基本信息
吕佩文  男  硕导  中国科学院福建物质结构研究所
电子邮件: pwlv@fjirsm.ac.cn
通信地址: 福建省福州市杨桥西路155号
邮政编码: 350002

研究领域

薄膜与光电器件研究,主要关注等离子体源、仿真设计、气相沉积装备研发及其在薄膜器件中的应用。

招生信息

   
招生专业
070205-凝聚态物理
070204-等离子体物理
070304-物理化学
招生方向
薄膜材料
PVD
半导体装备及零部件