基本信息
吕佩文 男 硕导 中国科学院福建物质结构研究所
电子邮件: pwlv@fjirsm.ac.cn
通信地址: 福建省福州市杨桥西路155号
邮政编码: 350002
电子邮件: pwlv@fjirsm.ac.cn
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研究领域
薄膜与光电器件研究,主要关注等离子体源、仿真设计、气相沉积装备研发及其在薄膜器件中的应用。
招生信息
招生专业
070205-凝聚态物理070204-等离子体物理070304-物理化学
招生方向
薄膜材料PVD半导体装备及零部件