基本信息
WEI YAYI  男  博导  集成电路学院
电子邮件： weiyayi@ucas.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码：

研究领域

193nm浸没式光刻工艺；

计算光刻；

光刻材料研发；

光刻设备研发

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
080300-光学工程
085400-电子信息
招生方向
集成电路先导工艺技术，193nm浸没式光刻工艺
先进光刻
集成电路工程

教育背景

1994-04--1998-09   德国Max-Planck-Institute for Solid State Research   博士学位
1989-09--1992-07   中国科学院电子学研究所   硕士学位
1981-09--1984-07   江苏大学   毕业
学位

1998，德国Max-Planck-Institute for Solid State Research 获博士学位 

1992，中国科学院电子所 获硕士学位

工作经历

工作简历
2021-02~现在, 中国科学院大学, 特聘教授
2013-07~现在, 中科院微电子所, 研究员
2009-08~2013-06,美国GLOBALOUNDRIES, Principal Member of Technica Staff
2007-08~2009-07,美国AZ Electronic Materials, Senior Staff Scientist
2001-05~2007-07,Infineon 纽约研发中心, Senior Engineer/Staff Engineer
1998-10~2001-04,美国Oak Ridge National Lab, 博士后/Research Staff Member
社会兼职
2023-01-01-今,国际光学工程学会（SPIE）, 会士（Fellow）
2021-03-01-今,中国光学学会光刻技术专业委员会, 副主任委员
2018-10-01-今,微电子制造学报, 执行主编
2017-09-01-今,国际先进光刻技术研讨会, 组委会秘书长
2013-09-01-今,全国标准化专业技术委员会微光刻分会, 委员
2013-09-01-今,中国半导体技术国际会议 (CSTIC)光刻技术委员会, 委员
2013-07-01-2015-12-31,沈阳芯源微电子公司, 副总经理

教授课程

集成电路先进光刻与版图设计优化
超大规模集成电路先进光刻理论与应用
专业研讨课
超大规模集成电路先进光刻理论与应用

指导学生

已指导学生

赵利俊  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

于丽贤  硕士研究生  085209-集成电路工程  

盖天洋  硕士研究生  085209-集成电路工程  

陈颖  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

邹雄峰  硕士研究生  085209-集成电路工程  

徐步青  硕士研究生  085209-集成电路工程  

吴元芳  硕士研究生  085209-集成电路工程  

马玲  硕士研究生  085209-集成电路工程  

林佳欣  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

苏晓菁  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

徐利云  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

明瑞锋  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

马恩泽  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

刘琦  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

李昊乘  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

赵荣波  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张双  硕士研究生  085209-集成电路工程  

盖天洋  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

景旭宇  硕士研究生  085209-集成电路工程  

马玲  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

邵花  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

高澎铮  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘伟晨  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

吴睿轩  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

杨大志  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

丁虎文  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

宋桢  硕士研究生  085400-电子信息  

严琦  硕士研究生  085400-电子信息  

孔鹏杰  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

曹清晨  博士研究生  080300-光学工程  

徐剑  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

邓森  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

沈浩  硕士研究生  080300-光学工程  

朱奕华  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

苑朋朋  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

芮定海  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

赵艺涵  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

郝芸芸  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

田正国  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

杨尚  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

赵伟  硕士研究生  085400-电子信息