1、压电MEMS惯性器件设计、混合集成电路、高温封装以及振动信号处理；

2、压电MEMS声学器件设计、前端电路及多模态集成；

3、光学MEMS器件设计和高精度光学跟瞄系统设计。

   

080903-微电子学与固体电子学

光学MEMS器件
惯性及声学传感器

2013-09--2016-06   上海技术物理研究所   博士
2004-09--2016-06   上海应用物理研究所   硕士
2000-09--2004-06   浙江大学   学士

   

2019-04~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 副研究员
2007-07~2019-03,中国科学院上海技术物理研究所, 副研究员

   

（ 1 ） 一种数据采集方法、装置、终端及存储介质, 发明专利, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN201911076779.4

（ 2 ） MEMS微镜单元及MEMS微镜阵列, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113281898A

（ 3 ） MEMS光学偏转器件, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN202210112102.7

（ 4 ） 压电振动传感器模组, 发明专利, 2025, 第 2 作者, 专利号: CN119533640B

（ 5 ） 一种抑制MEMS 微镜串扰的方法, 发明专利, 2025, 第 2 作者, 专利号: 202411349929.5

（ 6 ） 一种抑制MEMS 微镜串扰的方法, 发明专利, 2025, 第 2 作者, 专利号: 202411349929.5

   

（1） 用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究, ������MEMS���������������������������������������, 红外与激光工程, 2025, 第 2 作者  通讯作者
（2） High Temperature IEPE Charge Amplifier with Enhanced Low Frequency Performance for MEMS Piezoelectric Accelerometer, High Temperature IEPE Charge Amplifier with Enhanced Low Frequency Performance for MEMS Piezoelectric Accelerometer, IEEE Sensors Journal, 2025, 第 10 作者  通讯作者
（3） Calibration-free low-drift MEMS piezoelectric accelerometer for high-temperature vibration monitoring, Calibration-free low-drift MEMS piezoelectric accelerometer for high-temperature vibration monitoring, Measurement, 2025, 第 11 作者  通讯作者
（4） High-speed Piezoelectric MEMS Laser Tracking System for Different Intensity illuminations, High-speed Piezoelectric MEMS Laser Tracking System for Different Intensity illuminations, IEEE Sensors Journal, 2025, 第 11 作者  通讯作者
（5） Determination of Crosstalk in a Dual-axis Piezoelectric MEMS Mirror and Suppression with Feedforward Algorithms, Determination of Crosstalk in a Dual-axis Piezoelectric MEMS Mirror and Suppression with Feedforward Algorithms, IEEE Sensors Journal, 2024, 第 8 作者  通讯作者
（6） Electrical aging of a piezoelectric MEMS fast steering mirror and its impact on reliability, Electrical aging of a piezoelectric MEMS fast steering mirror and its impact on reliability, Sensors and Actuators A: Physical, 2024, 第 8 作者  通讯作者
（7） Resolution adjustable Lissajous scanning with piezoelectric MEMS mirrors, Resolution adjustable Lissajous scanning with piezoelectric MEMS mirrors, Optics Express, 2023, 第 8 作者  通讯作者

   

（ 1 ） 高压直流自取能及电压运行状态智能检测预警技术, 参与, 国家任务, 2024-12--2026-11
（ 2 ） 高温振动传感器, 参与, 中国科学院计划, 2024-04--2030-12
（ 3 ） kJJG通信长寿面快速反射镜, 负责人, 中国科学院计划, 2021-12--2024-11

（1）Piezoelectric MEMS Fast Steering Mirror with High Reliability for Free-Space Optical Communications   国际光学工程学会2024   汪洋   2024-01-27
（2）FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF A NOVEL PIEZOELECTRIC MEMS MIRROR WITH HIGH FILL FACTOR AND HIGH SPEED   传感器 2023   汪洋   2023-06-25

现指导学生

王亮  硕士研究生  085400-电子信息  

亢庆然  硕士研究生  085400-电子信息  

郑珂  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学