EUV掩模缺陷检测

相干X射线光学

1. 招收硕士研究生一名

2. 招收博士研究生一名

070207-光学
070205-凝聚态物理

同步辐射方法及应用
EUV掩模缺陷检测

1999-09--2004-08   中国科学院物理研究所   理学博士

研究生

理学博士

2004.08-2006.10   中科院高能物理研究所，博士后 

2006.10-2018.10  中科院上海应用物理研究所，研究员

2018.10至今  中科院上海高等研究院，研究员

2006-10~现在, 中国科学院上海应用物理研究所, 研究员
2004-08~2006-08,中国科学院高能物理研究所, 博士后

已指导学生

孟祥雨  硕士研究生  080300-光学工程  

孟祥雨  博士研究生  070207-光学  

任俊超  博士研究生  070207-光学  

杨霞  博士研究生  070207-光学  

龚人杰  博士研究生  082703-核技术及应用  

现指导学生

孙玮宏  博士研究生  070207-光学  

龙志鹏  博士研究生  070207-光学  

王亚梅  博士研究生  070207-光学