微纳传感器与系统、电场传感器、电学量传感器技术及应用、多传感芯片集成、智能传感系统

2004-03--2007-03   中国科学院大学   博士
2001-09--2004-03   北京航空航天大学   硕士
1997-09--2001-07   北京信息科技大学   学士

​研究生

博士​

正高级

（1） 面向电网关键设施设备状态感知的新型光机电传感器关键技术及应用, 三等奖, 部委级, 2020
（2） 电网雷击风险预警关键技术、装备与应用, 二等奖, 省级, 2020
（3） 输电通道雷击风险预警关键技术与应用, 一等奖, 其他, 2020
（4） 面向电网关键设施设备状态感知的新型光机电传感器关键技术及应用, 一等奖, 其他, 2020
（5） 面向电力能源通道的雷电灾害预警系统及应用, 一等奖, 其他, 2020
（6） 输电通道雷击风险多参量融合动态预警技术与应用, 一等奖, 部委级, 2019
（7） 菁英人才计划, 研究所（学校）, 2017
（8） 科技成果转化奖, 一等奖, 部委级, 2015
（9） 中国电子学会优秀科技工作者, , 部委级, 2015
（10） 中国科学院卢嘉锡青年人才奖, , 部委级, 2015
（11） 电场探测先进传感器关键技术及应用, 一等奖, 省级, 2015
（12） 电场探测先进传感器技术, 二等奖, 其他, 2014
（13） 中国科学院青年创新促进会会员, 部委级, 2014
（14） 中国（国际）传感器创新大赛特等奖, 特等奖, 其他, 2014
（15） 优秀青年人才计划, 研究所（学校）, 2013
（16） 高性能谐振式传感器设计与实现, 一等奖, 部委级, 2012
（17） 中国科学院院长优秀奖, , 院级, 2006

（ 1 ） 一种微型电场传感器圆片级封装增敏降噪结构, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN114229788A

（ 2 ） 基于多结构耦合的微型电场传感器及其制备方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN112540239B

（ 3 ） 驻极体式微型电场传感器及方法、电场传感器系统及方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113740621A

（ 4 ） 空间电场测量装置及系统, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113671276A

（ 5 ） 谐振式电场传感器及其制备方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113655300A

（ 6 ） 一种飞行器静电检测装置及方法, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113341254A

（ 7 ） 一种电场传感器的封装组件、封装方法及电场传感器, 专利授权, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN109752604B

（ 8 ） 振动电容式微型电场传感器及其制备方法、电场传感器, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113125865A

（ 9 ） 压阻式微型电场传感器及其制备方法、电场传感器, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113092885A

（ 10 ） 一种静电驱动金属微结构电场传感器, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113063996A

（ 11 ） 一种静电场传感器的自动化标定装置及标定方法, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN105974346B

（ 12 ） 压电驱动互屏蔽电极微型电场传感器, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN110412362B

（ 13 ） 机载电场测试仪和无人机, 发明专利, 2021, 第 5 作者, 专利号: CN212693891U

（ 14 ） 静电安全检测释放装置, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN212693892U

（ 15 ） 一种低轴间耦合的三维电场传感器, 专利授权, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN107907749B

（ 16 ） 灵敏度可调节的谐振微型电场传感器, 专利授权, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110940866B

（ 17 ） 基于微组装的三棱结构微型三维电场传感器及制备技术, 专利授权, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN109581082B

（ 18 ） 非接触式动态心电监测系统, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN106859634B

（ 19 ） 电场传感器标定系统, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN108061870B

（ 20 ） 一种非接触式静电传感器组网系统, 实用新型, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN210037988U

（ 21 ） 一种非接触式静电传感器组网系统, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN210037988U

（ 22 ） 基于多通道开关的电场传感器系统, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN108490273B

（ 23 ） 一种无源型电流电压集成传感器, 专利授权, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN106018917B

（ 24 ） 分布电极式三维电场传感器, 发明专利, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN208443927U

（ 25 ） 电场传感器封装组件, 发明专利, 2019, 第 3 作者, 专利号: CN208443926U

（ 26 ） 谐振型压电驱动式地面电场传感器, 发明专利, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN103901284B

（ 27 ） 电场传感器封装组件及其批量化制造方法, 发明专利, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN108508283A

（ 28 ） 一种基于扭转振动的互屏蔽式电场传感器, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108508284A

（ 29 ） 一种扭摆式微型电场传感器, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN104459351B

（ 30 ） 一种电场传感器温度漂移及时间漂移实时差分补偿方法, 发明专利, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN103837750B

（ 31 ） 基于高阻材料的电场传感器封装元件, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN103633036B

（ 32 ） 基于共面传感单元的三维电场测量方法, 发明专利, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN103852649B

（ 33 ） 电场传感器动态测试标定装置, 发明专利, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106125028A

（ 34 ） 一种扭转式电场传感器, 发明专利, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN106093605A

（ 35 ） 一种金属微结构电场传感器, 发明专利, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN105911370A

（ 36 ） Häusungselement auf Basis eines Materials mit hohem spezifischen Widerstand für einen Elektrisches-Feld-Sensor, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: DE112014003626(T5)

（ 37 ） Häusungselement auf Basis eines Materials mit hohem spezifischen Widerstand für einen Elektrisches-Feld-Sensor, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: DE112014003626(T5)

（ 38 ） 旋转谐振式三维电场传感器, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN103308782B

（ 39 ） 伸缩谐振式三维电场传感器, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN103308781B

（ 40 ） 异型电极微型电场传感器, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN102445604B

（ 41 ） 一种三维空中电场传感器, 发明专利, 2013, 第 4 作者, 专利号: CN102298096B

（ 42 ） 谐振式微型电场传感器, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN101685119B

（ 43 ） 微型电场传感器的封装结构与封装方法, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN101683966B

（ 44 ） 一种微型三维电场传感器, 发明专利, 2011, 第 4 作者, 专利号: CN101246192B

（ 45 ） 阵列式微型电场传感器, 发明专利, 2008, 第 4 作者, 专利号: CN100430742C

（ 46 ） 静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器, 发明专利, 2008, 第 2 作者, 专利号: CN100420952C

发表高水平论文100余篇，其中SCI/EI收录60余篇；国际国内学术会议作特邀报告10次；申请发明专利40余项，其中，授权发明专利27项（2项美国专利授权）；作为主要撰稿人，制定国家标准/国家军用标准/团体标准/企业军用标准共7项，包括制定了我国首个MEMS电场传感器国家标准和首个国家军用标准。

（1） Non-intrusive DC voltage measurement based on resonant electric field microsensors, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2021, 通讯作者
（2） A non-intrusive voltage measurement scheme based on MEMS electric field sensors: Theoretical analysis and experimental verification of AC power lines, REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2021, 第 5 作者
（3） A NOVEL HIGH SENSITIVE MODE-LOCALIZATION MEMS ELECTRIC FIELD SENSOR BASED ON CLOSED-LOOP FEEDBACK, Transducers 2021, 2021, 通讯作者
（4） Design of a novel closed-loop electrostatic voltage sensor based on weakly coupled resonators, IEEE-NEMS 2021, 2021, 通讯作者
（5） 一种基于模态局域化的MEMS电场传感器设计与分析, Design and Analysis of MEMS Electric Field Sensor Based on Mode Localization, 仪表技术与传感器, 2021, 第 6 作者
（6） An Electric Field Microsensor with Mutual Shielding Electrodes, MICROMACHINES, 2021, 第 5 作者
（7） Toward Atmospheric Electricity Research: A Low-Cost, Highly Sensitive and Robust Balloon-Borne Electric Field Sounding Sensor, IEEE SENSORS JOURNAL, 2021, 第 4 作者
（8） Resolution-Enhancing Structure for the Electric Field Microsensor Chip, MICROMACHINES, 2021, 第 5 作者
（9） 基于MEMS的距离自适应型非接触静电仪, A Daptive-distance Noncontact Electrostatic Meter Based on MEMS Technology, 电子与信息学报, 2021, 第 4 作者
（10） AC/DC Fields Demodulation Methods of Resonant Electric Field Microsensor, MICROMACHINES, 2020, 通讯作者
（11） 一种扭转谐振式MEMS电场传感器, A MEMS-based electric field sensor with torsional resonance, 传感器与微系统, 2019, 第 2 作者
（12） A MICROASSEMBLED TRIANGULAR-PRISM-SHAPE THREE-DIMENSIONAL ELECTRIC FIELD SENSOR, 2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019, 第 2 作者
（13） 基于遗传算法的三维电场传感器解耦标定方法研究, The Decoupling Calibration Method Based on Genetic Algorithm of Three Dimensional Electric Field Sensor, 电子工程学院学报, 2019, 第 2 作者
（14） 基于三维感应线圈的新型MEMS电流传感器, Novel MEMS current sensor based on 3D induction coil, 传感器与微系统, 2019, 第 2 作者
（15） 一种联合频谱和空间特征的深度学习多通道语音增强算法, Combining spectral and spatial features for deep learning based multi-channel speech enhancement, 电子测量技术, 2019, 第 4 作者
（16） 基于高速解调电路的新型手持式工频电场检测系统, Novel handheld detection system of power frequency electric field based on high speed demodulation circuit, 传感器与微系统, 2018, 第 3 作者
（17） 低轴间耦合的MEMS三维电场传感器, MEMS-based Three-dimensional Electric Field Sensor with Low Cross-axis Coupling Interference, 电子与信息学报, 2018, 第 2 作者
（18） Design, Fabrication and Characterization of a MEMS-Based Three-Dimensional Electric Field Sensor with Low Cross-Axis Coupling Interference, SENSORS, 2018, 第 2 作者
（19） A High Sensitivity Electric Field Microsensor Based on Torsional Resonance, SENSORS, 2018, 第 2 作者
（20） A Novel Electric Field Microsensor with Low Cross-axis Coupling Interference, 2017 IEEE SENSORS, 2017, 第 2 作者
（21） MEMS结构的带电作业电场测量预警系统, Electric field measurement safety warning system of live working based on MEMS structure, 传感器与微系统, 2017, 第 3 作者
（22） 基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置, Non-contact Human Body Electrostatic Voltmeter Based on MEMS Technology, 电子与信息学报, 2017, 第 2 作者
（23） 直流离子流场发生装置优化设计, Optimal Design of Direct Current Ionized Field Generator, 电子科技大学学报, 2017, 第 3 作者
（24） Single-chip 3D electric field microsensor, Single-chip 3D electric field microsensor, 机械工程前沿：英文版, 2017, 第 2 作者
（25） Design, Fabrication and Characterization of a Single-chip Three-dimensional Electric Field Microsensor, 2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS), 2017, 第 3 作者
（26） A Novel MEMS-based Integrated Current and Voltage Sensor, 2017 IEEE SENSORS, 2017, 通讯作者
（27） 基于遗传算法的三维电场传感器解耦标定方法研究, The Decoupling Calibration Method Based on Genetic Algorithm of Three Dimensional Electric Field Sensor, 电子与信息学报, 2017, 第 2 作者
（28） Electric field and induced charges distribution model for MEMS strip-type sensing electrodes, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2017, 第 2 作者
（29） 新型电场传感器应用于输电线电场测量, New type of electric field sensor for electric field measurement of transmission line, 传感器与微系统, 2017, 第 2 作者
（30） An Electric Field Microsensor with Metal-Silicon Structure, 2017 IEEE 12TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS (NEMS), 2017, 第 2 作者
（31） Single-chip 3D electric field microsensor, Single-chip 3D electric field microsensor, FRONTIERS OF MECHANICAL ENGINEERING, 2017, 第 3 作者
（32） 一种基于三维感应线圈的新型MEMS电流传感器, 传感器与微系统, 2017, 第 1 作者
（33） Electric field and induced charges distribution model for MEMS strip-type sensing electrodes, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2017, 第 2 作者
（34） 基于旋转谐振结构的单芯片二维电场传感器, Monolithic two-dimensional electric field sensor based on rotary resonant structure, 传感器与微系统, 2016, 第 4 作者
（35） 一种基于MEMS芯片的新型地面大气电场传感器, A Novel MEMS Chip-based Ground Atmospheric Electric Field Sensor, 电子与信息学报, 2016, 第 4 作者
（36） 微型折叠式三维电场传感器, Micro 3-dimensional folding electric field sensor, 传感器与微系统, 2016, 第 2 作者
（37） A Decoupling Calibration Method Based on Genetic Algorithm for Three Dimensional Electric Field Sensor, 2016 IEEE SENSORS, 2016, 第 2 作者
（38） Computation of capacitance and electrostatic forces for the electrostatically driving actuators considering fringe effects, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2015, 第 8 作者
（39） 谐振式微型电场传感器芯片级真空封装及测试, Chip-level Vacuum Package and Test of Resonant MEMS Electric Field Sensor, 电子与信息学报, 2015, 第 2 作者
（40） A Novel MEMS Chip-based Atmospheric Electric Field Sensor for Lightning Hazard Warning Applications, 2015 IEEE SENSORS, 2015, 第 4 作者
（41） A novel micro electric field sensor with X–Y dual axis sensitive differential structure, Sensors & Actuators: A. Physical, 2015, 第 6 作者
（42） A novel micro electric field sensor with x-y dual axis sensitive differential structure, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2015, 第 6 作者
（43） Design of a Novel Micromachined Non-contact Resonant Voltage Sensor for Power Distribution Systems, 2014 IEEE SENSORS, 2014, 通讯作者
（44） 基于LabVIEW和MEMS敏感结构的工频电场无线检测系统, Novel Wireless Electrical System Based on LabVIEW and MEMS Electric-field Sensor to Measure Power-frequency Electric Field, 仪表技术与传感器, 2014, 第 2 作者
（45） High-stability electrostatic field micro sensor for sounding thunderstorm applications[J], Instrumentation, 2014, 第 1 作者
（46） HIGH PERFORMANCE ELECTRIC FIELD MICRO SENSOR WITH COMBINED DIFFERENTIAL STRUCTURE, HIGH PERFORMANCE ELECTRIC FIELD MICRO SENSOR WITH COMBINED DIFFERENTIAL STRUCTURE, 电子科学学刊：英文版, 2014, 第 2 作者
（47） 基于共面去耦结构的空间三维电场测量方法, Measuring Method of Three Dimensional Atmospheric Electric Field Based on Coplanar Decoupling Structure, 电子与信息学报, 2014, 第 2 作者
（48） High performance electric field micro sensor with combined differential structure[J], Journal of Electronics (China), 2014, 第 1 作者
（49） 基于共面去耦结构的空间三维电场测量方法[J], 电子与信息学报, 2014, 第 1 作者
（50） Three dimensional electric field measurement method based on coplanar decoupling structure, 2014 IEEE SENSORS, 2014, 第 3 作者
（51） 基于直接数字频率合成器及正交锁相技术的交直流微型电场传感器电路, Micromachined Electric-field Sensor System Based on Direct Digital Synthesizer and Lock-in-amplifier to Measure AC and DC Fields, 电子与信息学报, 2013, 第 2 作者
（52） A new fabrication process for the SOI-based miniature electric field sensor, JOURNAL OF SEMICONDUCTORS, 2013, 第 3 作者
（53） New fabrication process of the SOI-based miniature electric field sensor, 刘伟，杨鹏飞，彭春荣，方东明，夏善红, 2013, 第 3 作者
（54） Design, fabrication and application of an SOI-based resonant electric field microsensor with coplanar comb-shaped electrodes, J. Micromech. Microeng, 2013, 第 2 作者
（55） Design, fabrication and application of an SOI-based resonant electric field microsensor with coplanar comb-shaped electrodes, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2013, 第 2 作者
（56） Humidity-Induced Charge Leakage and Field Attenuation in Electric Field Microsensors, SENSORS, 2012, 第 4 作者
（57） Detecting internal defect of non-ceramic insulators using a novel micromachined electric field sensor, IEEE MEMS 2011:the 24th IEEE Conference on Micro Electro mechanicsal Systems, 2011, 
（58） Design and Fabrication of a Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor, The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT2010), 2011, 第 1 作者
（59） 基于SOI 微型电场传感器的设计, 中国电子学会电路与系统学会第二十二届年会, 2011, 第 2 作者
（60） 一种基于ARM Cortex微控制器的相位差检测方法, Phase difference measurement based on ARM cortex MCU, 信息与电子工程, 2011, 第 2 作者
（61） 基于Labview的微型电场传感器自动标定系统, Miniature electric field sensor calibration system based on Labview, 信息与电子工程, 2011, 第 2 作者
（62） A high sensitivity SOI electric-field sensor with novel comb-shaped microelectrodes, Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011, 
（63） SOI微型电场传感器的设计与测试, Design and Testing of a SOI Electric-field Microsensor, 电子与信息学报, 2011, 第 2 作者
（64） Design of a SOI MEMS Resonant Electric Field Sensor for Power Engineering Applications, IEEE Sensors 2010, 2011, 第 1 作者
（65） Design of a novel MEMS electric field sensor for detecting internal defect of non-ceramic insulators, 2nd International Conference of the Chnese Society of Micro/Nano Technology, 2011, 第 1 作者
（66） 一种基于ARM Cortex微控制器的相位差检测方法, Phase difference measurement based on ARM cortex MCU, 信息与电子工程, 2011, 第 2 作者
（67） Measuring Atmospheric Electric Field Using Novel Micromachined Sensor, IEEE NEMS 2011, 2011, 第 1 作者
（68） 基于Labview的微型电场传感器自动标定系统, Miniature electric field sensor calibration system based on Labview, 信息与电子工程, 2011, 第 2 作者
（69） Design of A Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor, Procedia Engineering, 2010, 第 1 作者
（70） 热驱动微型电场传感器干燥技术, The Drying Techniques for Thermally Driven MEFS, 传感技术学报, 2010, 
（71） 新型推挽激励的谐振式微机械静电场传感器, Novel Push-Pull Driven Resonant Micromechanical Electrostatic Field Sensor, 纳米技术与精密工程, 2010, 第 1 作者
（72） 传感器芯片系统研究与应用, Research and Application of Microsensor System-on-Chip, 仪表技术与传感器, 2009, 第 5 作者
（73） 一种闭环自激驱动的硅微机械电场传感器, 电子与信息学报, 2009, 第 2 作者
（74） A novel micro-electrostatic field sensor based on parallel-plate resonator, 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2009, 第 1 作者
（75） 基于MEMS技术微型静电场传感器系统设计与研制, 仪表技术与传感器, 2009, 第 2 作者
（76） 非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪, 仪表技术与传感器, 2009, 第 1 作者
（77） 一种闭环自激式驱动的硅微机械电场传感器, Electric Field Micro-sensor with a Closed-loop Autonomous Driving Circuit, 电子与信息学报, 2009, 第 2 作者
（78） 微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法, Some Methods for Preventing Release Stiction of MEFS, 仪表技术与传感器, 2009, 第 3 作者
（79） Design of a thermally driven resonant miniature electric field sensor with feedback control, 2008 3RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, VOLS 1-3, 2008, 第 2 作者
（80） A Micromachined Electrostatic Field Sensor with Vertical Thermal Actuator, IEEE Sensors Conference, 2006, 第 1 作者
（81） Thermally driven micro-electrostatic fieldmeter, Sensors & Actuators: A. Physical, 2006, 第 2 作者
（82） Design and testing of a micromechanical resonant electrostatic field sensor, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2006, 通讯作者
（83） 一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造, 电子器件, 2006, 第 2 作者
（84） A novel high performance micromechanical resonant electrostatic field sensor used in atmospheric electric field detection, MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006, 
（85） Design of a resonant miniature electrostatic field sensor with feedback driving and detection, 2006 1ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, VOLS 1-3, 2006, 
（86） Thermally driven micro-electrostatic fieldmeter, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2006, 第 2 作者
（87） Thermally driven miniature electric field sensor, 2006 1ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, VOLS 1-3, 2006, 第 2 作者
（88） 两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用, Application of Two Thermal Actuators in Miniature Electric Field Sensors, 半导体学报, 2006, 第 3 作者
（89） 热驱动微型电场传感器, Thermally Driven Micro Electric Field Sensor, 中国机械工程, 2005, 第 2 作者
（90） A Novel Miniature Interlacing Vibratin Electric Field Sensor, IEEE Sensors Conference, 2005, 第 1 作者
（91） A resonant miniature electric field sensor using bulk-micromachining process, A resonant miniature electric field sensor using bulk-micromachining process, PROGRESS IN NATURAL SCIENCE, 2005, 
（92） 静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器, Electric Field Micro-Sensor Based on Electrostatic Comb-Driven and Differential Detecting, 中国机械工程, 2005, 第 1 作者
（93） 一种热驱动微型电场传感器设计与仿真, Design and Simulation of a Thermal Driven Miniature Electric Field Sensor, 中国机械工程, 2005, 第 4 作者

多年长期主要从事MEMS微型电场传感器等电学量传感器与微系统的创新性研究方向工作，近年来主要研究方向包括：高灵敏高分辨力微型电场传感器、高精度电场及电学量检测与智能仪器、多传感芯片集成、智能感知系统、水下电场探测传感器及系统、空中及空间电场探测仪、电力物联网低功耗高精度微传感器及系统、雷电静电安全监测预警智能微系统等。
作为项目负责人，主持了国家重点研发计划项目、863重大项目课题、国家自然科学基金重点项目、XP国家重大项目等项目三十余项。面向国家重大需求，在传感器高灵敏敏感机理与器件、微纳制造与集成封装、弱信号检测及系统集成、智能监测预警方法等方面开展了系统深入研究，取得了重要突破和系列创新成果。经专家鉴定微型电场传感器整体技术达到国际领先水平，研制出核心指标分辨力达到当时国际报道最好水平的高性能微型电场传感器敏感芯片，并成功研制出适应高空探测和地面长期监测、面向多个领域应用的MEMS微型电场传感器系列创新产品，在国际上首次实现了微型电场传感器的实际应用。研制的传感器应用于航天发射、国防、气象、电力、石油石化等多领域100余家单位，成功用于航天发射保障、雷电监测预警、电力系统状态监测、静电安全监测、非接触式电压测量、无人机及运-12飞机人工影响天气作业等，发挥了重要作用。产品被美国、韩国等国外用户应用。
在IEEE SENS. J.等国内外重要刊物发表论文100余篇，其中SCI/EI收录60余篇；申请发明专利40余项，其中获授权发明专利27项（2项美国专利授权），5项发明专利实现转让转移；制定国标、国军标、团标、企业军用标准7项，包括作为主要撰稿人及负责人制定了我国MEMS电场传感器的首个国家标准和首个国家军用标准。成果获北京市科学技术奖一等奖等省部级奖励6项。科技成果成功落地转化，获得了中国科学院北京分院科技成果转化奖一等奖。

（ 1 ） 微纳系统三维异质集成化技术, 主持, 国家级, 2015-03--2018-03
（ 2 ） 微型电场传感器, 主持, 国家级, 2018-10--2021-09
（ 3 ） 基于MEMS的空中大气电场测量新技术, 主持, 国家级, 2019-01--2020-12
（ 4 ） 非接触式MEMS电流电压集成传感器研究, 参与, 国家级, 2020-01--2023-12
（ 5 ） 高灵敏MEMS电场传感器敏感机理及器件研究, 主持, 国家级, 2021-01--2025-12
（ 6 ） 高端MEMS传感器关键技术研发团队-高灵敏MEMS电场传感器, 主持, 部委级, 2021-01--2023-12
（ 7 ） 球载高精度MEMS电场仪研制, 主持, 部委级, 2019-04--2021-06
（ 8 ） 飞机管道及油箱静电测试仪研制, 主持, 院级, 2017-12--2018-05
（ 9 ） 民用飞机沉积静电测量传感器研制及部署策略研究, 主持, 院级, 2020-06--2021-07
（ 10 ） 空中三维大气电场探测仪器研制, 主持, 部委级, 2021-01--2022-12
（ 11 ） 直流电场监测模块研制, 主持, 国家级, 2021-01--2021-12
（ 12 ） 智能传感器关键技术研究, 主持, 院级, 2021-02--2022-12
（ 13 ） 分布式三维大气电场探测系统, 参与, 国家级, 2014-01--2018-12
（ 14 ） 典型MEMS器件设计制造与应用关键技术-雷电预警传感器及系统, 主持, 国家级, 2011-04--2014-07
（ 15 ） 电场传感器组件系列, 主持, 国家级, 2010-12--2013-12
（ 16 ） 基于微电场传感器的非接触式电压测量技术研究及装置开发, 主持, 院级, 2014-11--2015-09
（ 17 ） 基于MEMS的非接触式交直流电网电压传感器关键技术研究, 主持, 国家级, 2012-01--2014-12
（ 18 ） 空中气象要素探测传感器集成技术, 主持, 国家级, 2011-11--2014-06
（ 19 ） 油品罐区小区域雷电网络预警技术研究, 主持, 院级, 2017-03--2018-09
（ 20 ） 电场传感器在防雷系统上的应用, 主持, 省级, 2016-06--2018-06
（ 21 ） 面向智能电网应用的先进传感技术-绝缘子缺陷在线监测传感器系统, 主持, 部委级, 2010-01--2011-01
（ 22 ） 电场传感器测试设备研制, 参与, 部委级, 2007-09--2010-04
（ 23 ） 红外阵列与电场传感器技术-集成化电场传感器技术研究, 参与, 国家级, 2006-06--2010-04
（ 24 ） 基于表面工艺的交错振动式微型电场传感器及其系统, 参与, 国家级, 2006-12--2009-06
（ 25 ） 非接触式油面电位测试技术研究, 主持, 院级, 2020-10--2021-09

（1）高性能MEMS微型电场传感器技术及电力应用   中国电机工程学会电磁环境专委会第18届学术会议   2020-12-26
（2）新型电子式电力传感器研究进展   中国电机工程学会超导与新材料应用技术研讨交流会   2020-11-07
（3）igh performance micro electric field sensor technology and its applications   2020-10-20
（4）高性能MEMS静电敏感芯片技术及应用   中国物理学会静电专业委员会2020年全国静电学术研讨会   2020-09-13
（5）MEMS Sensor Technology for Internet of Things in Power Systems   2020-08-15
（6）基于MEMS的高灵敏电场探测技术及装置研究   中国科学院青年创新促进会工程与装备分会第三届学术年会   2019-10-29
（7）MEMS微型电场传感器技术及其电力应用   泛在电力物联网智能感知技术论坛   2019-07-10
（8）新型MEMS电场传感器技术及应用   国际传感器•半导体产业链暨物联网高峰论坛   2018-12-06
（9）MEMS微型电场传感器技术及在电网中的应用   2018（第五届）中国带电作业技术会议暨电网不停电检修技术与装备发展论坛   2018-11-15
（10）A Novel MEMS-Based Integrated Current and Voltage Sensor，A Novel Electric Field Microsensor with Low Cross-Axis Coupling Interference   2017-10-29
（11）先进MEMS电场传感器技术及应用   2017传感器产业高峰论坛暨中国电子元器件行业协会敏感元件与传感器分会年会   2017-09-06
（12）MEMS电场传感器关键技术及其应用   第九届中国半导体行业协会半导体分立器件分会年会暨2015’ 全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会, 第八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会   夏善红，彭春荣   2015-07-27
（13）Design of a Novel Micromachined Non-Contact Resonant Voltage Sensor for Power Distribution Systems   2014-11-02
（14）A high sensitivity SOI electric-field sensor with novel comb-shaped microelectrodes   2011-06-05
（15）Measuring Atmospheric Electric Field Using Novel Micromachined Sensor   2011-02-20
（16）Design of A Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor   2010-09-05
（17）Design and Fabrication of a Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor   2010-07-06

已指导学生

顾植彬  硕士研究生  080901-物理电子学  

邓贺元  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

修日  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

王子龙  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

李嘉晨  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

邢学斌  硕士研究生  085400-电子信息  

   

080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息

传感器与智能微系统
电学量检测技术及应用
智能感知与物联网