基本信息
王建 男 硕导 中国科学院光电技术研究所
电子邮件： wangjian@ioe.ac.cn
通信地址： 四川省成都市双流光电大道1号
邮政编码：
电子邮件： wangjian@ioe.ac.cn
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研究领域
微细加工装备及关键技术研究
在信息化时代，微细加工装备是最核心的制造装备之一，是各种集成电路、芯片及各种微纳结构的基础制造设备。高端微细加工装备被称为人类最精密、最复杂的制造设备，设计、制造难度极大。本研究领域是光电所特色研究领域之一，专注于本领域的关键单元技术、光刻新方法以及光刻系统的设计、集成、调试与检测技术研究和探索，涉及光学、机械、电控及软件多个学科方向，对基础理论及工程实践能力有极高的要求。
在信息化时代，微细加工装备是最核心的制造装备之一，是各种集成电路、芯片及各种微纳结构的基础制造设备。高端微细加工装备被称为人类最精密、最复杂的制造设备，设计、制造难度极大。本研究领域是光电所特色研究领域之一，专注于本领域的关键单元技术、光刻新方法以及光刻系统的设计、集成、调试与检测技术研究和探索，涉及光学、机械、电控及软件多个学科方向，对基础理论及工程实践能力有极高的要求。
招生信息
招生专业
080300-光学工程
招生方向
微电子装备及关键技术研究
教育背景
2003-09--2006-03 浙江大学 硕士
1999-09--2003-06 浙江大学 学士学位
1999-09--2003-06 浙江大学 学士学位
工作经历
工作简历
2006-04~2015-08,中国科学院光电技术研究所, 副研究员
专利与奖励
专利成果
[1] 李天, 全海洋, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建, 胡松, 杜婧, 周吉. 一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法. CN: CN115657425A, 2023-01-31.
[2] 李天, 全海洋, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建, 胡松. 一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法. CN: CN115657424A, 2023-01-31.
[3] 杜婧, 刘俊伯, 王建. 一种用于物镜像质检测的物镜调平旋转装置. CN: CN115493815A, 2022-12-20.
[4] 王青蓝, 全海洋, 胡常安, 刘俊伯, 胡松, 李建科, 朱咸昌, 王建. 一种通用于双通道干涉仪的系统误差标定装置和标定方法. CN: CN115435677A, 2022-12-06.
[5] 王青蓝, 全海洋, 胡松, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建. 一种用于成像系统波像差高精度在线测量装置和测量方法. CN: CN114967368A, 2022-08-30.
[6] 王青蓝, 全海洋, 胡松, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建. 一种用于投影物镜波像差绝对检测的测量装置和测量方法. CN: CN114967365A, 2022-08-30.
[7] 朱咸昌, 王建, 陈磊. 一种三维动态调节及锁紧机构. CN: CN108398761A, 2018-08-14.
[8] 朱咸昌, 王建, 陈磊. 一种单点驱动的轴向调节机构. CN: CN108646372A, 2018-10-12.
[9] 朱咸昌, 王建, 陈磊. 一种水平精密调节及锁紧机构. CN: CN108761830A, 2018-11-06.
[10] 陈磊, 王建, 徐文祥. 一种基于DSP的动镜五自由度在线调整控制系统. CN: CN108459471A, 2018-08-28.
[11] 李艳丽, 严伟, 冯金花, 王建. 一种高精度调焦调平测量系统. CN: CN105242501A, 2016-01-13.
[12] 甘大春, 王建, 林妩媚, 张海波, 廖志杰. 一种光束传输稳定装置. CN: CN102566318A, 2012-07-11.
[13] 邢薇, 赵立新, 胡松, 王建, 李金龙. 一种动镜弹性支撑装置. CN: CN102540386A, 2012-07-04.
[14] 邢薇, 赵立新, 胡松, 王建, 杨勇. 一种动镜轴向微调装置. CN: CN102565983A, 2012-07-11.
[15] 赵立新, 胡松, 邢薇, 杨勇, 王建, 何渝. 一种动镜平面微调机构装置. CN: CN102508360A, 2012-06-20.
[16] 赵立新, 胡松, 邢薇, 杨勇, 王建. 一种动镜二维平面调整装置. CN: CN102508359A, 2012-06-20.
[17] 严伟, 李艳丽, 杨勇, 王建, 陈铭勇, 邸成良. 一种光闸莫尔条纹焦面检测方法. CN: CN102231046A, 2011-11-02.
[18] 李艳丽, 严伟, 陈铭勇, 杨勇, 王建. 一种投影光刻调焦的图像处理方法. CN: CN102193340A, 2011-09-21.
[19] 严伟, 胡松, 李艳丽, 杨勇, 王建, 陈铭勇. 一种可变矩形窗调节机构. CN: CN102096333A, 2011-06-15.
[20] 严伟, 胡松, 赵立新, 李艳丽, 杨勇, 王建, 陈铭勇, 马平, 徐文祥. 一种双变密度盘的可变衰减器. CN: CN102096189A, 2011-06-15.
[21] 王建, 赵立新, 陈铭勇, 胡松. 一种红外成像光学读出系统的照明装置. CN: CN102169018A, 2011-08-31.
[22] 王建, 赵立新, 徐文祥, 严伟, 胡松. 一种用于光刻设备中的光束稳定装置. CN: CN102103329A, 2011-06-22.
[23] 李艳丽, 胡松, 严伟, 王建, 邢薇, 杨勇, 陈铭勇. 一种可调光束能量衰减装置. CN: CN102063021A, 2011-05-18.
[24] 徐文祥, 邢薇, 罗正全, 马平, 王建. 一种投影光刻机中的光束稳定装置. CN: CN101963765A, 2011-02-02.
[25] 王建, 胡松, 赵立新, 邢薇. 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构. CN: CN101710204A, 2010-05-19.
[26] 赵立新, 胡松, 王建, 邢薇. 一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构. CN: CN101702051A, 2010-05-05.
[27] 马平, 邢薇, 胡松, 唐小萍, 王建. 一种纳米光刻对准系统. CN: CN101281378A, 2008-10-08.
[28] 张雨东, 王建, 赵立新, 胡松, 董小春, 饶学军, 高洪涛, 戴云. 个性化隐形眼镜定制设备. CN: CN1916768A, 2007-02-21.
[2] 李天, 全海洋, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建, 胡松. 一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法. CN: CN115657424A, 2023-01-31.
[3] 杜婧, 刘俊伯, 王建. 一种用于物镜像质检测的物镜调平旋转装置. CN: CN115493815A, 2022-12-20.
[4] 王青蓝, 全海洋, 胡常安, 刘俊伯, 胡松, 李建科, 朱咸昌, 王建. 一种通用于双通道干涉仪的系统误差标定装置和标定方法. CN: CN115435677A, 2022-12-06.
[5] 王青蓝, 全海洋, 胡松, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建. 一种用于成像系统波像差高精度在线测量装置和测量方法. CN: CN114967368A, 2022-08-30.
[6] 王青蓝, 全海洋, 胡松, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建. 一种用于投影物镜波像差绝对检测的测量装置和测量方法. CN: CN114967365A, 2022-08-30.
[7] 朱咸昌, 王建, 陈磊. 一种三维动态调节及锁紧机构. CN: CN108398761A, 2018-08-14.
[8] 朱咸昌, 王建, 陈磊. 一种单点驱动的轴向调节机构. CN: CN108646372A, 2018-10-12.
[9] 朱咸昌, 王建, 陈磊. 一种水平精密调节及锁紧机构. CN: CN108761830A, 2018-11-06.
[10] 陈磊, 王建, 徐文祥. 一种基于DSP的动镜五自由度在线调整控制系统. CN: CN108459471A, 2018-08-28.
[11] 李艳丽, 严伟, 冯金花, 王建. 一种高精度调焦调平测量系统. CN: CN105242501A, 2016-01-13.
[12] 甘大春, 王建, 林妩媚, 张海波, 廖志杰. 一种光束传输稳定装置. CN: CN102566318A, 2012-07-11.
[13] 邢薇, 赵立新, 胡松, 王建, 李金龙. 一种动镜弹性支撑装置. CN: CN102540386A, 2012-07-04.
[14] 邢薇, 赵立新, 胡松, 王建, 杨勇. 一种动镜轴向微调装置. CN: CN102565983A, 2012-07-11.
[15] 赵立新, 胡松, 邢薇, 杨勇, 王建, 何渝. 一种动镜平面微调机构装置. CN: CN102508360A, 2012-06-20.
[16] 赵立新, 胡松, 邢薇, 杨勇, 王建. 一种动镜二维平面调整装置. CN: CN102508359A, 2012-06-20.
[17] 严伟, 李艳丽, 杨勇, 王建, 陈铭勇, 邸成良. 一种光闸莫尔条纹焦面检测方法. CN: CN102231046A, 2011-11-02.
[18] 李艳丽, 严伟, 陈铭勇, 杨勇, 王建. 一种投影光刻调焦的图像处理方法. CN: CN102193340A, 2011-09-21.
[19] 严伟, 胡松, 李艳丽, 杨勇, 王建, 陈铭勇. 一种可变矩形窗调节机构. CN: CN102096333A, 2011-06-15.
[20] 严伟, 胡松, 赵立新, 李艳丽, 杨勇, 王建, 陈铭勇, 马平, 徐文祥. 一种双变密度盘的可变衰减器. CN: CN102096189A, 2011-06-15.
[21] 王建, 赵立新, 陈铭勇, 胡松. 一种红外成像光学读出系统的照明装置. CN: CN102169018A, 2011-08-31.
[22] 王建, 赵立新, 徐文祥, 严伟, 胡松. 一种用于光刻设备中的光束稳定装置. CN: CN102103329A, 2011-06-22.
[23] 李艳丽, 胡松, 严伟, 王建, 邢薇, 杨勇, 陈铭勇. 一种可调光束能量衰减装置. CN: CN102063021A, 2011-05-18.
[24] 徐文祥, 邢薇, 罗正全, 马平, 王建. 一种投影光刻机中的光束稳定装置. CN: CN101963765A, 2011-02-02.
[25] 王建, 胡松, 赵立新, 邢薇. 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构. CN: CN101710204A, 2010-05-19.
[26] 赵立新, 胡松, 王建, 邢薇. 一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构. CN: CN101702051A, 2010-05-05.
[27] 马平, 邢薇, 胡松, 唐小萍, 王建. 一种纳米光刻对准系统. CN: CN101281378A, 2008-10-08.
[28] 张雨东, 王建, 赵立新, 胡松, 董小春, 饶学军, 高洪涛, 戴云. 个性化隐形眼镜定制设备. CN: CN1916768A, 2007-02-21.
出版信息
发表论文
[1] Liu, Junbo, Zhou, Ji, Yu, Dajie, Sun, Haifeng, Hu, Song, Wang, Jian. The Inverse Optimization of an Optical Lithographic Source with a Hybrid Genetic Algorithm. APPLIED SCIENCES-BASEL[J]. 2023, 13(9): http://dx.doi.org/10.3390/app13095708.
[2] Sun, Haifeng, Du, Jing, Jin, Chuan, Quan, Haiyang, Li, Yanli, Tang, Yan, Wang, Jian, Hu, Song, Liu, Junbo. Global optimisation of source and mask in inverse lithography via tabu search combined with genetic algorithm. OPTICS EXPRESS[J]. 2022, 30(14): 24166-24185, http://dx.doi.org/10.1364/OE.456243.
[3] Wang, Jian, Hu, Song, Zhu, Xianchang. Measurement of Wafer Focus by Grating Shearing Interferometry. APPLIED SCIENCES-BASEL[J]. 2020, 10(21): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000588971400001.
[4] Zhou, Yi, Tang, Yan, Deng, Qinyuan, Liu, Junbo, Wang, Jian, Zhao, Lixin. Dimensional metrology of smooth micro structures utilizing the spatial modulation of white-light interference fringes. OPTICS AND LASER TECHNOLOGY[J]. 2017, 93: 187-193, http://dx.doi.org/10.1016/j.optlastec.2017.03.005.
[5] Tang, Yan, He, Yu, Yang, Yong, Wang, Jian, Liu, Junbo, Yan, Wei. Nano-Focusing and Leveling System Based on Improved Phase Analysis. IEEE PHOTONICS JOURNAL[J]. 2016, 8(2): http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8496.
[6] Li, Yanli, Yan, Wei, Hu, Song, Feng, JinHua, Wang, Jian. Dual-Channel Light Intensity Modulation Method for Focusing in Projection Lithography. IEEE PHOTONICS JOURNAL[J]. 2016, 8(1): http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/3828.
[7] 严伟, 李艳丽, 陈铭勇, 王建. 基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法. 光学学报[J]. 2011, 31(8): 20-24, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=38811053.
[8] 赵立新, 严伟, 王建, 胡松, 唐小萍, 王肇志, 王淑蓉, 张正荣, 张雨东. 数字灰度投影光刻技术. 微纳电子技术[J]. 2009, 46(3): 181-185, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29764967.
[9] 赵立新, 张雨东, 王建, 戴云, 高洪涛, 董小春, 饶学军. 球面投影光刻物镜的设计. 光电工程[J]. 2009, 36(1): 93-97, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29313199.
[2] Sun, Haifeng, Du, Jing, Jin, Chuan, Quan, Haiyang, Li, Yanli, Tang, Yan, Wang, Jian, Hu, Song, Liu, Junbo. Global optimisation of source and mask in inverse lithography via tabu search combined with genetic algorithm. OPTICS EXPRESS[J]. 2022, 30(14): 24166-24185, http://dx.doi.org/10.1364/OE.456243.
[3] Wang, Jian, Hu, Song, Zhu, Xianchang. Measurement of Wafer Focus by Grating Shearing Interferometry. APPLIED SCIENCES-BASEL[J]. 2020, 10(21): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000588971400001.
[4] Zhou, Yi, Tang, Yan, Deng, Qinyuan, Liu, Junbo, Wang, Jian, Zhao, Lixin. Dimensional metrology of smooth micro structures utilizing the spatial modulation of white-light interference fringes. OPTICS AND LASER TECHNOLOGY[J]. 2017, 93: 187-193, http://dx.doi.org/10.1016/j.optlastec.2017.03.005.
[5] Tang, Yan, He, Yu, Yang, Yong, Wang, Jian, Liu, Junbo, Yan, Wei. Nano-Focusing and Leveling System Based on Improved Phase Analysis. IEEE PHOTONICS JOURNAL[J]. 2016, 8(2): http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8496.
[6] Li, Yanli, Yan, Wei, Hu, Song, Feng, JinHua, Wang, Jian. Dual-Channel Light Intensity Modulation Method for Focusing in Projection Lithography. IEEE PHOTONICS JOURNAL[J]. 2016, 8(1): http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/3828.
[7] 严伟, 李艳丽, 陈铭勇, 王建. 基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法. 光学学报[J]. 2011, 31(8): 20-24, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=38811053.
[8] 赵立新, 严伟, 王建, 胡松, 唐小萍, 王肇志, 王淑蓉, 张正荣, 张雨东. 数字灰度投影光刻技术. 微纳电子技术[J]. 2009, 46(3): 181-185, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29764967.
[9] 赵立新, 张雨东, 王建, 戴云, 高洪涛, 董小春, 饶学军. 球面投影光刻物镜的设计. 光电工程[J]. 2009, 36(1): 93-97, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29313199.
科研活动
科研项目
（ 1 ） 极紫外光刻原理实验装置机械与真空系统研制, 参与, 国家级, 2009-01--2016-06
（ 2 ） 高均匀复杂照明系统研制, 参与, 国家级, 2009-07--2016-12
（ 3 ） 新型微纳器件三维形貌检测设备研制, 主持, 部委级, 2016-01--2018-12
（ 2 ） 高均匀复杂照明系统研制, 参与, 国家级, 2009-07--2016-12
（ 3 ） 新型微纳器件三维形貌检测设备研制, 主持, 部委级, 2016-01--2018-12