基本信息
谢常青  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: xiechangqing@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
招生方向
新型纳米存储器件与集成技术
衍射光学器件

工作经历

   
工作简历
2006-03~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
社会兼职
2015-01-01-2019-01-01,中国光学工程学会第一届理事会理事, 理事
2014-08-01-2018-08-01,北京正负电子对撞机国家实验室同步辐射用户委员会委员, 委员
2011-03-01-今,中国光学学会高级会员,

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 高精度微纳结构掩模制造核心技术, 二等奖, 国家级, 2013
(2) 某某技术, 二等奖, 国家级, 2013
(3) 微纳结构“自上而下”制备核心技术与集成应用, 一等奖, 省级, 2010
(4) 中高频声表面波关键材料和器件研究, 一等奖, 省级, 2006
(5) 先进的深亚微米工艺技术及新型器件, 一等奖, 省级, 2003
专利成果
[1] 李海亮, 牛洁斌, 王冠亚, 朱效立, 谢常青, 叶甜春. 图形化装置及其使用方法. CN: CN109244002B, 2021-07-27.

[2] 刘子维, 浦探超, 史丽娜, 谢常青, 牛洁斌, 王冠亚, 李海亮, 刘明. 一种相位型衍射光栅. CN: CN109212641B, 2021-07-13.

[3] 谢常青, 胡华奎, 李海亮, 曹富林, 姚楚豪. 一种正弦光栅的制备方法. CN: CN113064227A, 2021-07-02.

[4] 史丽娜, 王冲, 牛洁斌, 尚潇, 李龙杰, 陈生琼, 谢常青, 李泠, 刘明. 结构色功能纳米结构及其制备方法. CN: CN112850638A, 2021-05-28.

[5] 邢国忠, 王迪, 林淮, 刘龙, 刘宇, 吕杭炳, 谢常青, 李泠, 刘明. 磁电阻器件以及改变其阻态的方法、突触学习模块. CN: CN112864314A, 2021-05-28.

[6] 刘子维, 史丽娜, 浦探超, 牛洁斌, 李海亮, 王冠亚, 谢常青, 刘明. 一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法. CN: CN109160483B, 2021-04-27.

[7] 梁圣法, 李冬梅, 刘明, 谢常青. 一种声子晶体声表面波滤波器及制作方法. CN: CN107733393B, 2021-04-23.

[8] 邢国忠, 林淮, 张锋, 王迪, 刘龙, 谢常青, 李泠, 刘明. 多阻态自旋电子器件、读写电路及存内布尔逻辑运算器. CN: CN112599161A, 2021-04-02.

[9] 史丽娜, 李龙杰, 张凯平, 牛洁斌, 谢常青, 刘明. 使用金属诱导自掩模刻蚀工艺制作石英表面抗反层的方法. CN: CN109856706B, 2021-03-26.

[10] 朱效立, 刘林韬, 裴宪梓, 谢常青. 一种脉冲反向电镀方法. CN: CN112410835A, 2021-02-26.

[11] 邢国忠, 林淮, 刘宇, 张凯平, 张康玮, 吕杭炳, 谢常青, 刘琦, 李泠, 刘明. 一种自参考存储结构和存算一体电路. CN: CN112382319A, 2021-02-19.

[12] 邢国忠, 林淮, 刘宇, 张培文, 谢常青, 李泠, 刘明. 无外磁场定向自旋翻转的SOT-MRAM及阵列. CN: CN111986717A, 2020-11-24.

[13] 梁圣法, 张文昌, 项飞斌, 牛洁斌, 姚志宏, 李冬梅, 刘明, 谢常青. 声表面波滤波器及其制备方法. CN: CN111769816A, 2020-10-13.

[14] 朱效立, 裴宪梓, 路程, 谢常青. 一种对高斯型激光进行匀束的系统及方法. CN: CN111715997A, 2020-09-29.

[15] 朱效立, 刘林韬, 牛洁斌, 谢常青. 一种电沉积金结构的电阻特性分析方法. CN: CN111596135A, 2020-08-28.

[16] 史丽娜, 陈生琼, 谢常青, 牛洁斌, 刘明. 一种基于单根硅线的增益辅助超共振. CN: CN109870765B, 2020-07-28.

[17] 史丽娜, 陈生琼, 谢常青, 牛洁斌, 刘明. 一种含增益辅助的硅双线系统. CN: CN109917512B, 2020-07-28.

[18] 李龙杰, 史丽娜, 牛洁斌, 尚潇, 陈生琼, 谢常青, 刘明. 基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法. CN: CN111443482A, 2020-07-24.

[19] 张凯平, 胡媛, 刘宇, 陆丛研, 赵盛杰, 张培文, 谢常青, 刘明. 一种图形化敏感金属或金属氧化物材料的加工方法. CN: CN106981420B, 2020-01-21.

[20] 李龙杰, 史丽娜, 牛洁斌, 陈生琼, 谢常青, 刘明. 一种比色传感器及其制作方法及其测试系统. CN: CN110632063A, 2019-12-31.

[21] 刘宇, 刘明, 胡媛, 张凯平, 张培文, 路程, 赵盛杰, 刘琦, 吕杭炳, 谢常青. 一种金属氧化物场效应晶体管及其制作方法. CN: CN110571261A, 2019-12-13.

[22] 史丽娜, 刘子维, 浦探超, 李海亮, 牛洁斌, 谢常青, 刘明. 一种透射光栅. CN: CN106094086B, 2019-10-29.

[23] 史丽娜, 李海亮, 刘子维, 浦探超, 牛洁斌, 谢常青, 刘明. 一种透射光栅. CN: CN106597588B, 2019-10-18.

[24] 刘子维, 浦探超, 史丽娜, 谢常青, 王冠亚, 李海亮, 牛洁斌, 刘明. 一种用于极紫外的二维单级衍射光栅. CN: CN106959482B, 2019-08-06.

[25] 朱效立, 施百龄, 谢常青, 华一磊. 厚体硅反射式单级衍射光栅的制作方法. CN: CN107305260B, 2019-07-30.

[26] 史丽娜, 刘子维, 浦探超, 李海亮, 牛洁斌, 谢常青, 刘明. 一种单级衍射光栅. CN: CN106094087B, 2019-07-23.

[27] 梁圣法, 张文昌, 项飞斌, 姚志宏, 李冬梅, 刘明, 谢常青. 纳米孔结构及其加工设备和方法. CN: CN109795983A, 2019-05-24.

[28] 梁圣法, 张文昌, 项飞斌, 姚志宏, 李冬梅, 刘明, 谢常青. 纳米孔结构、控制纳米孔大小的装置及方法. CN: CN109775659A, 2019-05-21.

[29] 浦探超, 刘子维, 史丽娜, 谢常青, 李海亮, 牛洁斌, 刘明. 一种极紫外单级衍射光栅. CN: CN106646710B, 2019-05-21.

[30] 史丽娜, 牛洁斌, 李海亮, 刘子维, 浦探超, 谢常青, 刘明. 一种衍射光栅. CN: CN106772732B, 2019-05-03.

[31] 姚志宏, 余兆安, 吕杭炳, 霍宗亮, 谢常青, 刘明. 一种对阻变存储器阵列进行测试的系统. 中国: CN104217766B, 2018.02.06.

[32] 史丽娜, 谢常青, 牛洁斌, 李海亮, 刘明. 基于导波共振的传感器及传感器测试系统. 中国: CN105044029B, 2018-04-20.

[33] 余兆安, 姚志宏, 霍宗亮, 龙世兵, 谢常青, 刘明. 一种对负载或输出进行限流保护的装置. 中国: CN104242277B, 2018-03-23.

[34] 周磊, 李冬梅, 梁圣法, 谢常青, 刘明. 声表面波温度传感器. 中国: CN104677518B, 2018-02-13.

[35] 朱效立, 谢常青, 华一磊, 李海亮, 刘明, 施百龄. 脉冲电镀金的方法及形成的金镀层. 中国: CN107385486A, 2017-11-24.

[36] 朱效立, 谢常青, 刘明, 牛洁斌, 华一磊, 施百龄. 反射式单级衍射光栅及其制造方法. 中国: CN107315211A, 2017-11-03.

[37] 刘子维, 浦探超, 史丽娜, 谢常青, 李海亮, 牛洁斌, 王冠亚, 刘明. 一种极紫外高级抑制衍射光栅. 中国: CN107045156A, 2017-08-15.

[38] Li Dongmei, Zhan Shuang, Liang Shengfa, Chen Xin, Xie Changqing, Liu Ming. Method for manufacturing NO 2 gas sensor for detection at room temperature. 美国: US9562884(B2), 2017-02-07.

[39] Li Dongmei, Zhou Lei, Liang Shengfa, Li Xiaojing, Zhang Hao, Xie Changqing, Liu Ming. METHOD FOR CLEANING LANTHANUM GALLIUM SILICATE WAFER. 美国: US2017018424(A1), 2017-01-19.

[40] Li, Dongmei, Zhou, Lei, Liang, Shengfa, Li, Xiaojing, Zhang, Hao, Xie, Changqing, Liu, Ming. METHOD FOR CLEANING LANTHANUM GALLIUM SILICATE WAFER. CN: US20170018424(A1), 2017-01-19.

[41] 李海亮, 史丽娜, 牛洁斌, 王冠亚, 谢常青, 刘明. 大高宽比纳米级金属结构的制作方法. 中国: CN106094445A, 2016-11-09.

[42] 李海亮, 史丽娜, 牛洁斌, 王冠亚, 谢常青, 刘明. 极紫外多层膜反射式单级衍射光栅. 中国: CN106094084A, 2016-11-09.

[43] 李冬梅, 周磊, 梁圣法, 谢常青, 刘明. 一种高温声表面波温度传感器. 中国: CN104359584A, 2015.02.18.

[44] LI, Dongmei, LI, Xiaojing, LIANG, Shengfa, ZHANG, Hao, LUO, Qing, XIE, Changqing, LIU, Ming. METHOD FOR COLLECTING SIGNAL WITH SAMPLING FREQUENCY LOWER THAN NYQUIST FREQUENCY. CN: US20150326246(A1), 2015-11-12.

[45] LI, Dongmei, CHEN, Xin, LIANG, Shengfa, ZHAN, Shuang, ZHANG, Peiwen, XIE, Changqing, LIU, Ming. METHOD FOR MANUFACTURING COMPOUND SEMICONDUCTOR SENSITIVE FILM BASED ON DISPLACEMENT REACTION-THERMAL OXIDATION METHOD. CN: US20150325437(A1), 2015-11-12.

[46] 牛洁斌, 刘明, 陈宝钦, 谢常青, 龙世兵, 王冠亚, 张建宏, 李海亮, 史丽娜, 朱效立. 电子束光刻对准标记在芯片上的布局. 中国: CN104932212A, 2015-09-23.

[47] 王冠亚, 张凯, 谢常青, 李新涛, 李友, 张卫红, 张建宏, 邵鑫, 路程, 牛洁斌, 张培文, 刘明, 龙世兵. 纳米尺度的微细图形加工方法. 中国: CN104597724A, 2015-05-06.

[48] 余兆安, 姚志宏, 霍宗亮, 龙世兵, 谢常青, 刘明. 针对电容结构和MOS管结构的存储器件的参数测试方法. 中国: CN104240767A, 2014-12-24.

[49] 余兆安, 姚志宏, 霍宗亮, 龙世兵, 谢常青, 刘明. 过压过流保护元件及过压过流保护电路. 中国: CN104218552A, 2014-12-17.

[50] 梁圣法, 李冬梅, 刘明, 谢常青, 李小静, 周磊. 一种多路多斜率的非均匀采样电路. 中国: CN104202050A, 2014-12-10.

[51] 谢常青, 付杰, 朱效立, 李海亮, 刘明. 一种增加石英片表面刻蚀粗糙度的方法. 中国: CN104176943A, 2014-12-03.

[52] 李冬梅, 周磊, 梁圣法, 李小静, 张浩, 谢常青, 刘明. 一种对硅酸镓镧晶片进行清洗的方法. 中国: CN103878145A, 2014-06-25.

[53] 李冬梅, 罗庆, 梁圣法, 李小静, 张浩, 谢常青, 刘明. 一种基于压缩感知的一维信号随机采样方法. 中国: CN103795422A, 2014-05-14.

[54] 张凯平, 刘明, 谢常青, 龙世兵, 陆丛研, 胡媛, 刘宇, 赵盛杰. 一种改善用于Al 2 O 3 介质上的光刻工艺的方法. 中国: CN103645614A, 2014-03-19.

[55] 张凯平, 刘明, 谢常青, 龙世兵, 胡媛, 刘宇, 赵盛杰, 张培文. 一种改善基于Cr掩模刻蚀工艺的方法. 中国: CN103646854A, 2014-03-19.

[56] 梁圣法, 李冬梅, 李小静, 张浩, 罗庆, 周磊, 刘明, 谢常青, 杨洪璋. 一种基于柔性衬底的传感器模块. 中国: CN103645215A, 2014-03-19.

[57] 刘宇, 刘明, 谢常青, 龙世兵, 胡媛, 张凯平, 赵盛杰. 一种纳米尺度EUV掩模的制备方法. 中国: CN103605260A, 2014-02-26.

[58] 谢常青, 洪梅华, 史丽娜, 朱效立, 李海亮, 刘明. 一种基于自支撑光栅结构的传感器及其制备方法. 中国: CN103543128A, 2014-01-29.

[59] 李冬梅, 李小静, 梁圣法, 张浩, 罗庆, 谢常青, 刘明. 一种基于块对角阵观测矩阵构造的信号压缩传感方法. 中国: CN103532566A, 2014-01-22.

[60] 李冬梅, 李小静, 梁圣法, 张浩, 罗庆, 谢常青, 刘明. 一种随机采样斜率模数转换器. 中国: CN103532552A, 2014-01-22.

[61] 孙海涛, 杨洪璋, 路程, 刘琦, 吕杭炳, 龙世兵, 谢常青, 刘明. 一种小尺寸银纳米颗粒的制备方法. 中国: CN103489754A, 2014-01-01.

[62] 孙海涛, 杨洪璋, 刘琦, 吕杭柄, 牛洁斌, 张培文, 路程, 李友, 龙世兵, 谢常青, 刘明. 超低功耗阻变非挥发性存储器、其制作方法及操作方法. 中国: CN103413890A, 2013.11.27.

[63] 李冬梅, 罗庆, 梁圣法, 杨洪璋, 李小静, 张浩, 谢常青, 刘明. 适用于一维缓变信号的随机采样器. 中国: CN103391099A, 2013.11.13.

[64] 李冬梅, 詹爽, 梁圣法, 陈鑫, 谢常青, 刘明. 一种用于室温检测的NO 2 气体传感器的制作方法. 中国: CN103336027A, 2013.10.02.

[65] 刘明, 姜丹丹, 霍宗亮, 张满红, 刘璟, 谢常青. 一种多位非挥发存储单元及阵列的编程方法. 中国: CN103165188A, 2013.06.19.

[66] 李冬梅, 陈鑫, 梁圣法, 牛洁斌, 张培文, 刘宇, 李小静, 詹爽, 张浩, 罗庆, 谢常青, 刘明. 一种制备原位掺杂Pt的NiO有序纳米线阵列的方法. 中国: CN103072942A, 2013.05.01.

[67] 李海亮, 谢常青, 刘明, 李冬梅, 史丽娜, 朱效立. 一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法. 中国: CN103018806A, 2013.04.03.

[68] 刘明, 连文泰, 龙世兵, 吕杭炳, 刘琦, 谢常青. 阻变存储单元的编程方法. 中国: CN102915762A, 2013.02.06.

[69] 刘明, 张君宇, 张满红, 霍宗亮, 谢常青, 潘立阳, 陈映平, 刘阿鑫. 一种CMOS带隙基准电压源. 中国: CN102890526A, 2013.01.23.

[70] 李海亮, 谢常青, 刘明, 李冬梅, 牛洁斌, 史丽娜, 朱效立, 王子欧. 极紫外光刻掩模缺陷检测系统. 中国: CN103424985A, 2013-12-04.

[71] 李海亮, 谢常青, 刘明, 李冬梅, 牛洁斌, 史丽娜, 朱效立. 极紫外光刻掩模缺陷检测系统. 中国: CN103365073A, 2013-10-23.

[72] 刘明, 姜丹丹, 霍宗亮, 张满红, 刘璟, 谢常青. 多位半导体存储器的编程方法. 中国: CN103366811A, 2013-10-23.

[73] 李冬梅, 李小静, 梁圣法, 张浩, 罗庆, 谢常青, 刘明. 一种以低于奈奎斯特频率的采样频率进行信号采集方法. 中国: CN103346798A, 2013-10-09.

[74] 李冬梅, 张浩, 梁圣法, 罗庆, 李小静, 谢常青, 刘明. 基于压缩感知理论的气体识别方法. 中国: CN103346799A, 2013-10-09.

[75] 李冬梅, 詹爽, 梁圣法, 陈鑫, 谢常青, 刘明. 一种室温检测NH 3 的气体传感器的制作方法. 中国: CN103308560A, 2013-09-18.

[76] 梁圣法, 李冬梅, 刘明, 谢常青, 陈鑫, 詹爽. 场效应晶体管气体传感器及其制造方法. 中国: CN103308584A, 2013-09-18.

[77] 刘明, 赵盛杰, 谢常青, 刘琦, 吕航炳, 张满红, 霍宗亮, 胡媛. 阻变存储器的制造方法. 中国: CN103311433A, 2013-09-18.

[78] 梁圣法, 陈鑫, 詹爽, 李小静, 罗庆, 张浩, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 基于多级压缩感知的信号采样系统及方法. 中国: CN103281087A, 2013-09-04.

[79] 李冬梅, 詹爽, 梁圣法, 陈鑫, 谢常青, 刘明. 一种制备花瓣形掺杂氧化镍的二氧化锡的方法. 中国: CN103274452A, 2013-09-04.

[80] 梁圣法, 李冬梅, 刘明, 谢常青, 陈鑫, 詹爽. 基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法. 中国: CN103258954A, 2013-08-21.

[81] 刘明, 王永, 王琴, 谢常青, 霍宗亮, 张满红. 一种去除硅纳米晶的方法. 中国: CN103247527A, 2013-08-14.

[82] 史丽娜, 杜宇禅, 谢常青, 牛洁斌, 李海亮, 李冬梅, 刘明. 基于导波共振的传感器及其制备方法. 中国: CN103245635A, 2013-08-14.

[83] 刘明, 许中广, 朱晨昕, 霍宗亮, 谢常青. 一种非易失性存储器及其制备方法. 中国: CN103247629A, 2013-08-14.

[84] 谢常青, 洪梅华, 朱效立, 李冬梅, 刘明. 一种测试透射光栅绝对衍射效率的方法. 中国: CN103245487A, 2013-08-14.

[85] 刘明, 王晨杰, 霍宗亮, 张满红, 刘璟, 王永, 谢常青. 双栅电荷俘获存储器及其制作方法. 中国: CN103247669A, 2013-08-14.

[86] 刘明, 刘阿鑫, 谢常青, 吕杭炳, 张君宇, 陈映平, 潘立阳. 一种CTS2电荷泵. 中国: CN103219882A, 2013-07-24.

[87] 刘明, 许中广, 霍宗亮, 朱晨昕, 谢常青, 张满红. 一种金属纳米晶存储器的制备方法. 中国: CN103178017A, 2013-06-26.

[88] 刘明, 许中广, 霍宗亮, 朱晨昕, 谢常青, 张满红. 一种金属纳米晶存储器. 中国: CN103178062A, 2013-06-26.

[89] 李冬梅, 刘明, 谢常青, 霍宗亮, 姬濯宇. 一种打印机. 中国: CN103158360A, 2013-06-19.

[90] 李冬梅, 刘明, 谢常青, 霍宗亮, 姬濯宇. 一种喷墨打印机. 中国: CN103158352A, 2013-06-19.

[91] 刘明, 许中广, 霍宗亮, 朱晨昕, 谢常青. 混合存储器件及其控制方法、制备方法. 中国: CN103165172A, 2013-06-19.

[92] 李海亮, 谢常青, 刘明, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅. 一种制作用于极紫外光刻的铬侧墙衰减型移相掩模的方法. 中国: CN103163726A, 2013-06-19.

[93] 刘明, 王晨杰, 霍宗亮, 张满红, 刘璟, 谢常青, 王永. 一种闪存存储器及其制作方法. 中国: CN103165612A, 2013-06-19.

[94] 刘明, 姜丹丹, 霍宗亮, 张满红, 刘璟, 谢常青. 一种平面浮栅闪存器件及其制备方法. 中国: CN103137626A, 2013-06-05.

[95] 史丽娜, 李海亮, 杜宇禅, 牛洁斌, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 生物传感器及其制造方法、生物传感器测试系统. 中国: CN103105378A, 2013-05-15.

[96] 刘明, 张康玮, 龙世兵, 谢常青, 吕杭炳, 刘琦. 一次编程存储器及其制备方法. 中国: CN103106926A, 2013-05-15.

[97] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. 一种深度调制金属结构衍射光学元件及其设计方法. 中国: CN103091750A, 2013-05-08.

[98] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. 一种用于极紫外光刻的衍射光学装置. 中国: CN103091991A, 2013-05-08.

[99] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. 一种高透过率光子筛. 中国: CN103091751A, 2013-05-08.

[100] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. 一种高透过率光子筛. 中国: CN103091749A, 2013-05-08.

[101] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. 一种金属结构衍射光学元件及其设计方法. 中国: CN103091839A, 2013-05-08.

[102] 刘明, 王晨杰, 霍宗亮, 张满红, 刘璟, 谢常青. 一种纳米晶存储器及其制作方法. 中国: CN103094355A, 2013-05-08.

[103] 李冬梅, 陈鑫, 梁圣法, 詹爽, 张培文, 谢常青, 刘明. 基于置换反应-热氧化方法制备复合半导体敏感膜的方法. 中国: CN103074627A, 2013-05-01.

[104] 李冬梅, 詹爽, 梁圣法, 陈鑫, 李小静, 张浩, 罗庆, 谢常青, 刘明. 在常温下检测气体的基于柔性衬底的敏感膜的制备方法. 中国: CN103033538A, 2013-04-10.

[105] 李冬梅, 詹爽, 梁圣法, 陈鑫, 李小静, 张浩, 罗庆, 谢常青, 刘明. 在常温下检测气体的基于柔性衬底的敏感膜的制备方法. 中国: CN103033539A, 2013-04-10.

[106] 李冬梅, 詹爽, 梁圣法, 陈鑫, 李小静, 张浩, 罗庆, 谢常青, 刘明. 一种基于柔性衬底的气体传感器敏感膜的制备方法. 中国: CN103033537A, 2013-04-10.

[107] 史丽娜, 李海亮, 杜宇禅, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 表面等离子体共振样品台及其制备方法. 中国: CN103018167A, 2013-04-03.

[108] 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 光子筛及其制作方法. 中国: CN103018808A, 2013-04-03.

[109] 李海亮, 史丽娜, 牛洁斌, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 表面等离子体增强对称结构及其制备方法. 中国: CN103018800A, 2013-04-03.

[110] 刘明, 陈映平, 冀永辉, 谢常青. 一种对存储器芯片进行擦除的方法. 中国: CN103000224A, 2013-03-27.

[111] 刘明, 刘阿鑫, 谢常青, 霍宗亮, 张满红, 张君宇, 陈映平, 潘立阳. 一种消除阈值电压影响的电荷泵. 中国: CN103001487A, 2013-03-27.

[112] 刘明, 郑志威, 霍宗亮, 谢常青, 张满红, 刘璟. 电荷俘获型非挥发存储器及其制备方法. 中国: CN102983138A, 2013-03-20.

[113] 李冬梅, 陈鑫, 梁圣法, 詹爽, 张培文, 路程, 谢常青, 刘明. 一种表面掺杂Au或Pt纳米晶的敏感膜的制备方法. 中国: CN102965622A, 2013-03-13.

[114] 刘明, 姜丹丹, 霍宗亮, 张满红, 刘璟, 谢常青. 一种对多位半导体存储器进行编程的方法. 中国: CN102969022A, 2013-03-13.

[115] 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 一种基于周期性纳米介质颗粒的生物传感器及其制备方法. 中国: CN102954950A, 2013-03-06.

[116] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. LED配光透镜曲面构造方法和LED配光透镜. 中国: CN102954437A, 2013-03-06.

[117] 刘明, 张君宇, 张满红, 霍宗亮, 谢常青, 潘立阳, 陈映平, 刘阿鑫. 一种用于大规模快闪存储器的灵敏放大器. 中国: CN102890955A, 2013-01-23.

[118] 李冬梅, 汪幸, 刘明, 周文, 侯成诚, 闫学锋, 谢常青. 一种采用滴涂法制作氧化锌掺杂酞菁靶敏感膜的方法. 中国: CN102879466A, 2013-01-16.

[119] 李冬梅, 侯成诚, 闫学锋, 周文, 汪幸, 刘明, 谢常青. 一种用于检测多种气体的复合传感器. 中国: CN102879439A, 2013-01-16.

[120] 李冬梅, 汪幸, 刘明, 周文, 侯成诚, 闫学锋, 谢常青. 四乙醇乙二胺掺杂研磨的多壁碳纳米管敏感膜的制作方法. 中国: CN102882485A, 2013-01-16.

[121] 李冬梅, 周文, 刘明, 谢常青, 侯成诚, 汪幸, 闫学锋. 一种聚噻吩与氧化锆复合敏感膜的制作方法. 中国: CN102879464A, 2013-01-16.

[122] 李冬梅, 周文, 刘明, 谢常青, 侯成诚, 汪幸, 闫学锋. 一种Al 2 O 3 与聚苯胺复合敏感膜的制作方法. 中国: CN102879465A, 2013-01-16.

[123] 刘明, 连文泰, 龙世兵, 刘琦, 吕杭炳, 谢常青. 电阻转变存储器阵列及对其进行存储操作的方法. 中国: CN102855928A, 2013-01-02.

[124] 李冬梅, 汪幸, 刘明, 周文, 侯成诚, 闫学锋, 谢常青. 一种制作声表面波传感器二氧化锡掺杂酞菁锌敏感膜的方法. 中国: CN102818840A, 2012.12.12.

[125] 刘明, 许中广, 霍宗亮, 谢常青, 龙世兵, 张满红, 李冬梅, 王琴, 刘璟. 复合存储单元和存储器. 中国: CN102651233A, 2012.08.29.

[126] 龙世兵, 刘明, 谢常青, 陈宝钦, 徐连生, 胡媛. 多功能离子束溅射与刻蚀及原位物性分析系统. 中国: CN102486465A, 2012.06.06.

[127] 李冬梅, 汪幸, 刘明, 周文, 侯成诚, 闫学锋, 谢常青, 霍宗亮. 一种制作半导体薄膜的方法. 中国: CN102376889A, 2012.03.14.

[128] 李冬梅, 陈鑫, 梁圣法, 詹爽, 谢常青, 刘明. 一种制备用于传感器的敏感材料的方法. 中国: CN102818880A, 2012-12-12.

[129] 李冬梅, 陈鑫, 梁圣法, 詹爽, 谢常青, 刘明. 应用于气体传感器的原位还原法掺杂的敏感膜的制备方法. 中国: CN102816995A, 2012-12-12.

[130] 李冬梅, 汪幸, 刘明, 周文, 侯成诚, 闫学锋, 谢常青. 一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法. 中国: CN102820867A, 2012-12-12.

[131] 李冬梅, 汪幸, 刘明, 周文, 侯成诚, 闫学锋, 谢常青. 一种制作声表面波传感器双层敏感膜的方法. 中国: CN102818839A, 2012-12-12.

[132] 刘明, 姜丹丹, 霍宗亮, 张满红, 王琴, 刘璟, 谢常青. 分裂栅存储器及其制造方法. 中国: CN102810560A, 2012-12-05.

[133] 李冬梅, 詹爽, 刘明, 谢常青, 梁圣法, 陈鑫. 基于柔性衬底的传感器膜材料的制备方法. 中国: CN102798648A, 2012-11-28.

[134] 刘明, 王晨杰, 霍宗亮, 张满红, 王琴, 刘璟, 谢常青. 一种电荷俘获非挥发存储器的制造方法. 中国: CN102800632A, 2012-11-28.

[135] 刘明, 王晨杰, 霍宗亮, 张满红, 王琴, 刘璟, 谢常青. 一种电荷俘获非挥发存储器及其制造方法. 中国: CN102800675A, 2012-11-28.

[136] 刘明, 许中广, 霍宗亮, 张满红, 谢常青, 龙世兵, 李冬梅. 一种半导体存储器件. 中国: CN102800358A, 2012-11-28.

[137] 刘明, 许中广, 霍宗亮, 龙世兵, 谢常青, 张满红, 李冬梅. 一种半导体存储器件. 中国: CN102800359A, 2012-11-28.

[138] 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 一种基于周期性纳米结构的生物传感器及其制备方法. 中国: CN102798615A, 2012-11-28.

[139] 刘明, 刘欣, 姬濯宇, 商立伟, 谢常青, 李冬梅, 韩买兴, 陈映平, 王宏. 电容器件及其制造方法. 中国: CN102790174A, 2012-11-21.

[140] 刘琦, 刘明, 龙世兵, 吕杭炳, 李颖涛, 王艳, 谢常青. 一种用于原位电学测试的透射电镜样品的制备方法. 中国: CN102788723A, 2012-11-21.

[141] 刘明, 刘欣, 姬濯宇, 商立伟, 谢常青, 李冬梅, 韩买兴, 陈映平, 王宏. 有机存储器件、阵列及其制造方法. 中国: CN102790173A, 2012-11-21.

[142] 刘宇, 刘明, 龙世兵, 谢常青, 胡媛. 一种改善真空获得和保持的装置及方法. 中国: CN102784592A, 2012-11-21.

[143] 刘宇, 刘明, 龙世兵, 谢常青, 胡媛. 一种用于改善薄膜制备工艺的匀气装置. 中国: CN102787302A, 2012-11-21.

[144] 刘宇, 刘明, 龙世兵, 谢常青, 胡媛. 一种用于改善刻蚀工艺的匀气装置. 中国: CN102789962A, 2012-11-21.

[145] 刘明, 许中广, 霍宗亮, 谢常青, 龙世兵, 张满红, 李冬梅, 王琴, 刘璟, 朱晨昕. 多功能存储单元、阵列及其制造方法. 中国: CN102779550A, 2012-11-14.

[146] 李冬梅, 侯成诚, 闫学峰, 周文, 汪幸, 刘明, 谢常青, 叶甜春. 一种声表面波气体传感器及其制造方法. 中国: CN102778503A, 2012-11-14.

[147] 李冬梅, 刘明, 谢常青, 闫学峰, 叶甜春. 一种敏感吸附膜及其制造方法. 中国: CN102774064A, 2012-11-14.

[148] 刘琦, 刘明, 龙世兵, 吕杭炳, 谢常青. 阻变存储器单元. 中国: CN102750979A, 2012-10-24.

[149] 李冬梅, 陈鑫, 梁圣法, 詹爽, 谢常青, 刘明. 一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法. 中国: CN102735753A, 2012-10-17.

[150] 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 一种偶次级透射光栅. 中国: CN102736152A, 2012-10-17.

[151] 谢常青, 方磊, 朱效立, 李冬梅, 刘明. 一种对纳米尺度元件进行套刻的方法. 中国: CN102736432A, 2012-10-17.

[152] 刘琦, 刘明, 龙世兵, 吕杭炳, 张森, 李颖涛, 王艳, 连文泰, 谢常青. 阻变存储器及其制造方法. 中国: CN102738386A, 2012-10-17.

[153] 龙世兵, 刘明, 刘琦, 吕杭炳, 牛洁斌, 王艳花, 李颖弢, 张森, 王艳, 连文泰, 张康玮, 王明, 张满红, 霍宗亮, 谢常青, 刘璟, 余兆安, 李冬梅. 阻变存储器及其制造方法. 中国: CN102708919A, 2012-10-03.

[154] 刘明, 张康玮, 龙世兵, 谢常青, 刘琦, 吕杭炳. 阻变存储器及其制造方法. 中国: CN102694118A, 2012-09-26.

[155] 刘明, 许中广, 霍宗亮, 谢常青, 龙世兵, 李冬梅, 朱晨昕. 一种多值非挥发存储器及其制备方法. 中国: CN102693984A, 2012-09-26.

[156] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. 一种光子筛结构. 中国: CN102681059A, 2012-09-19.

[157] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. 一种复合型波带片光子筛. 中国: CN102681060A, 2012-09-19.

[158] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. 一种消除色差的波带片结构. 中国: CN102681062A, 2012-09-19.

[159] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. 一种带调焦系统的衍射光学元件. 中国: CN102681061A, 2012-09-19.

[160] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. 呈矩形光斑均匀分布的LED二次配光透镜的实现方法. 中国: CN102679266A, 2012-09-19.

[161] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. 一种利用自由曲面透镜实现光束匀光控制的方法. 中国: CN102679265A, 2012-09-19.

[162] 李冬梅, 汪幸, 刘明, 周文, 侯成诚, 闫学锋, 谢常青, 霍宗亮, 张满红. 一种制作声表面波传感器敏感膜的方法. 中国: CN102680572A, 2012-09-19.

[163] 李海亮, 谢常青, 朱效立, 史丽娜, 刘明. 基于纳米岛衬底制备大高宽比X射线衍射光学元件的方法. 中国: CN102683167A, 2012-09-19.

[164] 李海亮, 谢常青, 牛洁斌, 朱效立, 史丽娜, 刘明. 一种基于湿法腐蚀制备位相型衍射光学元件的方法. 中国: CN102681335A, 2012-09-19.

[165] 李冬梅, 刘明, 谢常青, 周文. 半导体薄膜、气体传感器及其制作方法. 中国: CN102662002A, 2012-09-12.

[166] 李冬梅, 汪幸, 刘明, 周文, 侯成诚, 闫学锋, 谢常青, 叶甜春, 霍宗亮, 张满红. 一种制作声表面波气体传感器双层敏感膜的方法. 中国: CN102655397A, 2012-09-05.

[167] 李冬梅, 周文, 刘明, 侯成诚, 汪幸, 闫学锋, 谢常青, 霍宗亮, 张满红, 龙世兵. 一种石墨烯掺杂氧化锌的纳米薄膜的制作方法. 中国: CN102654474A, 2012-09-05.

[168] 李冬梅, 刘明, 谢常青, 霍宗亮, 张满红, 龙世兵. 一种表面波NO 2 气体传感器敏感薄膜的制备方法. 中国: CN102655401A, 2012-09-05.

[169] 李冬梅, 汪幸, 刘明, 周文, 侯成诚, 闫学锋, 谢常青, 叶甜春, 霍宗亮, 龙世兵. 一种制作声表面波传感器敏感膜的方法. 中国: CN102654480A, 2012-09-05.

[170] 谢常青, 方磊, 朱效立, 李冬梅, 刘明. 一种制作纳米尺度大高宽比器件的方法. 中国: CN102608864A, 2012-07-25.

[171] 谢常青, 李海亮, 朱效立, 史丽娜. 制备大高宽比衍射光学元件的方法. 中国: CN102608863A, 2012-07-25.

[172] 谢常青, 辛将, 朱效立, 潘一鸣, 刘明. 大高宽比光子筛及其制备方法. 中国: CN102608687A, 2012-07-25.

[173] 谢常青, 辛将, 朱效立, 高南, 刘明. 制备大高宽比结构器件的方法. 中国: CN102608862A, 2012-07-25.

[174] 谢常青, 方磊, 朱效立, 李冬梅, 刘明. 一种制作大高宽比X射线衍射光栅的方法. 中国: CN102590915A, 2012-07-18.

[175] 刘琦, 刘明, 龙世兵, 吕杭炳, 谢常青. 一种Si x N y 基电阻型存储器及其制备方法和应用. 中国: CN102593349A, 2012-07-18.

[176] 叶甜春, 闫学锋, 李冬梅, 刘明, 侯成诚, 周文, 汪幸, 谢常青, 霍宗亮, 张满红, 龙世兵. 一种用于声表面波传感器的半导体薄膜的成膜方法. 中国: CN102558583A, 2012-07-11.

[177] 谢常青, 方磊, 朱效立, 李冬梅, 刘明. 制备X射线衍射光学元件的方法. 中国: CN102508411A, 2012-06-20.

[178] 李冬梅, 周文, 刘明, 谢常青, 侯成诚, 汪幸, 闫学锋. 声表面波气体传感器及其制作方法. 中国: CN102507733A, 2012-06-20.

[179] 谢常青, 方磊, 朱效立, 李冬梅, 刘明. 一种四台阶光栅及其制备方法. 中国: CN102495444A, 2012-06-13.

[180] Liu, Ming, Zuo, Qingyun, Long, Shibing, Xie, Changqing, Huo, Zongliang. One Time Programming Memory and Method of Storage and Manufacture of the Same. CN: US20120140543(A1), 2012-06-07.

[181] 谢常青, 潘一鸣, 朱效立, 刘明. 无掩膜光刻装置. 中国: CN102478767A, 2012-05-30.

[182] 谢常青, 辛将, 朱效立, 高南, 刘明. 一种制作大高宽比光子筛的方法. 中国: CN102466832A, 2012-05-23.

[183] 谢常青, 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 刘明. 一种大高宽比衍射光学元件的制作方法. 中国: CN102466967A, 2012-05-23.

[184] 谢常青, 李海亮, 朱效立, 刘明. 基于电子束光刻和X射线曝光制作多层膜闪耀光栅的方法. 中国: CN102466980A, 2012-05-23.

[185] 谢常青, 方磊, 朱效立, 李冬梅, 刘明. 制备X射线衍射光学元件的方法. 中国: CN102402118A, 2012-04-04.

[186] 谢常青, 潘一鸣, 朱效立, 贾佳, 刘明. 一种复合型波带片光子筛. 中国: CN102375169A, 2012-03-14.

[187] 李冬梅, 刘明, 谢常青, 叶甜春, 阎学锋, 霍宗亮, 龙世兵, 张满红. 一种换能器薄膜的制作方法. 中国: CN102378100A, 2012-03-14.

[188] 李冬梅, 侯成诚, 刘明, 周文, 汪幸, 闫学锋, 谢常青, 霍宗亮. 一种制作复合半导体薄膜材料的方法. 中国: CN102373470A, 2012-03-14.

[189] 李冬梅, 周文, 刘明, 侯成诚, 汪幸, 闫学锋, 谢常青, 霍宗亮. 一种制作高选择性半导体薄膜材料的方法. 中国: CN102375029A, 2012-03-14.

[190] 李冬梅, 汪幸, 刘明, 周文, 侯成诚, 闫学锋, 谢常青, 霍宗亮. 一种制作半导体薄膜材料的方法. 中国: CN102375030A, 2012-03-14.

[191] 李冬梅, 刘明, 谢常青, 叶甜春, 阎学锋, 霍宗亮, 龙世兵, 张满红. 一种高选择性半导体薄膜的制作方法. 中国: CN102376890A, 2012-03-14.

[192] 谢常青, 方磊, 朱效立, 李冬梅, 刘明. 一种阶梯型位相光栅的制作方法. 中国: CN102331594A, 2012-01-25.

[193] 谢常青, 潘一鸣, 朱效立, 刘明. 一种光子筛. 中国: CN102313918A, 2012-01-11.

[194] 谢常青, 潘一鸣, 朱效立, 刘明. 采用HSQ工艺制作位相型二元衍射光学元件的方法. 中国: CN102313917A, 2012-01-11.

[195] 谢常青, 辛将, 朱效立, 刘明. LED配光透镜曲面构造方法和LED配光透镜. 中国: CN102287756A, 2011.12.21.

[196] 谢常青, 潘一鸣, 朱效立, 贾佳, 刘明. 一种方孔光子筛及其制作方法. 中国: CN102073084A, 2011.05.25.

[197] 朱效立, 宋曦, 陈晨, 谢常青, 刘明. 一种制备非晶碳化硅薄膜的方法. 中国: CN101985732A, 2011.03.16.

[198] 谢常青, 方磊, 朱效立, 李冬梅, 刘明. 一种制作大高宽比X射线衍射光栅的方法. 中国: CN102289015A, 2011-12-21.

[199] 谢常青, 高南, 华一磊, 朱效立, 李海亮, 史丽娜, 李冬梅, 刘明. 复合光子筛投影式光刻系统. 中国: CN102289157A, 2011-12-21.

[200] 李冬梅, 侯成诚, 闫学峰, 刘明, 谢常青, 周文, 汪幸. 预浓缩器热交换处理方法及装置. 中国: CN102243149A, 2011-11-16.

[201] 谢常青, 方磊, 朱效立, 李冬梅, 刘明. 一种制作凹面型X射线聚焦小孔的方法. 中国: CN102214492A, 2011-10-12.

[202] 龙世兵, 刘明, 陈宝钦, 谢常青, 李友, 李新涛, 张建宏, 张卫红, 王冠亚, 谢文妞. 一种增强光学掩模分辨率及制造高分辨率光学掩模的方法. 中国: CN102213913A, 2011-10-12.

[203] 谢常青, 方磊, 朱效立, 李冬梅, 刘明. 一种制作位相型波带片的方法. 中国: CN102207569A, 2011-10-05.

[204] 谢常青, 潘一鸣, 朱效立, 贾佳, 刘明. 用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法. 中国: CN102043178A, 2011-05-04.

[205] 朱效立, 宋曦, 刘宇, 谢常青, 刘明. 采用PECVD制备碳化硅薄膜的方法. 中国: CN101985743A, 2011-03-16.

[206] 朱效立, 宋曦, 刘宇, 谢常青, 刘明. 一种制备碳化硅薄膜的方法. 中国: CN101928933A, 2010-12-29.

[207] 贾佳, 潘一鸣, 谢常青, 朱效立, 刘明. 基于HSQ工艺的制作位相型光子筛的方法. 中国: CN101923182A, 2010-12-22.

[208] 龙世兵, 刘明, 陈宝钦, 谢常青, 贾锐, 徐连生. 多功能离子束溅射设备. 中国: CN101880862A, 2010-11-10.

[209] 龙世兵, 刘明, 陈宝钦, 谢常青, 贾锐, 徐连生. 多功能离子束溅射沉积与刻蚀设备. 中国: CN101880863A, 2010-11-10.

[210] 贾佳, 谢常青, 刘明. 环带光子筛及其制作方法. 中国: CN101881844A, 2010-11-10.

[211] 谢常青, 马杰, 朱效立, 刘明, 陈宝钦, 叶甜春. 带有通孔的X射线光刻掩模. 中国: CN101846874A, 2010-09-29.

[212] 李晶晶, 赵以贵, 朱效立, 李东梅, 贾锐, 谢常青. 用于气体检测的亚微米尺寸声表面波延迟线的制作方法. 中国: CN101783658A, 2010-07-21.

[213] 朱效立, 潘一鸣, 谢常青, 贾 佳, 刘 明. 一种大口径成像光子筛及其制作方法. 中国: CN101630027, 2010-01-20.

[214] 涂德钰, 刘 明, 王 慰, 商立伟, 谢常青. 三维CMOS与分子开关器件的混合集成电路结构的制备方法. 中国: CN100573838, 2009.12.23.

[215] 陈 晨, 贾 锐, 李维龙, 刘 明, 陈宝钦, 龙世兵, 谢常青, 涂德钰, 刘 琦. 一种制备硅纳米晶薄膜的方法. 中国: CN101457346, 2009.06.17.

[216] 李维龙, 贾 锐, 陈 晨, 刘 明, 陈宝钦, 龙世兵, 谢常青, 王 琴, 涂德钰. 采用电子束蒸发方式制备HfO 2 纳米晶的方法. 中国: CN101459085, 2009.06.17.

[217] 姜 骥, 谢常青, 岑专专, 商立伟, 刘兴华, 刘 明. 一种纳米压印光刻机. 中国: CN101452207, 2009.06.10.

[218] 涂德钰, 刘 明, 商立伟, 刘新华, 谢常青. 一种制备交叉分子电子器件的方法. 中国: CN101420014, 2009.04.29.

[219] 刘 明, 陈宝钦, 谢常青. 全透明无铬移相掩模实现100纳米图形加工的方法. 中国: CN100478784, 2009.04.15.

[220] 李维龙, 贾 锐, 陈 晨, 刘 明, 陈宝钦, 谢常青, 龙世兵. 制备埋嵌硅纳米晶的高介电常数栅介质的方法. 中国: CN100576455, 2009-12-30.

[221] 贾 锐, 李维龙, 陈 晨, 刘 明, 陈宝钦, 谢常青. 基于共蒸法制备硅纳米晶超晶格结构的方法. 中国: CN101565855, 2009-10-28.

[222] 刘兴华, 徐德钰, 朱效立, 谢常青, 刘 明. 基于X射线曝光技术制作透光纳米压印模板的方法. 中国: CN101520600, 2009-09-02.

[223] 朱效立, 谢常青, 叶甜春, 刘 明. 用于X射线曝光的光刻掩模结构及其制备方法. 中国: CN101515110, 2009-08-26.

[224] 谢常青, 叶甜春. 一种高分辨率自支撑全镂空透射光栅的制作方法. 中国: CN100501461, 2009-06-17.

[225] 李维龙, 贾 锐, 刘 明, 陈宝钦, 龙世兵, 谢常青, 王 琴, 涂德钰, 刘 琦. 采用电子束蒸发方式制备硅纳米晶体的方法. 中国: CN101452838, 2009-06-10.

[226] 刘兴华, 涂德钰, 朱效立, 谢常青, 刘 明. 基于双层胶工艺制作X射线曝光掩膜的方法. 中国: CN101452203, 2009-06-10.

[227] 朱效立, 谢常青, 叶甜春, 刘 明. 一种制作聚酰亚胺有机镂空薄膜的方法. 中国: CN101445614, 2009-06-03.

[228] 石莎莉, 陈大鹏, 欧 毅, 谢常青, 叶甜春. 采用基于硅衬底突点制作及释放牺牲层的方法. 中国: CN100495653, 2009-06-03.

[229] 涂德钰, 刘 明, 谢常青, 刘新华, 商立伟. 用于电子束光刻剥离的去除双层胶的方法. 中国: CN101430503, 2009-05-13.

[230] 涂德钰, 刘 明, 王 慰, 商立伟, 谢常青. 三维CMOS与分子开关器件的混合集成电路结构. 中国: CN101431070, 2009-05-13.

[231] 涂德钰, 刘 明, 刘新华, 商立伟, 谢常青. 一种电学双稳态有机薄膜的制备方法. 中国: CN101419815, 2009-04-29.

[232] 李维龙, 贾 锐, 刘 明, 陈宝钦, 龙世兵, 谢常青, 王 琴, 商利伟, 涂德钰, 刘 琦, 陈 晨. 一种通过金属铬掩蔽膜进行干法刻蚀的方法. 中国: CN101419400, 2009-04-29.

[233] 李维龙, 贾 锐, 刘 明, 陈宝钦, 龙世兵, 谢常青, 王 琴, 涂德钰, 刘 琦. 利用电子束蒸发设备制备硅纳米晶体的方法. 中国: CN101418467, 2009-04-29.

[234] 谢常青, 叶甜春, 陈大鹏. 基于自支撑薄膜高高宽比深亚微米、纳米金属结构制作工艺. 中国: CN100466171, 2009-03-04.

[235] 王丛舜, 牛洁斌, 涂德钰, 谢常青, 陈宝钦, 刘 明. 纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法. 中国: CN100445873, 2008-12-24.

[236] 涂德钰, 刘 明, 谢常青, 朱效力, 贾 锐. 一种制备交叉结构有机分子器件的方法. 中国: CN101232077, 2008-07-30.

[237] 石莎莉, 陈大鹏, 欧 毅, 谢常青, 叶甜春. 采用基于硅衬底突点制作及释放牺牲层的方法. 中国: CN100396594, 2008-06-25.

[238] 王丛舜, 牛洁斌, 涂德钰, 谢常青, 陈宝钦, 刘明. 一种声表面波器件的制备方法. 中国: CN101022270, 2007-08-22.

[239] 谢常青, 刘明. 用于193nm光学光刻的侧墙铬衰减型移相掩模制作方法. 中国: CN101017322, 2007-08-15.

[240] 刘明, 叶甜春, 谢常青, 张建宏. 用电子束大小电流混合一次曝光制备X射线掩模的方法. 中国: CN1818789, 2006-08-16.

[241] 龙世兵, 李志刚, 谢常青, 刘明, 陈宝钦. 避免ZEP520电子抗蚀剂产生裂纹的方法. 中国: CN1815369, 2006-08-09.

[242] 谢常青, 叶甜春, 陈大鹏. 高高宽比深亚微米、纳米金属结构的三层制作工艺. 中国: CN1799986, 2006-07-12.

[243] 谢常青, 范东升, 刘明. 纳米压印与光学光刻混合制作T型栅的方法. 中国: CN1797200, 2006-07-05.

[244] 谢常青, 范东升, 刘明. 单次纳米压印制作深纳米T型栅的方法. 中国: CN1782879, 2006-06-07.

[245] 王德强, 谢常青, 叶甜春. X射线光刻对准标记. 中国: CN1627190, 2005-06-15.

出版信息

   
发表论文
(1) High order diffraction suppression by quasiperiodic two-dimensional gratings, Opt. Mater. Express, 2017, 通讯作者
(2) Two-dimensional gratings of hexagonal holes for high order diffraction suppression, Opt. Express, 2017, 通讯作者
(3) Higher-order diffraction suppression of free-standing quasiperiodic nanohole arrays in the x-ray region, Appl.Phys.Lett., 2017, 通讯作者
(4) Fabrication of ultra-high aspect ratio (>160:1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching, J.Micromech. Microeng., 2017, 通讯作者
(5) Single-focus spiral zone plates, Optics letters, 2017, 通讯作者
(6) Nanofabrication and characterization of high-line-density x-ray transmission gratings0, J. of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2017, 通讯作者
(7) Effect of Near-Field Diffraction in Photolithography of Hexagonal Arrays for Dichroic Filters, IEEE Photonics Journal, 2016, 通讯作者
(8) Depth-of-Focus Determination for Talbot Lithography of Large-Scale Free-Standing Periodic Features, IEEE Photonics Technology Letters, 2016, 通讯作者
(9) A MEMS thermal shear stress sensor produced by a combination of substrate-free structures with anodic bonding technology, Appl.Phys.Lett., 2016, 通讯作者
(10) Improving stress stability in low-pressure chemical vapor deposited silicon dioxide films by ion implantation, Thin Solid Films, 2016, 通讯作者
(11) Free space self-similar beams, Optics Letters , 2015, 通讯作者
(12) High Q Plasmonic Lasing of Band Edge Modes in an Asymmetry Environment, Plasmonics, 2015, 通讯作者
(13) Differential-interference-contrast digital in-line holography microscopy based on a single-optical-element, Optics letters, 2015, 通讯作者
(14) Omnidirectional diffraction control with rotational topological defects, Optics express, 2015, 通讯作者
(15) Quasi suppression of higher-order diffractions with inclined rectangular apertures gratings, Scientific Reports, 2015, 通讯作者
(16) Large-area SiC membrane produced by plasma enhanced chemical vapor deposition at relatively high temperature, Journal of Vacuum Science & Technology A,, 2015, 通讯作者
(17) Parabolic scaling beams,  Optics Letters , 2014, 通讯作者
(18)  Hybrid lithography for x-ray diffractive optical elements,  SPIE Newsroom, 2014, 第 1 作者
(19) Fabrication of x-ray diffractive optical elements for laser fusion applications., Opt. Eng, 2013, 第 1 作者
(20)  Controlled interaction of the optical vortices generated by off-center spiral zone plates, Opt.Commun., 2013, 通讯作者
(21) Moiré-based phase imaging for sensing and adjustment of in-plane twist angle, IEEE Photon. Technol. Lett ., 2013, 通讯作者
(22) Quasi-periodic gratings: diffraction orders accelerate along curves, Optics Letters , 2013, 通讯作者
(23)  Enhanced optical transmission through asymmetric nanostructured gold films, J.Opt.Soc.Am. B., 2012, 通讯作者
(24) Toward two-dimensional nanometer resolution hard-x-ray differential-interference-contrast imaging using modified photon sieves, Optics Letters, 2012, 第 1 作者
(25) Using Circular Dammann Gratings to produce impulse optic vortex rings, Applied Physics Letters , 2012, 通讯作者
(26) 微纳金属光学结构制备技术及应用, 光学学报, 2011, 第 1 作者
(27) High-order diffraction suppression using modulated groove position gratings, Optics Letters, 2011, 通讯作者
(28) Circular Fibonacci gratings, Applied Optics, 2011, 通讯作者
(29) Square optical vortices generated by binaray spiral zone plates, Applied Physics Letters, 2011, 通讯作者
(30) 近地空间下X/EUV透射光栅的热力学有限元分析, 光电工程, 2010, 通讯作者
(31) 螺旋型波带片成像的空间分辨率研究, 光电子.激光, 2010, 通讯作者
(32) X射线螺旋波带片制备技术, 核技术, 2010, 第 4 作者
(33) A super-resolution Fresnel zone plate and photon sieve, Optics and Lasers in Engineering, 2010, 第 2 作者
(34) 2000 lp /mm X 射线透射变栅距光栅的研究, 光学学报, 2010, 通讯作者
(35) 复合型光子筛及其在大口径成像中的应用, 光电工程 , 2010, 第 2 作者
(36) 多能点X射线透射光栅的制作技术, 微纳电子技术, 2010, 第 2 作者
(37) Feasibility study of hard-x-ray nanofocusing above 20keV using compound photon sieves, Optics Letters, 2010, 第 1 作者
(38) 自支撑透射光栅的设计、制作和测试, 物理学报, 2010, 通讯作者
(39) Spiral photon sieves apodized by digital prolate spheroidal window for the generation of hard-x-ray vortex, Optics Letters , 2010, 第 1 作者
(40) Focusing properties of hard x-ray photon sieves: three-parameter apodization window and waveguide effect, Optics Letters , 2009, 第 1 作者
(41) Phase zone Photon Sieve, Chinese Phys. B, 2009, 第 2 作者
(42) Design, fabrication and test of a soft x-ray even-order transmission grating, Chin. Phys. Lett, 2009, 通讯作者
(43) 硬X射线光子筛波导效应研究, 物理学报, 2009, 第 1 作者
(44) Fabrication of 11-nm-wide silica-like lines using x-ray diffraction exposure, Chin. Phys. Lett, 2009, 第 2 作者
(45) High-rate reactive ion etching of barium hexaferrite films using optimal CHF3/SF6 gas mixtures, Applied Physics Letters, 2009, 第 3 作者
(46) 3333 lp /mm X 射线透射光栅的研制, 光学学报, 2008, 通讯作者
(47) Asymmetric electrical bistable behavior of an eicosanoic acid/zirconium oxide bilayer system with rectifying effect, Applied Physics Letters, 2008, 通讯作者
(48) Photon sieve for reduction of the far-field diffraction spot size in the laser free-space communication system, Optics Communications, 2008, 第 3 作者
(49) 微聚焦菲涅耳波带板聚焦特性研究, 物理学报, 2008, 第 4 作者
(50) 高线密度X射线透射光栅的制作工艺, 半导体学报, 2007, 通讯作者
(51) Analysis by using X-ray photoelectron spectroscopy for polymethyl methacrylate and polytetrafluoroethylene etched by KrF excimer laser, Applied Surface Science , 2007, 第 4 作者
(52) 侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用, 半导体学报, 2006, 第 1 作者
(53) 第二代接近式X射线光刻技术, 微细加工技术, 2006, 第 1 作者
(54) Micro Zone Plates with High Aspect Ratio Fabricated by E-Beam and X-ray Lithography, Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystem, 2006, 第 3 作者
发表著作
(1) 微细加工技术, Microfabrication Technology, 化学工业出版社, 2004-07, 第 2 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 纳米尺度X射线光学元件设计、制作及应用, 主持, 国家级, 2007-07--2012-03
( 2 ) 极紫外光刻掩模关键技术研究, 主持, 国家级, 2009-01--2013-11
( 3 ) 亚光波长微分干涉相衬光子筛偏振成像特性研究, 主持, 国家级, 2013-01--2016-12
( 4 ) 微分干涉相衬-数字同轴全息3D形貌检测新型系统, 主持, 国家级, 2015-01--2016-12
( 5 ) X射线衍射光谱与成像纳米器件及集成基础研究, 参与, 国家级, 2017-06--2021-12

指导学生

已指导学生

马杰  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

潘一鸣  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王德强  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘兴华  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王永  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

杜宇禅  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

高南  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张雨超  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

洪梅华  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陈相银  硕士研究生  430110-集成电路工程  

何宽  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李海亮  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

梁永浩  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王恩亮  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

梁圣法  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

浦探超  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘子维  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

赵越  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张海涛  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陈生琼  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张晓萌  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学