宋源 男 硕导 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件： songyuan@ciomp.ac.cn
通信地址： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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研究领域
1）EUV多层膜光学元件表面污染清洗关键技术；
2）同步辐射光束线光学设计及装备研制关键技术。
招生信息
招生专业
080300-光学工程
招生方向
EUV 多层膜光学元件表面污染清洗技术
同步辐射光束线关键技术
同步辐射光束线关键技术
教育背景
2014-01--2017-01 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 博士研究生
2011-09--2014-01 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 硕士研究生
2007-09--2011-06 贵州大学 理学学士
2011-09--2014-01 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 硕士研究生
2007-09--2011-06 贵州大学 理学学士
工作经历
工作简历
2022-10~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
2017-04~2022-10,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员
2017-04~2022-10,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员
专利与奖励
专利成果
（ 1 ） 振动控制方法, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114185263.A
（ 2 ） 振动控制装置及其控制方法, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114035626A
（ 3 ） 一种双驱动非等力矩的压弯装置和压弯方法, 发明专利, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN113526852A
（ 4 ） 一种在线分析面粉样品的装置和方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113231336A
（ 5 ） 一种高效收集EUV光的多层膜光学元件碳污染实验装置, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111257232A
（ 6 ） 一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN111258340B
（ 7 ） 一种真空条件下光学元件多自由度精密定位装置, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111273418A
（ 8 ） X射线波长扫描光学元件极限运动位置探测和保护装置, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN110989480B
（ 9 ） X射线真空设备中冷却循环系统用低真空保护与监测装置, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN111022804B
（ 10 ） 用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置, 专利授权, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN110618516A
（ 11 ） 一种静态傅里叶光谱装置, 发明专利, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107817049A
（ 12 ） 用于曲面镜反射率测量的夹持装置, 发明专利, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106596403A
（ 13 ） 一种EUV反射镜清洗装置, 发明专利, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN104874569A
（ 14 ） EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104934278A
（ 15 ） 用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104226637A
（ 2 ） 振动控制装置及其控制方法, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114035626A
（ 3 ） 一种双驱动非等力矩的压弯装置和压弯方法, 发明专利, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN113526852A
（ 4 ） 一种在线分析面粉样品的装置和方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113231336A
（ 5 ） 一种高效收集EUV光的多层膜光学元件碳污染实验装置, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111257232A
（ 6 ） 一种流量稳定的EUV碳污染实验气体供气装置, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN111258340B
（ 7 ） 一种真空条件下光学元件多自由度精密定位装置, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN111273418A
（ 8 ） X射线波长扫描光学元件极限运动位置探测和保护装置, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN110989480B
（ 9 ） X射线真空设备中冷却循环系统用低真空保护与监测装置, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN111022804B
（ 10 ） 用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置, 专利授权, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN110618516A
（ 11 ） 一种静态傅里叶光谱装置, 发明专利, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN107817049A
（ 12 ） 用于曲面镜反射率测量的夹持装置, 发明专利, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106596403A
（ 13 ） 一种EUV反射镜清洗装置, 发明专利, 2015, 第 5 作者, 专利号: CN104874569A
（ 14 ） EUV光源放电电极的液态金属高效冷却方法与装置, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104934278A
（ 15 ） 用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN104226637A
出版信息
发表论文
[1] Kewei Chai, Qipeng Lu, Yuan Song, Xuepeng Gong, Ao Li, Zhen Zhang. Detection of carbon contamination in EUV multilayer mirrors based on secondary electrons. VACUUM[J]. 2024, 第 3 作者 通讯作者 221: http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.112869.
[2] Bai, Yang, Gong, Xuepeng, Lu, Qipeng, Song, Yuan, Zhu, Wanqian, Xue, Song, Wang, Dazhuang, Peng, Zhongqi, Zhang, Zhen. Application of adaptive filtering algorithm to the stability problem for double crystal monochromator. Part I: Typical filtering algorithms. NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT[J]. 2023, 第 4 作者1048(null):
[3] Bai Yang, Gong Xuepeng, Lu Qipeng, Song Yuan, Wang Dazhuang. A new active vibration control method of double crystal monochromator based on FuLMS-ADRC hybrid algorithm. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment[J]. 2022, 第 4 作者
[4] Yuan Song, Qipeng Lu, Xuepeng Gong, Dazhuang Wang, Zhen Zhang, Bo Yu, Shun Yao, Qijun Mao, Tianyu Ma, Yang Bai. Study on the characteristics of atomic hydrogen cleaning carbon contamination on multilayers. VACUUM[J]. 2022, 第 1 作者196:
[5] 卢启鹏, 王动民, 宋源, 丁海泉, 高洪智. 波长漂移对近红外光谱PLSR分析模型的影响. 光谱学与光谱分析[J]. 2022, 第 3 作者 通讯作者 42(2): 405-409, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7106495959.
[6] Wu Jiaxing, Gong Xuepeng, Song Yuan, Chen Jiahua, Zhu Wanqian, Liu Yun, Fan Yichen, Jin Limin. Improvement of the performance of a cryo-cooled monochromator at SSRF. Part II: Angular stability of the exit beam. NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT[J]. 2021, 第 3 作者988: http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2020.164872.
[7] Wu Jiaxing, Gong Xuepeng, Song Yuan, Chen Jiahua, Zhu Wanqian, Fan Yichen, Qin Hongliang, Jin Limin. Improvement of the performance of a cryo-cooled monochromator at SSRF. Part I: Double-crystal parallelism. NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT[J]. 2021, 第 3 作者985: http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2020.164654.
[8] Bai Yang, Gong Xuepeng, Lu Qipeng, Song Yuan, Wang Dazhuang, Peng Zhongqi, Zhang Zhen, Mao Qijun, Ma Tianyu. Active vibration control method of double crystal monochromator of P2 protein crystallography beam line at SSRF. NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT[J]. 2021, 第 4 作者1019: http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2021.165906.
[9] 赵晨行, 卢启鹏, 宋源, 龚学鹏, 王依, 徐彬豪. 自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析. 中国光学[J]. 2020, 第 3 作者13(4): 787-794, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7102479394.
[10] Wang, Yi, Lu, QiPeng, Gao, YunGuo, Gong, XuePeng, Song, Yuan. Enhanced removal of X-ray-induced carbon contamination using radio-frequency Ar/H-2 plasma. NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES[J]. 2019, 第 5 作者30(2): 26, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7001554654.
[11] Yi Wang, QiPeng Lu, YunGuo Gao, XuePeng Gong, Yuan Song. Enhanced removal of X-ray-induced carbon contamination using radio-frequency Ar/H2 plasma. 核技术:英文版[J]. 2019, 第 5 作者30(2): 61-69, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7001554654.
[12] Gong Xuepeng, Lu Qipeng, Wang Yi, Song Yuan. Mechanical design and finite element analyses of surface bending mechanism for X-ray optics. PRECISION ENGINEERING. 2018, 第 4 作者53: 107-119, http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2018.03.005.
[13] Gong Xuepeng, Lu Qipeng, Wang Yi, Song Yuan. Mechanical design and finite element analyses of surface bending mechanism for X-ray optics. PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY[J]. 2018, 第 4 作者53: 107-119, http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2018.03.005.
[14] 李晚侠, 卢启鹏, 宋源, 于新洋. 基于双直角分束器的反射式静态傅里叶光谱仪光学系统. 光学学报[J]. 2017, 第 3 作者37(8): 184-190,
[15] 宋源, 卢启鹏, 龚学鹏, 王依, 彭忠琦. 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗. 光学精密工程[J]. 2017, 第 1 作者25(11): 2835-2844, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7000410013.
[16] Gong Xuepeng, Lu Qipeng, Song Yuan. Mechanical design and performance evaluation of KB mirror system for the ARPES beamline at SSRF. PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY[J]. 2016, 第 3 作者46: 166-176, http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2016.04.011.
[17] Lu Qipeng, Song Yuan, Gong Xuepeng, Ma Lei. Key technologies and the performance measuring methods in variable included angle plane grating monochromator. CHINESE OPTICS[J]. 2016, 第 2 作者9(2): 284-295,
[18] Song, Yuan, Lu, Qipeng, Gong, Xuepeng. Mechanismand model of atomic hydrogen cleaning for different types of carbon contamination on extreme ultraviolet multilayers. THIN SOLID FILMS[J]. 2016, 第 1 作者612: 96-100, http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2016.06.002.
[19] 卢启鹏, 宋源, 龚学鹏, 马磊. 极高分辨变包含角平面光栅单色器关键技术及检测方法研究. 中国光学[J]. 2016, 第 2 作者9(2): 284-297, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=668433015.
[20] 宋源, 卢启鹏, 彭忠琦, 龚学鹏. 前置平面镜热负载对变包含角平面光栅单色器分辨率的影响. 中国光学[J]. 2014, 第 1 作者7(1): 105-111, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=48568922.
[21] Sasa Gao, Hongzhe Zhai, Wenjie Zhang, Yuan Song, Jie Yang, Xuepeng Gong, Qipeng Lu. Numerical study of the influence of two-phase flow with different inlet velocities on the angular stability of double crystal monochromator. NUCLEAR INST. AND METHODS IN PHYSICS RESEARCH, A. 第 4 作者http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2024.169144.
[2] Bai, Yang, Gong, Xuepeng, Lu, Qipeng, Song, Yuan, Zhu, Wanqian, Xue, Song, Wang, Dazhuang, Peng, Zhongqi, Zhang, Zhen. Application of adaptive filtering algorithm to the stability problem for double crystal monochromator. Part I: Typical filtering algorithms. NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT[J]. 2023, 第 4 作者1048(null):
[3] Bai Yang, Gong Xuepeng, Lu Qipeng, Song Yuan, Wang Dazhuang. A new active vibration control method of double crystal monochromator based on FuLMS-ADRC hybrid algorithm. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment[J]. 2022, 第 4 作者
[4] Yuan Song, Qipeng Lu, Xuepeng Gong, Dazhuang Wang, Zhen Zhang, Bo Yu, Shun Yao, Qijun Mao, Tianyu Ma, Yang Bai. Study on the characteristics of atomic hydrogen cleaning carbon contamination on multilayers. VACUUM[J]. 2022, 第 1 作者196:
[5] 卢启鹏, 王动民, 宋源, 丁海泉, 高洪智. 波长漂移对近红外光谱PLSR分析模型的影响. 光谱学与光谱分析[J]. 2022, 第 3 作者 通讯作者 42(2): 405-409, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7106495959.
[6] Wu Jiaxing, Gong Xuepeng, Song Yuan, Chen Jiahua, Zhu Wanqian, Liu Yun, Fan Yichen, Jin Limin. Improvement of the performance of a cryo-cooled monochromator at SSRF. Part II: Angular stability of the exit beam. NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT[J]. 2021, 第 3 作者988: http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2020.164872.
[7] Wu Jiaxing, Gong Xuepeng, Song Yuan, Chen Jiahua, Zhu Wanqian, Fan Yichen, Qin Hongliang, Jin Limin. Improvement of the performance of a cryo-cooled monochromator at SSRF. Part I: Double-crystal parallelism. NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT[J]. 2021, 第 3 作者985: http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2020.164654.
[8] Bai Yang, Gong Xuepeng, Lu Qipeng, Song Yuan, Wang Dazhuang, Peng Zhongqi, Zhang Zhen, Mao Qijun, Ma Tianyu. Active vibration control method of double crystal monochromator of P2 protein crystallography beam line at SSRF. NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT[J]. 2021, 第 4 作者1019: http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2021.165906.
[9] 赵晨行, 卢启鹏, 宋源, 龚学鹏, 王依, 徐彬豪. 自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析. 中国光学[J]. 2020, 第 3 作者13(4): 787-794, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7102479394.
[10] Wang, Yi, Lu, QiPeng, Gao, YunGuo, Gong, XuePeng, Song, Yuan. Enhanced removal of X-ray-induced carbon contamination using radio-frequency Ar/H-2 plasma. NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES[J]. 2019, 第 5 作者30(2): 26, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7001554654.
[11] Yi Wang, QiPeng Lu, YunGuo Gao, XuePeng Gong, Yuan Song. Enhanced removal of X-ray-induced carbon contamination using radio-frequency Ar/H2 plasma. 核技术:英文版[J]. 2019, 第 5 作者30(2): 61-69, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7001554654.
[12] Gong Xuepeng, Lu Qipeng, Wang Yi, Song Yuan. Mechanical design and finite element analyses of surface bending mechanism for X-ray optics. PRECISION ENGINEERING. 2018, 第 4 作者53: 107-119, http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2018.03.005.
[13] Gong Xuepeng, Lu Qipeng, Wang Yi, Song Yuan. Mechanical design and finite element analyses of surface bending mechanism for X-ray optics. PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY[J]. 2018, 第 4 作者53: 107-119, http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2018.03.005.
[14] 李晚侠, 卢启鹏, 宋源, 于新洋. 基于双直角分束器的反射式静态傅里叶光谱仪光学系统. 光学学报[J]. 2017, 第 3 作者37(8): 184-190,
[15] 宋源, 卢启鹏, 龚学鹏, 王依, 彭忠琦. 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗. 光学精密工程[J]. 2017, 第 1 作者25(11): 2835-2844, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7000410013.
[16] Gong Xuepeng, Lu Qipeng, Song Yuan. Mechanical design and performance evaluation of KB mirror system for the ARPES beamline at SSRF. PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY[J]. 2016, 第 3 作者46: 166-176, http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2016.04.011.
[17] Lu Qipeng, Song Yuan, Gong Xuepeng, Ma Lei. Key technologies and the performance measuring methods in variable included angle plane grating monochromator. CHINESE OPTICS[J]. 2016, 第 2 作者9(2): 284-295,
[18] Song, Yuan, Lu, Qipeng, Gong, Xuepeng. Mechanismand model of atomic hydrogen cleaning for different types of carbon contamination on extreme ultraviolet multilayers. THIN SOLID FILMS[J]. 2016, 第 1 作者612: 96-100, http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2016.06.002.
[19] 卢启鹏, 宋源, 龚学鹏, 马磊. 极高分辨变包含角平面光栅单色器关键技术及检测方法研究. 中国光学[J]. 2016, 第 2 作者9(2): 284-297, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=668433015.
[20] 宋源, 卢启鹏, 彭忠琦, 龚学鹏. 前置平面镜热负载对变包含角平面光栅单色器分辨率的影响. 中国光学[J]. 2014, 第 1 作者7(1): 105-111, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=48568922.
[21] Sasa Gao, Hongzhe Zhai, Wenjie Zhang, Yuan Song, Jie Yang, Xuepeng Gong, Qipeng Lu. Numerical study of the influence of two-phase flow with different inlet velocities on the angular stability of double crystal monochromator. NUCLEAR INST. AND METHODS IN PHYSICS RESEARCH, A. 第 4 作者http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2024.169144.
科研活动
科研项目
（ 1 ） 基于原子氢的极紫外多层膜表面碳污染原位高效清洗方法研究, 负责人, 国家任务, 2022-01--2024-12
（ 2 ） 聚焦镜高稳定性集成和精密运动控制, 参与, 国家任务, 2023-12--2028-11
（ 3 ） 长春光机所“曙光人才”计划, 负责人, 研究所自主部署, 2023-08--2026-08
（ 4 ） 复杂干扰因素下具备面形精度保持特性的高动力学性能X射线高端双晶单色器关键技术研究, 参与, 国家任务, 2024-01--2027-12
（ 2 ） 聚焦镜高稳定性集成和精密运动控制, 参与, 国家任务, 2023-12--2028-11
（ 3 ） 长春光机所“曙光人才”计划, 负责人, 研究所自主部署, 2023-08--2026-08
（ 4 ） 复杂干扰因素下具备面形精度保持特性的高动力学性能X射线高端双晶单色器关键技术研究, 参与, 国家任务, 2024-01--2027-12