: CN103166580A, 2013-06-19.

[137] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种低压等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 陶瓷涂层的方法. 中国: CN103132007A, 2013-06-05.

[138] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种等离子氢处理制备黑色Y 2 O 3 陶瓷涂层的方法. 中国: CN103132006A, 2013-06-05.

[139] 屈芙蓉, 胡冬冬, 刘训春, 刘杰, 李超波, 夏洋. 一种进气装置. CN: CN103137521A, 2013-06-05.

[140] 罗巍, 解婧, 张阳, 李超波, 夏洋. 一种晶圆级阳极键合方法. CN: CN103130180A, 2013-06-05.

[141] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种制备Y 2 O 3 陶瓷涂层的改进方法. 中国: CN103132001A, 2013-06-05.

[142] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种三阴极等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. 中国: CN103132004A, 2013-06-05.

[143] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种黑色Y 2 O 3 陶瓷涂层的制备方法. 中国: CN103132002A, 2013-06-05.

[144] 李勇滔, 赵章琰, 秦威, 李英杰, 夏洋. 具有精密功率检测器的射频电源. CN: CN103137408A, 2013-06-05.

[145] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 基于ARM的嵌入式注入机控制系统. CN: CN103137410A, 2013-06-05.

[146] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 模块化离子注入机控制系统. CN: CN103137412A, 2013-06-05.

[147] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 基于虚拟仪器的注入机控制系统. CN: CN103135509A, 2013-06-05.

[148] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 离子注入机控制系统. CN: CN103137413A, 2013-06-05.

[149] 赵章琰, 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 一种电路单元. CN: CN103138688A, 2013-06-05.

[150] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 射频信号相位可调节的射频电源. CN: CN202949378U, 2013-05-22.

[151] 秦威, 李勇滔, 李英杰, 赵章琰, 夏洋. 准互补电压开关型D类功放同时导通的保护方法及电路. CN: CN103107781A, 2013-05-15.

[152] 秦威, 李勇滔, 李英杰, 赵章琰, 夏洋. D类射频功率放大电路. CN: CN103107784A, 2013-05-15.

[153] 孙小孟, 李勇滔, 李英杰, 赵章琰, 秦威, 夏洋. 一种传输线自动阻抗匹配系统. CN: CN103107793A, 2013-05-15.

[154] 邵花, 王文东, 夏洋, 李勇滔. 一种Y 2 O 3 耐侵蚀陶瓷涂层的改进方法. 中国: CN103074563A, 2013-05-01.

[155] 邵花, 王文东, 夏洋, 李勇滔. 一种改进性能的Y 2 O 3 耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法. 中国: CN103074562A, 2013-05-01.

[156] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种真空等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. 中国: CN103074564A, 2013-05-01.

[157] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种水稳等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. 中国: CN103074567A, 2013-05-01.

[158] 王文东, 罗小晨, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种Y 2 O 3 耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法. 中国: CN103074568A, 2013-05-01.

[159] 赵章琰, 李勇滔, 秦威, 李英杰, 夏洋. 高效率射频电源的相位同步电路. CN: CN103067001A, 2013-04-24.

[160] 赵章琰, 李勇滔, 李英杰, 秦威, 夏洋. 低噪声的开关电源变压器及低噪声开关电源. CN: CN103065773A, 2013-04-24.

[161] 杨进, 徐维江, 李勇滔, 夏洋. 一种用于匹配器设备的空气电容结构. CN: CN103065791A, 2013-04-24.

[162] 董亚斌, 夏洋, 李超波, 张阳. 一种利用ALD制备栅介质结构的方法. CN: CN103065955A, 2013-04-24.

[163] 席峰, 王佳, 李楠, 汪明刚, 夏洋. 一种电极引入结构. CN: CN103065918A, 2013-04-24.

[164] 席峰, 胡冬冬, 李楠, 汪明刚, 夏洋. 一种进气结构及等离子体工艺设备. CN: CN103068137A, 2013-04-24.

[165] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 基于模拟退火算法的自适应压力控制的原子层沉积设备. CN: CN103046029A, 2013-04-17.

[166] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种防回流的原子层沉积设备及其使用方法. CN: CN103046024A, 2013-04-17.

[167] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 基于可伸缩腔室的原子层沉积设备及其使用方法. CN: CN103046022A, 2013-04-17.

[168] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 基于高精度PID控制温度的原子层沉积设备. CN: CN103046028A, 2013-04-17.

[169] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 基于压力测量模块的原子层沉积设备及其使用方法. CN: CN103046030A, 2013-04-17.

[170] 刘涛, 李国光, 赵江艳, 艾迪格·基尼欧, 马铁中, 夏洋, 严晓浪. 包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统. CN: CN103048047A, 2013-04-17.

[171] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种原子层沉积设备及其使用方法. CN: CN103031546A, 2013-04-10.

[172] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种安全性高的原子层沉积设备. CN: CN103031532A, 2013-04-10.

[173] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种可快速处理数据的原子层沉积设备. CN: CN103031544A, 2013-04-10.

[174] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种可实时数据处理的原子层沉积设备. CN: CN103031533A, 2013-04-10.

[175] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种沉积室容积可调节的原子层沉积设备. CN: CN103031545A, 2013-04-10.

[176] 孙小孟, 李勇滔, 赵章琰, 李英杰, 秦威, 夏洋. 一种射频阻抗匹配器. CN: CN103025041A, 2013-04-03.

[177] 赵章琰, 李勇滔, 秦威, 李英杰, 夏洋. 高压开关电源的隔离式电压电流检测控制电路. CN: CN103023331A, 2013-04-03.

[178] 赵章琰, 李勇滔, 秦威, 李英杰, 夏洋. 快速精密射频自动匹配装置. CN: CN103021774A, 2013-04-03.

[179] 赵章琰, 李勇滔, 秦威, 李英杰, 夏洋. 高压开关电源的隔离式电压电流检测控制电路. CN: CN103023328A, 2013-04-03.

[180] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘训春. 一种金属氮化物阻挡层的制备方法. CN: CN103021931A, 2013-04-03.

[181] 罗巍, 解婧, 李超波, 夏洋. 一种多层石墨烯的减薄方法. CN: CN102931055A, 2013-02-13.

[182] 孙小孟, 李勇滔, 李英杰, 刘训春, 夏洋. 一种射频阻抗匹配器. CN: CN102891660A, 2013-01-23.

[183] 王佳, 刘训春, 席峰, 夏洋. 一种真空腔内转动部件的定位装置. CN: CN102881547A, 2013-01-16.

[184] 孙小孟, 李勇滔, 李英杰, 刘训春, 夏洋. 一种可视化射频阻抗匹配器. CN: CN102883517A, 2013-01-16.

[185] 陈鲁, 夏洋, 张超前, 张学一. LED光学特性检测方法及检测装置. CN: CN102865999A, 2013-01-09.

[186] 夏洋, 沈泽南, 刘邦武, 李超波, 李勇滔. 一种太阳能电池正面栅线电极的制备方法. CN: CN102769064A, 2012-11-07.

[187] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李超波, 罗小晨, 李勇滔. 一种测量涂层耐腐蚀性能的方法. CN: CN102735601A, 2012-10-17.

[188] 汪明刚, 李超波, 屈芙蓉, 夏洋. 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置. CN: CN202487543U, 2012-10-10.

[189] 窦伟, 李楠, 李超波, 夏洋. 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置. CN: CN202384293U, 2012-08-15.

[190] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘邦武, 刘训春. 一种制备金属氮化物阻挡层的装置及其使用方法. CN: CN102623311A, 2012-08-01.

[191] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘邦武, 刘训春. 一种阻挡层及其制备方法. CN: CN102623435A, 2012-08-01.

[192] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘邦武, 刘训春. 一种扩散阻挡层及其制备方法. CN: CN102623434A, 2012-08-01.

[193] 夏洋, 李超波, 陈波, 万军, 吕树玲, 马舒. 原子层薄膜沉积系统. CN: CN301977404S, 2012-07-04.

[194] 屈芙蓉, 李楠, 李超波, 夏洋, 李勇滔. 等离子体浸没离子注入机. CN: CN301914763S, 2012-05-16.

[195] 席峰, 胡冬冬, 屈芙蓉, 刘训春, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 刻蚀系统机柜. CN: CN301914735S, 2012-05-16.

[196] 刘涛, 李国光, 艾迪格·基尼欧, 马铁中, 夏洋, 严晓浪. 利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置. CN: CN102455511A, 2012-05-16.

[197] 李楠, 席峰, 李勇滔, 张庆钊, 夏洋. 一种用于进气结构的匀气盘. CN: CN102437002A, 2012-05-02.

[198] 夏洋, 刘邦武, 钟思华, 李超波, 李勇滔. 一种黑硅太阳能电池表面的钝化方法. CN: CN102437236A, 2012-05-02.

[199] 李楠, 席峰, 李勇滔, 张庆钊, 夏洋. 一种新型匀气结构. CN: CN102424955A, 2012-04-25.

[200] 席峰, 胡冬冬, 屈芙蓉, 刘训春, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 刻蚀系统工艺腔室. CN: CN301890737S, 2012-04-18.

[201] 汪明刚, 刘杰, 夏洋, 李超波, 陈瑶, 赵丽莉, 李勇滔. 一种离子注入剂量检测控制方法. CN: CN102376519A, 2012-03-14.

[202] 汪明刚, 刘杰, 夏洋, 李超波, 陈瑶, 赵丽莉, 李勇滔. 等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置. CN: CN102376520A, 2012-03-14.

[203] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种掺氮碳纳米管的制备方法. CN: CN102352490A, 2012-02-15.

[204] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种离子中性化网板. CN: CN102339715A, 2012-02-01.

[205] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 产生中性粒子束装置及方法. CN: CN102332384A, 2012-01-25.

[206] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种用于离子中性化的网板结构. CN: CN102332385A, 2012-01-25.

[207] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种单晶立方型氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN102321919A, 2012-01-18.

[208] 刘键, 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种碳纳米管的制备方法. CN: CN102321876A, 2012-01-18.

[209] 李勇滔, 秦威, 赵章琰, 李英杰, 夏洋. 射频电源(RFG-300). CN: CN301794248S, 2012-01-11.

[210] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 用于双腔室结构等离子体浸没离子注入的隔板装置. CN: CN102315068A, 2012-01-11.

[211] 李超波, 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 一种等离子体浸没离子注入系统. CN: CN102312210A, 2012-01-11.

[212] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种金刚石的制备方法. CN: CN102304697A, 2012-01-04.

[213] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种电极固定结构. CN: CN102306602A, 2012-01-04.

[214] 刘键, 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种掺氮氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN102304700A, 2012-01-04.

[215] 夏洋, 刘邦武, 沈泽南, 李超波, 刘杰, 李勇滔. 一种发射极上黑硅结构的太阳能电池及其制备方法. CN: CN102306664A, 2012-01-04.

[216] 刘邦武, 王文东, 夏洋, 李超波, 罗小晨, 李勇滔. 等离子体刻蚀工艺腔室内表面的改性处理方法. CN: CN102296263A, 2011-12-28.

[217] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 基片离子均匀注入的方法. CN: CN102296275A, 2011-12-28.

[218] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种非金属真空腔室结构. CN: CN102290313A, 2011-12-21.

[219] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 产生中性粒子束的装置及方法. CN: CN102290314A, 2011-12-21.

[220] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种平板电极固定结构. CN: CN102290312A, 2011-12-21.

[221] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 李超波, 陈波, 黄成强, 刘键, 石莎莉, 李勇滔. 一种异质结黑硅太阳能电池的制备方法. CN: CN102290496A, 2011-12-21.

[222] 刘邦武, 夏洋, 刘杰, 李超波, 李勇滔, 王文东, 汪明刚. 一种发光多孔硅的制备方法. CN: CN102259875A, 2011-11-30.

[223] 李勇滔, 赵章琰, 秦威, 李英杰, 夏洋. 基于E类功率放大电路的固态射频电源. CN: CN102255606A, 2011-11-23.

[224] 吴文镜, 李国光, 艾迪格·基尼欧, 马铁中, 夏洋. 可二维微调的微型电动平移台. CN: CN102243357A, 2011-11-16.

[225] 李勇滔, 赵章琰, 秦威, 李英杰, 夏洋. 射频电源(RFG-500). CN: CN301728088S, 2011-11-16.

[226] 夏洋, 刘邦武, 李超波, 刘杰, 李勇滔, 陈瑶, 沈泽南. 一种基于单晶硅衬底上多孔金字塔结构的制造方法. CN: CN102140697A, 2011-08-03.

[227] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种单晶立方型氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN102115878A, 2011-07-06.

[228] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种PECVD系统. CN: CN102086514A, 2011-06-08.

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[230] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 陈瑶, 赵丽莉. 在等离子体浸没离子注入中对不同质量离子分离的装置. CN: CN102021524A, 2011-04-20.

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出版信息

   
发表论文
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科研活动

   
科研项目
( 1 ) 二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器, 主持, 国家级, 2015-01--2020-12
( 2 ) 28-14nm原子层沉积系统(ALD)腔室关键技术研究, 主持, 国家级, 2015-01--2018-12

指导学生

已指导学生

宋李梅  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

于进勇  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

郭丽莎  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

薛丽君  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

袁婷婷  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

罗小晨  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王立新  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

黄成强  硕士研究生  430109-电子与通信工程  

汪明刚  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

杨威风  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

饶志鹏  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

罗巍  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

沈泽南  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

胡冬冬  博士研究生  085271-电子与信息  

刘上贤  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张祥  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张阳  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

窦伟  硕士研究生  430110-集成电路工程  

董亚斌  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张思敏  硕士研究生  085209-集成电路工程  

程嵩  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

严冬  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王林梓  博士研究生  085271-电子与信息  

现指导学生

杨胜  硕士研究生  085209-集成电路工程  

明帅强  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学