EUV掩模缺陷检测

相干X射线光学

1. 招收硕士研究生一名

2. 招收博士研究生一名

070207-光学
070205-凝聚态物理

同步辐射方法及应用
EUV掩模缺陷检测

1999-09--2004-08   中国科学院物理研究所   理学博士

研究生

理学博士

2004.08-2006.10   中科院高能物理研究所，博士后 

2006.10-2018.10  中科院上海应用物理研究所，研究员

2018.10至今  中科院上海高等研究院，研究员

2006-10~现在, 中国科学院上海应用物理研究所, 研究员
2004-08~2006-08,中国科学院高能物理研究所, 博士后

CN211528253U 软X射线磁学实验站的原位观察装置 实用新型

CN109764962A 一种光栅单色器的优化方法 专利授权

CN109239109A 带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置 实用新型

CN207248791U 一种用于软X射线近边吸收谱测量的原位标样系统 实用新型

CN107561098A 一种用于软X射线近边吸收谱测量的原位标样系统 发明专利

CN106783502A 一种同步辐射软X射线无损实时位置分辨电离室 发明专利

（1） 2023上海市东方英才计划领军项目, 特等奖, 省级, 2023
（2） 中国光学工程学会技术发明一等奖, 一等奖, 省级, 2023

[1] 曹杰峰, 王勇, 朱方园, 邰仁忠. 软X射线磁学实验站的原位观察装置. CN: CN211528253U, 2020-09-18.
[2] 孙天啸, 张祥志, 曹杰锋, 李小艳, 邰仁忠, 王勇, 郭智, 邢振江, 何健, 孟祥雨. 一种软X射线吸收谱的测量系统. CN: CN212031338U, 2020-11-27.
[3] 薛超凡, 吴衍青, 王勇, 邰仁忠. 一种光栅单色器的优化方法. CN: CN109764962A, 2019-05-17.
[4] 邹鹰, 王勇, 邰仁忠. 带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置. CN: CN109239109A, 2019-01-18.
[5] 曹杰峰, 王勇, 朱方园, 孟祥雨, 甄香君, 邰仁忠. 一种用于软X射线近边吸收谱测量的原位标样系统. CN: CN107561098A, 2018-01-09.
[6] 曹杰峰, 王勇, 朱方园, 孟祥雨, 甄香君, 邰仁忠. 一种用于软X射线近边吸收谱测量的原位标样系统. CN: CN207248791U, 2018-04-17.
[7] 薛超凡, 吴衍青, 王勇, 邰仁忠. 一种同步辐射软X射线无损实时位置分辨电离室. CN: CN106783502A, 2017-05-31.
[8] 薛超凡, 吴衍青, 王勇, 邰仁忠. 一种同步辐射软X射线无损实时位置分辨电离室. CN: CN206194691U, 2017-05-24.
[9] 曹杰峰, 王勇, 孟祥雨, 甄香君, 朱方园, 邰仁忠. 带磁场生成机构的软X射线吸收谱测量装置. CN: CN206057220U, 2017-03-29.
[10] 孟祥雨, 王勇, 甄香君, 郭智, 张丽娟, 张祥志, 于怀娜, 曹杰锋, 李俊琴, 邰仁忠. 一种用于软X射线谱学显微成像的原位磁场系统. CN: CN205376239U, 2016-07-06.
[11] 孟祥雨, 王勇. 一种获取同步辐射部分相干光的传播特性的方法. CN: CN105021292A, 2015-11-04.
[12] 李俊琴, 邹鹰, 陈振华, 薛莲, 王勇, 邰仁忠. 基于多通道电子倍增器件的电离吸收谱探测装置. CN: CN105092690A, 2015-11-25.
[13] 刘平, 王勇, 郑丽芳. 实现单色器与谱学显微镜通信的接口系统和方法. CN: CN102681516A, 2012-09-19.
[14] 黄耀波, 许剑锋, 郭金来, 郑攀, 王勇, 邰仁忠. 一种用于X射线共振非弹性散射光谱仪的自动控制系统. CN: CN117761092A, 2024-03-26.
[15] 黄耀波, 许剑锋, 郑攀, 郭金来, 武一苇, 王勇, 邰仁忠. 软X射线共振非弹性散射光谱仪. CN: CN116773571A, 2023-09-19.
[16] 曹杰峰, 王勇, 朱方园, 李俊琴, 邰仁忠. 一种用于同步辐射的原位八极矢量电磁场系统. CN: CN219658484U, 2023-09-08.

   

（1） 便携式同步辐射原位激光加热装置研制, Development of a portable laser heating device for synchrotron radiation in situ experiment, 核技术, 2023, 第 5 作者
（2） Artificial single skyrmion and biskyrmion states achieved in magnetic nanodot pairs by micromagnetic simulation, JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS, 2023, 第 2 作者  通讯作者
（3） X-ray absorption investigation of the site occupancies of the copper element in nominal Cu3Zn(OH)6FBr, X-ray absorption investigation of the site occupancies of the copper element in nominal Cu3Zn(OH)6FBr, Chinese Physics B, 2021, 第 5 作者
（4） Analysis of partially coherent light propagation through the soft X-ray interference lithography beamline at SSRF, JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2021, 第 3 作者  通讯作者
（5） A new structure design to extend graphite assembly lifespan in small modular molten salt reactors, INTERNATIONAL JOURNAL OF ENERGY RESEARCH, 2021, 第 1 作者
（6） 基于同步辐射的时间分辨X射线铁磁共振方法, Time-Resolved X-Ray Ferromagnetic Resonance Method Based on Synchrotron Radiation, 光学学报, 2021, 第 5 作者
（7） Virtual depth-scan multi-slice ptychography for improved three-dimensional imaging, OPTICS EXPRESS, 2021, 第 7 作者
（8） A bidirectional scanning method for scanning transmission X-ray microscopy, JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2021, 第 4 作者
（9） Fast control of the polarity of the magnetic vortex for a pair of magnetic nanodots, JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS, 2021, 第 2 作者  通讯作者
（10） Design of an online spectrometer for the diagnosis of free-electron lasers, JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2020, 第 8 作者
（11） Phase analysis for partially coherent light propagating through an optimized aperture in a synchrotron beamline, JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2020, 第 3 作者  通讯作者
（12） 面形误差对自由电子激光聚焦光斑影响的研究, Research on the influence of slope error on free-electron laser focusing spot, 核技术, 2020, 第 6 作者
（13） Investigating creep behavior of Ni���Cr���W alloy pressurized tube at 950��C by using in-situ creep testing system, NUCLEAR ENGINEERING AND TECHNOLOGY, 2020, 第 5 作者
（14） Dispersion independent long-haul photon-counting optical time-domain reflectometry, OPTICS LETTERS, 2020, 第 3 作者
（15） Characterization of the effect of He+ irradiation on nanoporous-isotropic graphite for molten salt reactors, NUCLEAR ENGINEERING AND TECHNOLOGY, 2020, 第 7 作者
（16） A portable data-collection system for soft x-ray absorption spectroscopy in the Shanghai Synchrotron Radiation Facility, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2020, 第 4 作者
（17） Investigating creep behavior of Ni-Cr-W alloy pressurized tube at 950 degrees C by using in-situ creep testing system, NUCLEAR ENGINEERING AND TECHNOLOGY, 2020, 第 5 作者
（18） Characterization of the effect of He plus irradiation on nanoporous-isotropic graphite for molten salt reactors, NUCLEAR ENGINEERING AND TECHNOLOGY, 2020, 第 7 作者
（19） Improved mechanical properties and fracture mechanism of C/C composites with salt treatment monitored by synchrotron-based in-situ tensile XRD, COMPOSITES PART B-ENGINEERING, 2020, 第 4 作者
（20） Independent Control of the Chirality and Polarity for the Magnetic Vortex in Symmetric Nanodot Pairs, IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS, 2020, 第 2 作者  通讯作者
（21） High thermal stability and fast speed phase change memory by optimizing GeSbTe with Scandium doping, SCRIPTA MATERIALIA, 2019, 第 1 作者
（22） The investigations of characteristics of GeSe thin films and selector devices for phase change memory, JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2019, 第 5 作者
（23） 基于荧光发射的低原子序数软X射线吸收谱方法, Soft X-Ray Absorption Spectroscopy of Low Z Element Based on Fluorescence Emission, 光学学报, 2019, 第 5 作者
（24） Confined-walking mode for an elliptical polarized undulator and its application, Journal of Synchrotron Radiation, 2019, 第 11 作者  通讯作者
（25） 基于同步辐射原位拉伸XRD研究熔盐浸渗的核石墨IG-110微观结构演化, Microstructure evolution of IG-110 nuclear graphite with salt infiltration revealed by in-situ tensile synchrotron-XRD, 核技术, 2019, 第 4 作者
（26） Design and performance of bending���magnet beamline BL02B at the SSRF, JOURNALOFSYNCHROTRONRADIATION, 2019, 第 3 作者  通讯作者
（27） Soft x-ray spectroscopic endstation at beamline 08U1A of Shanghai Synchrotron Radiation Facility, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2019, 第 3 作者
（28） Broadband Near-Infrared Superconducting Nanowire Single-Photon Detector With Efficiency Over 50% (vol 27, 2200904, 2017), IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY, 2019, 第 1 作者  通讯作者
（29） 软X射线荧光吸收谱测试方法的建立与应用, Establishment and Application of Testing Method for Fluorescence Based Soft X-Ray Absorption Spectrum, 光学学报, 2019, 第 6 作者
（30） Large-area multispectral superconducting nanowire single-photon detector, APPLIED OPTICS, 2019, 第 6 作者
（31） Superconducting Nanowire Single Photon Detector With Efficiency Over 60% for 2-mu m-Wavelength, IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2019, 第 5 作者
（32） Significant Enhancement in Light Output of Photonic-Crystal-Based YAG:Ce Scintillator for Soft X-Ray Detectors, IEEE TRANSACTIONS ON NUCLEAR SCIENCE, 2019, 
（33） Effect of Tensile Strength on the Microstructure ofGraphite Impregnated with Salt Revealed by In Situ Synchrotron-BasedTwo-Dimensional X-ray Diffraction, ACS OMEGA, 2019, 第 7 作者
（34） Supercontinuum single-photon detector using multilayer superconducting nanowires, Supercontinuum single-photon detector using multilayer superconducting nanowires, PHOTONICS RESEARCH, 2019, 第 2 作者
（35） In-plane wavevector distribution in partially coherent X-ray propagation, JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2019, 第 2 作者  通讯作者
（36） Reducing structural change in the phase transition of Ge-doped Bi0.5Sb1.5Te3 to enable high-speed and low-energy memory switching, JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY C, 2019, 第 2 作者
（37） Direct atomic identification of cation migration induced gradual cubic-to-hexagonal phase transition in Ge2Sb2Te5, COMMUNICATIONS CHEMISTRY, 2019, 第 2 作者
（38） A variable fixed-focus constant optimization method for a variable-included-angle varied-line-spacing plane-grating monochromator, JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2019, 
（39） Sc-Centered Octahedron Enables High-Speed Phase Change Memory with Improved Data Retention and Reduced Power Consumption, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2019, 第 1 作者
（40） 软X射线激发稳态瞬态发光探测系统研制, The development of soft X-ray excited steady-state and transient luminescence detection system, 核技术, 2019, 第 5 作者
（41） 梦之线光栅单色器温度起伏对能量漂移的影响, Effect on energy drift from temperature fluctuation at the Dreamline monochromator, 光学精密工程, 2018, 第 4 作者
（42） Soft X-ray Spectro-Ptychography for Air Pollution Particulates, Microscopy and Microanalysis, 2018, 第 5 作者
（43） Spatially correlated coherent diffractive imaging method, APPLIED OPTICS, 2018, 第 6 作者
（44） Scandium doping brings speed improvement in Sb2Te alloy for phase change random access memory application, SCIENTIFIC REPORTS, 2018, 第 5 作者
（45） The control of magnetic vortex state in rectangular nanomagnet, JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS, 2018, 第 2 作者  通讯作者
（46） A numerical comparison between internal cooling and side cooling of the reflection mirror for Spatial and Spin (S2) beam-line at SSRF, NUCLEAR INST. AND METHODS IN PHYSICS RESEARCH, A, 2018, 第 3 作者
（47） Excellent thermal stability owing to Ge and C doping in Sb2Te-based high-speed phase-change memory, NANOTECHNOLOGY, 2018, 第 9 作者
（48） The wave optical whole process design of the soft X-ray interference lithography beamline at SSRF., JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2018, 第 4 作者  通讯作者
（49） A numerical comparison between internal cooling and side cooling of the reflection mirror for Spatial and Spin (S-2) beam-line at SSRF, NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, 2018, 第 3 作者
（50） Design of wide-range energy material beamline at the Shanghai Synchrotron Radiation Facility, Design of wide-range energy material beamline at the Shanghai Synchrotron Radiation Facility, 核技术：英文版, 2018, 第 7 作者
（51） Atomic scale insight into the effects of Aluminum doped Sb-2 Te for phase change memory application, SCIENTIFIC REPORTS, 2018, 第 1 作者
（52） Controllable SET process in O-Ti-Sb-Te based phase change memory for synaptic application, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2018, 第 4 作者
（53） Scandium doped Ge2Sb2Te5 for high-speed and low-power-consumption phase change memory, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2018, 第 1 作者
（54） Design of wide-range energy material beamline at the Shanghai Synchrotron Radiation Facility, NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2018, 第 7 作者  通讯作者
（55） Background noise removal in x-ray ptychography, APPLIED OPTICS, 2017, 第 4 作者
（56） Surface States in Ternary CdSSe Quantum Dot Solar Cells, JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2017, 第 8 作者  通讯作者
（57） Monte Carlo simulation on a new artificial spin ice lattice consisting of hexagons and three-moment vertices, AIP ADVANCES, 2017, 第 2 作者  通讯作者
（58） In Situ Observation of Thermal Proton Transport through Graphene Layers., ACS NANO, 2017, 第 13 作者
（59） Mutual optical intensity propagation through non-ideal mirrors, JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2017, 第 3 作者  通讯作者
（60） Effects of temperature, mechanical motion and source positional jitter on the resolving power of beamline 02B at the SSRF, JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2017, 第 3 作者  通讯作者
（61） Fabrication of high aspect ratio nanoscale periodic structures by the soft X-ray interference lithography, MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2017, 第 9 作者
（62） Independent control of the vortex chirality and polarity in a pair of magnetic nanodots, JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS, 2017, 第 2 作者  通讯作者
（63） Broadband Near-Infrared Superconducting Nanowire Single-Photon Detector With Efficiency Over 50%, IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY, 2017, 第 1 作者
（64） Optimization of the design for beamline with fast polarization switching elliptically polarized undulators, JOURNALOFSYNCHROTRONRADIATION, 2016, 第 2 作者  通讯作者
（65） 蒙特卡罗模拟人工自旋冰的退磁过程, 核技术, 2016, 第 5 作者
（66） Nature of Conduction Band Tailing in Hydrogenated Titanium Dioxide for Photocatalytic Hydrogen Evolution, CHEMCATCHEM, 2016, 第 10 作者
（67） Monte Carlo模拟人工自旋冰的退磁过程, 核技术, 2016, 第 1 作者  通讯作者
（68） 基于微通道板的电离室及其在同步辐射中的应用, 核技术, 2016, 第 5 作者
（69） High Anodic Performance of Co 1,3,5-Benzenetricarboxylate Coordination Polymers for Li-Ion Battery, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2016, 第 6 作者  通讯作者
（70） Applications of VUV extra-focus mechanism: high-performance dual-mode monochromator from VUV to soft X-ray., JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2015, 第 6 作者
（71） Latest advances in soft X-ray spectromicroscopy at SSRF, NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2015, 第 12 作者
（72） Scanning transmission X-ray microscope observation and quantitative study of magnetic vortex structure, ACTA PHYSICA SINICA, 2015, 第 7 作者
（73） High-Curie-Temperature Ferromagnetism in (Sc,Fe)F-3 Fluorides and its Dependence on Chemical Valence, ADVANCED MATERIALS, 2015, 第 10 作者
（74） 利用扫描透射X射线显微镜观测磁涡旋结构, STXM observation and quantitative study of magnetic vortex structure, 物理学报, 2015, 第 7 作者
（75） A new extra-focus monochromator designed for high-performance VUV beamlines, JOURNAL OF SYNCHROTRON RADIATION, 2015, 第 5 作者
（76） Numerical analysis of partially coherent radiation at soft x-ray beamline, OPTICS EXPRESS, 2015, 第 4 作者
（77） 高分辨宽能段软X射线光束线热负载影响与修正, Analysis and Correction of Heating Effect on High Resolution and Wide Range Soft X-Ray Beamline, 激光与光电子学进展, 2014, 第 2 作者
（78） 离子交换法制备三元纳米晶及其光伏应用研究, 第17届全国固态离子学学术会议暨新型能源材料与技术国际研讨会, 2014, 第 3 作者
（79） 超高分辨宽能段软X射线光束线的设计, Journal of Synchrotron Radiation, 2014, 第 1 作者  通讯作者
（80） 一种用于高性能真空紫外光束线的新型精确聚焦单色仪, Journal of Synchrotron Radiation, 2014, 第 1 作者  通讯作者
（81） 海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性分析, 核技术, 2013, 第 1 作者  通讯作者
（82） 上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究, 核技术, 2013, 第 4 作者
（83） Three-Dimensional Coherent X-Ray Diffraction Imaging of Molten Iron in Mantle Olivine at Nanoscale Resolution, PHYSICAL REVIEW LETTERS, 2013, 第 10 作者
（84） 同步辐射光束线中部分相干光的传播研究, 光学学报, 2013, 
（85） 基于X射线相干衍射成像的元素分布成像, Three-dimension elemental mapping based on coherent X-ray diffraction imaging, 核技术, 2012, 第 6 作者
（86） Implementation of effective control system for variable-included angle plane-grating monochromator, NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2011, 第 2 作者
（87） Implementation of effective control system for variable-included angle plane-grating monochromator, Implementation of effective control system for variable-included angle plane-grating monochromator, 核技术：英文版, 2011, 第 2 作者
（88） 软X射线光束线能量分辨率测量中气体压强对谱线的影响研究, Effect of gas pressure on energy resolution of a soft X-ray beamline, 核技术, 2011, 第 2 作者
（89） 基于上海光源扫描透射X射线显微术的相干衍射成像模拟, Simulation of Coherent Diffraction Imaging Based on Scanning Transimission X-Ray Microscopy of Shanghai Synchrotron Radiation Facility, 光学学报, 2011, 第 6 作者
（90） 基于软X射线谱学显微双能衬度图像的元素空间分布研究, Soft X-ray spectromicroscopy dual-energy contrast image for element spatial distribution analysis, 物理学报, 2010, 第 4 作者
（91） High-performance soft x-ray spectromicroscopy beamline at SSRF, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2010, 第 2 作者
（92） 软X射线谱学显微图像漂移的精确校正, Accurate drift calibration of soft X-ray microspectroscopy images at SSRF, 核技术, 2010, 第 4 作者
（93） Soft X-ray spectromicroscopy dual-energy contrast image for element spatial distribution analysis, ACTA PHYSICA SINICA, 2010, 第 4 作者
（94） Study of automobile exhaust particles by spectromicroscopy, NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2010, 第 4 作者
（95） 单色仪转角重复精度的相位板衍射准直方法测量, Measurement of Monochromator���s Angle Repeatability by Phase Plate Diffraction Collimation Method, 光学学报, 2009, 第 3 作者
（96） Study of residual stress in fiber-textured FeMn/Ni80Fe20 multilayers by X-ray diffraction, Materials Letter, 2005, 第 1 作者
（97） Investigation of Microstructures of AlAs Oxides Before and After Oxidation, Investigation of Microstructures of AlAs Oxides Before and After Oxidation, Chinese Physics Letters, 2004, 第 1 作者
（98） DEPENDENCE OF GIANT MAGNETORESISANCE ON THE THICKNESS OF MAGNETIC AND NON-MAGNETIC LAYERS IN DUAL SPIN VALVES, Modern Physics Letter B, 2004, 第 1 作者
（99） Position-guided ptychography for vibration suppression with the aid of a laser interferometer, OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 第 5 作者

   

（ 1 ） EUV 光刻胶性能分析, 负责人, 国家任务, 2022-01--2026-12
（ 2 ） 上海光源EUV掩模检测系统维修改造, 负责人, 中国科学院计划, 2022-01--2024-12
（ 3 ） 同步辐射时间分辨扫描透射显微平台及磁性纳米结构的磁化动力学研究, 负责人, 国家任务, 2019-01--2022-12
（ 4 ） 基于同步辐射技术的核石墨微结构与熔盐相互作用研究, 负责人, 国家任务, 2017-01--2020-12
（ 5 ） 同步辐射原位磁场研究平台及磁性纳米点阵研究, 负责人, 国家任务, 2015-01--2018-12
（ 6 ） 同步辐射光束线中的相干传输研究, 负责人, 国家任务, 2011-01--2013-12

已指导学生

孟祥雨  硕士研究生  080300-光学工程  

孟祥雨  博士研究生  070207-光学  

任俊超  博士研究生  070207-光学  

杨霞  博士研究生  070207-光学  

龚人杰  博士研究生  082703-核技术及应用  

现指导学生

孙玮宏  博士研究生  070207-光学  

龙志鹏  博士研究生  070207-光学  

王亚梅  博士研究生  070207-光学