微纳传感器、气体传感器、功能材料的原位表征

   

080903-微电子学与固体电子学

微纳传感器
气体传感器
原位TEM

2013-09--2016-07   中国科学院大学   工学博士
2005-09--2008-06   上海大学   理学硕士
2001-09--2005-06   郑州轻工业大学   理学学士

   

2023-01~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 研究员
2016-01~2022-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 副研究员
2011-01~2015-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 助理研究员
2008-07~2010-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 研究实习员

2022-12-01-今,The 18th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2023), Program Co-chair
2022-11-30-今,The 22st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023), Technical Program Committee (TPC)委员
2020-01-01-今,Chinese Chemical Letters, 青年编委
2019-11-01-今,中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会, 理事
2013-01-01-今,中国电子学会气湿敏传感技术专业委员会, 委员

   

（ 1 ） 一种浸渍式点样仪及微悬臂梁传感芯片的制备方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113189357A

（ 2 ） 一种测定固液界面上动力学及热力学参数的方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113125552A

（ 3 ） 一种气体传感材料及其制备方法和用途, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113092543A

（ 4 ） 高分离效率的硅基微气相色谱柱及其制备方法, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN107561201B

（ 5 ） 用于TEM构效关联间接原位表征的芯片及其制作方法, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN109682710B

（ 6 ） 用于TEM构效关联直接原位表征的芯片及其制作方法, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN109682711B

（ 7 ） 一种基于Pd-Ag合金纳米晶的氢气传感器及其制备方法, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111855756A

（ 8 ） 一种用于检测苯系物的敏感元件及其制备方法和应用, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN110208345A

（ 9 ） 一种介孔二氧化硅材料对有机磷吸附速度的控制方法, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109663562A

（ 10 ） 一种介孔氧化硅纳米材料的用途, 发明专利, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN104771857B

（ 11 ） 一种功能材料热力学参数的测试方法, 发明专利, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN104897508B

（ 12 ） 一种用于VOCs检测的传感系统及检测方法, 发明专利, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN105910946B

（ 13 ） 一种高灵敏度氨类气体传感器及其制备方法, 发明专利, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN105004626B

（ 14 ） 一种微悬臂谐振结构传感器及其制造方法, 发明专利, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN105067471B

（ 15 ） 一种 CO 2 传感材料性能的测试方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105891041A

（ 16 ） 一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105271361A

（ 17 ） 液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104569369A

（ 18 ） 一种表面多功能化微流控芯片的圆片级制造方法, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103991841A

（ 19 ） 一种谐振频率测量及跟踪系统和方法, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103728494A

（ 20 ） 一种用于基因检测的质量型传感器及其制备方法和应用, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103667039A

（ 21 ） 在氧化石墨烯表面生长贵金属纳米晶的方法, 发明专利, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103668141A

（ 22 ） 具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的制造方法, 发明专利, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103626193A

（ 23 ） 平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102689869A

（ 24 ） 功能化介孔材料为敏感材料的质量型化学传感器及方法, 发明专利, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN102175764A

（ 25 ） 利用功能化碳纳米管为敏感材料的微悬臂梁传感器的方法, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN101935008A

（ 26 ） 在微悬臂梁表面一步制造羧酸功能化单层膜的方法, 发明专利, 2010, 第 1 作者, 专利号: CN101712451A

（ 27 ） 利用单根集成电阻同时实现驱动及自清洗的微机械悬臂梁, 发明专利, 2009, 第 4 作者, 专利号: CN101492150

（ 28 ） 利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法, 发明专利, 2009, 第 4 作者, 专利号: CN101451946

   

（1） Nano beta zeolites catalytic-cracking effect on hydrochlorofluorocarbon molecule for specific detection of Freon, JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY A, 2021, 第 2 作者
（2） Quantitative structure-activity relationship of nanowire adsorption to SO2 revealed by in situ TEM technique, Nano Letters, 2021, 通讯作者
（3） Thermodynamic Phase-like Transition Effect of Molecular Self-assembly, JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY LETTERS, 2021, 第 1 作者
（4） Optimization of nano-copper as H2S gas sensing material by quantitatively evaluating thermodynamic enthalpy with resonant microcantilever, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 第 2 作者
（5） LONG-TERM STABILITY IMPROVEMENT OF MICRO-HOTPLATE METHANE SENSOR PRODUCT, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 第 2 作者
（6） Solution-phase synthesis of ordered mesoporous carbon as resonant-gravimetric sensing material for room-temperature H2S detection, Solution-phase synthesis of ordered mesoporous carbon as resonant-gravimetric sensing material for room-temperature H2S detection, CHINESE CHEMICAL LETTERS, 2020, 通讯作者
（7） Pentagram-Shaped Ag@Pt Core-Shell Nanostructures as High-Performance Catalysts for Formaldehyde Detection, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2020, 第 2 作者
（8） Resonant-Cantilever-Detected Kinetic/Thermodynamic Parameters for Aptamer-Ligand Binding on a Liquid-Solid Interface, ANALYTICAL CHEMISTRY, 2020, 第 5 作者
（9） IN-PLANE MODE RESONANT CANTILEVER SENSOR TO DETECT KINETIC/THERMODYNAMIC PARAMETERS FOR APTAMER-LIGAND BINDING, 2020 33RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2020), 2020, 第 4 作者
（10） The catalytic-induced sensing effect of triangular CeO2 nanoflakes for enhanced BTEX vapor detection with conventional ZnO gas sensors, JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY A, 2020, 通讯作者
（11） In situ construction of metal-organic framework (MOF) UiO-66 film on Parylene-patterned resonant microcantilever for trace organophosphorus molecules detection, ANALYST, 2019, 通讯作者
（12） ZnO-NANOWIRES COATED WITH GAMMA-ORDERED MESOPOROUS ALUMINA (GAMMA-OMA) CATALYST FOR DETECTION OF FREON, 2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2018, 第 1 作者
（13） Revealing humidity-enhanced NH3 sensing effect by using resonant microcantilever, SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2018, 通讯作者
（14） Corrigendum to "Detection of volatile-organic-compounds (VOCs) in solution using cantilever-based gas sensors" Talanta 182 (2018) 148-155, Talanta, 2018, 第 2 作者
（15） Metal organic framework of MOF-5 with hierarchical nanopores as micro-gravimetric sensing material for aniline detection, Sensors & Actuators: B. Chemical, 2018, 第 3 作者
（16） Resonant-Gravimetric Identification of Competitive Adsorption of Environmental Molecules, ANALYTICAL CHEMISTRY, 2017, 第 1 作者
（17） ZnO-nanowire size effect induced ultra-high sensing response to ppb-level H2S, SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2017, 第 2 作者
（18） Mesoporous Tungsten Oxides with Crystalline Framework for Highly Sensitive and Selective Detection of Foodborne Pathogens, Journal of The American Chemical Society, 2017, 第 6 作者
（19） 本征ZnO纳米线的原位生长及其对痕量H2S气体的敏感性, In Situ Growth of Intrinsic ZnO Nanowires for Trace-level H_2S Gas Sensing, 仪表技术与传感器, 2017, 第 5 作者
（20） Metal-Organic Frameworks for Resonant-Gravimetric Detection of Trace-Level Xylene Molecules, ANALYTICAL CHEMISTRY, 2016, 第 2 作者
（21） Microgravimetric Analysis Method for Activation-Energy Extraction from Trace-Amount Molecule Adsorption, ANALYTICAL CHEMISTRY, 2016, 第 1 作者
（22） u-'Diving suit' for liquid-phase high-Q resonant detection, LAB ON A CHIP, 2016, 
（23） Amphiphilic Block Copolymer Templated Synthesis of Mesoporous Indium Oxides with Nanosheet-Assembled Pore Walls, CHEMISTRY OF MATERIALS, 2016, 第 4 作者
（24） A micelle fusion-aggregation assembly approach to mesoporous carbon materials with rich active sites for ultrasensitive ammonia sensing, JOURNAL OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY, 2016, 第 5 作者
（25） Carboxyl functionalizedgoldnanoparticlesinsitugrownonreduced graphene oxideformicro-gravimetricammoniasensing, Sensors and ActuatorsB:Chemical, 2015, 通讯作者
（26） Synergistic improvement of gas sensing performance by micro-gravimetrically extracted kinetic/thermodynamic parameters, ANALYTICA CHIMICA ACTA, 2015, 第 2 作者
（27） Mesoporous-silica nanofluidic channels for quick enrichment/extraction of trace pesticide molecules, SCIENTIFIC REPORTS, 2015, 第 1 作者
（28） Sulfuration-desulfuration reaction sensing effect of intrinsic ZnO nanowires for high-performance H2S detection, JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY A, 2015, 第 2 作者
（29） Hyper-branch sensing polymer batch self-assembled on resonant micro-cantilevers with a coupling-reaction route, Sensors & Actuators: B. Chemical, 2015, 第 2 作者
（30） Microgravimetric Thermodynamic Modeling for Optimization of Chemical Sensing Nanomaterials, ANALYTICAL CHEMISTRY, 2014, 第 1 作者
（31） Mesoporous Silica Nanoparticles (MSNs) for Detoxification of Hazardous Organophorous Chemicals, SMALL, 2014, 第 1 作者
（32） 超长氧化锌纳米线的制备及其气敏性能和紫外传感应用研究, Preparation of Ultra-long ZnO Nanowires and Its Gas Sensing Properties and UV Sensing Application, 发光学报, 2014, 第 5 作者
（33） 基于FPGA的谐振悬臂梁传感器智能接口电路, Intelligent Interface Circuit for Resonant Cantilever Sensors Based on FPGA, 仪表技术与传感器, 2013, 第 4 作者
（34） 自组装单层膜模板控制生长氧化亚铜晶体及其对DMMP气体的检测（英文）, Prefer-oriented Cu_2O Micro-crystals:SAM Templated Growth and DMMP-vapor Detection, 无机材料学报, 2011, 第 2 作者

   

（ 1 ） 中国科学院青年创新促进会, 负责人, 中国科学院计划, 2016-01--2019-12
（ 2 ） 纳米尺度效应对氧化石墨烯气体敏感性能的调控研究, 负责人, 国家任务, 2017-01--2019-12
（ 3 ） 功能纳米结构与理化性质关联跨尺度表征测量及应用验证, 参与, 国家任务, 2016-06--2021-05
（ 4 ） 基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料特性评估装置, 参与, 国家任务, 2016-01--2020-12
（ 5 ） 高通量定量化表征室温气敏材料敏感特性的谐振悬臂梁阵列技术, 负责人, 国家任务, 2020-01--2023-12
（ 6 ） 低功耗MEMS传感器阵列制造技术, 负责人, 国家任务, 2020-10--2023-09
（ 7 ） 基于功能化超短程孔道介孔材料的谐振式悬臂梁痕量有机磷农药传感器, 负责人, 地方任务, 2020-01--2022-12
（ 8 ） 面向战略新能源安全使用的MEMS气体现场检测仪的研制, 负责人, 中国科学院计划, 2022-01--2023-12
（ 9 ） 微纳一体化集成超灵敏生化传感器研究, 参与, 国家任务, 2021-11--2024-10

（1）ZnO-NANOWIRES COATED WITH GAMMA-ORDERED MESOPOROUS ALUMINA (GAMMA-OMA) CATALYST FOR DETECTION OF FREON   Pengcheng Xu, Ying Chen, and Xinxin Li   2018-01-21
（2）MULTI-DIMENSIONAL MULTI-LEVEL SENSING NANOSTRUCTURE FOR HIGH-PERFORMANCE DETECTION TO TRACE-LEVEL DOPAMINE MOLECULES   Pengcheng Xu, Manyi Liu, Xinxin Li, Tao Xu, and Yuan Zhang   2017-06-18
（3）MOF NANO-CRYSTALS OF ZIF-8 IDENTIFIED AS AMBIENT NO2 GAS ABSORBENT BY USING RESONANT MICRO-CANTILEVER EXPERIMENT   Pengcheng Xu, Haitao Yu, Tao Xu, and Xinxin Li   2017-01-22

现指导学生

周宇帆  硕士研究生  085400-电子信息  

杨乔元  硕士研究生  085400-电子信息  

程龙  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学