基本信息
魏劲松  男  博导  中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件: weijingsong@siom.ac.cn
通信地址: 上海嘉定清河路390号
邮政编码: 201800

研究领域

新型激光光刻技术 

大数据光存储技术 

高速高分辨光学成像与检测技术 

先进光学仪器设计与研制

招生信息

光学工程     博士/硕士研究生

光电信息工程     博士/硕士研究生

材料学     博士/士研究生

招生专业
080300-光学工程
080502-材料学
招生方向
激光光刻系统设计与研制
大数据光存储技术
热敏光刻胶与工艺

教育背景

2001-03--2004-03   中国科学院研究生院    工学博士学位
1998-09--2001-03   西安理工大学   工学硕士学位
1994-09--1998-07   西安理工大学   工学学士学位
学历

中国科学院研究生院--20040301 研究生毕业

学位
工学博士学位

工作经历

2004.03-2005.10  中国科学院上海光学精密机械研究所 助理研究员
2005.11-2010.10  中国科学院上海光学精密机械研究所 副研究员
2010.11-至今         中国科学院上海光学精密机械研究所 研究员
社会兼职
2022-06-18-今,感光学会光刻材料与技术专业委员会, 委员
2021-04-14-2026-08-07,上海大学, 兼职教授
2021-02-28-2023-03-30,华东师范大学, 兼职教授

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 华为优秀技术成果奖, 一等奖, 其他, 2021
(2) 第一届《率先杯》未来创新技术大赛决赛优胜奖, 一等奖, 部委级, 2018
(3) 中国输出版优秀图书奖, 一等奖, 其他, 2015
(4) 上海科技启明星跟踪, 一等奖, 省级, 2010
(5) 上海科技启明星(A类), 一等奖, 省级, 2005
(6) 中国科学院刘永龄奖学金, 特等奖, 部委级, 2003
(7) 上海应用材料与发展基金奖学金, 一等奖, 省级, 2003
专利成果
( 1 ) 一种激光热敏光刻图形反转胶及其光刻方法, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: 202210631813.5

( 2 ) 一种透明无机热敏光刻胶及其光刻工艺, 发明专利, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN115685670A

( 3 ) 一种激光热敏光刻图像反转胶及其光刻方法, 发明专利, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN115685671A

( 4 ) 一种光刻样品及微纳结构跟踪装置及方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114544498A

( 5 ) 提高激光热模光刻图形保真度工艺稳定性方法及抗氧化保护装置, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114335336A

( 6 ) 一种激光热模光刻用抗氧化保护装置, 实用新型, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN216901323U

( 7 ) 单层及多层微纳结构图形试样跟踪装置及方法, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN113899738A

( 8 ) 一种多光束扫描式激光直写装置及其刻写方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113867105A

( 9 ) 一种工件台动态性能检测方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113203549A

( 10 ) 微纳结构图形试样的高速跟踪方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113206950A

( 11 ) 数据读写方法、装置及系统, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114694694A

( 12 ) 一种光存储介质、光存储介质制备方法以及系统, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114512150A

( 13 ) 一种光存储介质、光存储介质制备方法以及系统, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114512150A

( 14 ) 微缩式模拟信息存储方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112382316A

( 15 ) 一种基于热模光刻的氧化硅图形结构制备方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN112309839A

( 16 ) 一种激光热模光刻胶用显影液及其制备方法, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111580357A

( 17 ) 基于干式显影和金属掺杂Sb 2 Te光刻胶的光刻方法, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN110989301A

( 18 ) 一种激光热模光刻图像反转胶及其光刻方法, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN110989295A

( 19 ) 基于相变材料的无油墨激光彩色打印方法, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN110626087A

( 20 ) 以二次谐波为读写方式的多级相变存储器及其制备方法, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN110459243A

( 21 ) 一种具有多级调控功能的薄膜结构, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN110456525A

( 22 ) 电机垂直度的检测装置及检测方法, 专利授权, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN110091070A

( 23 ) 一种基于激光热模光刻的金属剥离方法, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109581830A

( 24 ) 样品中心的检测装置及检测方法, 发明专利, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN109631758A

( 25 ) 多层三维光信息存储体的制造方法及读取方法, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109326308A

( 26 ) 基于相变材料晶化前后透过率差的超分辨光学成像方法, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109142283A

( 27 ) 图像式并行读写的光信息数字存储方法, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109119099A

( 28 ) 通过改变扩束比例实现跨尺度光刻或多分辨率成像的方法, 专利授权, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108681214A

( 29 ) 共聚焦显微系统中针孔轴向位置的调节方法, 专利授权, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108387562A

( 30 ) Ge 2 Sb 2 Te 5 硫系相变薄膜材料正负胶两用湿法刻蚀方法, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108376642A

( 31 ) Ge 2 Sb 2 Te 5 硫系相变薄膜材料正负胶两用湿法刻蚀方法, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108376642A

( 32 ) 基于双光束瞬态开孔形成小孔探针的超分辨光学成像方法, 专利授权, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108318448A

( 33 ) 压电陶瓷响应频率的非接触式测量装置及测量方法, 专利授权, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN108318736B

( 34 ) 不同负载下压电陶瓷响应频率的非接触式测量装置及测量方法, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108318736A

( 35 ) 一种精密离焦检测装置及检测方法, 专利授权, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108332679A

( 36 ) 一种纳米压印模板制备方法, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN108563099A

( 37 ) 激光诱导的跨尺度光刻方法, 发明专利, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107390476A

( 38 ) 薄膜热导率的测量装置和测量方法, 发明专利, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN107478582A

( 39 ) 一种基于材料热致透过率变化的超分辨非荧光成像方法, 专利授权, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107478615A

( 40 ) 电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法, 专利授权, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106840051A

( 41 ) 基于无掩膜光刻机极坐标下刻写大范围任意图形的方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN106200278A

( 42 ) 激光诱导瞬态热探针的纳米光刻方法, 发明专利, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106227000A

( 43 ) 一种纳米压印模板制备方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105824190A

( 44 ) 基于激光诱导瞬态小孔探针的超分辨光学成像方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105607277A

( 45 ) 一种Sb 2 Te 3 热电材料薄膜湿法刻蚀方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105742477A

( 46 ) 一种Sb 2 Te 3 热电材料薄膜湿法刻蚀方法, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN105742477B

( 47 ) 激光直写用超分辨掩膜板及其制备方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105425536A

( 48 ) 基于聚焦透镜轴向色差的双光束并行刻写装置, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105355217A

( 49 ) 高速旋转激光直写任意图形的方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104597718A

( 50 ) 艾里光束加速曲线的测量方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103743480A

( 51 ) Sb 2 Te 3 非线性超分辨盖玻片, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103235408A

( 52 ) Sb 2 Te 3 非线性超分辨盖玻片, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103235408A

( 53 ) 可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103033488A

( 54 ) 产生超分辨光斑和超长焦深的装置, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103091859A

( 55 ) Z扫描光学非线性测量装置和测量方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN102937573A

( 56 ) 提高超分辨相位板光斑性能的装置, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102681200A

( 57 ) 提高激光热刻蚀图形分辨率的薄膜结构及其制备方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102636958A

( 58 ) 铋掺杂锑基掩膜只读式超分辨光盘, 发明专利, 2011, 第 4 作者, 专利号: CN102290072A

( 59 ) 材料微区结构变化动力学过程的检测装置和检测方法, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN102262091A

( 60 ) 测量微纳米级薄膜线延伸率和薄膜面延展率的方法, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: CN101979995A

( 61 ) 激光直写微纳图形结构的方法, 发明专利, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101914756A

( 62 ) 激光直写薄膜和激光直写微纳图形的方法, 发明专利, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101892461A

( 63 ) 双束多功能z扫描光学非线性测量装置和方法, 发明专利, 2010, 第 2 作者, 专利号: CN101806723A

( 64 ) 可录式蓝光超分辨近场结构光盘, 发明专利, 2010, 第 4 作者, 专利号: CN101719374A

( 65 ) 实时观察的单束双模参数可调Z扫描装置和测量方法, 发明专利, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101608999A

( 66 ) 锑铋相变合金掩膜只读式超分辨光盘, 发明专利, 2009, 第 4 作者, 专利号: CN101409086A

( 67 ) 光磁混合存储记录的超分辨薄膜结构, 发明专利, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN101393275A

( 68 ) 相变薄膜微区光谱测量装置和测量方法, 发明专利, 2008, 第 2 作者, 专利号: CN101324525A

( 69 ) 相变薄膜微区光谱测量装置, 实用新型, 2009, 第 2 作者, 专利号: CN201251545Y

( 70 ) 金属半导体复合超分辨薄膜及其制备方法, 发明专利, 2008, 第 3 作者, 专利号: CN101260511A

( 71 ) 减小激光直写光刻点或线宽的薄膜结构及其制备方法, 发明专利, 2008, 第 2 作者, 专利号: CN101101451A

( 72 ) 只读式纳米微结构光盘, 发明专利, 2006, 第 4 作者, 专利号: CN1851815A

( 73 ) 超透镜薄膜结构的超分辨数字光盘, 发明专利, 2006, 第 1 作者, 专利号: CN1822150A

( 74 ) 表面等离子体增强型只读式超分辨数字光盘, 发明专利, 2006, 第 1 作者, 专利号: CN1725332A

( 75 ) 高密度增强型可录式多用数字光盘, 发明专利, 2005, 第 1 作者, 专利号: CN1632869A

( 76 ) 高密度增强型只读式数字光盘, 发明专利, 2005, 第 1 作者, 专利号: CN1632870A

( 77 ) 近场光学显微镜, 发明专利, 2005, 第 6 作者, 专利号: CN1588156A

( 78 ) 超分辨反射膜结构, 发明专利, 2004, 第 1 作者, 专利号: CN1542788

( 79 ) 含有金属有机化合物层的近场超分辨光存储用掩膜, 发明专利, 2004, 第 4 作者, 专利号: CN1547199

( 80 ) 基于发光二极管的头戴照明摄录系统, 发明专利, 2004, 第 7 作者, 专利号: CN2655287

( 81 ) 基于发光二极管的头戴照明摄录系统, 发明专利, 2004, 第 7 作者, 专利号: CN2655287Y

( 82 ) 含有非线性光学材料层的光刻用掩膜, 发明专利, 2005, 第 6 作者, 专利号: CN1206573C

( 83 ) 同步摄像照明系统, 发明专利, 2006, 第 7 作者, 专利号: CN1292304C

( 84 ) 可调式摄像照明装置, 发明专利, 2007, 第 7 作者, 专利号: CN1313879C

( 85 ) 可调式摄像照明装置, 发明专利, 2005, 第 7 作者, 专利号: CN2695996Y

( 86 ) 同步摄像照明系统, 发明专利, 2004, 第 7 作者, 专利号: CN2655269Y

( 87 ) 检测表面形状的点衍射干涉仪, 发明专利, 2003, 第 5 作者, 专利号: CN1431477A

( 88 ) 检测表面形状的点衍射干涉仪, 发明专利, 2004, 第 5 作者, 专利号: CN2599524Y

出版专著和章节,发表的国际SCI论文

     

发表论文
(1) Autofocusing of laser lithography through the crosshair projection method crosshair projection method, Applied Optics, 2024, 通讯作者
(2) Eliminating sticking effects among fine strokes in micropatterning complex Chinese characters, Applied Optics, 2024, 通讯作者
(3) Measurement and optimization of writing light field uniformity in dual-galvanometer laser scanning lithography system, Optics Communications, 2024, 通讯作者
(4) Autofocusing of laser lithography through the crosshair projection method, Applied Optics, 2024, 通讯作者
(5) Electrochemical Strategy for High-Resolution Nanostructures in Laser-Heat-Mode Resist Toward Next Generation Diffractive Optical Elements, Small, 2022, 通讯作者
(6) Corrosion selectivity and structural evolution in N doped Sb2Te thin films for lithography application, JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2022, 第 10 作者
(7) Electrochemical Strategy for High-Resolution Nanostructures in Laser-Heat-Mode Resist Toward Next Generation Diffractive Optical Elements, SMALL, 2022, 通讯作者
(8) 基于光斑图像法的运动平行度测量与优化, Measurement and Optimization of Movement Parallelism Based on Spot Image Method, 光学学报, 2022, 第 4 作者
(9) Nanoscale-Patterned Cr Films by Selective Etching Using a Heat-Mode Resist: Implications for X-ray Beam Splitter, ACS APPLIED NANO MATERIALS, 2022, 通讯作者
(10) Direct laser printing color images based on the microstructure modulation of phase change material, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2021, 通讯作者
(11) Fabrication of micro/nano multifunctional patterns on optical glass through chalcogenide heat-mode resist AgInSbTe, JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2021, 通讯作者
(12) CrSb2Te thin film as a dry resist and its etching mechanism for lithography application, MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS, 2021, 通讯作者
(13) Laser-Assisted Thermal Exposure Lithography: Arbitrary Feature Sizes, ADVANCED ENGINEERING MATERIALS, 2021, 通讯作者
(14) Nanostructure patterning of C-Sb2Te3 by maskless thermal lithography using femtosecond laser pulses, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2020, 第 5 作者
(15) Tunable Grain Orientation of Chalcogenide Film and Its Application for Second Harmonic Generation, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2020, 第 6 作者
(16) GeTe photoresist films for both positive and negative heat-mode nanolithography, MATERIALS LETTERS, 2020, 通讯作者
(17) A metal lift-off process through hyperbolic undercut of laser heat-mode lithography, MATERIALS LETTERS, 2020, 通讯作者
(18) Positive and negative properties of laser heat-mode resists, TENTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON THIN FILM PHYSICS AND APPLICATIONS (TFPA 2019), 2019, 通讯作者
(19) Label-free superresolution effect of nonlinear reverse saturation absorption thin films through difference method, JOURNAL OF MICROSCOPY, 2019, 
(20) Multi-color modulation based on bump structures of phase-change material for color printing, OPTICAL MATERIALS, 2019, 通讯作者
(21) Super-resolution imaging based on the temperature-dependent electron-phonon collision frequency effect of metal thin films, JOURNALOFAPPLIEDPHYSICS, 2018, 通讯作者
(22) Ultrafast Multilevel Optical Tuning with CSb2Te3 Thin Films, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2018, 第 8 作者
(23) Focusing error detection based on astigmatic method with a double cylindrical lens group, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2018, 通讯作者
(24) Laser heat-mode lithography characteristics and mechanism of ZnS-SiO2 thin films, MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS, 2018, 通讯作者
(25) Grayscale image recording on Ge 2 Sb 2 Te 5 thin films through laser-induced structural evolution, SCIENTIFIC REPORTS, 2017, 通讯作者
(26) Image lithography in telluride suboxide thin film through controlling "virtual" bandgap, PHOTONICS RESEARCH, 2017, 通讯作者
(27) Manipulation and simulations of thermal field profiles in laser heat-mode lithography, JOURNALOFAPPLIEDPHYSICS, 2017, 第 2 作者
(28) Temperature dependent thermal conductivity and transition mechanism in amorphous and crystalline Sb2Te3 thin films, SCIENTIFIC REPORTS, 2017, 通讯作者
(29) Micro/nanolithography of transparent thin films through laser-induced release of phase-transition latent-heat, OPTICS EXPRESS, 2017, 通讯作者
(30) Optical properties of Cr-doped Sb2Te thin films during ultrafast crystallization processes, JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2017, 第 7 作者
(31) Movement flatness error measurement based on an astigmatic method, APPLIED OPTICS, 2017, 通讯作者
(32) High-speed maskless nanolithography with visible light based on photothermal localization, SCIENTIFIC REPORTS, 2017, 通讯作者
(33) A study on one-step laser nanopatterning onto copper-hydrazone-complex thin films and its mechanism, PHYS. CHEM. CHEM. PHYS., 2017, 第 3 作者
(34) Silicon carbide doped Sb2Te3 nanomaterial for fast-speed phase change memory, MATERIALS LETTERS, 2017, 第 6 作者
(35) On the optical super-resolution dynamic readout effects of metal thin films, APPLIED OPTICS, 2017, 通讯作者
(36) A study on one-step laser nanopatterning onto copper-hydrazone-complex thin films and its mechanism, PHYSICAL CHEMISTRY CHEMICAL PHYSICS, 2017, 通讯作者
(37) High resolution patterning on AgInSbTe thin films by laser thermal lithography, 2016 INTERNATIONAL WORKSHOP ON INFORMATION DATA STORAGE AND TENTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON OPTICAL STORAGE, 2016, 通讯作者
(38) Origin of arbitrary patterns by direct laser writing in a telluride thin film, RSC ADVANCES, 2016, 通讯作者
(39) Extending resolution of scanning optical microscopy beyond the Abbe limit through the assistance of InSb thin layers, OPTICS LETTERS, 2016, 通讯作者
(40) Measurement and observation of transient nonlinear effect of Sb2Te3 phase change thin films, 2016 INTERNATIONAL WORKSHOP ON INFORMATION DATA STORAGE AND TENTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON OPTICAL STORAGE, 2016, 通讯作者
(41) 宽带六平台相位板星冕仪的误差分析, Error Analysis of the Wide-Band Six-Level Phase Mask Stellar Coronagraph, 激光与光电子学进展, 2016, 第 5 作者
(42) High-speed laser writing of arbitrary patterns in polar coordinate system, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2016, 通讯作者
(43) Far-field optical imaging with subdiffraction resolution enabled by nonlinear saturation absorption, SCIENTIFIC REPORTS, 2016, 通讯作者
(44) Origin of arbitrary patterns by direct laser writing in a telluride thin film, RSC ADV., 2016, 第 8 作者
(45) General Methods for Obtaining Nanoscale Light Spot, NONLINEAR SUPER-RESOLUTION NANO-OPTICS AND APPLICATIONS, 2015, 第 1 作者
(46) Optical Super-Resolution Effect Through Nonlinear Saturation Absorption, NONLINEAR SUPER-RESOLUTION NANO-OPTICS AND APPLICATIONS, 2015, 第 1 作者
(47) Mechanical property measurements of nanofilm by microbump method induced by laser pulse, APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 2015, 第 2 作者
(48) Direct detection of the transient superresolution effect of nonlinear saturation absorption thin films, PHOTONICS RESEARCH, 2015, 通讯作者
(49) Third-Order Nonlinear Effects, NONLINEAR SUPER-RESOLUTION NANO-OPTICS AND APPLICATIONS, 2015, 第 1 作者
(50) The physical understanding on dynamic readout/detection of super-resolution pits with nonlinear reverse saturation absorption thin films, JOURNAL OF OPTICS, 2015, 通讯作者
(51) Characterization Methods for Nonlinear Absorption and Refraction Coefficients, NONLINEARSUPERRESOLUTIONNANOOPTICSANDAPPLICATIONS, 2015, 第 1 作者
(52) Nanoscale Spot Formation Through Nonlinear Refraction Effect, NONLINEAR SUPER-RESOLUTION NANO-OPTICS AND APPLICATIONS, 2015, 第 1 作者
(53) Nonlinear Super-resolution nano-optics and Applications, 2015, 第 1 作者
(54) Optical Nonlinear Absorption and Refraction of Semiconductor Thin Films, NONLINEAR SUPER-RESOLUTION NANO-OPTICS AND APPLICATIONS, 2015, 第 1 作者
(55) Applications of Nonlinear Super-Resolution Effects in Nanolithography and High-Resolution Light Imaging, NONLINEAR SUPER-RESOLUTION NANO-OPTICS AND APPLICATIONS, 2015, 第 1 作者
(56) Resolving Improvement by Combination of Pupil Filters and Nonlinear Thin Films, NONLINEAR SUPER-RESOLUTION NANO-OPTICS AND APPLICATIONS, 2015, 第 1 作者
(57) Applications of Nonlinear Super-Resolution Thin Films in Nano-optical Data Storage, NONLINEAR SUPER-RESOLUTION NANO-OPTICS AND APPLICATIONS, 2015, 第 1 作者
(58) Parabolic approximation analytical model of super-resolution spot generation using nonlinear thin films: Theory and simulation, OPTICS COMMUNICATIONS, 2014, 通讯作者
(59) Manipulation of heat-diffusion channel in laser thermal lithography, OPTICS EXPRESS, 2014, 通讯作者
(60) Chalcogenide phase-change thin films used as grayscale photolithography materials, OPTICS EXPRESS, 2014, 通讯作者
(61) Laser beam induced nanoscale spot through nonlinear "thick" samples: A multi-layer thin lens self-focusing model, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2014, 通讯作者
(62) Formation of super-resolution spot through nonlinear Fabry-Perot cavity structures: theory and simulation, OPTICS EXPRESS, 2014, 通讯作者
(63) Strong nonlinear saturation absorption-induced optical pinhole channel and super-resolution effects: a multi-layer system model, OPTICS LETTERS, 2014, 通讯作者
(64) Maskless direct laser writing with visible light: Breaking through the optical resolving limit with cooperative manipulations of nonlinear reverse saturation absorption and thermal diffusion, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2014, 通讯作者
(65) False nonlinear effect in z-scan measurement based on semiconductor laser devices:theory and experiments, False nonlinear effect in z-scan measurement based on semiconductor laser devices: theory and experiments, PHOTONICS RESEARCH, 2014, 通讯作者
(66) Optical nonlinearity characteristics of crystalline InSb semiconductor thin films, JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2013, 第 2 作者
(67) Creation of Super-resolution Non-Diffraction Beam by Modulation Circular Polaried light with Ternary Optical Elements, Progress in Electronics Research-PIER, 2013, 通讯作者
(68) Adhesion effect of interface layers on pattern fabrication with GeSbTe as laser thermal lithography film, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2013, 第 5 作者
(69) Laser pulse induced micropatterning on sandwiched thin films, APPL. SURF. SCI., 2013, 第 1 作者
(70) Pseudo-nonlinear absorption in z-scan measurements, JOURNAL OF OPTICS, 2013, 第 2 作者
(71) A novel design for maskless direct laser writing nanolithography: Combination of diffractive optical element and nonlinear absorption inorganic resists, OPTICS COMMUNICATIONS, 2013, 通讯作者
(72) Creation of an ultra-long depth of focus super-resolution longitudinally polarized beam with a ternary optical element, JOURNAL OF OPTICS, 2013, 通讯作者
(73) Performance improvement of super-resolving pupil filters via combination with nonlinear saturable absorption films, OPTICS COMMUNICATIONS, 2013, 通讯作者
(74) Temperature dependence of the thermal properties of InSb materials used in data storage, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2013, 通讯作者
(75) Optical nonlinearity characteristics of crystalline InSb semiconductor thin films, J. PHYS. D-APPL. PHYS., 2013, 第 2 作者
(76) Accurate determination of optical nonlinear absorption coefficients by the combination of reflection and transmission open-aperture z-scan measurements, OPTICS COMMUNICATIONS, 2013, 通讯作者
(77) Tunable twin Airy beams induced by binary phase patterns, OPTICS LETTERS, 2013, 第 2 作者
(78) 非晶态InSb薄膜的光学非线性特性及其超分辨效应, 光学学报, 2013, 第 2 作者
(79) On the dynamic readout characteristic of nonlinear super-resolution optical storage, OPTICS COMMUNICATIONS, 2013, 通讯作者
(80) Laser pulse induced micropatterning on sandwiched thin films, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2013, 通讯作者
(81) Enhancement effect of patterning resolution induced by Al thermal conduction layer with AgInSbTe as laser thermal lithography film, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2012, 第 5 作者
(82) Super-resolution readout property of bismuth-doped antimony-based thin film as a functional mask for read-only memory, APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 2012, 第 4 作者
(83) Nonlinear absorption of Sb-based phase change materials due to the weakening of the resonant bond, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2012, 通讯作者
(84) Enhancement Effect of Patterning Resolution Induced by an Aluminum Thermal Conduction Layer with AgInSbTe as a Laser Thermal Lithography Film, Enhancement Effect of Patterning Resolution Induced by an Aluminum Thermal Conduction Layer with AgInSbTe as a Laser Thermal Lithography Film, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2012, 第 5 作者
(85) Focused ion beam milled pattern structures induced by laser pulse on AgInSbTe phase change films, MATERIALS LETTERS, 2012, 第 2 作者
(86) Laser-induced grayscale patterning in TeO x thin films, MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS, 2011, 第 3 作者
(87) Elongation rate measurements of nanofilms by microbump method induced by laser pulse, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2011, 第 2 作者
(88) Giant optical nonlinearity of silver-doped silicon thin film at low power input: laser-triggered cluster resonance, APPLIEDPHYSICSAMATERIALSSCIENCEPROCESSING, 2011, 通讯作者
(89) Patterned structures fabricated on chalcogenide phase-change thin films by laser direct writing, THIN SOLID FILMS, 2011, 通讯作者
(90) Laser direct writing pattern structures on AgInSbTe phase change thin film, Laser direct writing pattern structures on AgInSbTe phase change thin film, 中国光学快报:英文版, 2011, 第 2 作者
(91) Nano-optical information storage induced by the nonlinear saturable absorption effect, NANOSCALE, 2011, 通讯作者
(92) Marangoni effect induced micro/nano-patterning on Sb2Te3 phase change thin film by laser pulse, APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 2011, 通讯作者
(93) Optical characterization of antimony-based bismuth-doped thin films with different annealing temperatures, CHINESE OPTICS LETTERS, 2011, 第 4 作者
(94) Nanoscale lithography with visible light: optical nonlinear saturable absorption effect induced nanobump pattern structures, NANOSCALE, 2011, 通讯作者
(95) Laser Direct Writing Pattern Structures on AgInSbTe Phase Change Thin Film, CHINESE OPTICS LETTERS, 2011, 通讯作者
(96) Optical nonlinear absorption characteristics of crystalline Ge2Sb2Te5 thin films, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2011, 通讯作者
(97) Pattern structures fabricated on zns-sio2/agox/zns-sio2 thin film structure by laser direct writing technology, APPLIEDPHYSICSAMATERIALSSCIENCEPROCESSING, 2010, 通讯作者
(98) Direct observation of below-diffraction-limited optical spot induced by nonlinear saturable absorption of Ag-doped Si nanofilms, OPTICS LETTERS, 2010, 通讯作者
(99) Negative refraction in ferromagnetic materials under external magnetic field-a theoretical analysis, CHINESE PHYSICS B, 2010, 通讯作者
(100) Origin of the giant optical nonlinearity of Sb2Te3 phase change materials, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2010, 通讯作者
(101) Optical nonlinear absorption characteristics of AgInSbTe phase change thin fims, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2009, 
(102) Temperature dependence of thermal properties of Ag8In14Sb55Te23 phase-change memory materials, APPL. PHYS. A-MATER. SCI. PROCESS., 2009, 第 2 作者
(103) Subwavelength direct laser writing by strong optical nonlinear absorption and melt-ablation threshold characteristics, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2009, 通讯作者
(104) Near-Field Gaussian Lens Originating from Nonlinear Multilayer Structures: Application in ''Dynamic Readout of Super-Resolution Pit Arrays on the Discs'', JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2009, 通讯作者
(105) Below-diffraction-limited hybrid recording using silicon thin film super-resolution structure, Below-diffraction-limited hybrid recording using silicon thin film super-resolution structure, CHINESE PHYSICS B, 2009, 通讯作者
(106) Low-Power Super-resolution Readout with Antimony Bismuth Alloy Film as Mask layer, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2009, 第 4 作者
(107) Low-Power Super-resolution Readout with Antimony Bismuth Alloy Film as Mask layer, Low-Power Super-resolution Readout with Antimony Bismuth Alloy Film as Mask layer, 中国物理快报:英文版, 2009, 第 4 作者
(108) Temperature dependence of thermal properties of Ag8In14Sb55Te23 phase-change memory materials, APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 2009, 通讯作者
(109) Laser tunable Toraldo superresolution with a uniform nonlinear pupil filter, APPLIED OPTICS, 2008, 通讯作者
(110) Super-resolution scanning laser microscopy with a third-order optical nonlinear thin film, APPL. PHYS. B-LASERS OPT., 2008, 第 1 作者
(111) Study on readout durability of super-RENS disk, OPTICS EXPRESS, 2008, 第 7 作者
(112) 无机相变信息存储材料研究新进展, New Progresses in Inorganic Phase-Change Materials for Information Storage, 激光与光电子学进展, 2008, 第 3 作者
(113) Laser pulse induced bumps in chalcogenide phase change films, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2008, 第 1 作者
(114) The origin of the super-resolution via a nonlinear thin film, OPTICS COMMUNICATIONS, 2008, 第 1 作者
(115) Structural change of laser-irradiated Ge 2Sb 2Te 5 films studied by electrical property measurement, JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2008, 第 4 作者
(116) 激光辐照引起Ge2Sb2Te5非晶态薄膜的电/光性质变化, Laser induced change in the electrical and optical properties of amorphous Ge 2 Sb 2 Te 5 thin films, 无机材料学报, 2008, 第 4 作者
(117) A Z-scan model for optical nonlinear nanometric films, J. OPT. A-PURE APPL. OPT., 2008, 第 1 作者
(118) Laser pulse induced bumps in chalcogenide phase change films, J. APPL. PHYS., 2008, 第 1 作者
(119) The origin of the super-resolution via a nonlinear thin film, OPT. COMMUN., 2008, 第 1 作者
(120) Laser tunable Toraldo superresolution with a uniform nonlinear pupil filter, APPL. OPTICS, 2008, 第 1 作者
(121) A Z-scan model for optical nonlinear nanometric films, JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS, 2008, 通讯作者
(122) Si Underlayer Induced Nano-Ablation in AgInSbTe Thin Films, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2008, 第 2 作者
(123) Electric and magnetic losses and gains in determining the sign of refractive index, OPT. COMMUN., 2007, 第 1 作者
(124) On the dynamic readout of sub-diffraction-limit pit arrays with a silver thin film, JPHYSCONDESMATTER, 2007, 第 1 作者
(125) 超分辨近场功能薄膜的膜层结构及其机理研究进展, Super-Resolution Near-Field Structure and Its Research Progress of Recording and Readout Mechanisms, 激光与光电子学进展, 2007, 第 4 作者
(126) 超分辨近场功能薄膜的膜层结构及其机理研究进展, Super-Resolution Near-Field Structure and Its Research Progress of Recording and Readout Mechanisms, 激光与光电子学进展, 2007, 第 4 作者
(127) Electric and magnetic losses and gains in determining the sign of refractive index, OPTICS COMMUNICATIONS, 2007, 第 1 作者
(128) Negative refraction via domain wall resonances in a homogeneous mixture of ferro- and nonmagnetic substances, J. PHYS.-CONDES. MATTER, 2007, 第 1 作者
(129) Electric and magnetic losses and gains in determining refractive handedness of media, Optics Communications, 2007, 第 1 作者
(130) Super-resolution with a nonlinear thin film: Beam reshaping via internal multi-interference, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2006, 通讯作者
(131) 掺杂Nd对GdFeCo薄膜的磁光性能的影响, Effects of Nd Doping on Magnetic-Optical Properties of GdFeCo Thin Films, 中国稀土学报, 2006, 第 3 作者
(132) Optical transmission larger than one T more than 1 through ZnS-SiO2-AgOx- ZnS-SiO2 sandwiched thin films, Applied Physics Letters, 2006, 通讯作者
(133) Super-resolution with a nonlinear thin film: Beam reshaping via internal multi-interference, APPL. PHYS. LETT., 2006, 第 1 作者
(134) Dynamic readout of subdiffraction-limited pit arrays with a silver superlens, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2005, 
(135) Optical near-field simulation of Sb thin film thermal lens and its application in optical recording, JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2005, 
(136) Sb掩膜型超分辨近场结构光存储技术及机理研究, 2004, 第 1 作者
(137) Thermal melting of solid materials induced by ultrafast laser pulse irradiation as explosively homogeneous nucleation, CHEMICAL PHYSICS LETTERS, 2004, 
(138) Static recording characteristics of a super-resolution near-field structure, Chinese Optics Letters, 2004, 第 1 作者
(139) High-Density Read-Only Memory Disc with Ag11In12Sb51Te26 Super-Resolution Mask Layer, CHINESE PHYSICS LETTERS, 2004, 
(140) Static recording characteristics of new type super-resolution near-field structure, CHINESE OPTICS LETTERS, 2004, 第 4 作者
(141) Working mechanism of Sb thin films in super-resolution near-field structure, OPTICS COMMUNICATIONS, 2003, 
(142) Time response of optical switching properties of Sb thin films under focused laser pulses, OPTICAL ENGINEERING, 2003, 
(143) Readout of super-resolution marks with Ti thin film, Readout of super-resolution marks with Ti thin film, 中国光学快报:英文版, 2003, 第 1 作者
(144) Theoretical explanation of different crystallization processes between as-deposited and melted-quenched amorphous Ge2Sb2Te5 thin films, Thin Solid Films, 2003, 第 1 作者
(145) Thermal lens model of Sb thin films in super-resolution near-field structure, Applied Physics Letters, 2003, 第 1 作者
(146) 一种新的超分辨记录点的读出技术, 光学学报, 2003, 第 1 作者
(147) Time-resolved thermal lens effect of Sb thin films induced by structural transformation near melting temperature, OPTICS COMMUNICATIONS, 2003, 
(148) Time response of optical switching properties of Sb thin films under focused laser pulses, OPT. ENG., 2003, 第 1 作者
(149) 近场光存储及其研究进展, 物理学进展, 2002, 第 1 作者
(150) Novel approach to super-resolution pits readout, OPT. ENG., 2002, 
(151) 磁光超分辨近场结构存储技术, 功能材料与器件学报, 2002, 第 3 作者
(152) Readout of read-only super-resolution optical disc with Si mask, Chinese Physics, 2002, 第 1 作者
(153) Study on read-only optical disk with Sb mask super-resolution, CHINESESCIENCEBULLETIN, 2002, 
(154) 基于Sb掩膜的只读式部分辨光盘, 科学通报, 2002, 第 1 作者
(155) AgInSbTe薄膜的短波长记录性能分析, 光学学报, 2002, 第 1 作者
发表著作
(1) 纳米尺度非线性薄膜的超分辨效应及在光存储中的应用, Super-resolution optical effects of nanoscale nonlinear thin film structure and ultrahigh density information storage in 《Toward Functional Nanomaterials》, Springer , 2009-07, 第 1 作者
(2) 具有磁电响应材料的负折射, Negative Refraction in the Materials with Magnetic and Electric Response in 《Metamaterials: Classes, Properties and Application》, Nova, 2010-07, 第 1 作者
(3) 激光脉冲诱导的相变薄膜图形化, Laser pulse patterning on phase change thin films in 《Lasers-Applications in Science and Industry》, InTech, 2011-08, 第 1 作者
(4) “功能薄膜的光学超分辨效应与应用”在《光子学玻璃》(干福熹 等编著) , Optical super-resolution effect and application of functional thin films, 上海科学技术出版社, 2012-04, 第 1 作者
(5) 光学非线性性能与表征方法, Nonlinear Performance and Characterization Methods in Optics, Nova , 2013-12, 第 1 作者
(6) Nonlinear Super-Resolution Nano-Optics and Applications, Springer, 2015-01, 第 1 作者
(7) 基于非线性超分辨薄膜的纳米光存储, “Nano-Optical Data Storage with Nonlinear Super-Resolution Thin Films” in 《Data Storage at the Nanoscale: Advances and Applications》, Pan Stanford, 2015-10, 第 1 作者
(8) Laser Heat-Mode Lithography, Springer, 2019-12, 第 1 作者
(9) 激光热敏光刻:原理与方法, Laser Thermo-Seneitive Lithography: Principle and Method, 清华大学出版社, 2022-10, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 蓝光激发SbTe基半导体薄膜材料光学非线性效应诱导的亚波长光斑形成特性与纳米光刻应用的基础研究, 负责人, 国家任务, 2012-01--2015-12
( 2 ) 超分辨纳米光信息存储及器件的基础研究, 参与, 国家任务, 2012-01--2016-12
( 3 ) 激光诱导瞬态热探针式高速旋转型无掩模激光直写纳米光刻系统研制, 负责人, 国家任务, 2017-01--2021-12
( 4 ) 基于多级非线性响应特性的硫化物相变薄膜的自局域化纳米光刻研究, 负责人, 国家任务, 2017-01--2020-12
( 5 ) 用于微光学元件制作的超分辨激光直写技术联合研究, 参与, 国家任务, 2017-01--2019-12
( 6 ) 多路并行超分辨激光直写关键技术联合研究, 参与, 地方任务, 2017-01--2018-12
( 7 ) 激光热模光刻技术与系统工艺集成, 负责人, 中国科学院计划, 2019-01--2020-12
( 8 ) 基于激光热模光刻技术的掩模板制造研究, 负责人, 研究所自主部署, 2019-01--2020-12
( 9 ) 平移式相变光存储技术与读出系统, 负责人, 境内委托项目, 2020-05--2025-12
( 10 ) 激光直写掩模, 负责人, 国家任务, 2020-12--2024-10
( 11 ) 平移式荧光读写系统, 负责人, 境内委托项目, 2021-05--2022-10
( 12 ) 多路激光直写系统, 负责人, 地方任务, 2020-10--2023-10

合作情况

1)同济大学:上海市基础研究项目合作
2)中国科学技术大学:中科院科研装备项目合作
3)浙江大学:共焦显微镜构建合作

指导学生

已指导学生

刘静  硕士研究生  080300-光学工程  

马晓晴  硕士研究生  080300-光学工程  

王睿  博士研究生  080300-光学工程  

蔡晓林  硕士研究生  080300-光学工程  

严辉  硕士研究生  080300-光学工程  

张兴昊  硕士研究生  080300-光学工程  

白震  博士研究生  080300-光学工程  

周奇军  硕士研究生  085202-光学工程  

丁晨良  博士研究生  080300-光学工程  

李奇松  博士研究生  080300-光学工程  

梁鑫  硕士研究生  080300-光学工程  

俞小哲  硕士研究生  085204-材料工程  

王正伟  博士研究生  080300-光学工程  

陈国东  博士研究生  080300-光学工程  

张奎  博士研究生  080502-材料学  

刘星  博士研究生  080300-光学工程  

郑金轮  博士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

高天宇  博士研究生  080300-光学工程  

陈博文  硕士研究生  080300-光学工程  

许孝忠  博士研究生  085408-光电信息工程  

薛亚龙  硕士研究生  080300-光学工程