基本信息
陈少武  男  博导  中国科学院半导体研究所
电子邮件: swchen@semi.ac.cn
通信地址: 北京市海淀区清华东路甲35号中科院半导体所1号楼506A室
邮政编码: 100083

研究领域

研究领域主要是以下三个方向:

1.硅基微腔克尔孤子光频梳及其应用。主要是研究高质量氮化硅微环片上集成克尔光频梳芯片设计制备方法及混合集成LD泵浦激光器的一体式微型光频梳模块,以及在高质量低相噪微波信号生成、DWDM并行通信多波长光源、精密光谱测量及高灵敏度传感中的应用。

2.硅基非线性光子功能器件的研究,主要是硅基片上集成的各种全光逻辑器件和全光信号处理技术。

3.硅光技术及硅基光电子器件,主要是研究片上光互联关键功能光子器件,包括高速光调制器、光开关、可调光滤波器等有源/无源光电子器件。

招生信息

每年计划招生博士生和硕士生各一名。

招生专业
080901-物理电子学
招生方向
硅基微腔克尔孤子光频梳及其应用
非线性全光逻辑及全光信号处理,硅基光量子集成芯片
硅基芯片光互连,高速光调制/光开关,光无源器件

教育背景

1997-11--1999-09   中国科学院半导体研究所   博士后
1993-09--1997-10   中国科学院西安光学精密机械研究所   理学博士
1987-09--1991-06   四川大学光电科学与技术系   理学学士
学历
-- 研究生
学位
-- 博士

工作经历

2009.01—至今       中国科学院半导体研究所 研究员,期间自2011年起担任博士研究生指导教师。 

1999.11—2008.12  中国科学院半导体研究所 副研究员,自2001年期担任硕士研究生指导教师。期间于2006年-2007年在加拿大国家科学研究中心(NRC)微结构研究所做短期访问学者。

1997.10—1999.10  中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心 博士后科研流动站 博士后

1995.12—1997.10  中国科学院西安光学精密机械研究所 助理研究员

1991.07—1993.08  中国科学院西安光学精密机械研究所 研究实习员 


工作简历
2009-01~现在, 中国科学院半导体研究所, 研究员
1999-11~2008-12,中国科学院半导体研究所, 副研究员
1991-07~1993-08,中国科学院西安光学精密机械研究所, 研究实习员

教授课程

硅基非线性光子功能器件

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 光纤传感温度测试仪系列, 三等奖, 国家级, 1997
专利成果
( 1 ) 提高MZI电光调制器速度和效率的电极结构, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: ZL 200910088462.2
( 2 ) 基于微环谐振器结构的全光逻辑异或非门结构, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: ZL 2010 1 0115705.X
( 3 ) 一种纳米尺寸三角形空气槽的制作方法, 发明, 2008, 第 2 作者, 专利号: CN200710118868.1
( 4 ) 具有中心自对准功能的光纤微透镜加工方法, 发明, 2004, 第 1 作者, 专利号: ZL02102717.X
( 5 ) 光波导传输损耗的测量方法和测量装置, 发明, 2008, 第 3 作者, 专利号: CN200610165545.3
( 6 ) 热光开关阵列或热光调制器的封装结构及其封装方法, 发明, 2008, 第 2 作者, 专利号: ZL200510086371.7
( 7 ) 基于FPGA的光纤通信网络路由信号处理器及使用方法, 发明, 2008, 第 2 作者, 专利号: ZL200610067133.6
( 8 ) 一种硅基并联MOS电容结构高速电光调制器及制作方法, 发明, 2008, 第 2 作者, 专利号: ZL 2005 1 0088976.X
( 9 ) 微柱面透镜同光纤的实用化装配方法, 发明, 2005, 第 1 作者, 专利号: ZL 02 1 02716.1
( 10 ) 一种可降低功耗的硅基级联谐振腔全光逻辑与门结构, 发明, 2012, 第 2 作者, 专利号: ZL201010157655.1
( 11 ) 一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201310268418.6
( 12 ) 基于硅基微环谐振腔热光调谐机构的可调全光振荡器, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201410188475.8
( 13 ) 一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201310280860.0
( 14 ) 一种波导结构, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201510446433.4
( 15 ) 一种提高耗尽型硅基电光调制器调制效率的掺杂结构, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201310161729.2
( 16 ) 基于微腔孤子实现的多波长光源, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: ZL.201510441204.3
( 17 ) 基于硅基微环谐振腔载流子色散效应的可调高频脉冲光源, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL.201410187559.X

出版信息

   
发表论文
[1] 陈少武. Injection locking and breathing soliton microcomb generation dynamics of a nonlinear optical microcavity-laser diode butt-coupled system with pump power much higher than the parametric oscillation threshold. Optics Continuum[J]. 2022, 1(8): 1676-1695, [2] 冯梁森, 李维, 陈少武, 武腾飞, 李新良. 微腔光频梳的应用研究进展. 计测技术[J]. 2022, 42(2): 13-23, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7107197340.
[3] 陈少武. 氮化硅微谐振腔中通过热辅助方法产生光学频率梳. Semiconductor Lasers and Applications X, SPIE/COS Photonics Asia, 2020, PROCEEDINGS OF SPIE. 2020, [4] Ma, Jianbin, Sun, Yu, Chen, Shaowu. Silicon nitride/titanium oxide hybrid waveguide design enabling broadband athermal operation. APPLIED OPTICS[J]. 2019, 58(19): 5267-5272, [5] 陈少武. 可宽带无热化工作的氮化硅/二氧化钛混合波导设计. Applied Optics. 2019, [6] 陈少武. 采用反馈光回路提高克尔光频梳多波长宽带光源的非线性能量转换效率. Laser Physics. 2017, [7] Lei, Xun, Chen, Shaowu, Zhang, Libin. Improving the nonlinear energy conversion efficiency of a Kerr-comb-based broadband multi-wavelength light source by introducing an optical feedback loop. LASER PHYSICS[J]. 2017, 27(6): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000400448100002.
[8] Wang, Qi, Zhang, Li, Wang, Xin, Quan, Haiyan, Chen, Zhanguo, Zhao, Jihong, Liu, Xiuhuan, Hou, Lixin, Gao, Yanjun, Jia, Gang, Chen, Shaowu. Optical rectification and Pockels effect as a method to detect the properties of Si surfaces. CHINESE OPTICS LETTERS[J]. 2017, 15(6): http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28753.
[9] Lei, Xun, Gu, Zenghui, Ma, Jianbin, Qin, Guanshi, Chen, Zhanguo, Chen, Shaowu. Investigation of the local dispersion change in anomalous dispersion microcavity and quantitative analysis of the phase-matching in Kerr comb generation. APPLIED OPTICS[J]. 2017, 56(16): 4828-4834, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28752.
[10] 陈少武. 反常色散微腔中局域色散调控研究及克尔光频梳产生过程中相位匹配的定量分析. Applied Optics. 2017, [11] Li, Qing, Jia, Zhixu, Li, Zhenrui, Yang, Yuede, Xiao, Jinlong, Chen, Shaowu, Qin, Guanshi, Huang, Yongzhen, Qin, Weiping. Optical frequency combs generated by four-wave mixing in a dual wavelength Brillouin laser cavity. AIP ADVANCES[J]. 2017, 7(7): http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28758.
[12] Lei, Xun, Bian, Dandan, Chen, Shaowu. A proposal for the generation of optical frequency comb in temperature insensitive microcavity. CHINESE PHYSICS B[J]. 2016, 25(11): http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27817.
[13] 陈少武. 同时实现色散平坦和无热化的聚合物填充氮化硅条形/狭缝非对称混合波导设计. Applied Optics. 2016, [14] Bian, Dandan, Chen, Shaowu, Lei, Xun, Qin, Guanshi, Chen, Zhanguo. Design of a polymer-filled silicon nitride strip/slot asymmetric hybrid waveguide for realizing both flat dispersion and athermal operation. APPLIED OPTICS[J]. 2016, 55(18): 4827-4832, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27819.
[15] 陈少武. 在温度不敏感微腔中产生光频梳的方案设计. Chinese Physics B. 2016, [16] Bian Dandan, Lei Xun, Chen Shaowu. Dispersion characteristics of nanometer-scaled silicon nitride suspended membrane waveguides. JOURNAL OF SEMICONDUCTORS[J]. 2016, 37(11): 114007-1, [17] Yanmei Cao, Libin Zhang, Yonghao Fei, Xun Lei, Shaowu Chen. Effect of frequency chirp on supercontinuum generation in silicon waveguides with two zero. Optics communications[J]. 2015, 334: 190–195-, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26659.
[18] 陈少武. 频率啁啾对双零色散波长硅波导中超连续谱产生的影响. Optics Communications. 2015, [19] Cao, Yanmei, Zhang, Libin, Fei, Yonghao, Lei, Xun, Chen, Shaowu. Effect of frequency chirp on supercontinuum generation in silicon waveguides with two zero-dispersion wavelengths. OPTICS COMMUNICATIONS[J]. 2015, 334: 190-195, http://dx.doi.org/10.1016/j.optcom.2014.08.043.
[20] Fei, Yonghao, Zhang, Libin, Cao, Yanmei, Lei, Xun, Chen, Shaowu. A novel polarization rotator based on an asymmetric slot waveguide. OPTICS COMMUNICATIONS[J]. 2014, 324: 22-25, http://dx.doi.org/10.1016/j.optcom.2014.03.015.
[21] 陈少武. 基于非对称狭缝波导的新型偏振旋转器. Opt. Commun.. 2014, [22] 陈少武. 硅基微环谐振器中热光双稳态和自脉动的实验研究. J. Opt. Soc. Am. B. 2014, [23] Zhang, Libin, Fei, Yonghao, Cao, Yanmei, Chen, Shaowu. Experimental observations of thermo-optical bistability and self-pulsation in silicon microring resonators. JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS[J]. 2014, 31(2): 201-206, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26060.
[24] 张利斌, 陈少武. 克尔微腔光频梳理论分析模型及多波长光源应用探讨. 激光与光电子学进展[J]. 2014, 51(11): 110008-1, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=662841219.
[25] 陈少武. 一种基于U型PN结的硅基马赫曾德电光调制器设计. Appl. Opt.. 2013, [26] 陈少武. 考虑热光效应时非线性高Q值硅微环谐振腔中的多重双稳态和自脉动. PHYSICAL REVIEW A. 2013, [27] Cao TongTong, Zhang LiBin, Fei YongHao, Cao YanMei, Lei Xun, Chen ShaoWu. Design of a high-speed silicon electro-optical modulator based on an add-drop micro-ring resonator. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2013, 62(19): http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24801.
[28] 陈少武. 基于锥形狭缝波导的宽带宽偏振转换器. IEEE journal of Photonics Technology Letters. 2013, [29] Zhang, Libin, Fei, Yonghao, Cao, Tongtong, Cao, Yanmei, Xu, Qingyang, Chen, Shaowu. Multibistability and self-pulsation in nonlinear high-Q silicon microring resonators considering thermo-optical effect. PHYSICAL REVIEW A[J]. 2013, 87(5): http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24290.
[30] Cao, Tongtong, Chen, Shaowu, Fei, Yonghao, Zhang, Libin, Xu, QingYang. Ultra-compact and fabrication-tolerant polarization rotator based on a bend asymmetric-slab waveguide. APPLIED OPTICS[J]. 2013, 52(5): 990-996, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24410.
[31] Cao TongTong, Zhang LiBin, Fei YongHao, Cao YanMei, Lei Xun, Chen ShaoWu. Design of a high-speed silicon electro-optical modulator based on an add-drop micro-ring resonator. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2013, 62(19): http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24801.
[32] Zhang LiBin, Chen ShaoWu, Fei YongHao, Cao TongTong, Cao YanMei, Lei Xun. Study of data format transform with optical waveguide resonators. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2013, 62(19): http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24674.
[33] 陈少武. 基于非对称弯曲脊波导的超紧凑大容差偏振旋转器. APPLIED OPTICS. 2013, [34] Cao, Tongtong, Fei, Yonghao, Zhang, Libin, Cao, Yanmei, Chen, Shaowu. Design of a silicon Mach-Zehnder modulator with a U-type PN junction. APPLIED OPTICS[J]. 2013, 52(24): 5941-5948, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24673.
[35] Zhang LiBin, Chen ShaoWu, Fei YongHao, Cao TongTong, Cao YanMei, Lei Xun. Study of data format transform with optical waveguide resonators. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2013, 62(19): http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24674.
[36] Ren GuangHui, Chen ShaoWu, Cao TongTong. Theoretical analysis of a thermal-optical tunable filter based on Vernier effect of cascade microring resonators. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2012, 61(3): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000301008900036.
[37] 陈少武. 基于非对称定向耦合器的超紧凑偏振分离-旋转器. APPLIED OPTICS. 2012, [38] 陈少武. 硅微环谐振腔中基于非线性光学效应的双稳态和自脉动研究. OPTICS EXPRESS. 2012, [39] 陈少武. 基于水平狭缝波导的偏振分束器设计分析. Optical Engineering. 2012, [40] Ren, Guanghui, Cao, Tongtong, Chen, Shaowu. Design and analysis of a cascaded microring resonator-based thermo-optical tunable filter with ultralarge free spectrum range and low power consumption. OPTICAL ENGINEERING[J]. 2011, 50(7): http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22833.
[41] 陈少武. 具有超大自由光谱范围及低功耗的级联微环热光可调谐滤波器的设计分析. Optical Engineering. 2011, [42] Ren, Guanghui, Chen, Shaowu, Cheng, Yongpeng, Zhai, Yao. Study on inverse taper based mode transformer for low loss coupling between silicon wire waveguide and lensed fiber. OPTICS COMMUNICATIONS[J]. 2011, 284(19): 4782-4788, http://dx.doi.org/10.1016/j.optcom.2011.05.072.
[43] 陈少武. 用于硅光子线波导和透镜光纤高效率耦合的倒锥模斑变换器研究. Optics Communications. 2011, [44] 翟耀, 孙阳, 徐学俊, 陈少武. 基于半导体材料微纳波导全光逻辑门的研究进展. 物理[J]. 2010, 130-135, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=33171671.
[45] 陈少武. 用高品质因子硅基微环谐振器实现片上全光3.55Gbit/s的NRZ-to-PRZ信号格式转换. Chinese Physics Letters. 2010, [46] Zhai Yao, Chen ShaoWu, Ren GuangHui. On-Chip All-Optical Passive 3.55 Gbit/s NRZ-to-PRZ Format Conversion Using a High-Q Silicon-Based Microring Resonator. CHINESE PHYSICS LETTERS[J]. 2010, 27(10): 100-102, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=35419414.
[47] 翟耀, 陈少武, 任光辉. On-Chip All-Optical Passive 3.55 Gbit/s NRZ-to-PRZ Format Conversion Using a High-Q Silicon-Based Microring Resonator. 中国物理快报:英文版[J]. 2010, 27(10): 100-102, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=35419414.
[48] 孙阳, 徐学俊, 屠晓光, 陈少武. SOI亚微米波导光栅的设计与制作. 半导体光电[J]. 2010, 31(1): 27-29, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=33169972.
[49] Xu XueJun, Chen ShaoWu, Xu HaiHua, Sun Yang, Yu YuDe, Yu JinZhong, Wang QiMing. High-speed 2 x 2 silicon-based electro-optic switch with nanosecond switch time. CHINESE PHYSICS B[J]. 2009, 18(9): 3900-3904, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/6999.
[50] 陈少武. 纳秒开关时间的2x2硅基光波导电光开关. Chinese Physcis B. 2009, [51] 程勇鹏, 陈少武. Si基芯片光互连研究进展. 微纳电子技术[J]. 2009, 46(11): 649-655, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=32262466.
[52] 陈少武. 采用薄膜模式匹配法研究硅基亚微米脊波导的模式特性. JOURNAL OF OPTICS A: PURE AND APPLIED OPTICS. 2009, [53] 陈少武, 余金中, 徐学俊, 黄庆忠, 余和军, 屠晓光, 李运涛. 面向硅基光互连应用的无源光子集成器件研究进展. 材料科学与工程学报[J]. 2009, 27(1): 153-156, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=29667735.
[54] Xu XueJun, Chen ShaoWu, Xu HaiHua, Sun Yang, Yu YuDe, Yu JinZhong, Wang QiMing. High-speed 2 × 2 silicon-based electro-optic switch with nanosecond switch time. 中国物理:英文版[J]. 2009, 3900-3904, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=31650948.
[55] Xu, Xuejun, Chen, Shaowu, Yu, Jinzhong, Tu, Xiaoguang. An investigation of the mode characteristics of SOI submicron rib waveguides using the film mode matching method. JOURNAL OF OPTICS A-PURE AND APPLIED OPTICS[J]. 2009, 11(1): http://dx.doi.org/10.1088/1464-4258/11/1/015508.
[56] 孙阳, 徐学俊, 陈少武. 载流子寿命对Si基光电子器件性能的影响. 微纳电子技术[J]. 2009, 46(6): 335-339, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=30782712.
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[58] YANG Di, YU Jinzhong, CHEN Shaowu. 一种改进的2×2 SOI Mach-Zehnder热光开关. 光子学报[J]. 2008, 37(5): 931-934, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=27364972.
[59] 陈少武. 多狭缝波导的模拟设计和实验制备. IEEE Photonic Technology Letter. 2008, [60] Liu Yan, Xu XueJun, Chen ShaoWu, Yu JinZhong. Modelling and analysis of modal behaviour in SOI slot waveguides. CHINESE PHYSICS LETTERS[J]. 2008, 25(8): 2918-2921, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=27934337.
[61] 李运涛, 余金中, 陈少武. 亚微秒SOI4×4重排无阻塞热光开关阵列. 激光与光电子学进展[J]. 2008, 27-27, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=26480066.
[62] 陈少武. 基于Si0.75Ge0.25/Si/Si0.5Ge0.5非对称超晶格结构的光调制器. Laser Physics. 2008, [63] Huang QingZhong, Yu JinZhong, Chen ShaoWu, Xu XueJun, Han WeiHua, Fan ZhongChao. Design, fabrication and characterization of a high-performance microring resonator in silicon-on-insulator. CHINESE PHYSICS B[J]. 2008, 17(7): 2562-2566, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=27748951.
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[65] Tu, Xiaoguang, Xu, Xuejun, Chen, Shaowu, Yu, Jinzhong, Wang, Qiming. Simulation demonstration and experimental fabrication of a multiple-slot waveguide. IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS[J]. 2008, 20(5-8): 333-335, http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/6548.
[66] Xu Xuejun, Chen Shaowu, Li Zhiyong, Yu Yude, Yu Jinzhong, IEEE. SOI submicron rib waveguides: Design, Fabrication and Characterization. 2008 5TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON GROUP IV PHOTONICSnull. 2008, 137-139, http://apps.webofknowledge.com/CitedFullRecord.do?product=UA&colName=WOS&SID=5CCFccWmJJRAuMzNPjj&search_mode=CitedFullRecord&isickref=WOS:000263222900048.
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发表著作
(1) 中国材料工程大典第11卷信息功能材料工程(上)第4篇:硅基异质结构材料和器件, China Materials Engineering Canon, 化学工业出版社, 2006-03, 第 4 作者
(2) 硅光子学, Silicon Photonics, 科学出版社, 2011-03, 第 2 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 半导体集成光电子器件及其基础研究, 参与, 国家级, 2014-01--2016-12
( 2 ) 用于波分复用光互连的片上多波长光源产生机理与实现方法研究, 主持, 国家级, 2015-01--2019-12
( 3 ) 基于双波长微腔激光器和非线性光纤的可调谐光频梳系统, 参与, 国家级, 2016-01--2020-12
( 4 ) 片上集成量子纠缠光源研究, 参与, 部委级, 2016-10--2021-09
( 5 ) 混合氮化硅波导的无热化色散工程, 参与, 国家级, 2018-01--2020-12
( 6 ) 近红外增强型硅基四象限探测器研究, 参与, 市地级, 2019-05--2020-12

指导学生

已指导学生

孙阳  硕士研究生  080901-物理电子学  

翟耀  硕士研究生  080901-物理电子学  

程勇鹏  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

任光辉  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

曹彤彤  硕士研究生  080901-物理电子学  

曹严梅  硕士研究生  080901-物理电子学  

张利斌  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

费永浩  博士研究生  080901-物理电子学  

边丹丹  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

雷勋  博士研究生  080901-物理电子学  

马建滨  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

现指导学生

陈凯荣  硕士研究生  080901-物理电子学  

协助指导过的博士生
屠晓光 博士研究生 080901-物理电子学
徐学俊 博士研究生 080901-物理电子学