基本信息

谢常青  男  博导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: xiechangqing@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
招生方向
新型纳米存储器件与集成技术
衍射光学器件

工作经历

   
工作简历
2006-03~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
社会兼职
2015-01-01-2019-01-01,中国光学工程学会第一届理事会理事, 理事
2014-08-01-2018-08-01,北京正负电子对撞机国家实验室同步辐射用户委员会委员, 委员
2011-03-01-今,中国光学学会高级会员,

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 中国科学院第五届“科苑名匠”, 一等奖, 院级, 2024
(2) 软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪, 一等奖, 省级, 2021
(3) 中国电子信息科技创新团队奖, 一等奖, 部委级, 2019
(4) 新型存储器件及集成研究集体, 一等奖, 院级, 2018
(5) 高精度微纳结构掩模制造核心技术, 二等奖, 国家级, 2013
(6) 某某技术, 二等奖, 国家级, 2013
(7) 某某, 二等奖, 部委级, 2011
(8) 微纳结构“自上而下”制备核心技术与集成应用, 一等奖, 省级, 2010
(9) 中高频声表面波关键材料和器件研究, 一等奖, 省级, 2006
(10) 先进的深亚微米工艺技术及新型器件, 一等奖, 省级, 2003

出版信息

   
发表论文
(1) 衍射光学元件成套制造技术研究进展, Research progress on complete fabrication technology of diffractive optical elements, 光学精密工程, 2022, 第 1 作者
(2) All diffractive optical element setup for creating and characterizing optical vortices with high topological charges: Analytical models and numerical results, OPTICS COMMUNICATIONS, 2021, 通讯作者
(3) Bistable active spectral tuning of one-dimensional nanophotonic crystal by phase change, OPTICS EXPRESS, 2020, 通讯作者
(4) Phase change induced active metasurface devices for dynamic wavefront control, JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2020, 通讯作者
(5) Fabrication of Ultra-High Aspect Ratio (> 420:1) Al2O3 Nanotube Arraysby Sidewall TransferMetal Assistant Chemical Etching, MICROMACHINES, 2020, 通讯作者
(6) Proposed a self-absorption internal standard model to detect element concentrations of complex constituent material with a single emission line of element in laser plasmas, OPTICS EXPRESS, 2020, 通讯作者
(7) Fabrication of Ultra-High Aspect Ratio (>420:1) Al 2 O 3 Nanotube Arraysby Sidewall TransferMetal Assistant Chemical Etching, MICROMACHINES, 2020, 第 2 作者
(8) Comprehensive characterization of TSV etching performance with phase-contrast X-ray microtomography, JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2020, 通讯作者
(9) Complete Control of Multichannel, Angle-Multiplexed, and Arbitrary Spatially Varying Polarization Fields, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2020, 通讯作者
(10) Binary sinusoidal single-order multilayer gratings for tender x-ray region, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA A-OPTICS IMAGE SCIENCE AND VISION, 2020, 第 9 作者
(11) Ultra-Broadband High-Efficiency Solar Absorber Based on Double-Size Cross-Shaped Refractory Metals, NANOMATERIALS, 2020, 通讯作者
(12) Suppression of higher diffraction orders in the extreme ultraviolet with a trapezoidal nano-mirror array, JOURNAL OF MODERN OPTICS, 2019, 其他(合作组作者)
(13) Characterization of focusing performance of spiral zone plates with fractal structure, CHINESE PHYSICS B, 2019, 第11作者
(14) High-efficiency V-shaped phase gratings to suppress high order diffractions, AIP ADVANCES, 2019, 通讯作者
(15) Preparation of TiO2 nanotube arrays with efficient photocatalytic performance and super-hydrophilic properties utilizing anodized voltage method, RESULTS IN PHYSICS, 2019, 通讯作者
(16) Direct Production of Silicon Nanostructures with Electrochemical Nanoimprinting, ACS APPLIED ELECTRONIC MATERIALS, 2019, 通讯作者
(17) 随机位相菲涅耳透镜阵列激光束匀化, Beam Homogenization of a Fresnel Lens Array with a Randomly Distributed Phase for Laser Beams, 光子学报, 2019, 第 5 作者
(18) Tailoring focused optical vortices by using spiral forked plates, OPTICS LETTERS, 2019, 通讯作者
(19) Multichannel Spatially Nonhomogeneous Focused Vector Vortex Beams for Quantum Experiments, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2019, 
(20) Effect of temperature dependent electronics surface and grainboundary scattering on resistivity of polycrystalline silver nanowire fabricated by two-beam laser fabrication technique, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2019, 通讯作者
(21) Composited holograms for the generation of cylindrical optical lattices and flower modes, APPLIED OPTICS, 2018, 通讯作者
(22) Realization of near-perfect absorption in the whole reststrahlen band of SiC, NANOSCALE, 2018, 第 7 作者
(23) Effects of structure parameters on high-order diffraction suppression of quasi-periodic gratings, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS, 2018, 第 6 作者
(24) In-depth evolution of chemical states and sub-10-nm-resolution crystal orientation mapping of nanograins in Ti(5 nm)/Au(20 nm)/Cr(3 nm) tri-layer thin films, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2018, 第11作者
(25) Characterization of the focusing performance of axial line-focused spiral zone plates, APPLIED OPTICS, 2018, 其他(合作组作者)
(26) Electrical and thermal properties of silver nanowire fabricated on a flexible substrate by two- beam laser direct writing for designing a thermometer, RSCADVANCES, 2018, 通讯作者
(27) Suppression of higher diffraction orders in the extreme ultraviolet range by a reflective quasi-random square nano-pillar array, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2018, 第11作者
(28) Influence of Current Density on Orientation-Controllable Growth and Characteristics of Electrochemically Deposited Au Films, JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2018, 第 8 作者
(29) Nanofabrication and characterization of high-line-density x-ray transmission gratings0, J. of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2017, 通讯作者
(30) Single-focus spiral zone plates, OPTICS LETTERS, 2017, 通讯作者
(31) Nanofabrication and characterization of high-line-density x-ray transmission gratings, J. MICRO/NANOLITH. MEMS MOEMS, 2017, 第 3 作者
(32) Two-dimensional gratings of hexagonal holes for high order diffraction suppression, OPTICS EXPRESS, 2017, 第 7 作者
(33) High order diffraction suppression by quasiperiodic two-dimensional gratings, OPTICAL MATERIALS EXPRESS, 2017, 第 7 作者
(34) Nanofabrication and characterization of high-line-density x-ray transmission gratings, JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 2017, 通讯作者
(35) High-order Suppression of Quasi-triangle Array Transmission Gratings, 2017, 第 5 作者
(36) 大高宽比硬X射线波带片制作及聚焦测试, Fabrication and focusing test of hardX-ray zone plates with high aspect ratio, 光学精密工程, 2017, 第 2 作者
(37) Higher-order diffraction suppression of free-standing quasiperiodic nanohole arrays in the x-ray region, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2017, 通讯作者
(38) Zigzag grating with quasi-random array for single order, 2017, 第 5 作者
(39) Fabrication of ultra-high aspect ratio (>160:1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching, J. MICROMECH. MICROENG, 2017, 第 4 作者
(40) Fabrication of ultra-high aspect ratio (> 160: 1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017, 通讯作者
(41) High order diffraction suppression of the membrane with hexagonal hole array, PHOTOPTICS, 2017, 第 3 作者
(42) The Quasi-Triangle Array of Rectangular Holes with the Completely, 2017, 第 5 作者
(43) 基于移位双光栅色散元件的X射线谱仪研制, Investigation into the design and diffraction efficiency of shifted dual transmission grating, ACTA PHYSICA SINICA, 2016, 第 5 作者
(44) A MEMS thermal shear stress sensor produced by a combination of substrate-free structures with anodic bonding technology, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2016, 通讯作者
(45) Coriolis effect and spin Hall effect of light in an inhomogeneous chiral medium, OPTICS LETTERS, 2016, 第 3 作者
(46) Unified percolation model for bipolaron-assisted organic magnetoresistance in the unipolar transport regime, PHYSICAL REVIEW B, 2016, 第 4 作者
(47) Effect of Near-Field Diffraction in Photolithography of Hexagonal Arrays for Dichroic Filters, IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2016, 通讯作者
(48) Depth-of-Focus Determination for Talbot Lithography of Large-Scale Free-Standing Periodic Features, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2016, 通讯作者
(49) Improving stress stability in low-pressure chemical vapor deposited silicon dioxide films by ion implantation, THIN SOLID FILMS, 2016, 第 3 作者
(50) Investigation into the design and diffraction efficiency of shifted dual transmission grating, ACTA PHYSICA SINICA, 2016, 第 5 作者
(51) High Q Plasmonic Lasing of Band Edge Modes in an Asymmetry Environment, PLASMONICS, 2015, 通讯作者
(52) Single-order diffraction grating designed by trapezoidal transmission function, OPTICS LETTERS, 2015, 第 7 作者
(53) 错位双光栅色散元件设计及衍射效率研究, 光子学报, 2015, 第 7 作者
(54) Realization of a flat-response photocathode for x-ray streak cameras, OPTICS EXPRESS, 2015, 第 13 作者
(55) Large-area SiC membrane produced by plasma enhanced chemical vapor deposition at relatively high temperature, JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2015, 第 2 作者
(56) Free space self-similar beams, OPTICS LETTERS, 2015, 通讯作者
(57) Omnidirectional diffraction control with rotational topological defects, OPTICS EXPRESS, 2015, 第 3 作者
(58) Differential-interference-contrast digital in-line holography microscopy based on a single-optical-element, OPTICS LETTERS, 2015, 通讯作者
(59) Quasi suppression of higher-order diffractions with inclined rectangular apertures gratings, SCIENTIFIC REPORTS, 2015, 通讯作者
(60) Parabolic scaling beams, OPTICS LETTERS, 2014, 通讯作者
(61) Controlled interaction of the optical vortices generated by off-center spiral zone plates, OPTICS COMMUNICATIONS, 2014, 通讯作者
(62) Hybrid lithography for x-ray diffractive optical elements, SPIE NEWSROOM, 2014, 第 1 作者
(63) Quasi-periodic gratings: diffraction orders accelerate along curves, OPTICS LETTERS, 2013, 通讯作者
(64) Realizing a Gabor zone plate with quasi-random distributed hexagon dots, OPTICS EXPRESS, 2013, 第 7 作者
(65) 32 nm节点极紫外光刻掩模的集成研制, 光学学报, 2013, 第 5 作者
(66) Fabrication of x-ray diffractive optical elements for laser fusion applications, OPTICAL ENGINEERING, 2013, 通讯作者
(67) Moire-Based Phase Imaging for Sensing and Adjustment of In-Plane Twist Angle, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2013, 通讯作者
(68) Design, Fabrication, and Characterization of a 240 x 240 MEMS Uncooled Infrared Focal Plane Array With 42-mu m Pitch Pixels, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2013, 第 6 作者
(69) Moiré-based phase imaging for sensing and adjustment of in-plane twist angle, IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2013, 第 2 作者
(70) Experimental demonstration of free-space optical vortex transmutation with polygonal lenses, OPTICS LETTERS, 2012, 通讯作者
(71) Toward two-dimensional nanometer resolution hard X-ray differential-interference-contrast imaging using modified photon sieves, OPTICS LETTERS, 2012, 通讯作者
(72) Enhanced optical transmission through asymmetric nanostructured gold films, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS, 2012, 通讯作者
(73) Using circular Dammann gratings to produce impulse optic vortex rings, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2012, 通讯作者
(74) 高线密度X光透射光栅衍射效率, Diffraction efficiency of high line-density X-ray transmission gratings, 强激光与粒子束, 2012, 第 4 作者
(75) 螺旋型波带片聚焦特性研究, Study on Focusing Properties of Spiral Zone Plate, 光学学报, 2012, 第 6 作者
(76) 反射式单级衍射光栅, Reflection type single-order diffraction grating, ACTA PHYSICA SINICA, 2012, 第 7 作者
(77) High transmission of annular aperture arrays caused by symmetry breaking, PHYSICAL REVIEW A, 2012, 第 2 作者
(78) 反射式单级衍射光栅, Reflection type single-order diffraction grating, ACTA PHYSICA SINICA, 2012, 第 7 作者
(79) Circular Fibonacci gratings, APPLIED OPTICS, 2011, 通讯作者
(80) 微纳金属光学结构制备技术及应用, Micro-and Nano-Metal Structures Fabrication Technology and Applications, 光学学报, 2011, 第 1 作者
(81) 电子束抗蚀剂图形结构的倒塌与粘连, Collapse and Adhesion of the Electron Resist Pattern Structure, 微纳电子技术, 2011, 第 4 作者
(82) Square optical vortices generated by binaray spiral zone plates, Applied Physics Letters, 2011, 通讯作者
(83) Quasi-sinusoidal single-order diffraction transmission grating used in x-ray spectroscopy, OPTICS LETTERS, 2011, 第11作者
(84) High-order diffraction suppression using modulated groove position gratings, OPTICS LETTERS, 2011, 通讯作者
(85) Square optical vortices generated by binary spiral zone plates, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2011, 通讯作者
(86) Fabrication of submicron photon sieve using E-beam lithography and X-ray lithography, MICROELECTRONICENGINEERING, 2011, 第 3 作者
(87) 自支撑透射光栅的设计、制作和测试, Design,fabrication and test of x ray freestanding transmission gratings, 物理学报, 2010, 第 2 作者
(88) Quantum-dot-array diffraction grating with single order diffraction property for soft x-ray region, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2010, 第 6 作者
(89) 螺旋型波带片成像的空间分辨率研究, Study on the spatial resolution of spiral zone plate imaging, 光电子.激光, 2010, 第 5 作者
(90) 33331/mmX射线全镂空自支撑透射光栅的制备与测试, Fabrication and Measurement of 3 333 l/mm X-Ray Self-Standing Transmission Gratings, 微纳电子技术, 2010, 第 5 作者
(91) 2000lp/mm X射线透射变栅距光栅的研究, Study on Properties of 2000 lp/mm X-Ray Transmission Varied Line-Space Gratings, 光学学报, 2010, 第 5 作者
(92) Feasibility study of hard-x-ray nanofocusing above 20 keV using compound photon sieves, OPTICS LETTERS, 2010, 通讯作者
(93) A super-resolution Fresnel zone plate and photon sieve, OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2010, 第 2 作者
(94) 复合型光子筛及其在大口径成像中的应用, Composite Photon Sieve and Its Application in Large Aperture Imaging, 光电工程, 2010, 第 2 作者
(95) 利用螺旋型波带片进行边缘增强成像, Edge enhancement imaging using spiral zone plate, 强激光与粒子束, 2010, 第 2 作者
(96) Fabrication of a 256-bits organic memory by soft x-ray lithography, CHINESE PHYSICS B, 2010, 第 6 作者
(97) 电子散射参数提取的新方法, Novel Method of Electron Scattering Parameters Determination, 微纳电子技术, 2010, 第 3 作者
(98) 阵列位相环匀光器, Device of Energy Uniformity Array Phase Ring, 微纳电子技术, 2010, 第 2 作者
(99) Fabrication of a 256-bits organic memory by soft x-ray lithography, Fabrication of a 256-bits organic memory by soft x-ray lithography, 中国物理:英文版, 2010, 第 6 作者
(100) Spiral photon sieves apodized by digital prolate spheroidal window for the generation of hard-x-ray vortex, OPTICS LETTERS, 2010, 通讯作者
(101) 近地空间下X/EUV透射光栅的热力学有限元分析, Thermodynamics Finite Element Analysis of X/EUV Transmission Grating in Terrestrial Space, 光电工程, 2010, 第 4 作者
(102) X射线螺旋波带片制备技术, Fabrication techniques of X-ray spiral zone plates, 核技术, 2010, 第 4 作者
(103) 多能点X射线透射光栅的制作技术, Fabrication of Multi-Energy Point X-Ray Transmission Gratings, 微纳电子技术, 2010, 第 2 作者
(104) Design, fabrication and test of x ray freestanding transmission gratings, ACTA PHYSICA SINICA, 2010, 通讯作者
(105) Organic nonpolar nonvolatile resistive switching in poly(3,4-ethylene-dioxythiophene): Polystyrenesulfonate thin film, ORGANIC ELECTRONICS, 2009, 第 7 作者
(106) Phase zone photon sieve, Phase zone photon sieve, 中国物理:英文版, 2009, 第 2 作者
(107) 2000 l/mm X射线镂空透射光栅的制备研究, Fabrication and Study of 2000 l/mm X-Ray Self-Standing Transmission Gratings, 光学学报, 2009, 第 4 作者
(108) 应用于纳米制造的新型电子束抗蚀剂Calixarene的工艺研究, Process Research of Novel Electron Beam Lithography Resist Calixarene Used in Nanofabrication, 纳米技术与精密工程, 2009, 第 5 作者
(109) Problems on fabrication of computer-generated holograms for testing aspheric surfaces, CHINESE OPTICS LETTERS, 2009, 第 10 作者
(110) Silicon nanocrystals synthesized by electron-beam co-evaporation method and their application for nonvolatile memory, THIN SOLID FILMS, 2009, 第 8 作者
(111) 带支撑结构的大高宽比硬X射线波带片制作, Fabrication of High Aspect-ratio Hard X-Ray Zone Plates with Supporting Structures, 光电工程, 2009, 第 3 作者
(112) 硬X射线光子筛波导效应研究, The waveguide effect of hard X-ray photon sieves, 物理学报, 2009, 第 1 作者
(113) Fabrication of ll-nm-Wide Silica-Like Lines Using X-Ray Diffraction Exposure, Fabrication of ll-nm-Wide Silica-Like Lines Using X-Ray Diffraction Exposure, 中国物理快报:英文版, 2009, 第 2 作者
(114) High-rate reactive ion etching of barium hexaferrite films using optimal CHF3/SF6 gas mixtures, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2009, 第 3 作者
(115) Focusing properties of hard x-ray photon sieves: three-parameter apodization window and waveguide effect, OPTICS LETTERS, 2009, 通讯作者
(116) Phase zone photon sieve, CHINESE PHYSICS B, 2009, 第 2 作者
(117) Design, Fabrication and Test of a Soft X-Ray Even-Order Transmission Grating, Design, Fabrication and Test of a Soft X-Ray Even-Order Transmission Grating, 中国物理快报:英文版, 2009, 第 2 作者
(118) Fabrication of 11-nm-Wide Silica-Like Lines Using X-Ray Diffraction Exposure, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2009, 第 2 作者
(119) Fabrication and Characterization of Si Nanocrystals Synthesized by Electron Beam Evaporation of Si and SiO_2 Mixture, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2009, 第 5 作者
(120) Design, Fabrication and Test of a Soft X-Ray Even-Order Transmission Grating, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2009, 第 2 作者
(121) 自聚焦变栅距光栅设计、制作及特性研究, Design, Fabrication and Self-focusing Properties of Varied Line-space Grating, 光电工程, 2009, 第 4 作者
(122) The waveguide effect of hard X-ray photon sieves, ACTA PHYSICA SINICA, 2009, 通讯作者
(123) 3333lp/mm X射线透射光栅的研制, Fabrication of 3333 lp/mm Soft X-Ray Transmission Gratings, 光学学报, 2008, 第 3 作者
(124) HSQ用于电子束曝光的性能分析, Analysis of Performance of HSQ in Electron Beam Lithography, 微细加工技术, 2008, 第 4 作者
(125) 基于角谱法的振幅型光子筛的设计和分析, Design and Analyze of Amplitude Photon Sieves Based on Angular Spectrum Method, 光子学报, 2008, 第 6 作者
(126) The design, fabrication and performance of a large area 10000 line/mm metal transmission diffraction gratings for soft X-ray, ACTA PHYSICA SINICA, 2008, 第 6 作者
(127) Design, fabrication, and test of soft x-ray sinusoidal transmission grating, OPTICAL ENGINEERING, 2008, 第 4 作者
(128) Asymmetric electrical bistable behavior of an eicosanoic acid/zirconium oxide bilayer system with rectifying effect, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2008, 第 5 作者
(129) Gate oxide punching thru mechanism in plasma dry etching, SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES, 2008, 第 2 作者
(130) ICP等离子体刻蚀系统射频偏压的实验研究, RF Bias Voltage in ICP Etch Systems, 半导体学报, 2008, 第 2 作者
(131) The design, fabrication and performance of a large area 10000 line/mm metal transmission diffraction gratings for soft X-ray, ACTA PHYSICA SINICA, 2008, 第 6 作者
(132) 电子束光刻在纳米加工及器件制备中的应用, Electron Beam Lithography Application on the Nanofabrication and Nanodevice, 微纳电子技术, 2008, 第 10 作者
(133) 微聚焦菲涅耳波带板聚焦特性研究, 物理学报, 2008, 第 1 作者
(134) 用于非球面测试的位相型计算全息图制作, 微细加工技术, 2008, 第 3 作者
(135) 电子束光刻制备5000 line/mm光栅掩模关键技术研究, Key Technology for Fabrication of 5 000 line/mm Gratings Mask by Using E-beam Lithography, 微细加工技术, 2008, 第 2 作者
(136) Phase-type quantum-dot-array diffraction grating, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2008, 第 8 作者
(137) 阻变式存储器存储机理, The storage mechanism of resisitive random access, 物理, 2008, 第 5 作者
(138) Photon sieve for reduction of the far-field diffraction spot size in the laser free-space communication system, OPTICS COMMUNICATIONS, 2008, 第 3 作者
(139) Gate oxide punching thru mechanism in plasma dry etching, SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES, 2008, 第 2 作者
(140) A ZEP520-LOR Bilayer Resist Lift-off Process by E-Beam Lithography for Nanometer Pattern Transfer, 2007 7TH IEEE CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY, VOL 1-3, 2007, 第 4 作者
(141) Analysis by using X-ray photoelectron spectroscopy for polymethyl methacrylate and polytetrafluoroethylene etched by KrF excimer laser, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2007, 
(142) 硅栅干法刻蚀工艺中腔室表面附着物研究, Study of Resultants on the Chamber Wall in the Process of Dry Etching of Silicon Gratings, 微细加工技术, 2007, 第 2 作者
(143) 偏栅Al_xGa_(1-x)N/GaN HEMT的二维模拟与特性分析, 2D Simulation and Analysis of Offset Gate Al_xGa_(1-x)N/GaN HEMT, 固体电子学研究与进展, 2007, 第 6 作者
(144) 高线密度X射线透射光栅的制作工艺, Fabrication of High-Density Transmission Gratings for X-Ray Diffraction, 半导体学报, 2007, 第 6 作者
(145) 90 nm技术节点硅栅的干法刻蚀工艺研究, Study On Dry Etching Process of Polycrystalline Silicon Gate for 90 nm Technology Node, 微细加工技术, 2007, 第 2 作者
(146) Microzone plates with high-aspect ratio fabricated by e-beam and x-ray lithography, JOURNAL OF MICROLITHOGRAPHY MICROFABRICATION AND MICROSYSTEMS, 2006, 第 3 作者
(147) 第二代接近式X射线光刻技术, Second Generation Proximity X-ray Lithography Technology, 微细加工技术, 2006, 第 1 作者
(148) 微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用, Applications of micro/nanofabrication on micro/nano electrical devices, 物理, 2006, 
(149) AlGaN/GaN HEMT二维静态模型与模拟, Two-Dimensional Static Numerical Modeling and Simulation of AIGaN/GaN HEMT, 半导体学报, 2006, 第 4 作者
(150) 侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用, 半导体学报, 2006, 第 1 作者
(151) 单电子晶体管的数值模拟及特性分析, 固体电子学研究与进展, 2006, 第 4 作者
(152) AlGaN/GaN HEMT二维静态模型与模拟, Two-Dimensional Static Numerical Modeling and Simulation of AIGaN/GaN HEMT, 半导体学报, 2006, 第 8 作者
(153) DBRTD直流特性的水动力学模拟, Physics-Based Hydrodynamic Simulation of Direct Owreat Characteristics in DBRTD, 电子器件, 2006, 第 3 作者
(154) 电子束和X射线光刻制作高分辨率微波带片, Fabrication of Micro Zone Plates by E-Beam and X-Ray Lithography, 半导体学报, 2006, 第 3 作者
(155) X射线光刻对准系统图像增强技术和对准标记研究, 电子工业专用设备, 2005, 第 2 作者
(156) 金属结单电子晶体管的模型建立及实验验证, A Model of a Single Electron Transistor of Metallic Tunneling Junctions and Its Validation, 半导体学报, 2005, 第 4 作者
(157) 金属结单电子晶体管的模型建立及实验验证, A Model of a Single Electron Transistor of Metallic Tunneling Junctions and Its Validation, 半导体学报, 2005, 第 4 作者
(158) 纳米压印光刻模版制作技术, 电子工业专用设备, 2005, 第 2 作者
(159) 电子束制作高分辨率波带片图形数据研究, 微细加工技术, 2005, 第 3 作者
(160) 热压印光刻技术复制波带片图形研究, Study on Zone Plate Replication Using Hot Embossing Lithography Technology, 微细加工技术, 2005, 第 5 作者
(161) 一种提取电子束光刻中电子散射参数的新方法, 一种提取电子束光刻中电子散射参数的新方法, 半导体学报, 2005, 第 4 作者
(162) 纳米加工和纳米电子器件, Nano-Fabrication and Nano-Electron Devices, 微纳电子技术, 2005, 第 2 作者
(163) 一种提取电子束光刻中电子散射参数的新方法, 半导体学报, 2005, 第 4 作者
(164) 室温下高峰谷电流比、高峰电流密度的双势垒共振隧穿二极管, A DBRTD with a High PVCR and a Peak Current Density at Room Temperature, 半导体学报, 2005, 第 2 作者
(165) 193nm光刻散射条技术研究, A Study on Scattering Bar in 193 nm Lithography, 微电子学, 2005, 第 5 作者
(166) 用于X射线光刻对准的图像边缘增强技术, 光学精密工程, 2004, 第 2 作者
(167) X射线光刻对准边缘增强技术及性能研究, 微细加工技术, 2004, 第 2 作者
(168) 同步辐射X射线光刻制作深亚微米T形栅, 微纳电子技术, 2002, 第 1 作者
(169) 应用于PHEMT器件的深亚微米T形栅光刻技术, 微纳电子技术, 2002, 第 1 作者
(170) 应用于PHEMT器件的深亚微米T型栅光刻技术, Deep-submicron T-shaped gate lithography technology for PHEMT device, 微纳电子技术, 2002, 第 1 作者
(171) 极端远紫外光刻技术, 半导体情报, 2001, 第 1 作者
(172) 全新深亚微米X射线T型栅工艺, 北京同步辐射装置年报, 2001, 第 4 作者
(173) 深亚微米同步辐射x射线光刻模拟, 半导体情报, 2001, 第 1 作者
(174) 深亚微米同步辐射x射线光刻技术, 半导体情报, 2000, 第 1 作者
(175) 深亚微米光学光刻工艺技术, 电子工业专用设备, 2000, 第 1 作者
(176) 深亚微米光学光刻设备制造技术, 电子工业专用设备, 2000, 第 1 作者
(177) 下一代光学掩模制造技术, 微电子技术, 2000, 第 1 作者
(178) X射线光刻技术研究的现状, 微细加工技术, 1999, 第 1 作者
(179) 上海第三代同步辐射装置及其在微电子,微机械中的应用, 科技导报, 1999, 第 1 作者
(180) 193nm光学掩模与x射线掩模技术比较, 半导体情报, 1999, 第 1 作者
(181) 193nm与x射线光刻技术比较, 半导体技术, 1998, 第 1 作者
(182) 面向21世纪的世界集成电路工业, 引进与咨询, 1998, 第 1 作者
(183) 同步辐射X射线光刻实验研究, 微细加工技术, 1997, 第 1 作者
(184) 同步辐射X射线光刻计算机模拟研究, 微细加工技术, 1997, 第 1 作者
(185) 面向21世纪的世界集成电路工业, 科技导报, 1997, 第 1 作者
发表著作
(1) 微细加工技术, Microfabrication Technology, 化学工业出版社, 2004-07, 第 2 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 纳米尺度X射线光学元件设计、制作及应用, 负责人, 国家任务, 2007-07--2012-03
( 2 ) 极紫外光刻掩模关键技术研究, 负责人, 国家任务, 2009-01--2013-11
( 3 ) 亚光波长微分干涉相衬光子筛偏振成像特性研究, 负责人, 国家任务, 2013-01--2016-12
( 4 ) 微分干涉相衬-数字同轴全息3D形貌检测新型系统, 负责人, 国家任务, 2015-01--2016-12
( 5 ) X射线衍射光谱与成像纳米器件及集成基础研究, 参与, 国家任务, 2017-06--2021-12
( 6 ) X射线数字单焦点螺旋波带片聚焦及拓扑荷演化特性, 负责人, 国家任务, 2019-01--2022-12
( 7 ) 亚50nm光刻工艺技术研究, 负责人, 企业委托, 2021-10--2022-12
( 8 ) 新型自旋轨道矩材料与 高性能存内计算器件, 负责人, 国家任务, 2021-12--2025-12

指导学生

已指导学生

马杰  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

潘一鸣  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王德强  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘兴华  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王永  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

杜宇禅  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

高南  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张雨超  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

洪梅华  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陈相银  硕士研究生  430110-集成电路工程  

何宽  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李海亮  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

梁永浩  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王恩亮  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

梁圣法  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

浦探超  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘子维  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

赵越  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张海涛  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陈生琼  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张晓萌  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

毕业生去向
毕业生去向包括University of Southampton、University of Cambridge、University of California at Berkeley、Missouri University of Science and Technology、University of Arkansas、Boston University、华为、中芯国际、北京超弦存储器研究院、KLA-tencor、Synopsys、中兴通讯、中科院光电所、西南技术物理研究所、北京信息科技大学、中国人民大学附属中学等