针对集成电路/半导体器件中各类缺陷严重制约其性能及可靠性的问题，开展基于光学方法的缺陷表征技术开发、设备集成及产业化方面的工作。

迄今为止，本人共发表SCI/EI检索论文30余篇，申请中国发明专利40余项。

本人主要从事光学相关专业与微电子相关专业的交叉研究。欢迎具有光学工程、光电子、光学、微电子、半导体等相关学科背景的学生加入团队，开展研究工作。

080903-微电子学与固体电子学
070207-光学

半导体缺陷光学表征
激光微纳加工技术

2013-09--2014-09   美国宾夕法尼亚州里海大学   国家留学基金委联合培养博士研究生
2009-09--2015-06   天津大学精密仪器与光电子工程学院   光电子技术专业工学博士
2007-03--2009-06   天津大学管理学院   工商管理专业管理学学士
2005-09--2009-06   南开大学信息技术科学学院   光电子技术科学专业工学学士

2019-09~2019-10,英国剑桥大学, 公派访问学者
2018-04~现在, 中国科学院, 副研究员
2015-09~2018-03,北京大学物理学院, 博士后

2022-04-01-今,美国光学学会(Optica, OSA), 终身会员
2021-04-01-今,中国物理学会, 终身会员
2021-04-01-今,中国光学学会, 终身会员
2021-04-01-今,中国光学工程学会, 高级会员
2021-04-01-今,中国仪器仪表学会, 终身会员
2021-03-01-今,辽宁省实验中学“校友大讲堂”, 客座教授
2021-03-01-今,中国微米纳米技术学会, 高级会员
2020-04-15-今,中国光学光电子行业协会激光应用分会, 青年委员

   

（1） 北京市科技新星计划, 省级, 2021
（2） 中国科学院青年创新促进会会员, 院级, 2020
（3） 研究生国家奖学金, , 国家级, 2014

（ 1 ） 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: ZL201811590134.8

（ 2 ） 一种裂片装置, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN202110078590.X

（ 3 ） 一种裂片装置, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN202110078467.8

（ 4 ） 激光加工设备的故障诊断方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN202110078543.5

（ 5 ） 一种裂片装置, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN202110078545.4

（ 6 ） 一种完美吸收体的制备方法及完美吸收体, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: ZL201811590005.9

（ 7 ） 可控微透镜阵列清洁装置, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN202011643336.1

（ 8 ） 纯相位液晶空间光调制器校准平台及方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN202110078542.0

（ 9 ） 一种半导体缺陷表征的方法、装置、系统、设备及介质, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN202011476570.X

（ 10 ） 一种二次谐波表征半导体材料的方法及测量平台, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN202011515772.0

（ 11 ） 一种二次谐波测量方法及测量仪器, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN202110123995.0

（ 12 ） 一种二次谐波测量方法及测量仪器, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN202110139360.X

（ 13 ） 一种超材料红外吸收体, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN202011584668.7

（ 14 ） 光学整形装置及方法, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN202011643343.1

（ 15 ） 激光退火设备的光束检测装置及方法, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN202011643342.7

（ 16 ） 一种加工腔组件及激光加工装置, 发明专利, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN202010828591.7

（ 17 ） 一种激光退火装置, 发明专利, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN202010828631.8

（ 18 ） 一种载物台组件及激光热处理装置, 发明专利, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN202010828592.1

（ 19 ） 一种激光退火装置, 发明专利, 2020, 第 5 作者, 专利号: CN202010828593.6

（ 20 ） 一种激光加工芯片的装置及方法, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN201811607237.0

（ 21 ） 一种激光加工晶圆的方法及系统, 发明专利, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN201811625821.9

（ 22 ） 一种激光加工芯片的方法, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN201811607511.4

（ 23 ） 一种激光加工芯片的方法, 发明专利, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN201811607267.1

（ 24 ） 一种激光加工芯片的方法及装置, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN201811607231.3

（ 25 ） 一种激光加工芯片的装置, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN201811607236.6

（ 26 ） 一种激光加工芯片的方法及装置, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN201811607499.7

（ 27 ） 一种激光加工晶圆的方法及系统, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN201811625811.5

（ 28 ） 一种激光加工芯片的方法及装置, 发明专利, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN201811607515.2

（ 29 ） 一种激光加工晶圆的方法及系统, 发明专利, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN201811625789.4

（ 30 ） 一种氯离子浓度传感器及其测量系统, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL201310274636.0

（ 31 ） 一种光子晶体光纤温度传感探头及其测量系统, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL201210334960.2

   

（1） Broadband perfect absorber in the visible region based on metasurface composite structures, Materials, 2022, 第 1 作者
（2） 基于半导体晶圆激光切割工艺的质量控制, Quality Control Based on Semiconductor Wafer Laser-cutting Process, 电子产品可靠性与环境试验, 2020, 第 4 作者
（3） Ultra-broadband metamaterial absorber from ultraviolet to long-wave infrared based on CMOS-compatible materials, OPTICS EXPRESS, 2020, 第 3 作者
（4） 基于高阶表面等离子体共振的窄带完美吸波体, 红外与激光工程, 2020, 第 2 作者
（5） Extra-narrowband metallic filters with an ultrathin single-layer metallic grating, Extra-narrowband metallic filters with an ultrathin single-layer metallic grating, CHINESE PHYSICS B, 2020, 第 1 作者
（6） CMOS-compatible plasmonic hydrogen sensors with a detection limit of 40 ppm, OPTICS EXPRESS, 2019, 第 3 作者
（7） Laser focal depth control in stealth dicing for wafer with heavily doped layer, The 20th International Conference on Electronic Packaging Technology, 2019, 
（8） A carpet cloak based on gradient metasurfaces, 20TH ANNUAL CONFERENCE AND 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE OF CHINESE SOCIETY OF MICRO-NANO TECHNOLOGY, 2019, 

（1） Atmospheric Propagation of Terahertz Radiation, InTech Open Access Publisher, 2012-06, 第 2 作者

   

（ 1 ） 中国科学院青年创新促进会项目, 负责人, 中国科学院计划, 2021-01--2024-12
（ 2 ） 集成电路激光XX技术, 参与, 国家任务, 2021-01--2023-12
（ 3 ） 激光XX技术及应用, 参与, 国家任务, 2018-11--2023-12
（ 4 ） XX材料激光XX设备, 参与, 国家任务, 2019-01--2021-03
（ 5 ） XX精密激光XX机, 参与, 国家任务, 2018-01--2019-12
（ 6 ） 针对第三代半导体材料的激光微米纳米加工技术, 参与, 中国科学院计划, 2019-01--2021-12
（ 7 ） 全光可调谐超表面完美吸收体的研究, 负责人, 其他任务, 2017-05--2018-03
（ 8 ） 基于激光XX的XX表征仪器, 负责人, 中国科学院计划, 2022-01--2023-12
（ 9 ） 北京市科技新星计划, 负责人, 地方任务, 2021-11--2024-10
（ 10 ） 非局域场共振亚波长金属光栅的滤波机理及传感应用研究, 负责人, 地方任务, 2022-01--2023-12

（1）超表面微纳光学器件——光栅滤波器及完美吸收体   中国微米纳米技术学会第二十三届学术年会暨第十二届国际会议   2021-12-11
（2）A Carpet Cloak based on Gradient Metasurfaces   中国微米纳米技术学会第二十届学术年会暨第九届国际会议   2018-10-19