唐燕，女，1982年生，入选“西部之光”人才计划，中国科学院青年创新促进会成员。致力于微纳制造中的纳米检测技术研究，针对制造过程检测需要，开展光刻机设备核心检焦、对准及间隙测量等关键技术研究。针对加工结果检测需要，以超分辨、三维测量为核心，开展多种检测方法研究及专用设备研发。  

发表论文20余篇，其中以第一作者/通讯作者发表SCI论文10余篇，申请国家发明专利10余项，授权5项。作为项目负责人，主持国家自然科学基金青年、面上项目各一项，“西部之光”重点项目一项，中国科学院科学仪器研发项目一项，四川省科技支撑计划项目一项，作为课题负责人参与国家重大仪器专项“超分辨光刻装备研制”，负责其中核心间隙测量、检焦及对准系统研发。此外，带领微纳检测团队争取国家及省部级项目10余项。  

​独立/协助指导硕士研究生7名，博士研究生8名，已毕业7名，累计7人获得国家奖学金，4人获得朱李月华博士奖，1人获得四川省优秀毕业生称号。所指导的学生，2人次获得光电所研究生创新基金，1人获得国家自然科学基金面上项目，2人获得国家自然基金青年项目，1人获得四川省苗子工程资助。

080402-测试计量技术及仪器

微电子装备关键技术
微纳结构三维形貌检测

2005-09--2010-07   四川大学   工学博士
2001-09--2005-07   四川大学   工学学士

   

2010-08~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员

已指导学生

司新春  硕士研究生  085202-光学工程  

现指导学生

谢仲业  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

韩陈浩磊  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

成小龙  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

刘磊  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

位浩杰  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器