基本信息
谢波 男 中国科学院空天信息创新研究院
电子邮件： xiaobo@aircas.ac.cn
通信地址： 中关村北一条9号科电大厦
邮政编码：100190
研究领域
MEMS传感器，谐振式MEMS压力传感器
招生信息
硕士研究生1名
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
招生方向
微机电系统与传感器，MEMS压力传感器
教育背景
教育背景
2007~2011，北京市师范大学，物理学专业，学士
2011~2016，中国科学院大学，微电子学与固体电子学，博士
工作经历
工作简历
2018-11~现在, 中国科学院空天信息创新研究院, 副研究员
2016-08~2018-10,中国科学院电子学研究所, 博士后
2016-08~2018-10,中国科学院电子学研究所, 博士后
社会兼职
2022-10-01-2024-09-30,NPE期刊青年编委,
教授课程
微流控芯片系统
硅微机械传感器
硅微机械传感器
出版信息
发表论文
（1） An All-Silicon Resonant Pressure Microsensor Based on Eutectic Bonding, MICROMACHINES, 2023, 通讯作者
（2） Reduction of Temperature Sensitivity for Resonant Micro-Pressure Sensor Using Glass-Silicon Coupling Wafer Packaging, IEEE SENSORS JOURNAL, 2022, 第 4 作者
（3） A Low-Temperature-Sensitivity Resonant Pressure Microsensor Based on Eutectic Bonding, IEEE SENSORS JOURNAL, 2022, 第 4 作者
（4） A Resonant High-Pressure Sensor Based on Integrated Resonator-Diaphragm Structure, IEEE SENSORS JOURNAL, 2022, 第 6 作者
（5） A High-Sensitivity Resonant Differential Pressure Microsensor Based on Bulk Micromachining, IEEE SENSORS JOURNAL, 2021, 第 4 作者
（6） A Micromachined Resonant Micro-Pressure Sensor, IEEE SENSORS JOURNAL, 2021, 第 4 作者
（7） A resonant high-pressure sensor based on dual cavities, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2021, 第 6 作者
（8） A Micromachined Resonant Differential Pressure Sensor, IEEETRANSACTIONSONELECTRONDEVICES, 2020, 第 3 作者
（9） Resonant Pressure Micro Sensors Based on Dual Double Ended Tuning Fork Resonators, MICROMACHINES, 2019, 通讯作者
（10） A RESONANT PRESSURE MICRO SENSOR BASED ON SUSPENDED ASSEMBLY, 2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019, 第 2 作者
（11） A Resonant Pressure Sensor Based upon Electrostatically Comb Driven and Piezoresistively Sensed Lateral Resonators, MICROMACHINES, 2019, 第 6 作者
（12） A High-sensitivity, Small-size Resonant Pressure Microsensor Based on Optimized Resonator-diaphragm Structure, 2019 14TH ANNUAL IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (IEEE-NEMS 2019), 2019, 第 4 作者
（13） A Resonant Pressure Microsensor With a Stress Isolation Layer, IEEE SENSORS JOURNAL, 2019, 第 2 作者
（14） A Double-Ended Tuning Fork Based Resonant Pressure Micro-Sensor Relying on Electrostatic Excitation and Piezoresistive Detection, PROCEEDINGS, 2018, 第 3 作者
（15） An Analytical Method for Modelling Pull-In Effect during Anodic Bonding, PROCEEDINGS, 2018, 第 2 作者
（16） A Resonant Pressure Microsensor Based on Double-Ended Tuning Fork and Electrostatic Excitation/Piezoresistive Detection, SENSORS, 2018, 第 3 作者
（17） 基于频率自适应的航空用高精度硅谐振压力传感器的频率测试系统研究, The Study on the Frequency Adapted Frequency Measurement System of High Accuracy Resonant Pressure Sensor, 传感技术学报, 2018, 第 1 作者
（18） Au maskless patterning for vacuum packaging using the electrochemical method, NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING, 2018, 第 1 作者
（19） Reduction of the Temperature Sensitivity of Anodic Bonded Resonant Pressure Micro Sensors, 2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS), 2017, 第 2 作者
（20） 差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性, A differential resonant identical sensitivity pressure micro sensor with of two resonant beams, 强激光与粒子束, 2016, 第 2 作者
（21） A Resonant Pressure Sensor Capable of Temperature Compensation with Least Squares Support Vector Machine, PROCEDIA ENGINEERING, 2016, 第 2 作者
（22） A Lateral Differential Resonant Pressure Microsensor Based on SOI-Glass Wafer-Level Vacuum Packaging, SENSORS (BASEL, SWITZERLAND), 2015, 第 1 作者
（23） Vacuum-packaged Resonant Pressure Sensor with Dual Resonators for High Sensitivity and Linearity, EUROSENSORS 2015, 2015, 第 1 作者
（24） Electrostatically driven and capacitively detected differential lateral resonant pressure microsensor, MICRO & NANO LETTERS, 2013, 第 2 作者
（25） An electrostatically-driven and capacitively-sensed differential lateral resonant pressure microsensor, 2013 8th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), 2013, 第 1 作者
（2） Reduction of Temperature Sensitivity for Resonant Micro-Pressure Sensor Using Glass-Silicon Coupling Wafer Packaging, IEEE SENSORS JOURNAL, 2022, 第 4 作者
（3） A Low-Temperature-Sensitivity Resonant Pressure Microsensor Based on Eutectic Bonding, IEEE SENSORS JOURNAL, 2022, 第 4 作者
（4） A Resonant High-Pressure Sensor Based on Integrated Resonator-Diaphragm Structure, IEEE SENSORS JOURNAL, 2022, 第 6 作者
（5） A High-Sensitivity Resonant Differential Pressure Microsensor Based on Bulk Micromachining, IEEE SENSORS JOURNAL, 2021, 第 4 作者
（6） A Micromachined Resonant Micro-Pressure Sensor, IEEE SENSORS JOURNAL, 2021, 第 4 作者
（7） A resonant high-pressure sensor based on dual cavities, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2021, 第 6 作者
（8） A Micromachined Resonant Differential Pressure Sensor, IEEETRANSACTIONSONELECTRONDEVICES, 2020, 第 3 作者
（9） Resonant Pressure Micro Sensors Based on Dual Double Ended Tuning Fork Resonators, MICROMACHINES, 2019, 通讯作者
（10） A RESONANT PRESSURE MICRO SENSOR BASED ON SUSPENDED ASSEMBLY, 2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019, 第 2 作者
（11） A Resonant Pressure Sensor Based upon Electrostatically Comb Driven and Piezoresistively Sensed Lateral Resonators, MICROMACHINES, 2019, 第 6 作者
（12） A High-sensitivity, Small-size Resonant Pressure Microsensor Based on Optimized Resonator-diaphragm Structure, 2019 14TH ANNUAL IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (IEEE-NEMS 2019), 2019, 第 4 作者
（13） A Resonant Pressure Microsensor With a Stress Isolation Layer, IEEE SENSORS JOURNAL, 2019, 第 2 作者
（14） A Double-Ended Tuning Fork Based Resonant Pressure Micro-Sensor Relying on Electrostatic Excitation and Piezoresistive Detection, PROCEEDINGS, 2018, 第 3 作者
（15） An Analytical Method for Modelling Pull-In Effect during Anodic Bonding, PROCEEDINGS, 2018, 第 2 作者
（16） A Resonant Pressure Microsensor Based on Double-Ended Tuning Fork and Electrostatic Excitation/Piezoresistive Detection, SENSORS, 2018, 第 3 作者
（17） 基于频率自适应的航空用高精度硅谐振压力传感器的频率测试系统研究, The Study on the Frequency Adapted Frequency Measurement System of High Accuracy Resonant Pressure Sensor, 传感技术学报, 2018, 第 1 作者
（18） Au maskless patterning for vacuum packaging using the electrochemical method, NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING, 2018, 第 1 作者
（19） Reduction of the Temperature Sensitivity of Anodic Bonded Resonant Pressure Micro Sensors, 2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS), 2017, 第 2 作者
（20） 差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性, A differential resonant identical sensitivity pressure micro sensor with of two resonant beams, 强激光与粒子束, 2016, 第 2 作者
（21） A Resonant Pressure Sensor Capable of Temperature Compensation with Least Squares Support Vector Machine, PROCEDIA ENGINEERING, 2016, 第 2 作者
（22） A Lateral Differential Resonant Pressure Microsensor Based on SOI-Glass Wafer-Level Vacuum Packaging, SENSORS (BASEL, SWITZERLAND), 2015, 第 1 作者
（23） Vacuum-packaged Resonant Pressure Sensor with Dual Resonators for High Sensitivity and Linearity, EUROSENSORS 2015, 2015, 第 1 作者
（24） Electrostatically driven and capacitively detected differential lateral resonant pressure microsensor, MICRO & NANO LETTERS, 2013, 第 2 作者
（25） An electrostatically-driven and capacitively-sensed differential lateral resonant pressure microsensor, 2013 8th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS), 2013, 第 1 作者
发表著作
（1） A Micromachined Silicon Resonant Pressure Sensor, Spring, 2018-01, 第 3 作者
科研活动
科研项目
（ 1 ） 浮空器环境探测传感器研制, 负责人, 国家任务, 2022-11--2025-10
（ 2 ） 高精度压力传感器研制, 负责人, 中国科学院计划, 2021-12--2024-11
（ 3 ） 多介质兼容、温压集成敏感硅谐振压力传感器, 负责人, 研究所自选, 2021-07--2023-07
（ 2 ） 高精度压力传感器研制, 负责人, 中国科学院计划, 2021-12--2024-11
（ 3 ） 多介质兼容、温压集成敏感硅谐振压力传感器, 负责人, 研究所自选, 2021-07--2023-07
参与会议
（1）一种低应力组装的谐振式差压传感器 第十八届中国航空测控技术年会 2021-09-13
（2）Vacuum-packaged Resonant Pressure Sensor with Dual Resonators for High Sensitivity and Linearity 2015-09-06
（3）A self-temperature compensating barometer with dual doubly-clamped resonators 2015-06-15
（2）Vacuum-packaged Resonant Pressure Sensor with Dual Resonators for High Sensitivity and Linearity 2015-09-06
（3）A self-temperature compensating barometer with dual doubly-clamped resonators 2015-06-15