140100-集成电路科学与工程
080903-微电子学与固体电子学
080902-电路与系统

MEMS传感器技术
集成电路先导工艺技术
混合信号集成电路设计

2017- 智能感知研发中心 研究员 主任

2015-2017 智能感知研发中心 研究员 副主任

2009-2014 先导工艺研发中心 副研究员 研究员 副主任

2006-2009 美国德克萨斯州大学奥斯汀分校 访问学者

2005-2006 中国科学院微电子研究所 助理研究员

   

（ 1 ） 一种压电式压力传感器, 发明专利, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN116678549A

（ 2 ） 室内定位方法及装置, 发明专利, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN116412823A

（ 3 ） 基于类别不平衡信号的跌倒检测方法及系统, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114327045A

（ 4 ） 一种碳化硅压力传感器及其制造方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN115127718A

（ 5 ） 一种传感器的补偿电路、方法及设备, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114911295A

（ 6 ） 一种绝压式压阻传感系统及其自测试方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114689221A

（ 7 ） 感测装置及对应的测试方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114689223A

（ 8 ） 一种差压式MEMS压阻传感器及其自测试方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114689224A

（ 9 ） 感测装置及对应的测试方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114689222A

（ 10 ） 一种绝压式MEMS压阻传感器及其自测试方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114689225A

（ 11 ） 一种差压式压阻传感系统及其自测试方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114689219A

（ 12 ） 一种电导率温度传感器系统, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114440960A

（ 13 ） 一种电导率温度传感器系统, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114440960A

（ 14 ） 一种降低压阻压力传感器非线性误差的方法及装置, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114323366A

（ 15 ） 一种MEMS压阻式压力传感器及压阻排布方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN114152369A

（ 16 ） 一种鞋垫和监护系统, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111759319A

（ 17 ） 一种压力传感器及其制作方法, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113639902A

（ 18 ） 一种压力传感器及其制作方法, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN113639902B

（ 19 ） 一种MEMS压阻传感器的内建自测试装置及测试方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN111238698B

（ 20 ） 一种压力传感器制造方法, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN110937571A

（ 21 ） 一种抛弃式传感器, 实用新型, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN210154578U

（ 22 ） 一种基于抛弃式传感器的测量方法及抛弃式传感器, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN110207678A

（ 23 ） 一种混合纳米结构基底、制备方法及其应用, [[[", 第 4 作者, 专利号: [[[CN111693506A]]]

（ 24 ） 一种SiC压力传感器, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN111198054B

（ 25 ） 半导体器件与其制作方法, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111170263A

（ 26 ） 半导体器件和制作方法, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN111141804B

（ 27 ） 微型湿度传感器, 发明专利, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN108896612A

（ 28 ） 微型真空计及其工作方法, 发明专利, 2018, 第 6 作者, 专利号: CN108387341A

（ 29 ） 电读出非制冷红外探测器的测试电路与方法, 专利授权, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN108844639A

（ 30 ） 硅微谐振式加速度计及其自测试方法, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN110221098A

（ 31 ） 一种二极管型非制冷红外探测器及其制备方法, 专利授权, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108254082A

（ 32 ） 一种二极管型非制冷红外探测器及其制备方法, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN108254082B

（ 33 ） 一种氮化硅薄膜制备方法, 发明专利, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN107749394A

（ 34 ） 一种氮化硅薄膜制备方法, 专利授权, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN107749394B

（ 35 ） 一种自校准红外热电堆温度传感器及自校准方法, 专利授权, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107036716A

（ 36 ） 一种自测试红外热电堆温度传感器及自测试方法, 专利授权, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107036717A

（ 37 ） 陀螺仪自校准和陀螺仪质量块摆幅测量装置、方法, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN107084745A

（ 38 ） 一种连续太赫兹波成像系统及其方法, 专利授权, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107064050A

（ 39 ） 陀螺仪自校准装置及方法, 专利授权, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN106969785A

（ 40 ） 一种MEMS红外光源及其制作方法, 专利授权, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106629574A

（ 41 ） 基于湿法预释放结构的MEMS红外光源及其制备方法, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN106185784A

（ 42 ） 悬浮结构的MEMS红外光源, 实用新型, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN206014405U

（ 43 ） 悬浮结构的MEMS红外光源及其制备方法, 发明专利, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN106276773A

（ 44 ） 集成纳米结构的MEMS红外光源及其制备方法, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106374019A

（ 45 ） 基于湿法预释放结构的MEMS红外光源, 实用新型, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN206014406U

（ 46 ） 一种模数转换电路, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105915219A

（ 47 ） 一种微弱信号读出电路, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN105897248A

（ 48 ） 一种红外热电堆内建自测试电路及方法, 发明专利, 2017, 第 2 作者, 专利号: CN106289537A

（ 49 ） 具有多路输出功能的红外焦平面读出电路及其读出方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102692275A

（ 50 ） 与传感器耦合的斩波放大器电路, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102694510A

（ 51 ） 单层双材料微悬臂梁热隔离焦平面阵列的制作方法, 发明专利, 2006, 第 4 作者, 专利号: CN1884039A

   

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[77] 潘亮, 张青川, 伍小平, 段志辉, 陈大鹏, 王玮冰, 郭哲颖. 基于MEMS的光力学红外成像. 实验力学[J]. 2004, 第 6 作者19(4): 403-407, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=11885999.

   

（ 1 ） 微纳传感器与电路单片集成工艺技术及平台, 负责人, 国家任务, 2019-07--2022-06
（ 2 ） 深海原位智能芯片传感器集成和应用, 负责人, 中国科学院计划, 2019-01--2023-12
（ 3 ） BanxinIoT智能管网系统数据采集及传输装置研发, 负责人, 境内委托项目, 2017-10--2019-12
（ 4 ） 深海痕量金属原位分析仪研制-微汞膜电极阵列芯片加工技术研究, 参与, 国家任务, 2017-01--2020-12
（ 5 ） 海洋战场环境感知与信息融合关键技术研究, 参与, 中国科学院计划, 2017-01--2018-12
（ 6 ） 物联网核心芯片及应用技术, 负责人, 中国科学院计划, 2015-06--2017-06
（ 7 ） 超越摩尔定律的MEMS器件设计、工艺、封装、测试, 负责人, 中国科学院计划, 2015-05--2020-04
（ 8 ） 高性能SOI二极管型非制冷红外成像阵列传感器与系统, 负责人, 国家任务, 2015-03--2018-03
（ 9 ） 针对微机电系统的测试访问与测试优化方法研究, 参与, 国家任务, 2014-01--2017-12
（ 10 ） 集成电路与传感器集成制造与生产技术, 参与, 国家任务, 2011-01--2013-12
（ 11 ） MEMS公共技术平台建设, 参与, 地方任务, 2011-01--2013-12

（1）二极管原理非制冷红外焦平面阵列的集成设计   第九届全国光电技术学术会   王玮冰，陈大鹏，明安杰，欧文，刘战峰   2010-05-29

已指导学生

何鑫  硕士研究生  430109-电子与通信工程  

祖秋艳  硕士研究生  430110-集成电路工程  

孙业超  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

徐中龙  硕士研究生  085209-集成电路工程  

侯影  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

何青  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

张秋旋  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

徐梦龙  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

黄宽  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

张宇  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

张乐  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

张强  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

李建茂  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

王乾  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

苏国玉  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

田宝华  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张静  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

林春燕  硕士研究生  085400-电子信息  

薄凡  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李婷  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

高鹏建  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李建茂  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

邵锦华  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

吕文龙  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

张怡琳  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

樊梦浩  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

谢诚  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

刘鼎新  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学