基于原子力显微镜的纳米操作机器人，面向生物与半导体应用的高级测量设备研发

   

081102-检测技术与自动化装置

原子力显微镜技术
纳米操作机器人
微纳加工制造

2013-09--2018-06   中国科学院沈阳自动化所   博士
2010-09--2013-03   沈阳工业大学   硕士
2006-09--2010-07   沈阳工业大学   学士

博士研究生

工学博士

   

2023-02~现在, 瑞士联邦理工学院（EPFL）, 访问教授（Visiting Professor）
2019-01~现在, 中国科学院沈阳自动化所, 副研究员
2018-08~2018-12,中国科学院沈阳自动化所, 助理研究员
2016-12~2020-08,中国科学院沈阳自动化所, 助理研究员（优秀博士提前留所）

   

（1） 中国科学院沈阳分院优秀青年科技人才奖, 一等奖, 院级, 2020
（2） 中国自动化学会优秀博士论文奖, 其他, 2019
（3） 全国机器人与智能制造博士后学术论坛优秀论文奖, 二等奖, 研究所（学校）, 2018
（4） 北京市普通高校“优秀毕业生”, 省级, 2018
（5） 研究生国家奖学金, 部委级, 2017
（6） T. J. Tarn机器人学最佳会议论文奖, 其他, 2017

（ 1 ） 基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN 110763873 A

（ 2 ） 一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN 107188116 B

   

（1） 结合微针及AFM的单细胞精准激励与力学特性同步测量 网络首发, 生物化学与生物物理进展, 2022, 第 3 作者
（2） Facile environment-friendly peptide-based humidity sensor for multifunctional applications, APPLIED NANOSCIENCE, 2021, 通讯作者
（3） A bio-syncretic phototransistor based on optogenetically engineered living cells, BIOSENSORS & BIOELECTRONICS, 2021, 第 4 作者
（4） Self-Assembled Peptide Nanofibers with Voltage-Regulated Inverse Photoconductance, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2021, 第 3 作者
（5） Fabrication of sub-micrometer-sized mos2 thin-film transistor by phase mode afm lithography, SMALL, 2018, 第 2 作者
（6） 基于纳米操作机器人的超声加工与检测协同设计研究, 2018, 第 1 作者
（7） Layer-controllable nanofabrication of two-dimensional materials with phase-mode AFM, MATERIALS LETTERS, 2018, 第 2 作者
（8） Performance investigation of multilayer mos2 thin-film transistors fabricated via mask-free optically induced electrodeposition, ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2017, 第 4 作者
（9） The fabrication of Au nanowire by phase-control mode of USV-assisted AFM nanomachining, Proceedings of the 2017 IEEE International Conference on Robotics and Biomimetics, 2017, 第 1 作者
（10） Simultaneous Measurement of Multiple Mechanical Properties of Single Cells Using AFM by Indentation and Vibration., IEEE TRANSACTIONS ON BIOMEDICAL ENGINEERING, 2017, 第 2 作者
（11） Phase shifting-based debris effect detection in USV-assisted AFM nanomachining, APPLIED SURFACE SCIENCE, 2017, 第 1 作者
（12） Phase mode nanomachining on ultra-thin films with atomic force microscopy, MATERIALS LETTERS, 2017, 第 1 作者
（13） The co-design of interface sensing and tailoring of ultra-thin film with ultrasonic vibration-assisted AFM system, NANOTECHNOLOGY, 2016, 第 1 作者
（14） A rapid and automated relocation method of an AFM probe for high-resolution imaging, NANOTECHNOLOGY, 2016, 第 3 作者
（15） Experimental study and modeling of atomic-scale friction in zigzag and armchair lattice orientations of MoS2, Science and Technology of Advanced Materials, 2016, 第 2 作者

   

（ 1 ） 面向石墨烯类生命感知接口器件的晶向调控与亚表面成像方法研究, 负责人, 国家任务, 2020-01--2022-12
（ 2 ） 类生命机器人细胞驱动器轴向力学特性测量方法研究, 负责人, 研究所自主部署, 2019-01--2020-12
（ 3 ） 面向细胞驱动的肌节轴向机械特性快速测量方法研究, 负责人, 国家任务, 2019-03--2020-06
（ 4 ） 微纳生物测量一体化多臂协作型机器人, 负责人, 中国科学院计划, 2022-01--2023-12
（ 5 ） 面向类生命传感定量机理研究的微纳生物多臂力电耦合测量方法, 负责人, 国家任务, 2023-01--2026-12

现指导学生

夏宜潇  硕士研究生  081104-模式识别与智能系统