微纳传感器与系统，微流控芯片系统，MEMS加工工艺与传感器封装，微弱信号检测与仪表技术

每年招生硕士和直博生4-5名

080903-微电子学与固体电子学
080920-生物电子学
085208-电子与通信工程

1. 基于微纳米技术的传感器、执行器与系统
2. MEMS加工技术与封装
3. 微流控芯片系统 
4. 信号检测与仪表技术

1998-03--2002-11   清华大学   博士
1995-09--1998-03   吉林大学   硕士
1991-09--1995-07   吉林大学   学士

2006年在英国皇家学会资助下，赴英国卢瑟福国家实验室和牛津大学工程系开展有关微流体芯片的合作研究；
2009年在院高级访问学者的资助下，赴美国加州大学伯克利（Berkeley）分校传感器与执行器中心（BSAC）从事有关纳米发电机的合作研究。
                           

2025-03~现在, 中国科学院空天信息创新研究院, 研究员
2020-07~2025-03, 中国科学院空天信息创新研究院, 九室主任
2015-10~现在, 中国科学院大学, 岗位教授
2011-12~2020-03,中国科学院电子学研究所, 研究员
2009-01~2009-04,美国加州大学Berkeley分校, 高级访问学者
2006-01~2006-04,英国卢瑟福国家实验室、牛津大学工程系, 合作研究
2004-04~2011-11,中国科学院电子学研究所, 副研究员
2002-11~2004-04,中国科学院电子学研究所, 助理研究员
1998-03~2001-07,清华大学, 助教

中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会副主任委员兼总干事

中国机械工程学会微纳制造技术分会副主任委员

中国微米纳米技术学会微纳机器人分会副理事长

中国仪器仪表学会理事

中国微米纳米技术学会理事

中国仪器仪表学会传感器分会理事

中国电子学会电路与系统分会副主任委员

电子薄膜与集成器件全国重点实验室、微米纳米加工技术全国重点实验室、动态测试技术国防重点实验室、MEMS教育部重点实验室学术委员会委员

国家自然科学基金、科技部、科技委、北京市科委、江苏省科委、瑞士自然科学基金等评审专家

《Microsystem & Nanoengineering》、《Electron》、《IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems》、《电子与信息学报》、《传感技术学报》、《信息材料与器件》、《Sensors》等期刊编委

2009年担任IEDMS 2009国际会议International Advisory Committee 

2009-2011年担任Transducers11 国际会议Executive Organizing Committee
担任IEEE NEMS 2012、2013，IEEE APCOT2012国际会议分会场主席
2011年担任北京地区微电子博士生论坛技术委员会委员
2013年担任ICMAN国际研讨会执行秘书
2014年担任ICMAN国际研讨会International Committee 同主席
2015年担任ICMAN国际研讨会副主席

2016年担任Optofluidics 2016国际会议组委会成员

2016年担任ICMAN国际研讨会组委会委员

2017-2020年担任ICMAN国际研讨会TPC和学生大赛主席

2016-2020 担任IEEE Sensors TPC

2021担任MINE 国际研讨会同主席

2022担任 APCOT 国际会议TPC

2023、2025 担任Transducers国际会议 TPC

科学前沿进展名家系列讲座III
前沿电子学研究
微流控芯片系统
本科生毕业设计（电子信息工程）
科研实践Ⅰ
科研实践Ⅱ
射频集成电路设计与分析
CMOS模拟集成电路设计与分析
MEMS接口电路
传感器网络与模式识别系列讲座
传感器网络系列讲座
物联网系列讲座

   

与英国卢瑟福国家实验室、德国明斯特大学、法国巴黎高等师范学院合作承担欧盟第七框架人员交换国际合作项目；与台湾长庚大学合作承担院“台湾青年学者计划”项目；与加拿大多伦多大学合作承担国家自然科学基金中加国际合作项目。

已指导硕士研究生和博士研究生50余名，其中多名研究生获中科院百篇优秀博士学位论文、院长特别奖、院长优秀奖、优秀毕业生、国家奖学金、顶秀奖学金、三好学生标兵、三好学生干部、三好学生等奖励。毕业学生就业去向包括出国深造、高等学校、国家机关、国家级研究机构、外企、大型国企等。