基本信息
粟雅娟 女 微电子研究所
电子邮件:suyajuan@ime.ac.cn
通信地址:北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码:
电子邮件:suyajuan@ime.ac.cn
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研究领域
设计工艺协同优化,基于机器学习的EDA设计,计算光刻
招生信息
招收博士和硕士,希望学生有算法和编程基础,熟悉微电子设计/制造流程。
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
教育背景
2000-09--2005-07 清华大学 获得博士学位
1995-09--1998-04 电子科技大学微电子所 获得硕士学位
1991-09--1995-07 电子科技大学 获得学士学位
1995-09--1998-04 电子科技大学微电子所 获得硕士学位
1991-09--1995-07 电子科技大学 获得学士学位
学历
博士
工作经历
工作简历
2005-07--2013-03 中国科学院微电子研究所 任职
1998-04--2000-04 电子科技大学微电子所 担任教师
1998-04--2000-04 电子科技大学微电子所 担任教师
教授课程
半导体器件模型及其仿真
专利与奖励
专利成果
[1] 屈通, 韦亚一, 粟雅娟. 基于工艺窗口的冗余局部环路插入方法. CN: CN113097207A, 2021-07-09.[2] 杨双, 韦亚一, 粟雅娟. 一种集成电路中金属线温度测量方法. CN: CN110617894B, 2020-12-22.[3] 盖天洋, 韦亚一, 粟雅娟, 陈颖. 一种生成设计版图坏点检测模型的方法及检测坏点的方法. CN: CN111582309A, 2020-08-25.[4] 盖天洋, 韦亚一, 粟雅娟, 陈颖. 一种版图特征提取的超参数确定方法、装置及介质. CN: CN111539177A, 2020-08-14.[5] 王金枝, 韦亚一, 粟雅娟. 一种晶圆测试方法及装置. CN: CN111446179A, 2020-07-24.[6] 何建芳, 韦亚一, 粟雅娟, 董立松, 张利斌, 苏晓菁, 陈睿, 马玲. 一种确定光刻工艺节点禁止周期的方法及仿真方法. CN: CN111025856A, 2020-04-17.[7] 郭成, 韦亚一, 粟雅娟. 通孔层版图生成方法以及装置. CN: CN111027272A, 2020-04-17.[8] 陈睿, 韦亚一, 唐明浩, 张利斌, 马乐, 粟雅娟, 董立松, 何建芳, 王文武. 一种基板及其制备方法. CN: CN110752180A, 2020-02-04.[9] 杨双, 韦亚一, 粟雅娟. 一种金属栅温度测量方法. CN: CN110610871A, 2019-12-24.[10] 于丽贤, 韦亚一, 粟雅娟. 一种双重版图的设计方法及系统. CN: CN106339519B, 2019-10-11.[11] 粟雅娟, 贾昆鹏, 赵超, 战俊, 曹合适. 二维材料结构的制造方法和二维材料器件. CN: CN105895530B, 2019-03-19.[12] 韦亚一, 赵利俊, 粟雅娟. 一种标准单元库的优化方法及系统. CN: CN105868449B, 2019-03-15.[13] 盖天洋, 韦亚一, 粟雅娟, 陈颖. 一种版图测试图形提取方法、装置、设备及介质. CN: CN109360185A, 2019-02-19.[14] 张利斌, 粟雅娟, 韦亚一. 一种扫描电子显微图像的三维重构方法. 中国: CN105590338B, 2018-08-10.[15] 贾昆鹏, 粟雅娟, 朱慧珑, 赵超. 石墨烯结构、石墨烯器件及其制造方法. 中国: CN104779287B, 2018-02-02.[16] 贾昆鹏, 粟雅娟, 朱慧珑, 赵超. 降低二维晶体材料接触电阻的方法. 中国: CN104253015B, 2017.12.22.[17] 粟雅娟, 曹合适, 贾昆鹏, 战俊. 一种微纳机电开关及其制造方法. 中国: CN106298372A, 2017-01-04.[18] 聂鹏飞, 朱慧珑, 粟雅娟, 贾昆鹏, 杨杰. 微纳尺度静电力开关及其制造方法. 中国: CN103964364A, 2014-08-06.[19] 聂鹏飞, 粟雅娟, 朱慧珑, 赵超, 贾昆鹏, 杨杰. 互连结构及其制造方法. 中国: CN103943599A, 2014-07-23.[20] 贾昆鹏, 粟雅娟, 聂鹏飞. 石墨烯测序器件及其制造方法. 中国: CN103789204A, 2014-05-14.[21] 粟雅娟, 陈岚. 一种内建自测试装置及一种使用片上系统进行测试的系统. 中国: CN202837493U, 2013-03-27.[22] 粟雅娟, 陈岚. 一种内建自测试装置. 中国: CN102495361A, 2012-06-13.[23] 李平, 粟雅娟. 锗硅异质结低正向压降高速二极管. 中国: CN1161575, 1997-10-08.
出版信息
发表论文
[1] The Great Lakes Symposium on VLSI 2024. 2024, 通讯作者 [2] Zixi Liu, Yibo Lin, Xiaojing Su, Yajuan Su, Wei, Yayi. Automated Lithography Resolution Enhancement with Deep Learning Enabled Layout Modification during Physical Design Stage. GLSVLSI. 2024, 第 4 作者[3] Yuqin Wang, Xiaojing Su, Yajuan Su, WEI YAYI. An Automatic Insertion Scheme of Extra Via for DSA-MP Hybrid Lithography. GLSVLSI. 2024, 第 3 作者 通讯作者 [4] The Great Lakes Symposium on VLSI 2024. 2024, 通讯作者 [5] Applied Optics. 2023, 第 4 作者[6] Journal of Micro/Nanopatterning Materials, and Metrology. 2023, 第 4 作者[7] 蒲明博, 李向平, 张杨, 郑美玲, 粟雅娟, 曹耀宇, 曹暾, 徐挺, 段宣明, 冯帅, 孙玲. 芯片制造中的光学微纳加工技术前沿与挑战. 中国科学基金[J]. 2022, 第 5 作者36(3): 460-467, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7107739582.[8] Gai, Tianyang, Qu, Tong, Wang, Shuhan, Su, Xiaojing, Xu, Renren, Wang, Yun, Xue, Jing, Su, Yajuan, Wei, Yayi, Ye, Tianchun. Flexible Hotspot Detection Based on Fully Convolutional Network With Transfer Learning. IEEE TRANSACTIONS ON COMPUTER-AIDED DESIGN OF INTEGRATED CIRCUITS AND SYSTEMS[J]. 2022, 第 8 作者 通讯作者 41(11): 4626-4638, [9] Zhang, Dan, Su, Xiaojing, Chang, Hao, Xu, Hao, Wang, Xiaolei, He, Xiaobin, Li, Junjie, Zhao, Fei, Yao, Qide, Luo, Yanna, Ma, Xueli, Yang, Hong, Li, Yongliang, Wu, Zhenhua, Su, Yajuan, Yang, Tao, Wei, Yayi, Du, Anyan, Zhu, Huilong, Li, Junfeng, Yin, Huaxiang, Luo, Jun, Ye, Tianchun, Wang, Wenwu. Advanced process and electron device technology. TSINGHUA SCIENCE AND TECHNOLOGY[J]. 2022, 第 15 作者27(3): 534-558, http://dx.doi.org/10.26599/TST.2021.9010049.[10] Xiaojing Su, Yajuan Su. A novel contrast-aware SMO at 7nm technology node. SPIE. 2022, 第 2 作者 通讯作者 [11] Song, Zhen, Zhang, Libin, He, Jianfang, Liu, Lihong, Ma, Le, Su, Yajuan, Wei, Yayi. A self-aligned lithography method based on Fabry-Perot resonator effect. OPTIK[J]. 2022, 第 6 作者261: http://dx.doi.org/10.1016/j.ijleo.2022.169199.[12] Tong Qu, Yibo Lin, Zongqing Lu, Yajuan Su, Yayi Wei. Asynchronous Reinforcement Learning Framework for Net Order Exploration in Detailed Routing. IEEE/ACM Proceedings Design, Automation and Test in Eurpoe (DATE). 2021, 第 4 作者 通讯作者 [13] 屈通, 盖天洋, 王书涵, 苏晓菁, 粟雅娟, 韦亚一. VLSI详细布线算法研究进展. 微电子学与计算机[J]. 2021, 第 5 作者 通讯作者 38(11): 1-6, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7106049230.[14] Tianyang Gai, Ying Chen, Xiaojing Su, Yajuan Su, weiyayi. Hotspot Detection in Large Scale Layout with Proposal Sampling and Feature Parameters Optimization. Journal of Micro/Nanolithography[J]. 2021, 第 4 作者 通讯作者 [15] Yibo Lin, 屈通, Zongqing Lu, 粟雅娟, Yayi Wei. Asynchronous Reinforcement Learning Framework and Knowledge Transfer for Net Order Exploration in Detailed Routing. IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems[J]. 2021, 第 4 作者 通讯作者 [16] Su, Xiaojing, Shen, Dong, Wei, Yayi, Su, Yajuan, Dong, Lisong, Chen, Rui, Gai, Tianyang, Zhang, Libin. 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JOURNAL OF MICRO-NANOPATTERNING MATERIALS AND METROLOGY-JM3[J]. 2021, 第 6 作者 通讯作者 20(4): http://dx.doi.org/10.1117/1.JMM.20.4.041208.[19] Su, Xiaojing, Wei, Yayi, Chen, Rui, Su, Yajuan, Dong, Lisong, Kwanc, Joe, Zhangc, Recoo, Du, Chunshan, Wan, Qijian, Hu, Xinyi, Yuan, CM, Kim, RH. Systematic DTCO Flow for Yield Improvement at 14/12nm Technology Node. DESIGN-PROCESS-TECHNOLOGY CO-OPTIMIZATION FOR MANUFACTURABILITY XIV[J]. 2021, 第 4 作者 通讯作者 11328: [20] YingFei Wang, QingChun Zhang, Ping Li, XiaoJing Su, LiSong Dong, Rui Chen, LiBin Zhang, TianYang Gai, YaJuan Su, YaYi Wei, Tian Chun Ye. Understanding and Mitigating Stress Memorization Technique of Induced Layout Dependencies for NMOS HKMG Device. IEEE JOURNAL OF THE ELECTRON DEVICES SOCIETY[J]. 2021, 第 9 作者 通讯作者 9: 6-9, https://doaj.org/article/3269a09e61a045ebb74841b3612bc1ff.[21] Chen, Ying, Lin, Yibo, Chen, Rui, Dong, Lisong, Wu, Ruixuan, Gai, Tianyang, Ma, Le, Su, Yajuan, Wei, Yayi. EUV multilayer defect characterization via cycle-consistent learning. OPTICS EXPRESS[J]. 2020, 第 8 作者 通讯作者 28(12): 18493-18506, http://dx.doi.org/10.1364/OE.394590.[22] 粟雅娟. NC-FinFET器件的仿真研究. 微电子学. 2020, 第 1 作者 通讯作者 [23] 杨荣强, 钱雅倩, 粟雅娟, 王颖倩, 陈睿, 陈颖, 盖天洋, 郭成, 屈通, 韦亚一. NC-FinFET器件的仿真研究. 微电子学[J]. 2020, 第 3 作者50(3): 410-415, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7102277385.[24] Chen, Ying, Lin, Yibo, Gai, Tianyang, Su, Yajuan, Wei, Yayi, Pan, David Z. Semisupervised Hotspot Detection With Self-Paced Multitask Learning. IEEE TRANSACTIONS ON COMPUTER-AIDED DESIGN OF INTEGRATED CIRCUITS AND SYSTEMS[J]. 2020, 第 4 作者 通讯作者 39(7): 1511-1523, http://dx.doi.org/10.1109/TCAD.2019.2912948.[25] 粟雅娟. Design rule optimization for via layers of multiple patterning solution at 7nm technology node. Proc. 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Semi-supervised Hotspot Detection with Self-paced Multi-Task Learning. 24TH ASIA AND SOUTH PACIFIC DESIGN AUTOMATION CONFERENCE (ASP-DAC 2019). 2019, 第 4 作者420-425, http://dx.doi.org/10.1145/3287624.3287685.[30] Chen, Ying, Lin, Yibo, Dong, Lisong, Gai, Tianyang, Chen, Rui, Su, Yajuan, Wei, Yayi, Pan, David Z. SoulNet: ultrafast optical source optimization utilizing generative neural networks for advanced lithography. JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS[J]. 2019, 第 6 作者 通讯作者 18(4): http://dx.doi.org/10.1117/1.JMM.18.4.043506.[31] Gai Tianyang, Chen Ying, Gao Pengzheng, Su Xiaojing, Dong Lisong, Su Yajuan, Wei Yayi, Ye Tianchun, Cain JP. Sample patterns extraction from layout automatically based on hierarchical cluster algorithm for lithography process optimization. DESIGN-PROCESS-TECHNOLOGY CO-OPTIMIZATION FOR MANUFACTURABILITY XIII. 2019, 第 11 作者10962: [32] Su Xiaojing, Dong Lisong, Wei Yayi, Su Yajuan, Chen Rui, Du Chunshan, Cain JP. 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Evaluation of PMMA Residues as a Function of Baking Temperature and a Graphene Heat-Free-Transfer Process to Reduce Them. ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TEHCHNOLOGY[J]. 2016, 第 6 作者http://159.226.55.106/handle/172511/16197.[45] Duan, Yingli, Su, Xiaojing, Chen, Ying, Su, Yajuan, Shao, Feng, Zhang, Recco, Lei, Junjiang, Wei, Yayi, Capodieci, L, Cain, JP. Design Technology Co-optimization for 14/10nm Metal1 Double Patterning Layer. DESIGN-PROCESS-TECHNOLOGY CO-OPTIMIZATION FOR MANUFACTURABILITY X. 2016, 第 4 作者9781: http://dx.doi.org/10.1117/12.2218711.[46] 于丽贤, 粟雅娟. 一种新型双重图形技术拆分方法. 《微纳电子技术》[J]. 2016, 第 2 作者53(4): 259-264, http://159.226.55.106/handle/172511/16226.[47] 粟雅娟. Evaluation of PMMA residues as a function of baking temperature and a novel graphene heat-free-transfer process to reduce them. ECS, Solid State Sci. Technol. 2016, 第 1 作者 通讯作者 [48] Jia, Kunpeng, Su, Yajuan, Zhan, Jun, Shahzad, Kashif, Zhu, Huilong, Zhao, Chao, Luo, Jun. Enhanced End-Contacts by Helium Ion Bombardment to Improve Graphene-Metal Contacts. NANOMATERIALS[J]. 2016, 第 2 作者 通讯作者 6(9): http://159.226.55.106/handle/172511/16193.[49] 于丽贤, 韦亚一, 粟雅娟, 苏晓菁, 宋之洋, 郭沫然, 段英丽. Effective solution for the 14nm node multiple patterning lithography. 2016, 第 3 作者http://159.226.55.106/handle/172511/16342.[50] Jia, Kunpeng, Luo, Jun, Hu, Rongyan, Zhan, Jun, Cao, Heshi, Su, Yajuan, Zhu, Huilong, Xie, Ling, Zhao, Chao, Chen, Dapeng, Ye, Tianchun. Evaluation of PMMA Residues as a Function of Baking Temperature and a Graphene Heat-Free-Transfer Process to Reduce Them. ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY[J]. 2016, 第 6 作者5(3): P138-P141, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000373206700005.[51] Duan Yingli, Su Xiaojing, Chen Ying, Su Yajuan. 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科研活动
科研项目
(1) 面向低功耗数字电路应用的多晶锗硅纳机电开关研究,主持,国家级,2012-10--2016-12
(2) 集成电路IP核通用技术要求,参与,部委级,2011-06--2013-12
(3) 圆晶级石墨烯电子材料与器件研究,参与,国家级,2011-01--2014-12
(4) 低功耗器件建模与集成电路,主持,国家级,2010-10--2016-12
(5) DFM工具实用化及DFM建库技术,参与,国家级,2009-08--2013-12
(6) 22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设,参与,国家级,2009-01--2013-11
(2) 集成电路IP核通用技术要求,参与,部委级,2011-06--2013-12
(3) 圆晶级石墨烯电子材料与器件研究,参与,国家级,2011-01--2014-12
(4) 低功耗器件建模与集成电路,主持,国家级,2010-10--2016-12
(5) DFM工具实用化及DFM建库技术,参与,国家级,2009-08--2013-12
(6) 22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设,参与,国家级,2009-01--2013-11