半导体芯片量检测

芯片晶圆缺陷检测

深紫外光学系统

大口径光学系统

博士研究生

硕士研究生

080901-物理电子学
080902-电路与系统

光学系统设计，自由曲面检测，光学系统集成
半导体芯片缺陷检测技术

2015-09--2019-06   中国科学院大学   博士研究生
2004-09--2007-01   大连理工大学   硕士
2000-09--2004-07   大连理工大学   本科

博士研究生 中国科学院大学 2015.9~2019.6

硕士 大连理工大学 2007.1

博士 中国科学院大学 2019.6

2007.3-2023.5 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

2023.6-至今 国科大杭州高等研究院

2023-06~现在, 国科大杭州高等研究院, 研究员
2007-03~2023-05,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 探测部主任助理/博士

2017-05-01-今,Optik 期刊审稿人,

现指导学生

张贵帆  硕士研究生  085408-光电信息工程  

张天宇  硕士研究生  085408-光电信息工程  

雷皓东  硕士研究生  085408-光电信息工程  

张瑞楼  硕士研究生  080902-电路与系统  

李丞  硕士研究生  080902-电路与系统  

郭琴霞  硕士研究生  080902-电路与系统  

教猛凯  硕士研究生  080902-电路与系统  

徐元康  硕士研究生  085408-光电信息工程  

徐进昶  硕士研究生  085410-人工智能  

王文韬  硕士研究生  085408-光电信息工程  

胡君哲  硕士研究生  085408-光电信息工程  

朱润之  博士研究生  080901-物理电子学