真空技术

2005-09--2009-06   中科院研究生院   博士
2002-09--2005-06   中科院研究生院   硕士
1995-09--1999-07   合肥工业大学   本科

研究生

博士

1999.07—2005.03  中科院近代物理研究所助理工程师

2005.03—2010.10  中科院近代物理研究所工程师

2010.10—2017.11  中科院近代物理研究所高级工程师

2017.12—2018.5  中科院近代物理研究所正高级工程师

2019.07—     中科院近代物理研究所真空技术室主任

（1） 碳离子治癌研究及大型肿瘤治疗装置研发与产业化, 特等奖, 省级, 2020

（ 1 ） 加强筋结构的超薄壁真空腔室的制作方法, 发明专利, 2024, 第 2 作者, 专利号: CN117066822B

（ 2 ） 一种抑制差分系统充气气流效应的装置及方法, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN113301704B

（ 3 ） 一种TiZrCo真空吸气剂薄膜及其制备方法与应用, 发明专利, 2023, 第 2 作者, 专利号: CN116575005A

（ 4 ） 一种TiZrV-Al磁控溅射靶材及其制备方法, 发明专利, 2023, 第 2 作者, 专利号: CN116555714A

（ 5 ） 超薄壁金属内衬真空腔室的制作方法, 2023, 第 1 作者, 专利号: CN116133225B

（ 6 ） 具有超薄壁和金属内衬的真空腔室结构, 发明专利, 2023, 第 2 作者, 专利号: CN116489863A

（ 7 ） 一种多样靶材解吸率测试装置, 2023, 第 3 作者, 专利号: CN107179384B

（ 8 ） 一种多靶直流磁控溅射镀膜装置及其在沉积陶瓷基底多层金属膜中的应用, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN115386848A

（ 9 ） 一种控制薄壁弯转真空室烘烤变形的装置、系统和方法, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114877704A

（ 10 ） 紧凑型多离子加速器治疗装置及其应用, 发明专利, 2022, 第 9 作者, 专利号: CN114867184A

（ 11 ） 一种用于真空管道的高温烘烤结构, 实用新型, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN217088181U

（ 12 ） 一种用于强辐射区的真空法兰装置, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114760748A

（ 13 ） 一种用于极高真空系统的钛升华泵结构及其使用方法, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114678252A

（ 14 ） 一种弯弧加速器内壁镀膜装置及其磁控溅射镀膜方法, 发明专利, 2021, 第 14 作者, 专利号: CN111334770B

（ 15 ） 一种抑制差分系统充气气流效应的装置及方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113301704A

（ 16 ） 一种加速器强辐射区的管道连接装置, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113271708A

（ 17 ） 一种材料出气率测试装置及方法, 发明专利, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN112683726A

（ 18 ） 一种加速器真空管道强度测试装置, 发明专利, 2020, 第 2 作者, 专利号: CN111504792A

（ 19 ） 一种真空系统中解吸率测试装置, 发明专利, 2020, 第 3 作者, 专利号: CN111398405A

（ 20 ） 一种用于放射性靶区的屏蔽装置及真空系统, 发明专利, 2020, 第 8 作者, 专利号: CN111031653A

（ 21 ） 一种离子泵性能测试和优化装置及其测试和优化方法, 发明专利, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109707612A

（ 22 ） 粒子加速器中的真空室的真空烘烤系统及方法, 发明专利, 2019, 第 12 作者, 专利号: CN109587927A

（ 23 ） 用于加速器的真空管, 专利授权, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108831812A

（ 24 ） 同步加速器的管道结构及同步加速器, 实用新型, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN207796293U

（ 25 ） 同步加速器的真空管道结构及同步加速器, 发明专利, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108150730A

（ 26 ） 磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法, 发明专利, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN107794496A

（ 27 ） 一种多样靶材解吸率测试装置, 发明专利, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN206788140U

（ 28 ） 一种多样靶材解吸率测试装置, 实用新型, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107179384A

（ 29 ） 非圆断面薄壁真空管道及非圆断面薄壁真空室, 实用新型, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN202231941U

（ 30 ） 非圆断面薄壁真空管道及非圆断面薄壁真空室, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102348320A

（ 31 ） 一种粒子束能够通过的非金属真空隔离窗, 发明专利, 2011, 第 1 作者, 专利号: CN102103968A

（ 32 ） 一种用于真空系统中的管道, 发明专利, 2008, 第 4 作者, 专利号: CN201106719Y

（ 33 ） 溅射离子泵的供电电源及电源驱动方法, 发明专利, 2008, 第 5 作者, 专利号: CN100363535C

（ 34 ） 一种用于真空系统中的管道, 发明专利, 2007, 第 4 作者, 专利号: CN101093037A

（ 35 ） 钛升华泵灯丝的除气工艺, 发明专利, 2007, 第 1 作者, 专利号: CN1920302A

（ 36 ） 溅射离子泵的电源, 发明专利, 2006, 第 5 作者, 专利号: CN2839301Y

（ 37 ） 奥氏体不锈钢真空除气工艺, 发明专利, 2006, 第 3 作者, 专利号: CN1831156A

（ 38 ） 大口径金属密封活套法兰, 发明专利, 2006, 第 5 作者, 专利号: CN2791433Y

（ 39 ） 真空系统获得极高真空的烘烤工艺, 发明专利, 2006, 第 5 作者, 专利号: CN1715441A

（ 40 ） 溅射离子泵的电源驱动方法, 发明专利, 2005, 第 5 作者, 专利号: CN1696333A

（ 41 ） 钛升华泵电源, 发明专利, 2003, 第 3 作者, 专利号: CN2580140Y

（ 42 ） 可拆卸式电加热套, 发明专利, 2003, 第 5 作者, 专利号: CN2548386Y

   

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已指导学生

李长春  博士研究生  082703-核技术及应用  

柴振  博士研究生  082703-核技术及应用  

现指导学生

刘建龙  博士研究生  082700-核科学与技术