基本信息
史丽娜  女  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: shilina@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号A711
邮政编码: 100029

研究领域

纳米光子学器件设计,制作和测试

招生信息

招收硕士生1名

招生专业
140100-集成电路科学与工程
080300-光学工程
080903-微电子学与固体电子学
招生方向
超表面
超表面及其在先进光刻中的应用
超表面及其在光电传感中的应用

教育背景

2002-09--2007-06   武汉大学物理科学与技术学院   博士研究生
1998-09--2002-06   武汉大学物理科学与技术学院   学士
学历
博士

学位
博士

工作经历

   
工作简历
2011-09~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2009-11~2011-09,中国科学院微电子研究所, 助理研究员
2007-09~2009-09,加拿大蒙特利尔大学工学院, 博士后

专利与奖励

   
专利成果
( 1 ) 防伪结构、防伪结构的制备方法和芯片, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113763801A

( 2 ) 显色结构、显色结构的制备方法和防伪标识, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113744620A

( 3 ) 一种染料激光器及其制备方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113381287A

( 4 ) 一种硅纳米结构的制备方法及激光器, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113363150A

( 5 ) 一种基于硅纳米结构的高分辨率结构色超表面及制备方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113013630A

( 6 ) 结构色功能纳米结构及其制备方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112850638A

( 7 ) 基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN111443482B

( 8 ) 基于硅纳米柱的结构色成像结构、测试系统及制备方法, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111426686A

( 9 ) 纳米结构阵列及其制备方法和含其的色散仪, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111239077A

( 10 ) 一种比色传感器及其制作方法及其测试系统, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN110632063A

( 11 ) 一种基于单根硅线的增益辅助超共振, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109870765A

( 12 ) 一种含增益辅助的硅双线系统, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109917512A

( 13 ) 使用金属诱导自掩模刻蚀工艺制作石英表面抗反层的方法, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109856706A

( 14 ) 一种相位型衍射光栅, 专利授权, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109212641A

( 15 ) 一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109160483A

( 16 ) 一种单极涡旋光栅, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN108931829B

( 17 ) 一种用于极紫外的二维单级衍射光栅, 专利授权, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106959482A

( 18 ) 一种极紫外单级衍射光栅, 专利授权, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106646710A

( 19 ) 一种极紫外高级抑制衍射光栅, 发明专利, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107045156A

( 20 ) 一种衍射光栅, 专利授权, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106772732A

( 21 ) 一种透射光栅, 专利授权, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106597588A

( 22 ) 一种透射光栅, 专利授权, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106094086A

( 23 ) 一种单级衍射光栅, 专利授权, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106094087A

( 24 ) 大高宽比纳米级金属结构的制作方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN106094445A

( 25 ) 极紫外多层膜反射式单级衍射光栅, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN106094084A

( 26 ) 电子束光刻对准标记在芯片上的布局, 发明专利, 2015, 第 9 作者, 专利号: CN104932212A

( 27 ) 一种基于自支撑光栅结构的传感器及其制备方法, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103543128A

( 28 ) 极紫外光刻掩模缺陷检测系统, 发明专利, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN103424985A

( 29 ) 极紫外光刻掩模缺陷检测系统, 发明专利, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN103365073A

( 30 ) 基于导波共振的传感器及传感器测试系统, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN105044029A

( 31 ) 基于导波共振的传感器及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103245635A

( 32 ) 一种制作用于极紫外光刻的铬侧墙衰减型移相掩模的方法, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103163726A

( 33 ) 生物传感器及其制造方法、生物传感器测试系统, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103105378A

( 34 ) 表面等离子体共振样品台及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103018167A

( 35 ) 光子筛及其制作方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103018808A

( 36 ) 表面等离子体增强对称结构及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103018800A

( 37 ) 一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法, 发明专利, 2013, 第 5 作者, 专利号: CN103018806A

( 38 ) 一种基于周期性纳米介质颗粒的生物传感器及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN102954950A

( 39 ) 复合光子筛投影式光刻系统, 发明专利, 2011, 第 6 作者, 专利号: CN102289157A

( 40 ) 一种基于周期性纳米结构的生物传感器及其制备方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102798615A

( 41 ) 一种偶次级透射光栅, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102736152A

( 42 ) 基于纳米岛衬底制备大高宽比X射线衍射光学元件的方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102683167A

( 43 ) 一种基于湿法腐蚀制备位相型衍射光学元件的方法, 发明专利, 2012, 第 5 作者, 专利号: CN102681335A

( 44 ) 制备大高宽比衍射光学元件的方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102608863A

( 45 ) 一种大高宽比衍射光学元件的制作方法, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102466967A

( 46 ) 一种基于介质纳米结构的拓扑边缘态波导及其制造方法, 发明专利, 2024, 第 2 作者, 专利号: 2022101512552

( 47 ) Method for Fabricating Anti-reflective Layer on Quartz Surface by Using Metal-induced Self-masking Etching Technique, 发明专利, 2025, 第 1 作者, 专利号: US12287454B2

出版信息

   
发表论文
(1) Arbitrary hue-brightness structural colors with high saturation generated by anisotropic metasurfaces, Photonics Research, 2025, 第 10 作者  通讯作者
(2) Lasing action assisted by bound states in the continuum in a silicon metasurface, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2024, 第 9 作者  通讯作者
(3) Observation of Dual-Polarization Topological Photonic States at Optical Frequencies, LASER & PHOTONICS REVIEWS, 2023, 第 6 作者  通讯作者
(4) Low-threshold lasing from bound states in the continuum with dielectric metasurfaces, OPTICS LETTERS, 2023, 第 9 作者  通讯作者
(5) Geometrical Theory of Electromagnetic Nonreciprocity, Physical Review Letters, 2023, 第 2 作者
(6) High-Saturation Full-Color Printing with All-Dielectric Chiral Metasurfaces, ACS APPLIED OPTICAL MATERIALS, 2023, 第 11 作者  通讯作者
(7) Controlling brightness in full color nanoprinting by all-dielectric metasurfaces, Applied Physics Letters, 2023, 第 8 作者  通讯作者
(8) Fundamental correction of self-absorption effect on the element concentration measurement in laser induced plasmas, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2023, 第 3 作者  通讯作者
(9) Mie Resonances Enabled Subtractive Structural Colors with Low-Index-Contrast Silicon Metasurfaces, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2022, 第 7 作者  通讯作者
(10) Deep Subwavelength Wide-Angle Structural Colors at the Single Pixel Level, Adv. Optical Mater., 2022, 第 1 作者  通讯作者
(11) Low threshold lasing from silicon Mie resonators, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2022, 第 7 作者  通讯作者
(12) Lasing action in a strongly coupled silicon nanowire pair, OPTICS LETTERS, 2022, 第 5 作者  通讯作者
(13) The phonon scattering mechanism and its effect on the temperature dependent thermal and thermoelectric properties of a silver nanowire, PHYSICAL CHEMISTRY CHEMICAL PHYSICS, 2022, 第 2 作者
(14) LIGHT of pulmonary NKT cells annihilates tissue protective alveolar macrophages in augmenting severe influenza pneumonia, Science Bulletin, 2021, 第 1 作者
(15) The self-absorption temporal evolution of spectral lines emitted from laser-induced plasmas, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2021, 第 3 作者
(16) Full-color enhanced second harmonic generation using rainbow trapping in ultrathin hyperbolic metamaterials, NATURE COMMUNICATIONS, 2021, 第 3 作者
(17) Bright Field Structural Colors in Silicon-on-Insulator Nanostructures, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2021, 第 7 作者  通讯作者
(18) Ultra-Broadband High-Efficiency Airy Optical Beams Generated with All-Silicon Metasurfaces, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2021, 第 3 作者
(19) 非晶层占比对TEM样品成像的影响, Effect of the Proportion of the Amorphous Layer on the Imaging of TEM Samples, 半导体技术, 2020, 第 5 作者
(20) Proposed a self-absorption internal standard model to detect element concentrations of complex constituent material with a single emission line of element in laser plasmas, OPTICS EXPRESS, 2020, 第 2 作者
(21) Complete Control of Multichannel, Angle-Multiplexed, and Arbitrary Spatially Varying Polarization Fields, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2020, 第 6 作者
(22) Second-Order Topological Photonic Modes in Dipolar Arrays, ACS PHOTONICS, 2020, 第 3 作者
(23) High-efficiency V-shaped phase gratings to suppress high order diffractions, AIP ADVANCES, 2019, 第 4 作者  通讯作者
(24) Metric-Torsion Duality of Optically Chiral Structures, PHYSICAL REVIEW LETTERS, 2019, 第 2 作者
(25) Multichannel Spatially Nonhomogeneous Focused Vector Vortex Beams for Quantum Experiments, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2019, 
(26) Effects of structure parameters on high-order diffraction suppression of quasi-periodic gratings, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS, 2018, 第 3 作者  通讯作者
(27) Two-dimensional gratings of hexagonal holes for high order diffraction suppression, OPTICS EXPRESS, 2017, 第 2 作者  通讯作者
(28) High order diffraction suppression by quasiperiodic two-dimensional gratings, OPTICAL MATERIALS EXPRESS, 2017, 第 2 作者  通讯作者
(29) High-order Suppression of Quasi-triangle Array Transmission Gratings, 2017, 第 1 作者
(30) 大高宽比硬X射线波带片制作及聚焦测试, Fabrication and focusing test of hard X-ray zone plates with high aspect ratio, 光学精密工程, 2017, 第 2 作者
(31) Zigzag grating with quasi-random array for single order, 2017, 第 3 作者
(32) Higher-order diffraction suppression of free-standing quasiperiodic nanohole arrays in the x-ray region, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2017, 第 2 作者
(33) Fabrication of ultra-high aspect ratio (>160:1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching, J. MICROMECH. MICROENG, 2017, 第 2 作者
(34) Fabrication of ultra-high aspect ratio (> 160: 1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017, 第 3 作者
(35) The Quasi-Triangle Array of Rectangular Holes with the Completely, 2017, 第 4 作者
(36) High order diffraction suppression of the membrane with hexagonal hole array, PHOTOPTICS, 2017, 第 5 作者
(37) Coriolis effect and spin Hall effect of light in an inhomogeneous chiral medium, OPTICS LETTERS, 2016, 第 2 作者  通讯作者
(38) High Q Plasmonic Lasing of Band Edge Modes in an Asymmetry Environment, PLASMONICS, 2015, 第 1 作者
(39) Omnidirectional diffraction control with rotational topological defects, OPTICS EXPRESS, 2015, 第 1 作者  通讯作者
(40) Screw split ring resonator as building block of three-dimensional chiral metamaterials, PHYSICS LETTERS A, 2014, 第 3 作者
(41) A surface plasmon resonance biosensor based on gold nanoparticle array, OPTICS COMMUNICATIONS, 2013, 第 2 作者  通讯作者
(42) 32 nm节点极紫外光刻掩模的集成研制, 光学学报, 2013, 第 3 作者
(43) Fabrication of x-ray diffractive optical elements for laser fusion applications, OPTICAL ENGINEERING, 2013, 第 6 作者
(44) Toward two-dimensional nanometer resolution hard X-ray differential-interference-contrast imaging using modified photon sieves, OPTICS LETTERS, 2012, 第 4 作者
(45) Enhanced optical transmission through asymmetric nanostructured gold films, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS, 2012, 第 1 作者
(46) Determination of guided-mode resonances in photonic crystal slabs, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS, 2012, 第 2 作者
(47) Resonance in a sub-wavelength metal-dielectric free-standing grating utilized for gas sensors, OPTICS COMMUNICATIONS, 2012, 第 2 作者  通讯作者
(48) Evolution of modes of Fabry-Perot cavity based on photonic crystal guided-mode resonance mirrors, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS, 2012, 第 2 作者
(49) 微纳金属光学结构制备技术及应用, Micro-and Nano-Metal Structures Fabrication Technology and Applications, 光学学报, 2011, 第 8 作者
(50) Feasibility study of hard-x-ray nanofocusing above 20 keV using compound photon sieves, OPTICS LETTERS, 2010, 第 4 作者
(51) Spiral photon sieves apodized by digital prolate spheroidal window for the generation of hard-x-ray vortex, OPTICS LETTERS, 2010, 第 3 作者
(52) Tunable structures comprising two photonic crystal slabs - optical study in view of multi-analyte enhanced detection, OPTICS EXPRESS, 2009, 第 1 作者  通讯作者
(53) Spectral, amplitude and phase sensitivity of a plasmonic gas sensor in a metallic photonic crystal slab geometry: Comparison of the near and far field phase detection strategies, SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2009, 第 1 作者
(54) Guided-mode resonance photonic crystal slab sensors based on bead monolayer geometry, OPTICS EXPRESS, 2008, 第 1 作者  通讯作者
(55) Vertical cavity-surface emitting photonic crystal surface-mode lasers, APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS, 2008, 
(56) The spatial coherence properties of the spontaneous emission in the one-dimensional strong random system with gain, PHYSICA E-LOW-DIMENSIONAL SYSTEMS & NANOSTRUCTURES, 2007, 第 1 作者  通讯作者
(57) Effects induced by Mie resonance in two-dimensional photonic crystals, JOURNALOFPHYSICSCONDENSEDMATTER, 2007, 第 1 作者
(58) Correlation of spontaneous emission in a one-dimensional random medium with Anderson localization, PHYSICAL REVIEW B, 2007, 第 3 作者
(59) Effects induced by Mie resonance in two dimentional photonic crystal, Journal of Physics: Condensed Matter, 2007, 第 1 作者
(60) A Novel Nano-Grating Structure of Polarizing Beam Splitters, A Novel Nano-Grating Structure of Polarizing Beam Splitters, Chinese Physics Letters, 2006, 第 5 作者
(61) Negative refraction of two-dimension photonic crystal, CHINESE JOURNAL OF QUANTUM ELECTRONICS, 2006, 第 1 作者
(62) The comparison of modes at flat bands in 2D photonic crystals and resonant modes of the single cylinder, OPTICS COMMUNICATIONS, 2006, 第 1 作者  通讯作者
(63) Design and fabrication of metal-wire nanograting used as polarizing beam splitter in optical telecommunication, JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS, 2006, 
(64) The Hamiltonian theory of Landau-Lifschitz equation and the gauge transformations, ACTA PHYSICA SINICA, 2005, 
(65) Hamiltonian formalism of the Landau-Lifschitz equation for a spin chain with an easy plane, INTERNATIONAL JOURNAL OF THEORETICAL PHYSICS, 2004, 
(66) Gauge Transformation and Conservation Laws of Landau--Lifschitz Equation for a Spin Chain, Gauge Transformation and Conservation Laws of Landau���Lifschitz Equation for a Spin Chain, Chinese Physics Letters, 2004, 第 4 作者
(67) Conservation Laws in Sine-Gordon Equation, Conservation Laws in sine-Gordon Equation, Chinese Physics Letters, 2003, 第 1 作者
发表著作
(1) 金属超材料的群速度, The Group Velocity Picture of Metamaterial Systems, InTech, 2012-05, 第 5 作者
(2) Two Dimensional Gratings of Connected Holes for High Order Diffraction Suppression, Springer, 2019-07, 第 1 作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 基于亚10纳米加工集成技术的193纳米光刻机反常偏振纳米器件, 负责人, 国家任务, 2024-12--2029-11
( 2 ) 基于AI的模拟电路器件级建模技术研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2023-12
( 3 ) 硅纳米柱阵列的连续谱中束缚态研究及传感应用, 负责人, 国家任务, 2019-01--2022-12
( 4 ) 相位型单级衍射光栅的研究, 负责人, 研究所自主部署, 2017-06--2018-06
( 5 ) 微电子器件表面特征参数测量, 负责人, 国家任务, 2014-01--2018-12
( 6 ) 金属光子晶体平板生物传感器设计, 负责人, 国家任务, 2013-01--2014-12
( 7 ) 高频脉冲电镀系统, 参与, 中国科学院计划, 2012-12--2014-12
( 8 ) 自支撑薄膜上金纳米颗粒阵列的共有化表面等离子体共振研究, 负责人, 国家任务, 2012-01--2014-12
( 9 ) 衍射光学元件衍射特性, 参与, 中国科学院计划, 2012-01--2014-12
( 10 ) 极紫外光刻掩模技术, 参与, 国家任务, 2009-01--2015-12
参与会议
(1)High Q plasmonic lasing of band edge modes   Lina Shi   2016-03-29
(2)A guided-mode resonance based wideband reflector at visible wavelengths   Lina Shi   2015-10-28
(3)Plasmon lasing action in a gain-assisted silver grating film geometry   Li-Na Shi   2014-08-25
(4)Sharp resonances in gold nanoparticle arrays embedded in the transparent film   Lina Shi, Hailiang Li, Yuchan Du, Xiaoli Zhu and Changqing Xie   2011-05-22

指导学生

已指导学生

李龙杰  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

党鹏  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

王冲  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

胡劲宇  硕士研究生  085400-电子信息  

张藜月  硕士研究生  085400-电子信息  

刘子维  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陈生琼  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李龙杰  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

段胜超  硕士研究生  085400-电子信息  

李斌  硕士研究生  085400-电子信息  

杨斌  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学