080300-光学工程
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080401-精密仪器及机械

先进光刻；极紫外光刻
光学检测
精密仪器

2001-09--2009-01   清华大学   博士
1996-09--2000-07   浙江大学   本科

   

2018-11~现在, 中国科学院微电子所, 研究员
2009-05~2018-10,中国科学院光电研究院, 研究员

2020-05-01-今,中国计量测试学会真空计量专委会, 副主任委员
2020-05-01-今,《真空与低温》杂志, 编委
2019-11-01-今,中国真空学会质谱分析与检漏专委会, 委员
2019-11-01-今,中国真空学会真空冶金专业委员会, 委员
2017-11-11-今,国家知识产权局学术委员会, 中国专利审查技术专家
2016-04-01-今,全国真空技术标准化技术委员会, 委员

   

[1] 谢婉露, 吴晓斌, 王魁波, 罗艳, 张罗莎, 王宇. 一种极紫外光学元件性能参数测试系统. CN: CN110895192B, 2021-04-16.

[2] 王魁波, 吴晓斌, 罗艳, 谢婉露, 韩晓泉, 沙鹏飞. 极紫外光学元件的微环境控制系统. CN: CN112255886A, 2021-01-22.

[3] 王魁波, 吴晓斌, 谢婉露, 罗艳, 沙鹏飞, 韩晓泉. 载片系统及物料传递方法. CN: CN112198761A, 2021-01-08.

[4] 王魁波, 吴晓斌, 谢婉露, 罗艳, 沙鹏飞, 韩晓泉, 李慧. 动态气体隔离装置. CN: CN111965950A, 2020-11-20.

[5] 王魁波, 吴晓斌, 谢婉露, 罗艳. 一种痕量气体分析装置以及方法. CN: CN111896677A, 2020-11-06.

[6] 罗艳, 吴晓斌, 王魁波, 谢婉露, 李慧. 高压气体采样试验装置及采样试验方法. CN: CN111665292A, 2020-09-15.

[7] 罗艳, 吴晓斌, 王魁波, 谢婉露, 李慧. 一种低真空痕量气体的快速无损采样分析装置和方法. CN: CN111665103A, 2020-09-15.

[8] 罗艳, 吴晓斌, 王魁波, 谢婉露, 李慧. 低真空气体的快速无损采样装置及采样方法. CN: CN111665102A, 2020-09-15.

[9] 王魁波, 吴晓斌, 罗艳, 谢婉露. 一种气体采样分析装置和方法. CN: CN111638263A, 2020-09-08.

[10] 谢婉露, 吴晓斌, 王魁波, 罗艳, 李慧. 极紫外累积辐照损伤测试系统及方法. CN: CN111504889A, 2020-08-07.

[11] 刘立拓, 周维虎, 余晓娅, 吴晓斌, 陈晓梅, 王宇, 石俊凯, 黎尧. EUV掩模缺陷检测系统及方法. CN: CN111103757A, 2020-05-05.

[12] 罗艳, 吴晓斌, 朱精果, 王魁波, 张罗莎, 谢婉露. 气体分压的在线测量装置. CN: CN210293526U, 2020-04-10.

[13] 谢婉露, 吴晓斌, 王魁波, 罗艳, 张罗莎, 王宇. 一种极紫外光刻胶放气污染测试系统. CN: CN110879198A, 2020-03-13.

[14] 谢婉露, 吴晓斌, 王魁波, 罗艳, 张罗莎, 王宇. 一种极紫外光辐照致材料氢脆性能的测试系统. CN: CN110879199A, 2020-03-13.

[15] 罗艳, 吴晓斌, 朱精果, 王魁波, 张罗莎, 谢婉露. 气体分压的在线测量装置及其在线测量方法. CN: CN110376272A, 2019-10-25.

   

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[19] Feng, Y, Dong, M, Li, D, Wu, X, Cheng, Y, Zhao, L, Wang, Y. Study on Vacuum Materials Outgassing Rate Using the Method of Switching Between Two Pumping Paths. MAPAN-JOURNAL OF METROLOGY SOCIETY OF INDIA[J]. 2014, 29(4): 229-234, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000345014700002.
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（ 1 ） EUV基础共性技术研究, 主持, 国家级, 2012-01--2020-12
（ 2 ） EUVL动态真空与热环境技术研究, 主持, 国家级, 2012-01--2020-12
（ 3 ） 高NA投影曝光光学系统及其产业化发展研究, 主持, 国家级, 2010-07--2017-12
（ 4 ） 照明系统接口及光路设计方案研究, 主持, 国家级, 2009-06--2018-12
（ 5 ） 193nm光刻镜头静态曝光检测系统方案研究, 主持, 国家级, 2009-06--2018-12
（ 6 ） 综合测试平台定制环境控制系统, 主持, 院级, 2018-01--2020-12
（ 7 ） 表面检测技术研究, 主持, 部委级, 2021-01--2023-12

现指导学生

马翔宇  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

户权  硕士研究生  085400-电子信息