纳米光子学器件设计，制作和测试

招收硕士生1名

140100-集成电路科学与工程
080300-光学工程
080903-微电子学与固体电子学

超表面
超表面及其在先进光刻中的应用
超表面及其在光电传感中的应用

2002-09--2007-06   武汉大学物理科学与技术学院   博士研究生
1998-09--2002-06   武汉大学物理科学与技术学院   学士

博士

博士

   

2011-09~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2009-11~2011-09,中国科学院微电子研究所, 助理研究员
2007-09~2009-09,加拿大蒙特利尔大学工学院, 博士后

   

（ 1 ） 防伪结构、防伪结构的制备方法和芯片, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113763801A

（ 2 ） 显色结构、显色结构的制备方法和防伪标识, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113744620A

（ 3 ） 一种染料激光器及其制备方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113381287A

（ 4 ） 一种硅纳米结构的制备方法及激光器, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113363150A

（ 5 ） 一种基于硅纳米结构的高分辨率结构色超表面及制备方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113013630A

（ 6 ） 结构色功能纳米结构及其制备方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN112850638A

（ 7 ） 基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN111443482B

（ 8 ） 基于硅纳米柱的结构色成像结构、测试系统及制备方法, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111426686A

（ 9 ） 纳米结构阵列及其制备方法和含其的色散仪, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN111239077A

（ 10 ） 一种比色传感器及其制作方法及其测试系统, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN110632063A

（ 11 ） 一种基于单根硅线的增益辅助超共振, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109870765A

（ 12 ） 一种含增益辅助的硅双线系统, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109917512A

（ 13 ） 使用金属诱导自掩模刻蚀工艺制作石英表面抗反层的方法, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109856706A

（ 14 ） 一种相位型衍射光栅, 专利授权, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN109212641A

（ 15 ） 一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109160483A

（ 16 ） 一种单极涡旋光栅, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN108931829B

（ 17 ） 一种用于极紫外的二维单级衍射光栅, 专利授权, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106959482A

（ 18 ） 一种极紫外单级衍射光栅, 专利授权, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106646710A

（ 19 ） 一种极紫外高级抑制衍射光栅, 发明专利, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107045156A

（ 20 ） 一种衍射光栅, 专利授权, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106772732A

（ 21 ） 一种透射光栅, 专利授权, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN106597588A

（ 22 ） 一种透射光栅, 专利授权, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106094086A

（ 23 ） 一种单级衍射光栅, 专利授权, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106094087A

（ 24 ） 大高宽比纳米级金属结构的制作方法, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN106094445A

（ 25 ） 极紫外多层膜反射式单级衍射光栅, 发明专利, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN106094084A

（ 26 ） 电子束光刻对准标记在芯片上的布局, 发明专利, 2015, 第 9 作者, 专利号: CN104932212A

（ 27 ） 一种基于自支撑光栅结构的传感器及其制备方法, 发明专利, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103543128A

（ 28 ） 极紫外光刻掩模缺陷检测系统, 发明专利, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN103424985A

（ 29 ） 极紫外光刻掩模缺陷检测系统, 发明专利, 2013, 第 6 作者, 专利号: CN103365073A

（ 30 ） 基于导波共振的传感器及传感器测试系统, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN105044029A

（ 31 ） 基于导波共振的传感器及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103245635A

（ 32 ） 一种制作用于极紫外光刻的铬侧墙衰减型移相掩模的方法, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN103163726A

（ 33 ） 生物传感器及其制造方法、生物传感器测试系统, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103105378A

（ 34 ） 表面等离子体共振样品台及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103018167A

（ 35 ） 光子筛及其制作方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103018808A

（ 36 ） 表面等离子体增强对称结构及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103018800A

（ 37 ） 一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法, 发明专利, 2013, 第 5 作者, 专利号: CN103018806A

（ 38 ） 一种基于周期性纳米介质颗粒的生物传感器及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN102954950A

（ 39 ） 复合光子筛投影式光刻系统, 发明专利, 2011, 第 6 作者, 专利号: CN102289157A

（ 40 ） 一种基于周期性纳米结构的生物传感器及其制备方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102798615A

（ 41 ） 一种偶次级透射光栅, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102736152A

（ 42 ） 基于纳米岛衬底制备大高宽比X射线衍射光学元件的方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102683167A

（ 43 ） 一种基于湿法腐蚀制备位相型衍射光学元件的方法, 发明专利, 2012, 第 5 作者, 专利号: CN102681335A

（ 44 ） 制备大高宽比衍射光学元件的方法, 发明专利, 2012, 第 4 作者, 专利号: CN102608863A

（ 45 ） 一种大高宽比衍射光学元件的制作方法, 发明专利, 2012, 第 3 作者, 专利号: CN102466967A

（ 46 ） 一种基于介质纳米结构的拓扑边缘态波导及其制造方法, 发明专利, 2024, 第 2 作者, 专利号: 2022101512552

（ 47 ） Method for Fabricating Anti-reflective Layer on Quartz Surface by Using Metal-induced Self-masking Etching Technique, 发明专利, 2025, 第 1 作者, 专利号: US12287454B2

   

（1） Arbitrary hue-brightness structural colors with high saturation generated by anisotropic metasurfaces, Photonics Research, 2025, 第 10 作者  通讯作者
（2） Lasing action assisted by bound states in the continuum in a silicon metasurface, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2024, 第 9 作者  通讯作者
（3） Observation of Dual-Polarization Topological Photonic States at Optical Frequencies, LASER & PHOTONICS REVIEWS, 2023, 第 6 作者  通讯作者
（4） Low-threshold lasing from bound states in the continuum with dielectric metasurfaces, OPTICS LETTERS, 2023, 第 9 作者  通讯作者
（5） Geometrical Theory of Electromagnetic Nonreciprocity, Physical Review Letters, 2023, 第 2 作者
（6） High-Saturation Full-Color Printing with All-Dielectric Chiral Metasurfaces, ACS APPLIED OPTICAL MATERIALS, 2023, 第 11 作者  通讯作者
（7） Controlling brightness in full color nanoprinting by all-dielectric metasurfaces, Applied Physics Letters, 2023, 第 8 作者  通讯作者
（8） Fundamental correction of self-absorption effect on the element concentration measurement in laser induced plasmas, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2023, 第 3 作者  通讯作者
（9） Mie Resonances Enabled Subtractive Structural Colors with Low-Index-Contrast Silicon Metasurfaces, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2022, 第 7 作者  通讯作者
（10） Deep Subwavelength Wide-Angle Structural Colors at the Single Pixel Level, Adv. Optical Mater., 2022, 第 1 作者  通讯作者
（11） Low threshold lasing from silicon Mie resonators, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2022, 第 7 作者  通讯作者
（12） Lasing action in a strongly coupled silicon nanowire pair, OPTICS LETTERS, 2022, 第 5 作者  通讯作者
（13） The phonon scattering mechanism and its effect on the temperature dependent thermal and thermoelectric properties of a silver nanowire, PHYSICAL CHEMISTRY CHEMICAL PHYSICS, 2022, 第 2 作者
（14） LIGHT of pulmonary NKT cells annihilates tissue protective alveolar macrophages in augmenting severe influenza pneumonia, Science Bulletin, 2021, 第 1 作者
（15） The self-absorption temporal evolution of spectral lines emitted from laser-induced plasmas, OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2021, 第 3 作者
（16） Full-color enhanced second harmonic generation using rainbow trapping in ultrathin hyperbolic metamaterials, NATURE COMMUNICATIONS, 2021, 第 3 作者
（17） Bright Field Structural Colors in Silicon-on-Insulator Nanostructures, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2021, 第 7 作者  通讯作者
（18） Ultra-Broadband High-Efficiency Airy Optical Beams Generated with All-Silicon Metasurfaces, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2021, 第 3 作者
（19） 非晶层占比对TEM样品成像的影响, Effect of the Proportion of the Amorphous Layer on the Imaging of TEM Samples, 半导体技术, 2020, 第 5 作者
（20） Proposed a self-absorption internal standard model to detect element concentrations of complex constituent material with a single emission line of element in laser plasmas, OPTICS EXPRESS, 2020, 第 2 作者
（21） Complete Control of Multichannel, Angle-Multiplexed, and Arbitrary Spatially Varying Polarization Fields, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2020, 第 6 作者
（22） Second-Order Topological Photonic Modes in Dipolar Arrays, ACS PHOTONICS, 2020, 第 3 作者
（23） High-efficiency V-shaped phase gratings to suppress high order diffractions, AIP ADVANCES, 2019, 第 4 作者  通讯作者
（24） Metric-Torsion Duality of Optically Chiral Structures, PHYSICAL REVIEW LETTERS, 2019, 第 2 作者
（25） Multichannel Spatially Nonhomogeneous Focused Vector Vortex Beams for Quantum Experiments, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2019, 
（26） Effects of structure parameters on high-order diffraction suppression of quasi-periodic gratings, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS, 2018, 第 3 作者  通讯作者
（27） Two-dimensional gratings of hexagonal holes for high order diffraction suppression, OPTICS EXPRESS, 2017, 第 2 作者  通讯作者
（28） High order diffraction suppression by quasiperiodic two-dimensional gratings, OPTICAL MATERIALS EXPRESS, 2017, 第 2 作者  通讯作者
（29） High-order Suppression of Quasi-triangle Array Transmission Gratings, 2017, 第 1 作者
（30） 大高宽比硬X射线波带片制作及聚焦测试, Fabrication and focusing test of hard X-ray zone plates with high aspect ratio, 光学精密工程, 2017, 第 2 作者
（31） Zigzag grating with quasi-random array for single order, 2017, 第 3 作者
（32） Higher-order diffraction suppression of free-standing quasiperiodic nanohole arrays in the x-ray region, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2017, 第 2 作者
（33） Fabrication of ultra-high aspect ratio (>160:1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching, J. MICROMECH. MICROENG, 2017, 第 2 作者
（34） Fabrication of ultra-high aspect ratio (> 160: 1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017, 第 3 作者
（35） The Quasi-Triangle Array of Rectangular Holes with the Completely, 2017, 第 4 作者
（36） High order diffraction suppression of the membrane with hexagonal hole array, PHOTOPTICS, 2017, 第 5 作者
（37） Coriolis effect and spin Hall effect of light in an inhomogeneous chiral medium, OPTICS LETTERS, 2016, 第 2 作者  通讯作者
（38） High Q Plasmonic Lasing of Band Edge Modes in an Asymmetry Environment, PLASMONICS, 2015, 第 1 作者
（39） Omnidirectional diffraction control with rotational topological defects, OPTICS EXPRESS, 2015, 第 1 作者  通讯作者
（40） Screw split ring resonator as building block of three-dimensional chiral metamaterials, PHYSICS LETTERS A, 2014, 第 3 作者
（41） A surface plasmon resonance biosensor based on gold nanoparticle array, OPTICS COMMUNICATIONS, 2013, 第 2 作者  通讯作者
（42） 32 nm节点极紫外光刻掩模的集成研制, 光学学报, 2013, 第 3 作者
（43） Fabrication of x-ray diffractive optical elements for laser fusion applications, OPTICAL ENGINEERING, 2013, 第 6 作者
（44） Toward two-dimensional nanometer resolution hard X-ray differential-interference-contrast imaging using modified photon sieves, OPTICS LETTERS, 2012, 第 4 作者
（45） Enhanced optical transmission through asymmetric nanostructured gold films, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS, 2012, 第 1 作者
（46） Determination of guided-mode resonances in photonic crystal slabs, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS, 2012, 第 2 作者
（47） Resonance in a sub-wavelength metal-dielectric free-standing grating utilized for gas sensors, OPTICS COMMUNICATIONS, 2012, 第 2 作者  通讯作者
（48） Evolution of modes of Fabry-Perot cavity based on photonic crystal guided-mode resonance mirrors, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS, 2012, 第 2 作者
（49） 微纳金属光学结构制备技术及应用, Micro-and Nano-Metal Structures Fabrication Technology and Applications, 光学学报, 2011, 第 8 作者
（50） Feasibility study of hard-x-ray nanofocusing above 20 keV using compound photon sieves, OPTICS LETTERS, 2010, 第 4 作者
（51） Spiral photon sieves apodized by digital prolate spheroidal window for the generation of hard-x-ray vortex, OPTICS LETTERS, 2010, 第 3 作者
（52） Tunable structures comprising two photonic crystal slabs - optical study in view of multi-analyte enhanced detection, OPTICS EXPRESS, 2009, 第 1 作者  通讯作者
（53） Spectral, amplitude and phase sensitivity of a plasmonic gas sensor in a metallic photonic crystal slab geometry: Comparison of the near and far field phase detection strategies, SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2009, 第 1 作者
（54） Guided-mode resonance photonic crystal slab sensors based on bead monolayer geometry, OPTICS EXPRESS, 2008, 第 1 作者  通讯作者
（55） Vertical cavity-surface emitting photonic crystal surface-mode lasers, APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS, 2008, 
（56） The spatial coherence properties of the spontaneous emission in the one-dimensional strong random system with gain, PHYSICA E-LOW-DIMENSIONAL SYSTEMS & NANOSTRUCTURES, 2007, 第 1 作者  通讯作者
（57） Effects induced by Mie resonance in two-dimensional photonic crystals, JOURNALOFPHYSICSCONDENSEDMATTER, 2007, 第 1 作者
（58） Correlation of spontaneous emission in a one-dimensional random medium with Anderson localization, PHYSICAL REVIEW B, 2007, 第 3 作者
（59） Effects induced by Mie resonance in two dimentional photonic crystal, Journal of Physics: Condensed Matter, 2007, 第 1 作者
（60） A Novel Nano-Grating Structure of Polarizing Beam Splitters, A Novel Nano-Grating Structure of Polarizing Beam Splitters, Chinese Physics Letters, 2006, 第 5 作者
（61） Negative refraction of two-dimension photonic crystal, CHINESE JOURNAL OF QUANTUM ELECTRONICS, 2006, 第 1 作者
（62） The comparison of modes at flat bands in 2D photonic crystals and resonant modes of the single cylinder, OPTICS COMMUNICATIONS, 2006, 第 1 作者  通讯作者
（63） Design and fabrication of metal-wire nanograting used as polarizing beam splitter in optical telecommunication, JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS, 2006, 
（64） The Hamiltonian theory of Landau-Lifschitz equation and the gauge transformations, ACTA PHYSICA SINICA, 2005, 
（65） Hamiltonian formalism of the Landau-Lifschitz equation for a spin chain with an easy plane, INTERNATIONAL JOURNAL OF THEORETICAL PHYSICS, 2004, 
（66） Gauge Transformation and Conservation Laws of Landau--Lifschitz Equation for a Spin Chain, Gauge Transformation and Conservation Laws of Landau���Lifschitz Equation for a Spin Chain, Chinese Physics Letters, 2004, 第 4 作者
（67） Conservation Laws in Sine-Gordon Equation, Conservation Laws in sine-Gordon Equation, Chinese Physics Letters, 2003, 第 1 作者

（1） 金属超材料的群速度, The Group Velocity Picture of Metamaterial Systems, InTech, 2012-05, 第 5 作者
（2） Two Dimensional Gratings of Connected Holes for High Order Diffraction Suppression, Springer, 2019-07, 第 1 作者

   

（ 1 ） 基于亚10纳米加工集成技术的193纳米光刻机反常偏振纳米器件, 负责人, 国家任务, 2024-12--2029-11
（ 2 ） 基于AI的模拟电路器件级建模技术研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2023-12
（ 3 ） 硅纳米柱阵列的连续谱中束缚态研究及传感应用, 负责人, 国家任务, 2019-01--2022-12
（ 4 ） 相位型单级衍射光栅的研究, 负责人, 研究所自主部署, 2017-06--2018-06
（ 5 ） 微电子器件表面特征参数测量, 负责人, 国家任务, 2014-01--2018-12
（ 6 ） 金属光子晶体平板生物传感器设计, 负责人, 国家任务, 2013-01--2014-12
（ 7 ） 高频脉冲电镀系统, 参与, 中国科学院计划, 2012-12--2014-12
（ 8 ） 自支撑薄膜上金纳米颗粒阵列的共有化表面等离子体共振研究, 负责人, 国家任务, 2012-01--2014-12
（ 9 ） 衍射光学元件衍射特性, 参与, 中国科学院计划, 2012-01--2014-12
（ 10 ） 极紫外光刻掩模技术, 参与, 国家任务, 2009-01--2015-12

（1）High Q plasmonic lasing of band edge modes   Lina Shi   2016-03-29
（2）A guided-mode resonance based wideband reflector at visible wavelengths   Lina Shi   2015-10-28
（3）Plasmon lasing action in a gain-assisted silver grating film geometry   Li-Na Shi   2014-08-25
（4）Sharp resonances in gold nanoparticle arrays embedded in the transparent film   Lina Shi, Hailiang Li, Yuchan Du, Xiaoli Zhu and Changqing Xie   2011-05-22

已指导学生

李龙杰  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

党鹏  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

王冲  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

胡劲宇  硕士研究生  085400-电子信息  

张藜月  硕士研究生  085400-电子信息  

刘子维  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陈生琼  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

李龙杰  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

段胜超  硕士研究生  085400-电子信息  

李斌  硕士研究生  085400-电子信息  

杨斌  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学