基本信息
唐燕 女 博导 中国科学院光电技术研究所
电子邮件： ty0513@163.com
通信地址： 四川成都双流西航港光电大道1号
邮政编码： 610209
个人信息
唐燕，女，1982年生，入选“西部之光”人才计划，中国科学院青年创新促进会成员。致力于微纳制造中的纳米检测技术研究，针对制造过程检测需要，开展光刻机设备核心检焦、对准及间隙测量等关键技术研究。针对加工结果检测需要，以超分辨、三维测量为核心，开展多种检测方法研究及专用设备研发。
发表论文20余篇，其中以第一作者/通讯作者发表SCI论文10余篇，申请国家发明专利10余项，授权5项。作为项目负责人，主持国家自然科学基金青年、面上项目各一项，“西部之光”重点项目一项，中国科学院科学仪器研发项目一项，四川省科技支撑计划项目一项，作为课题负责人参与国家重大仪器专项“超分辨光刻装备研制”，负责其中核心间隙测量、检焦及对准系统研发。此外，带领微纳检测团队争取国家及省部级项目10余项。
独立/协助指导硕士研究生7名，博士研究生8名，已毕业7名，累计7人获得国家奖学金，4人获得朱李月华博士奖，1人获得四川省优秀毕业生称号。所指导的学生，2人次获得光电所研究生创新基金，1人获得国家自然科学基金面上项目，2人获得国家自然基金青年项目，1人获得四川省苗子工程资助。
招生信息
微纳制造中的纳米检测技术研究
招生专业
080402-测试计量技术及仪器
招生方向
微电子装备关键技术
微纳结构三维形貌检测
微纳结构三维形貌检测
教育背景
2005-09--2010-07 四川大学 工学博士
2001-09--2005-07 四川大学 工学学士
2001-09--2005-07 四川大学 工学学士
工作经历
工作简历
2010-08~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员
专利与奖励
专利成果
[1] 罗先刚, 王彦钦, 孔维杰, 王长涛, 尹格, 唐燕, 何渝, 赵承伟, 赵泽宇. 照明补偿方法. CN: CN115963705A, 2023-04-14.
[2] 罗文韬, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 一种宽光谱自参考干涉对准系统. CN: CN114628300A, 2022-06-14.
[3] 罗文韬, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 将S变换用于宽光谱自参考干涉对准系统光谱解相位方法. CN: CN114636372A, 2022-06-17.
[4] 罗文韬, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 将S变换用于宽光谱自参考干涉对准系统光谱解相位方法. CN: CN114636372B, 2023-03-31.
[5] 刘磊, 唐燕, 赵立新, 胡松. 一种基于调制度半宽恒定的自校准结构光测量方法. CN: CN113916154A, 2022-01-11.
[6] 韩陈浩磊, 唐燕, 刘磊, 位浩杰, 金川, 孙海峰, 成小龙. 一种基于空间结构光场的高精度微纳三维形貌测量方法. CN: CN113899320A, 2022-01-07.
[7] 杨超, 朱咸昌, 唐燕, 胡松, 刘锡, 金川, 刘磊. 一种应用于投影光刻机的单倍率大视场投影曝光物镜. CN: CN112415865A, 2021-02-26.
[8] 兰俊, 杨勇, 唐燕, 赵立新, 胡松. 一种自动交接的多尺寸硅片传输装置. CN: CN112053984A, 2020-12-08.
[9] 杨可君, 谢仲业, 刘江辉, 冯金花, 唐燕, 赵立新, 胡松. 基于结构光照明显微系统的超薄膜器件三维形貌检测方法. CN: CN111829457A, 2020-10-27.
[10] 魏宏斌, 胡松, 刘磊, 位浩杰, 赵立新, 唐燕. 一种可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法. CN: CN111260561A, 2020-06-09.
[11] 韩陈浩磊, 唐燕, 谢仲业, 刘磊, 刘锡, 位浩杰, 金川. 一种用于微纳结构表面三维形貌快速测量的双差动型结构光照明显微测量方法. CN: CN111256618B, 2021-09-21.
[12] 刘磊, 唐燕, 谢仲业, 位浩杰, 赵立新, 胡松. 一种基于聚焦评价算法的结构光微纳三维形貌测量方法. CN: CN110715616B, 2021-09-07.
[13] 刘江辉, 刘俊伯, 赵立新, 唐燕, 胡松. 一种适用于无掩模数字光刻的邻近效应校正方法. CN: CN110456609A, 2019-11-15.
[14] 刘锡, 唐燕, 赵立新, 胡松, 刘江辉. 一种基于微球薄膜的超分辨显微镜系统. CN: CN110376756A, 2019-10-25.
[15] 金川, 何渝, 唐燕, 冯金花, 胡松, 赵立新. 一种大梯度自由曲面测量方法. CN: CN110030944A, 2019-07-19.
[16] 谢仲业, 唐燕, 刘俊伯, 何金花, 赵立新, 胡松. 一种基于空域相移单帧图像调制度解调方法. CN: CN109945801A, 2019-06-28.
[17] 位浩杰, 唐燕, 谢仲业, 刘磊, 赵立新, 胡松. 一种基于复合光栅的结构光微纳结构三维检测方法. CN: CN109916331A, 2019-06-21.
[18] 金川, 何渝, 唐燕, 魏宏斌, 赵立新, 胡松. 一种超分辨率数字全息成像系统和成像方法. CN: CN109709786A, 2019-05-03.
[19] 刘磊, 唐燕, 谢仲业, 位浩杰, 赵立新, 胡松. 一种基于时域相移算法的高精度微纳三维测量方法. CN: CN109596065A, 2019-04-09.
[20] 刘锡, 唐燕, 谢仲业, 刘江辉, 赵立新, 胡松. 一种基于单光镊介质微球高分辨率光学检测方法. CN: CN109269980A, 2019-01-25.
[21] 位浩杰, 唐燕, 谢忠业, 刘磊, 赵立新, 胡松. 一种基于结构光的微纳结构三维形貌高速检测方法. CN: CN109341574A, 2019-02-15.
[22] 谢仲业, 唐燕, 杨可君, 刘锡, 赵立新, 胡松. 用于多层复杂微纳结构检测的结构光照明显微测量方法. CN: CN109269438B, 2020-07-10.
[23] 谢仲业, 唐燕, 杨可君, 刘锡, 赵立新, 胡松. 一种用于多层复杂微纳结构检测的结构光照明显微测量方法. CN: CN109269438A, 2019-01-25.
[24] 刘锡, 唐燕, 谢仲业, 杨可君, 赵立新, 胡松. 一种基于光镊介质微球的超分辨三维形貌测量方法. CN: CN108917651A, 2018-11-30.
[25] 杨可君, 陈楚怡, 谢仲业, 周毅, 刘锡, 唐燕, 赵立新, 胡松. 基于结构光调制的快速超分辨成像方法. CN: CN108319009A, 2018-07-24.
[26] 何渝, 唐燕, 刘俊伯, 杜婧. 一种多光场调制的三维形貌测量方法. CN: CN108120393A, 2018-06-05.
[27] 冯金花, 唐燕, 何渝. 一种基于超分辨光刻的间隙检测装置. CN: CN108036732A, 2018-05-15.
[28] 陈楚怡, 谢仲业, 周毅, 唐燕. 基于结构光的微纳结构二维超分辨检测方法. CN: CN107388958A, 2017-11-24.
[29] 周毅, 唐燕, 陈楚怡, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 一种基于SiO 2 介质微球的超分辨成像方法. 中国: CN107229133A, 2017-10-03.
[30] 周毅, 唐燕, 陈楚怡, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 一种基于SiO 2 介质微球的超分辨成像方法. CN: CN107229133A, 2017-10-03.
[31] 周毅, 唐燕, 陈楚怡, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 基于结构光与介质微球联合调制的微纳结构超分辨三维形貌检测方法. CN: CN107388984A, 2017-11-24.
[32] 周毅, 唐燕, 陈楚仪, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 一种基于相位纵向拼接的宽光谱干涉形貌检测方法. CN: CN106643558A, 2017-05-10.
[33] 周毅, 唐燕, 陈楚仪, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法. CN: CN106643559A, 2017-05-10.
[34] 陈楚怡, 周毅, 刘俊伯, 邓钦元, 邓茜, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 基于调制度的宽光谱干涉的零级条纹的寻找方法. CN: CN106556340A, 2017-04-05.
[35] 谢仲业, 周毅, 陈楚怡, 邓钦元, 邓茜, 唐燕, 赵立新, 胡松. 一种结合相移干涉与垂直扫描干涉的3D形貌恢复方法. CN: CN106767496A, 2017-05-31.
[36] 杨勇, 邓钦元, 胡松, 赵立新, 陈磊, 余斯洋, 唐燕, 龚健文, 周毅, 张满. 一种微纳跨尺度高分辨力紫外压印光刻机. CN: CN106154745A, 2016-11-23.
[37] 姚靖威, 唐燕, 邓茜, 周毅, 邓钦元, 刘俊伯, 田鹏, 杨帆, 赵立新, 胡松. 一种适用于大行程高精度白光干涉仪的扫描系统. CN: CN106323195A, 2017-01-11.
[38] 唐燕, 何渝, 胡松, 赵立新, 周毅. 振幅相位联合调制超分辨三维微纳结构形貌测量装置. CN: CN106197257A, 2016-12-07.
[39] 周毅, 邓钦元, 刘俊伯, 程依光, 邓茜, 唐燕, 杨勇, 胡松. 一种基于调制度的宽光谱微纳结构三维形貌检测方法. CN: CN106197310A, 2016-12-07.
[40] 周毅, 程依光, 刘俊伯, 邓钦元, 邓茜, 唐燕, 杨勇, 胡松. 一种基于莫尔干涉的双远心镜头倍率测量方法. CN: CN105547653A, 2016-05-04.
[41] 司新春, 唐燕, 胡松, 魏嘉, 刘俊伯, 邓钦元, 周毅. 一种复合光栅纳米光刻自动对准系统. CN: CN104614955A, 2015-05-13.
[42] 司新春, 唐燕, 胡松, 刘俊伯, 周毅, 邓钦元, 陈昌龙, 邸成良, 程依光. 一种用于接近式纳米光刻二维光栅自动对准系统. CN: CN104536273A, 2015-04-22.
[43] 严伟, 何渝, 李艳丽, 唐燕, 赵立新, 胡松. 一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛. CN: CN104199135A, 2014-12-10.
[44] 严伟, 何渝, 李艳丽, 唐燕, 高洪涛, 胡松. 一种长焦深光子筛. CN: CN104199136A, 2014-12-10.
[45] 唐燕, 何渝, 赵立新, 朱江平, 胡松. 基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法. CN: CN103900493A, 2014-07-02.
[46] 李光, 陈铭勇, 唐燕, 朱江平. 一种同轴检焦测量系统及其测量方法. CN: CN103207532A, 2013-07-17.
[47] 朱江平, 胡松, 唐燕, 陈铭勇, 何渝. 一种掩模光栅对准标记倾斜成像的消除方法. CN: CN102799080A, 2012-11-28.
[48] 朱江平, 胡松, 唐燕, 陈铭勇, 何渝. 一种莫尔条纹倾角测量方法. CN: CN102789138A, 2012-11-21.
[49] 朱江平, 胡松, 唐燕, 刘旗, 何渝, 邸成良. 一种基于莫尔条纹的反射式光刻对准装置. CN: CN102789137A, 2012-11-21.
[50] 何渝, 陈铭勇, 赵立新, 唐燕. 基于光子筛的蓝光光学头. CN: CN102737664A, 2012-10-17.
[51] 朱江平, 胡松, 陈铭勇, 唐燕, 何渝. 一种无掩模数字投影光刻的图形拼接方法. CN: CN102722085A, 2012-10-10.
[52] 朱江平, 胡松, 唐燕, 陈铭勇, 唐路路, 何渝. 一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置. CN: CN102566340A, 2012-07-11.
[53] 陈铭勇, 严伟, 胡松, 唐燕. 一种用于检焦系统中的光线倾角调节机构. CN: CN202256839U, 2012-05-30.
[54] 唐燕, 胡松, 陈铭勇. 一种用于投影光刻中的焦面检测装置. CN: CN102243138A, 2011-11-16.
[55] 唐燕, 胡松, 赵立新, 严伟. 一种交织型光子筛. CN: CN102053294A, 2011-05-11.
[56] 唐燕, 胡松, 赵立新, 严伟. 一种复合型光子筛. CN: CN102053295A, 2011-05-11.
[2] 罗文韬, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 一种宽光谱自参考干涉对准系统. CN: CN114628300A, 2022-06-14.
[3] 罗文韬, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 将S变换用于宽光谱自参考干涉对准系统光谱解相位方法. CN: CN114636372A, 2022-06-17.
[4] 罗文韬, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 将S变换用于宽光谱自参考干涉对准系统光谱解相位方法. CN: CN114636372B, 2023-03-31.
[5] 刘磊, 唐燕, 赵立新, 胡松. 一种基于调制度半宽恒定的自校准结构光测量方法. CN: CN113916154A, 2022-01-11.
[6] 韩陈浩磊, 唐燕, 刘磊, 位浩杰, 金川, 孙海峰, 成小龙. 一种基于空间结构光场的高精度微纳三维形貌测量方法. CN: CN113899320A, 2022-01-07.
[7] 杨超, 朱咸昌, 唐燕, 胡松, 刘锡, 金川, 刘磊. 一种应用于投影光刻机的单倍率大视场投影曝光物镜. CN: CN112415865A, 2021-02-26.
[8] 兰俊, 杨勇, 唐燕, 赵立新, 胡松. 一种自动交接的多尺寸硅片传输装置. CN: CN112053984A, 2020-12-08.
[9] 杨可君, 谢仲业, 刘江辉, 冯金花, 唐燕, 赵立新, 胡松. 基于结构光照明显微系统的超薄膜器件三维形貌检测方法. CN: CN111829457A, 2020-10-27.
[10] 魏宏斌, 胡松, 刘磊, 位浩杰, 赵立新, 唐燕. 一种可用于掩模版缺陷检测的快速多图拼接方法. CN: CN111260561A, 2020-06-09.
[11] 韩陈浩磊, 唐燕, 谢仲业, 刘磊, 刘锡, 位浩杰, 金川. 一种用于微纳结构表面三维形貌快速测量的双差动型结构光照明显微测量方法. CN: CN111256618B, 2021-09-21.
[12] 刘磊, 唐燕, 谢仲业, 位浩杰, 赵立新, 胡松. 一种基于聚焦评价算法的结构光微纳三维形貌测量方法. CN: CN110715616B, 2021-09-07.
[13] 刘江辉, 刘俊伯, 赵立新, 唐燕, 胡松. 一种适用于无掩模数字光刻的邻近效应校正方法. CN: CN110456609A, 2019-11-15.
[14] 刘锡, 唐燕, 赵立新, 胡松, 刘江辉. 一种基于微球薄膜的超分辨显微镜系统. CN: CN110376756A, 2019-10-25.
[15] 金川, 何渝, 唐燕, 冯金花, 胡松, 赵立新. 一种大梯度自由曲面测量方法. CN: CN110030944A, 2019-07-19.
[16] 谢仲业, 唐燕, 刘俊伯, 何金花, 赵立新, 胡松. 一种基于空域相移单帧图像调制度解调方法. CN: CN109945801A, 2019-06-28.
[17] 位浩杰, 唐燕, 谢仲业, 刘磊, 赵立新, 胡松. 一种基于复合光栅的结构光微纳结构三维检测方法. CN: CN109916331A, 2019-06-21.
[18] 金川, 何渝, 唐燕, 魏宏斌, 赵立新, 胡松. 一种超分辨率数字全息成像系统和成像方法. CN: CN109709786A, 2019-05-03.
[19] 刘磊, 唐燕, 谢仲业, 位浩杰, 赵立新, 胡松. 一种基于时域相移算法的高精度微纳三维测量方法. CN: CN109596065A, 2019-04-09.
[20] 刘锡, 唐燕, 谢仲业, 刘江辉, 赵立新, 胡松. 一种基于单光镊介质微球高分辨率光学检测方法. CN: CN109269980A, 2019-01-25.
[21] 位浩杰, 唐燕, 谢忠业, 刘磊, 赵立新, 胡松. 一种基于结构光的微纳结构三维形貌高速检测方法. CN: CN109341574A, 2019-02-15.
[22] 谢仲业, 唐燕, 杨可君, 刘锡, 赵立新, 胡松. 用于多层复杂微纳结构检测的结构光照明显微测量方法. CN: CN109269438B, 2020-07-10.
[23] 谢仲业, 唐燕, 杨可君, 刘锡, 赵立新, 胡松. 一种用于多层复杂微纳结构检测的结构光照明显微测量方法. CN: CN109269438A, 2019-01-25.
[24] 刘锡, 唐燕, 谢仲业, 杨可君, 赵立新, 胡松. 一种基于光镊介质微球的超分辨三维形貌测量方法. CN: CN108917651A, 2018-11-30.
[25] 杨可君, 陈楚怡, 谢仲业, 周毅, 刘锡, 唐燕, 赵立新, 胡松. 基于结构光调制的快速超分辨成像方法. CN: CN108319009A, 2018-07-24.
[26] 何渝, 唐燕, 刘俊伯, 杜婧. 一种多光场调制的三维形貌测量方法. CN: CN108120393A, 2018-06-05.
[27] 冯金花, 唐燕, 何渝. 一种基于超分辨光刻的间隙检测装置. CN: CN108036732A, 2018-05-15.
[28] 陈楚怡, 谢仲业, 周毅, 唐燕. 基于结构光的微纳结构二维超分辨检测方法. CN: CN107388958A, 2017-11-24.
[29] 周毅, 唐燕, 陈楚怡, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 一种基于SiO 2 介质微球的超分辨成像方法. 中国: CN107229133A, 2017-10-03.
[30] 周毅, 唐燕, 陈楚怡, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 一种基于SiO 2 介质微球的超分辨成像方法. CN: CN107229133A, 2017-10-03.
[31] 周毅, 唐燕, 陈楚怡, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 基于结构光与介质微球联合调制的微纳结构超分辨三维形貌检测方法. CN: CN107388984A, 2017-11-24.
[32] 周毅, 唐燕, 陈楚仪, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 一种基于相位纵向拼接的宽光谱干涉形貌检测方法. CN: CN106643558A, 2017-05-10.
[33] 周毅, 唐燕, 陈楚仪, 邓钦元, 谢仲业, 田鹏, 李凡星, 胡松, 赵立新. 一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法. CN: CN106643559A, 2017-05-10.
[34] 陈楚怡, 周毅, 刘俊伯, 邓钦元, 邓茜, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 基于调制度的宽光谱干涉的零级条纹的寻找方法. CN: CN106556340A, 2017-04-05.
[35] 谢仲业, 周毅, 陈楚怡, 邓钦元, 邓茜, 唐燕, 赵立新, 胡松. 一种结合相移干涉与垂直扫描干涉的3D形貌恢复方法. CN: CN106767496A, 2017-05-31.
[36] 杨勇, 邓钦元, 胡松, 赵立新, 陈磊, 余斯洋, 唐燕, 龚健文, 周毅, 张满. 一种微纳跨尺度高分辨力紫外压印光刻机. CN: CN106154745A, 2016-11-23.
[37] 姚靖威, 唐燕, 邓茜, 周毅, 邓钦元, 刘俊伯, 田鹏, 杨帆, 赵立新, 胡松. 一种适用于大行程高精度白光干涉仪的扫描系统. CN: CN106323195A, 2017-01-11.
[38] 唐燕, 何渝, 胡松, 赵立新, 周毅. 振幅相位联合调制超分辨三维微纳结构形貌测量装置. CN: CN106197257A, 2016-12-07.
[39] 周毅, 邓钦元, 刘俊伯, 程依光, 邓茜, 唐燕, 杨勇, 胡松. 一种基于调制度的宽光谱微纳结构三维形貌检测方法. CN: CN106197310A, 2016-12-07.
[40] 周毅, 程依光, 刘俊伯, 邓钦元, 邓茜, 唐燕, 杨勇, 胡松. 一种基于莫尔干涉的双远心镜头倍率测量方法. CN: CN105547653A, 2016-05-04.
[41] 司新春, 唐燕, 胡松, 魏嘉, 刘俊伯, 邓钦元, 周毅. 一种复合光栅纳米光刻自动对准系统. CN: CN104614955A, 2015-05-13.
[42] 司新春, 唐燕, 胡松, 刘俊伯, 周毅, 邓钦元, 陈昌龙, 邸成良, 程依光. 一种用于接近式纳米光刻二维光栅自动对准系统. CN: CN104536273A, 2015-04-22.
[43] 严伟, 何渝, 李艳丽, 唐燕, 赵立新, 胡松. 一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛. CN: CN104199135A, 2014-12-10.
[44] 严伟, 何渝, 李艳丽, 唐燕, 高洪涛, 胡松. 一种长焦深光子筛. CN: CN104199136A, 2014-12-10.
[45] 唐燕, 何渝, 赵立新, 朱江平, 胡松. 基于数字扫描白光干涉的微纳结构形貌测量装置及方法. CN: CN103900493A, 2014-07-02.
[46] 李光, 陈铭勇, 唐燕, 朱江平. 一种同轴检焦测量系统及其测量方法. CN: CN103207532A, 2013-07-17.
[47] 朱江平, 胡松, 唐燕, 陈铭勇, 何渝. 一种掩模光栅对准标记倾斜成像的消除方法. CN: CN102799080A, 2012-11-28.
[48] 朱江平, 胡松, 唐燕, 陈铭勇, 何渝. 一种莫尔条纹倾角测量方法. CN: CN102789138A, 2012-11-21.
[49] 朱江平, 胡松, 唐燕, 刘旗, 何渝, 邸成良. 一种基于莫尔条纹的反射式光刻对准装置. CN: CN102789137A, 2012-11-21.
[50] 何渝, 陈铭勇, 赵立新, 唐燕. 基于光子筛的蓝光光学头. CN: CN102737664A, 2012-10-17.
[51] 朱江平, 胡松, 陈铭勇, 唐燕, 何渝. 一种无掩模数字投影光刻的图形拼接方法. CN: CN102722085A, 2012-10-10.
[52] 朱江平, 胡松, 唐燕, 陈铭勇, 唐路路, 何渝. 一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置. CN: CN102566340A, 2012-07-11.
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发表论文
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科研活动
科研项目
（ 1 ） 基于相位偏折原理的高精度整场检焦方法研究, 主持, 国家级, 2012-01--2015-12
（ 2 ） 微纳流控芯片加工设备研制, 主持, 部委级, 2012-01--2015-12
（ 3 ） 超分辨光刻装备研制, 参与, 国家级, 2012-01--2015-12
（ 2 ） 微纳流控芯片加工设备研制, 主持, 部委级, 2012-01--2015-12
（ 3 ） 超分辨光刻装备研制, 参与, 国家级, 2012-01--2015-12
指导学生
已指导学生
司新春 硕士研究生 085202-光学工程
现指导学生
谢仲业 博士研究生 080402-测试计量技术及仪器
韩陈浩磊 硕士研究生 080402-测试计量技术及仪器
成小龙 博士研究生 080402-测试计量技术及仪器
刘磊 博士研究生 080402-测试计量技术及仪器
位浩杰 博士研究生 080402-测试计量技术及仪器