080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程

集成电路先导工艺技术
新原理装备技术
新型太阳能电池

1995-09--1998-07   北京科技大学材料物理系   博士学位
1987-09--1990-07   北京科技大学材料物理系   硕士学位
1979-09--1983-07   北京大学物理系   学士学位

   

1998-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 仪器设备中心主任
1990-07~1995-09,北京航空材料研究院, 工程师
1983-09~1987-07,江西师范大学, 任教

半导体工艺与制造技术
集成电路制造工艺与设备
微电子技术系列讲座

   

（1） 朱李月华优秀教师奖, 院级, 2017
（2） 北京市科学进步奖, 三等奖, 市地级, 2017
（3） 中国电子学会科技奖, 一等奖, 市地级, 2017
（4） 中国科学院教育教学成果奖, 特等奖, 部委级, 2016
（5） 27nmCMOS器件, 一等奖, 市地级, 2008

[1] 张艳清, 夏洋, 李超波, 万军, 吕树玲, 陈波, 石莎莉, 李楠. 一种原子层沉积设备. CN: CN114107954A, 2022-03-01.

[2] 董亚斌, 夏洋, 李超波, 张阳. 一种原子层沉积设备. CN: CN114107948A, 2022-03-01.

[3] 符庭钊, 王欢, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种图形转移方法. CN: CN113707541A, 2021-11-26.

[4] 刘键, 夏洋, 吴茹菲, 李勇滔. 一种微透镜阵列的制备方法. CN: CN113687452A, 2021-11-23.

[5] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 刘键, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种氮化铝薄膜的制备方法. CN: CN113488565A, 2021-10-08.

[6] 卢维尔, 明帅强, 夏洋, 冷兴龙, 赵丽莉, 何萌, 李楠. 一种高温原子层沉积装置和方法. CN: CN112899653A, 2021-06-04.

[7] 卢维尔, 明帅强, 夏洋. 一种原子层沉积制备薄膜材料的装置和方法. CN: CN112899652A, 2021-06-04.

[8] 明帅强, 卢维尔, 夏洋, 何萌, 冷兴龙, 李楠, 赵丽莉. 一种薄膜材料结晶的装置和方法. CN: CN112899655A, 2021-06-04.

[9] 李楠, 陈波, 李培源, 夏洋, 卢维尔. 一种短脉冲激光沉积薄膜的制备方法. CN: CN112853278A, 2021-05-28.

[10] 席峰, 胡冬冬, 刘训春, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种进气结构. CN: CN212980552U, 2021-04-16.

[11] 节喜, 卢维尔, 李楠, 夏洋. 一种转移金属基底上石墨烯薄膜的方法. CN: CN112551517A, 2021-03-26.

[12] 节喜, 卢维尔, 夏洋. 一种用于湿法转移石墨烯薄膜的装置和方法. CN: CN112551516A, 2021-03-26.

[13] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 等离子体浸没离子注入设备. CN: CN112376029A, 2021-02-19.

[14] 夏洋, 刘邦武, 沈泽南, 李超波, 刘杰, 李勇滔. 一种异质结太阳能电池及其制备方法. CN: CN107946470B, 2021-01-12.

[15] 解婧, 屈芙蓉, 邢建鹏, 刘金虎, 李超波, 夏洋. 一种微流道网络芯片. CN: CN110961167A, 2020-04-07.

[16] 王欢, 符庭钊, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种3D打印装置. CN: CN107379528B, 2020-04-07.

[17] 卢维尔, 夏洋. 一种场发射阴极电子源及其阵列. CN: CN110875165A, 2020-03-10.

[18] 张永奎, 朱慧珑, 卢维尔, 夏洋, 李琳, 郭晓龙, 尹晓艮, 文庆涛. 一种刻蚀装置及刻蚀方法. CN: CN110581095A, 2019-12-17.

[19] 关彦涛, 解婧, 屈芙蓉, 李楠, 赵丽莉, 夏洋. 一种石墨烯选取刻蚀的方法及装置. CN: CN110548996A, 2019-12-10.

[20] 解婧, 屈芙蓉, 关彦涛, 夏洋, 李楠, 赵莉丽. 一种石墨烯薄膜材料的加工方法. CN: CN110550624A, 2019-12-10.

[21] 夏洋, 刘邦武, 李超波, 刘杰, 汪明刚, 李勇滔. 一种黑硅太阳能电池及其制备方法. CN: CN108172657B, 2019-10-22.

[22] 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉. 一种多支撑膜辅助的石墨烯电化学转移方法. CN: CN109850882A, 2019-06-07.

[23] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种石墨的制备方法. CN: CN109851358A, 2019-06-07.

[24] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 离子注入机. CN: CN208674055U, 2019-03-29.

[25] 闫美菊, 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉. 一种中心柱形玻璃光纤的制备方法. CN: CN109336418A, 2019-02-15.

[26] 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉. 一种石墨烯单晶的制备方法. CN: CN109321973A, 2019-02-12.

[27] 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉. 一种场发射阴极电子源、阵列及电子发射方法. CN: CN109300750A, 2019-02-01.

[28] 席峰, 王佳, 刘训春, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种激光检测装置. CN: CN108519113A, 2018-09-11.

[29] 彭明娣, 卢维尔, 夏洋, 赵丽莉, 李楠. 一种脉冲激光沉积装置及其方法. CN: CN108342697A, 2018-07-31.

[30] 王胜涛, 卢维尔, 夏洋. 一种X射线波带片制备系统. CN: CN108300980A, 2018-07-20.

[31] 陈波, 李楠, 夏洋, 饶晓雯. 一种半导体基片的处理方法及装置. CN: CN108242414A, 2018-07-03.

[32] 陈波, 李楠, 夏洋. 一种去除基片刻蚀后残余物的方法及装置. CN: CN108242388A, 2018-07-03.

[33] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种用于减薄半导体基片的装置及方法. CN: CN108242413A, 2018-07-03.

[34] 程嵩, 卢维尔, 夏洋, 李楠, 李超波, 张庆钊. 一种P型氧化锌薄膜制备装置及方法. CN: CN108070843A, 2018-05-25.

[35] 解婧, 卢维尔, 屈芙蓉, 李楠, 王欢, 赵丽莉, 邢建鹏, 李超波, 夏洋. 一种MOS器件原子层沉积原位制备方法. CN: CN108063089A, 2018-05-22.

[36] 符庭钊, 王欢, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种半导体上纳米级尺寸光刻胶的剥离方法. CN: CN107665810A, 2018-02-06.

[37] 李勇滔, 赵章琰, 秦威, 李英杰, 夏洋. 射频连接装置. GB: CN107431262A, 2017-12-01.

[38] 张思敏, 夏洋, 卢维尔, 程嵩, 李楠. 一种用于生长单一晶向氧化锌的预处理方法. CN: CN107400920A, 2017-11-28.

[39] 王欢, 符庭钊, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种光纤夹具及光纤固定方法. CN: CN107272136A, 2017-10-20.

[40] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种基片清洗方法及装置. CN: CN107154340A, 2017-09-12.

[41] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种硅片抛光装置. CN: CN107154366A, 2017-09-12.

[42] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种硅片抛光方法及装置. CN: CN107154351A, 2017-09-12.

[43] 王欢, 李超波, 路鑫超, 刘虹遥, 夏洋. 一种用于微流体系统中的对准键合结构及其制作方法. CN: CN107150996A, 2017-09-12.

[44] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种利用臭氧清洗基片的方法及装置. CN: CN107154339A, 2017-09-12.

[45] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种薄膜封装方法. CN: CN107123753A, 2017-09-01.

[46] 王欢, 符庭钊, 崔绍晖, 李超波, 夏洋. 一种3D打印装置. CN: CN106891005A, 2017-06-27.

[47] 夏洋. 一种石墨烯材料制备方法及器件制备方法. CN: CN106744860A, 2017-05-31.

[48] 卢维尔, 程嵩, 夏洋, 李楠. 一种可变电场调制的远程等离子体原子层沉积系统. CN: CN106756885A, 2017-05-31.

[49] 卢维尔, 夏洋, 程嵩, 李楠, 李超波. 一种变电场原子层沉积系统的控制方法. CN: CN106756886A, 2017-05-31.

[50] 卢维尔, 夏洋, 程嵩, 张庆钊, 王欢, 李楠. 一种石墨烯化学修饰方法. CN: CN106783560A, 2017-05-31.

[51] 李勇滔, 夏洋, 孙小孟. 一种具有旋转工件台的全时测量PV组件功率特性的装置. CN: CN106788245A, 2017-05-31.

[52] 李勇滔, 夏洋, 孙小孟. 一种具有旋转工件台的测量PV组件功率特性的装置. CN: CN106603010A, 2017-04-26.

[53] 解婧, 屈芙蓉, 卢维尔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种石墨烯表面选区改性加工方法及装置. CN: CN106531613A, 2017-03-22.

[54] 解婧, 屈芙蓉, 卢维尔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种原子层沉积系统原位实时检测方法及装置. CN: CN106525883A, 2017-03-22.

[55] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种用于半导体基片兆声波清洗装置. CN: CN106391557A, 2017-02-15.

[56] 陈波, 夏洋, 李楠. 一种刻蚀半导体基片的方法及装置. CN: CN106409672A, 2017-02-15.

[57] 窦伟, 李楠, 李超波, 夏洋. 电感耦合等离子体注入装置. CN: CN103165382B, 2016-06-29.

[58] 胡冬冬, 郜晨希, 李超波, 夏洋. 一种半导体设备进气装置. CN: CN105702600A, 2016-06-22.

[59] 陈波, 李楠, 夏洋. 循环供液桶. CN: CN105620879A, 2016-06-01.

[60] 王文东, 夏洋, 刘金虎. 一种应用于铝基基材的Y 3 Al 5 O 12 涂层的制备方法. CN: CN105624602A, 2016-06-01.

[61] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 李超波, 陈波, 刘键, 江莹冰, 石莎莉, 李勇滔. 一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法. CN: CN105568229A, 2016-05-11.

[62] 陈波, 李楠, 夏洋. 一种承片台. CN: CN105225999A, 2016-01-06.

[63] 夏洋, 李超波, 解婧, 罗巍, 张阳. 石墨烯晶片的制备方法. CN: CN103204493B, 2015-09-30.

[64] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘训春. 一种金属氮化物阻挡层的制备方法. CN: CN103021931B, 2015-09-23.

[65] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 交替结构薄膜封装层界面的处理方法. CN: CN104752634A, 2015-07-01.

[66] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种薄膜封装方法. CN: CN104746036A, 2015-07-01.

[67] 王文东, 夏洋, 李楠. 一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法. CN: CN104711504A, 2015-06-17.

[68] 王文东, 夏洋, 李楠. 一种应用于石英基材的碳化硼梯度涂层及其制备方法. CN: CN104711503A, 2015-06-17.

[69] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 刘键, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种碳化硅薄膜的制备方法. CN: CN104498897A, 2015-04-08.

[70] 李勇滔, 夏洋, 刘邦武, 王文东. 一种全时测量PV组件功率特性的装置. CN: CN103888075A, 2014-06-25.

[71] 李勇滔, 夏洋, 刘邦武, 王文东. 一种测量PV组件功率特性的装置. CN: CN103888076A, 2014-06-25.

[72] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种薄膜封装系统. CN: CN203659835U, 2014-06-18.

[73] 解婧, 李超波, 夏洋. 一种氧化锌薄膜的制备方法. 中国: CN103866284A, 2014-06-18.

[74] 解婧, 李超波, 夏洋. 一种氮化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866263A, 2014-06-18.

[75] 解婧, 李超波, 夏洋. 一种原位光学检测装置. CN: CN103868850A, 2014-06-18.

[76] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧, 张阳. 用于N-Zr共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866267A, 2014-06-18.

[77] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 张阳, 解婧, 董亚斌. 基于氮的施主-受主共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866268A, 2014-06-18.

[78] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 董亚斌, 解婧. 一种P-N共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866289A, 2014-06-18.

[79] 李超波, 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 一种等离子体浸没离子注入系统. CN: CN103866394A, 2014-06-18.

[80] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 董亚斌. 用于施主-受主共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866271A, 2014-06-18.

[81] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 董亚斌, 李楠. 原子层沉积制备Te-N共掺的氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866269A, 2014-06-18.

[82] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧, 李楠. 原子层沉积制备共掺的氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866276A, 2014-06-18.

[83] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 董亚斌. 原子层沉积制备N-Zr共掺的氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866273A, 2014-06-18.

[84] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧. 原子层沉积的共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866275A, 2014-06-18.

[85] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 石莎莉. 用于增加原子层沉积前驱体数量的方法. CN: CN103866278A, 2014-06-18.

[86] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧, 张阳. 用于Te-N共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866270A, 2014-06-18.

[87] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧. 一种原子层沉积制备施主-受主共掺氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866280A, 2014-06-18.

[88] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 李楠, 解婧. 一种原子层沉积制备双受主共掺氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866277A, 2014-06-18.

[89] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 张阳, 董亚斌. 原子层沉积制备N-As共掺的氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866279A, 2014-06-18.

[90] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 李楠, 解婧. 用于提高氧化锌薄膜P型稳定性的方法. CN: CN103866272A, 2014-06-18.

[91] 卢维尔, 夏洋, 李超波, 解婧. 基于氮的双受主共掺氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866265A, 2014-06-18.

[92] 张阳, 卢维尔, 董亚斌, 解婧, 李超波, 夏洋. 一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN103866264A, 2014-06-18.

[93] 张阳, 董亚斌, 卢维尔, 解婧, 李超波, 夏洋. 一种制备低表面粗糙度氧化锌薄膜的方法. CN: CN103866266A, 2014-06-18.

[94] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 射频信号相位可数字式调节的射频电源. CN: CN103855911A, 2014-06-11.

[95] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 射频信号相位可调节的射频电源. CN: CN103855910A, 2014-06-11.

[96] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 一种射频电源外部输入信号相位同步的方法. CN: CN103856214A, 2014-06-11.

[97] 李勇滔, 孙小孟, 李英杰, 夏洋, 王文东. 可实现快速阻抗匹配的射频电源系统. CN: CN103619117A, 2014-03-05.

[98] 刘涛, 王林梓, 李国光, 夏洋, 艾迪格·基尼欧, 马铁中. 利用反射光谱测量单晶硅基太阳能表面增透膜的方法. CN: CN103575703A, 2014-02-12.

[99] 吴文镜, 王林梓, 李国光, 刘涛, 夏洋, 马铁中. 太阳能基板薄膜多任务测量系统. CN: CN103575222A, 2014-02-12.

[100] 解婧, 张阳, 罗巍, 李超波, 夏洋. 一种绝缘体上二维薄膜材料的制备方法. CN: CN103570001A, 2014-02-12.

[101] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李晓波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 用于双腔室结构等离子体浸没离子注入的隔板装置. CN: CN102315068B, 2014-01-29.

[102] 王文东, 刘邦武, 黄春, 夏洋. 一种低压等离子喷涂技术制备碳化硼涂层的方法. CN: CN103540889A, 2014-01-29.

[103] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种半导体设备中黑色Y 2 O 3 陶瓷涂层制造方法. 中国: CN103132003A, 2013.06.05.

[104] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种超音速等离子体喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. 中国: CN103074566A, 2013.05.01.

[105] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 射频信号相位可数字式调节的射频电源. CN: CN203071795U, 2013-07-17.

[106] 席峰, 李楠, 李勇滔, 张庆钊, 夏洋. 一种载片台. CN: CN103208409A, 2013-07-17.

[107] 席峰, 李楠, 李勇滔, 张庆钊, 夏洋. 腔室加热装置. CN: CN103208440A, 2013-07-17.

[108] 胡冬冬, 周宗义, 刘训春, 夏洋. 真空隔离阀装置. CN: CN103206552A, 2013-07-17.

[109] 饶志鹏, 夏洋, 万军, 李超波, 陈波, 刘键, 江莹冰, 石莎莉, 李勇滔. 一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN103205805A, 2013-07-17.

[110] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 陈波, 李超波, 石莎莉, 李勇滔, 李楠. 一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN103205806A, 2013-07-17.

[111] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 陈波, 李超波, 石莎莉, 李勇滔, 李楠. 用ALD设备生长氮化镓薄膜的方法. CN: CN103205729A, 2013-07-17.

[112] 王文东, 黄春, 闫坤坤, 夏洋. 一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y 3 Al 5 O 12 涂层的方法. 中国: CN103194715A, 2013-07-10.

[113] 张艳清, 夏洋, 李超波, 万军, 吕树玲, 陈波, 石莎莉, 李楠. 一种气体分配器及原子层沉积设备. CN: CN103194736A, 2013-07-10.

[114] 张艳清, 夏洋, 李超波, 万军, 吕树玲, 陈波, 石莎莉, 李楠. 一种用于原子层沉积设备的气体分配器. CN: CN103194737A, 2013-07-10.

[115] 王文东, 黄春, 闫坤坤, 夏洋. 一种等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法. CN: CN103194714A, 2013-07-10.

[116] 王文东, 闫坤坤, 黄春, 刘邦武, 夏洋. 一种反应等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法. CN: CN103194716A, 2013-07-10.

[117] 李国光, 刘涛, 赵江艳, 吴文镜, 王林梓, 马铁中, 夏洋. 宽带偏振光谱仪和光学测量系统. CN: CN103185638A, 2013-07-03.

[118] 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 刘键, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种金刚石的制备方法. CN: CN102304696B, 2013-07-03.

[119] 张阳, 解婧, 罗巍, 李超波, 夏洋. 一种利用混合溶剂相剥离石墨制备石墨烯的方法. CN: CN103172053A, 2013-06-26.

[120] 李国光, 刘涛, 赵江艳, 郭青杨, 艾迪格·基尼欧, 马铁中, 夏洋. 包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统. CN: CN103162832A, 2013-06-19.

[121] 李国光, 吴文镜, 刘涛, 赵江艳, 郭青杨, 马铁中, 夏洋. 宽带偏振光谱仪及光学测量系统. CN: CN103162831A, 2013-06-19.

[122] 汪明刚, 李超波, 屈芙蓉, 夏洋. 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测方法. CN: CN103165488A, 2013-06-19.

[123] 窦伟, 李楠, 李超波, 夏洋. 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置. CN: CN103165382A, 2013-06-19.

[124] 万军, 赵柯杰, 黄成强, 饶志鹏, 陈波, 李超波, 夏洋, 吕树玲, 石莎莉. 掺氮二氧化钛薄膜的制备方法. CN: CN103160802A, 2013-06-19.

[125] 万军, 赵柯杰, 黄成强, 饶志鹏, 陈波, 李超波, 夏洋, 吕树玲, 石莎莉. 提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法. CN: CN103160807A, 2013-06-19.

[126] 窦伟, 李楠, 李超波, 夏洋. 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置. CN: CN103165383A, 2013-06-19.

[127] 汪明刚, 李超波, 屈芙蓉, 夏洋. 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置. CN: CN103165489A, 2013-06-19.

[128] 屈芙蓉, 李超波, 陈瑶, 夏洋. 一种等离子体腔室内衬结构. CN: CN103165379A, 2013-06-19.

[129] 刘杰, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种等离子体浸没注入电极结构. CN: CN103165377A, 2013-06-19.

[130] 李超波, 汪明刚, 屈芙蓉, 夏洋. 一种用于等离子体浸没注入中剂量检测方法. CN: CN103165378A, 2013-06-19.

[131] 汪明刚, 夏洋, 李超波, 刘杰, 李勇滔, 陈瑶, 赵丽莉. 一种等离子体浸没注入装置. CN: CN103165376A, 2013-06-19.

[132] 汪明刚, 李超波, 夏洋. 用于等离子体浸没注入中控制注入元素分布陡度的方法. CN: CN103165372A, 2013-06-19.

[133] 李超波, 汪明刚, 夏洋. 一种控制注入结深度的方法. CN: CN103165423A, 2013-06-19.

[134] 李超波, 汪明刚, 屈芙蓉, 夏洋. 一种用于等离子体浸没注入中剂量检测装置. CN: CN103165371A, 2013-06-19.

[135] 李超波, 屈芙蓉, 陈瑶, 刘传钦, 夏洋. 半导体腔室用压片装置. CN: CN103165375A, 2013-06-19.

[136] 李勇滔, 秦威, 赵章琰, 李英杰, 夏洋. 射频功率放大模块及具有散热风道的大功率射频电源. CN: CN103166580A, 2013-06-19.

[137] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种低压等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 陶瓷涂层的方法. 中国: CN103132007A, 2013-06-05.

[138] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种等离子氢处理制备黑色Y 2 O 3 陶瓷涂层的方法. 中国: CN103132006A, 2013-06-05.

[139] 屈芙蓉, 胡冬冬, 刘训春, 刘杰, 李超波, 夏洋. 一种进气装置. CN: CN103137521A, 2013-06-05.

[140] 罗巍, 解婧, 张阳, 李超波, 夏洋. 一种晶圆级阳极键合方法. CN: CN103130180A, 2013-06-05.

[141] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种制备Y 2 O 3 陶瓷涂层的改进方法. 中国: CN103132001A, 2013-06-05.

[142] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种三阴极等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. 中国: CN103132004A, 2013-06-05.

[143] 邵花, 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种黑色Y 2 O 3 陶瓷涂层的制备方法. 中国: CN103132002A, 2013-06-05.

[144] 李勇滔, 赵章琰, 秦威, 李英杰, 夏洋. 具有精密功率检测器的射频电源. CN: CN103137408A, 2013-06-05.

[145] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 基于ARM的嵌入式注入机控制系统. CN: CN103137410A, 2013-06-05.

[146] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 模块化离子注入机控制系统. CN: CN103137412A, 2013-06-05.

[147] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 基于虚拟仪器的注入机控制系统. CN: CN103135509A, 2013-06-05.

[148] 王蒙, 李勇滔, 赵章琰, 李超波, 夏洋. 离子注入机控制系统. CN: CN103137413A, 2013-06-05.

[149] 赵章琰, 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 一种电路单元. CN: CN103138688A, 2013-06-05.

[150] 李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文东. 射频信号相位可调节的射频电源. CN: CN202949378U, 2013-05-22.

[151] 秦威, 李勇滔, 李英杰, 赵章琰, 夏洋. 准互补电压开关型D类功放同时导通的保护方法及电路. CN: CN103107781A, 2013-05-15.

[152] 秦威, 李勇滔, 李英杰, 赵章琰, 夏洋. D类射频功率放大电路. CN: CN103107784A, 2013-05-15.

[153] 孙小孟, 李勇滔, 李英杰, 赵章琰, 秦威, 夏洋. 一种传输线自动阻抗匹配系统. CN: CN103107793A, 2013-05-15.

[154] 邵花, 王文东, 夏洋, 李勇滔. 一种Y 2 O 3 耐侵蚀陶瓷涂层的改进方法. 中国: CN103074563A, 2013-05-01.

[155] 邵花, 王文东, 夏洋, 李勇滔. 一种改进性能的Y 2 O 3 耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法. 中国: CN103074562A, 2013-05-01.

[156] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种真空等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. 中国: CN103074564A, 2013-05-01.

[157] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种水稳等离子喷涂技术制备Y 2 O 3 涂层的方法. 中国: CN103074567A, 2013-05-01.

[158] 王文东, 罗小晨, 刘邦武, 夏洋, 李勇滔. 一种Y 2 O 3 耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法. 中国: CN103074568A, 2013-05-01.

[159] 赵章琰, 李勇滔, 秦威, 李英杰, 夏洋. 高效率射频电源的相位同步电路. CN: CN103067001A, 2013-04-24.

[160] 赵章琰, 李勇滔, 李英杰, 秦威, 夏洋. 低噪声的开关电源变压器及低噪声开关电源. CN: CN103065773A, 2013-04-24.

[161] 杨进, 徐维江, 李勇滔, 夏洋. 一种用于匹配器设备的空气电容结构. CN: CN103065791A, 2013-04-24.

[162] 董亚斌, 夏洋, 李超波, 张阳. 一种利用ALD制备栅介质结构的方法. CN: CN103065955A, 2013-04-24.

[163] 席峰, 王佳, 李楠, 汪明刚, 夏洋. 一种电极引入结构. CN: CN103065918A, 2013-04-24.

[164] 席峰, 胡冬冬, 李楠, 汪明刚, 夏洋. 一种进气结构及等离子体工艺设备. CN: CN103068137A, 2013-04-24.

[165] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 基于模拟退火算法的自适应压力控制的原子层沉积设备. CN: CN103046029A, 2013-04-17.

[166] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种防回流的原子层沉积设备及其使用方法. CN: CN103046024A, 2013-04-17.

[167] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 基于可伸缩腔室的原子层沉积设备及其使用方法. CN: CN103046022A, 2013-04-17.

[168] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 基于高精度PID控制温度的原子层沉积设备. CN: CN103046028A, 2013-04-17.

[169] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 基于压力测量模块的原子层沉积设备及其使用方法. CN: CN103046030A, 2013-04-17.

[170] 刘涛, 李国光, 赵江艳, 艾迪格·基尼欧, 马铁中, 夏洋, 严晓浪. 包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统. CN: CN103048047A, 2013-04-17.

[171] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种原子层沉积设备及其使用方法. CN: CN103031546A, 2013-04-10.

[172] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种安全性高的原子层沉积设备. CN: CN103031532A, 2013-04-10.

[173] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种可快速处理数据的原子层沉积设备. CN: CN103031544A, 2013-04-10.

[174] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种可实时数据处理的原子层沉积设备. CN: CN103031533A, 2013-04-10.

[175] 王燕, 李勇滔, 夏洋, 赵章琰, 石莎莉. 一种沉积室容积可调节的原子层沉积设备. CN: CN103031545A, 2013-04-10.

[176] 孙小孟, 李勇滔, 赵章琰, 李英杰, 秦威, 夏洋. 一种射频阻抗匹配器. CN: CN103025041A, 2013-04-03.

[177] 赵章琰, 李勇滔, 秦威, 李英杰, 夏洋. 高压开关电源的隔离式电压电流检测控制电路. CN: CN103023331A, 2013-04-03.

[178] 赵章琰, 李勇滔, 秦威, 李英杰, 夏洋. 快速精密射频自动匹配装置. CN: CN103021774A, 2013-04-03.

[179] 赵章琰, 李勇滔, 秦威, 李英杰, 夏洋. 高压开关电源的隔离式电压电流检测控制电路. CN: CN103023328A, 2013-04-03.

[180] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘训春. 一种金属氮化物阻挡层的制备方法. CN: CN103021931A, 2013-04-03.

[181] 罗巍, 解婧, 李超波, 夏洋. 一种多层石墨烯的减薄方法. CN: CN102931055A, 2013-02-13.

[182] 孙小孟, 李勇滔, 李英杰, 刘训春, 夏洋. 一种射频阻抗匹配器. CN: CN102891660A, 2013-01-23.

[183] 王佳, 刘训春, 席峰, 夏洋. 一种真空腔内转动部件的定位装置. CN: CN102881547A, 2013-01-16.

[184] 孙小孟, 李勇滔, 李英杰, 刘训春, 夏洋. 一种可视化射频阻抗匹配器. CN: CN102883517A, 2013-01-16.

[185] 陈鲁, 夏洋, 张超前, 张学一. LED光学特性检测方法及检测装置. CN: CN102865999A, 2013-01-09.

[186] 夏洋, 沈泽南, 刘邦武, 李超波, 李勇滔. 一种太阳能电池正面栅线电极的制备方法. CN: CN102769064A, 2012-11-07.

[187] 王文东, 刘邦武, 夏洋, 李超波, 罗小晨, 李勇滔. 一种测量涂层耐腐蚀性能的方法. CN: CN102735601A, 2012-10-17.

[188] 汪明刚, 李超波, 屈芙蓉, 夏洋. 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置. CN: CN202487543U, 2012-10-10.

[189] 窦伟, 李楠, 李超波, 夏洋. 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置. CN: CN202384293U, 2012-08-15.

[190] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘邦武, 刘训春. 一种制备金属氮化物阻挡层的装置及其使用方法. CN: CN102623311A, 2012-08-01.

[191] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘邦武, 刘训春. 一种阻挡层及其制备方法. CN: CN102623435A, 2012-08-01.

[192] 王文东, 夏洋, 李超波, 李勇滔, 刘邦武, 刘训春. 一种扩散阻挡层及其制备方法. CN: CN102623434A, 2012-08-01.

[193] 夏洋, 李超波, 陈波, 万军, 吕树玲, 马舒. 原子层薄膜沉积系统. CN: CN301977404S, 2012-07-04.

[194] 屈芙蓉, 李楠, 李超波, 夏洋, 李勇滔. 等离子体浸没离子注入机. CN: CN301914763S, 2012-05-16.

[195] 席峰, 胡冬冬, 屈芙蓉, 刘训春, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 刻蚀系统机柜. CN: CN301914735S, 2012-05-16.

[196] 刘涛, 李国光, 艾迪格·基尼欧, 马铁中, 夏洋, 严晓浪. 利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置. CN: CN102455511A, 2012-05-16.

[197] 李楠, 席峰, 李勇滔, 张庆钊, 夏洋. 一种用于进气结构的匀气盘. CN: CN102437002A, 2012-05-02.

[198] 夏洋, 刘邦武, 钟思华, 李超波, 李勇滔. 一种黑硅太阳能电池表面的钝化方法. CN: CN102437236A, 2012-05-02.

[199] 李楠, 席峰, 李勇滔, 张庆钊, 夏洋. 一种新型匀气结构. CN: CN102424955A, 2012-04-25.

[200] 席峰, 胡冬冬, 屈芙蓉, 刘训春, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 刻蚀系统工艺腔室. CN: CN301890737S, 2012-04-18.

[201] 汪明刚, 刘杰, 夏洋, 李超波, 陈瑶, 赵丽莉, 李勇滔. 一种离子注入剂量检测控制方法. CN: CN102376519A, 2012-03-14.

[202] 汪明刚, 刘杰, 夏洋, 李超波, 陈瑶, 赵丽莉, 李勇滔. 等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置. CN: CN102376520A, 2012-03-14.

[203] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种掺氮碳纳米管的制备方法. CN: CN102352490A, 2012-02-15.

[204] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种离子中性化网板. CN: CN102339715A, 2012-02-01.

[205] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 产生中性粒子束装置及方法. CN: CN102332384A, 2012-01-25.

[206] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种用于离子中性化的网板结构. CN: CN102332385A, 2012-01-25.

[207] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种单晶立方型氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN102321919A, 2012-01-18.

[208] 刘键, 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种碳纳米管的制备方法. CN: CN102321876A, 2012-01-18.

[209] 李勇滔, 秦威, 赵章琰, 李英杰, 夏洋. 射频电源（RFG-300）. CN: CN301794248S, 2012-01-11.

[210] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 用于双腔室结构等离子体浸没离子注入的隔板装置. CN: CN102315068A, 2012-01-11.

[211] 李超波, 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 一种等离子体浸没离子注入系统. CN: CN102312210A, 2012-01-11.

[212] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种金刚石的制备方法. CN: CN102304697A, 2012-01-04.

[213] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种电极固定结构. CN: CN102306602A, 2012-01-04.

[214] 刘键, 饶志鹏, 万军, 夏洋, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种掺氮氧化锌薄膜的制备方法. CN: CN102304700A, 2012-01-04.

[215] 夏洋, 刘邦武, 沈泽南, 李超波, 刘杰, 李勇滔. 一种发射极上黑硅结构的太阳能电池及其制备方法. CN: CN102306664A, 2012-01-04.

[216] 刘邦武, 王文东, 夏洋, 李超波, 罗小晨, 李勇滔. 等离子体刻蚀工艺腔室内表面的改性处理方法. CN: CN102296263A, 2011-12-28.

[217] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 基片离子均匀注入的方法. CN: CN102296275A, 2011-12-28.

[218] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种非金属真空腔室结构. CN: CN102290313A, 2011-12-21.

[219] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 产生中性粒子束的装置及方法. CN: CN102290314A, 2011-12-21.

[220] 席峰, 李勇滔, 李楠, 张庆钊, 夏洋. 一种平板电极固定结构. CN: CN102290312A, 2011-12-21.

[221] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 李超波, 陈波, 黄成强, 刘键, 石莎莉, 李勇滔. 一种异质结黑硅太阳能电池的制备方法. CN: CN102290496A, 2011-12-21.

[222] 刘邦武, 夏洋, 刘杰, 李超波, 李勇滔, 王文东, 汪明刚. 一种发光多孔硅的制备方法. CN: CN102259875A, 2011-11-30.

[223] 李勇滔, 赵章琰, 秦威, 李英杰, 夏洋. 基于E类功率放大电路的固态射频电源. CN: CN102255606A, 2011-11-23.

[224] 吴文镜, 李国光, 艾迪格·基尼欧, 马铁中, 夏洋. 可二维微调的微型电动平移台. CN: CN102243357A, 2011-11-16.

[225] 李勇滔, 赵章琰, 秦威, 李英杰, 夏洋. 射频电源（RFG-500）. CN: CN301728088S, 2011-11-16.

[226] 夏洋, 刘邦武, 李超波, 刘杰, 李勇滔, 陈瑶, 沈泽南. 一种基于单晶硅衬底上多孔金字塔结构的制造方法. CN: CN102140697A, 2011-08-03.

[227] 夏洋, 饶志鹏, 万军, 刘键, 李超波, 陈波, 黄成强, 石莎莉, 李勇滔. 一种单晶立方型氮化碳薄膜的制备方法. CN: CN102115878A, 2011-07-06.

[228] 刘杰, 刘键, 冷兴龙, 屈芙蓉, 李超波, 夏洋. 一种PECVD系统. CN: CN102086514A, 2011-06-08.

[229] 夏洋, 饶志鹏, 刘键. 一种单原子层石墨烯薄膜的制备方法. CN: CN102051592A, 2011-05-11.

[230] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 陈瑶, 赵丽莉. 在等离子体浸没离子注入中对不同质量离子分离的装置. CN: CN102021524A, 2011-04-20.

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[232] 刘杰, 汪明刚, 夏洋, 李超波, 罗威, 罗小晨, 李勇滔. 等离子体浸没离子注入设备. CN: CN201785482U, 2011-04-06.

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[146] 陈清, 梁学磊, 车仁超, 夏洋, 薛增泉, 吴全德, 彭练矛. 碳纳米管室温单电子器件的构建和特性测量. 物理. 2002, 31(12): 761-763, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7217648.
[147] 于广华, 夏洋. 较薄坡莫合金薄膜的磁性能和结构. 真空科学与技术. 2001, 21(5): 419-422, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=5962066.
[148] 于广华, 夏洋. 磁性多层膜的Ф射线光电子能谱研究. 真空科学与技术. 2000, 20(5): 315-318, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=4664838.

   

（ 1 ） 二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器, 主持, 国家级, 2015-01--2020-12
（ 2 ） 28-14nm原子层沉积系统（ALD）腔室关键技术研究, 主持, 国家级, 2015-01--2018-12

已指导学生

宋李梅  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

于进勇  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

郭丽莎  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

薛丽君  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

袁婷婷  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

罗小晨  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王立新  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

黄成强  硕士研究生  430109-电子与通信工程  

汪明刚  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

杨威风  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

饶志鹏  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

罗巍  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

沈泽南  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

胡冬冬  博士研究生  085271-电子与信息  

刘上贤  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张祥  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张阳  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

窦伟  硕士研究生  430110-集成电路工程  

董亚斌  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张思敏  硕士研究生  085209-集成电路工程  

程嵩  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

严冬  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王林梓  博士研究生  085271-电子与信息  

现指导学生

杨胜  硕士研究生  085209-集成电路工程  

明帅强  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学