基本信息
应利良  男    中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件: llying@mail.sim.ac.cn
通信地址: 上海市长宁区长宁路865号3号楼319室
邮政编码: 200050

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
招生方向
超导器件工艺
超导大规模集成工艺
超导薄膜制备研究

教育背景

2005-09--2011-07   上海大学   博士
1999-09--2003-07   上海大学   学士

工作经历

   
工作简历
2022-01~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 正高级工程师
2018-01~2021-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 高级工程师
2013-05~2017-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 工程师
2012-10~2013-04,日本产业技术综合研究所(AIST), 访问学者
2011-07~2012-09,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 工程师
2008-08~2008-11,德国德累斯顿固体与材料研究所(IFW), 访问学者
2007-08~2007-11,德国德累斯顿固体与材料研究所(IFW), 访问学者

专利与奖励

   
专利成果
[1] 谢辉, 何桂香, 应利良, 彭炜, 王镇. 超导集成电路及其制备方法. CN: CN116568123A, 2023-08-08.
[2] 应利良, 唐瑀锶, 彭炜, 任洁, 王镇. 一种分步刻蚀的约瑟夫森结制备方法. 202211209042.7, 2022-09-30.
[3] 应利良, 林倩, 石炜峰, 任洁, 王镇. 应用于超导集成电路的堆栈式电连接结构及其制备方法. CN: CN114496915A, 2022-05-13.
[4] 应利良, 林倩, 石炜峰, 任洁, 王镇. 应用于超导集成电路的堆栈式电连接结构及其制备方法. CN: CN114496915A, 2022-05-13.
[5] 应利良, 林倩, 石炜峰, 任洁, 王镇. 应用于超导集成电路的堆栈式电连接结构及其制备方法. CN: CN114496915A, 2022-05-13.
[6] 任洁, 林倩, 应利良, 王镇. 一种双层约瑟夫森结的超导集成电路及其制备方法. CN: CN114497113A, 2022-05-13.
[7] 任洁, 林倩, 应利良, 王镇. 一种双层约瑟夫森结的超导集成电路及其制备方法. CN: CN114497113A, 2022-05-13.
[8] 任洁, 林倩, 应利良, 王镇. 一种双层约瑟夫森结的超导集成电路及其制备方法. CN: CN114497113A, 2022-05-13.
[9] 任洁, 陈理云, 应利良, 王镇. 超导单磁通量子电路的测试系统及方法. CN: CN113447795B, 2023-02-03.
[10] 任洁, 陈理云, 应利良, 王镇. 超导单磁通量子电路的测试系统及方法. CN: CN113447795A, 2021-09-28.
[11] 任洁, 许婉宁, 应利良, 王镇. 提高超导集成电路工作范围的方法. CN: 202110426087.9, 2021-07-02.
[12] 任洁, 陈理云, 应利良, 王镇. 超导高频降频模块和方法、超导高频测试系统和方法. CN: 202110367341.2, 2021-07-09.
[13] 应利良, 张雪, 任洁, 王镇. 约瑟夫森结及其超导器件与制备方法. CN: 202011518329.9, 2020-12-21.
[14] 张雪, 应利良, 任洁, 王镇. 深亚微米约瑟夫森隧道结及其制备方法. CN: CN114497344A, 2022-05-13.
[15] 张雪, 应利良, 任洁, 王镇. 深亚微米约瑟夫森隧道结及其制备方法. CN: CN114497344A, 2022-05-13.
[16] 张雪, 应利良, 任洁, 王镇. 深亚微米约瑟夫森隧道结及其制备方法. CN: CN114497344A, 2022-05-13.
[17] 林志荣, 薛航, 江文兵, 应利良, 王镇. 一种磁通驱动约瑟夫森参量放大器及其制备方法. CN: CN111953308A, 2020-11-17.
[18] 应利良. 超导连接通道及其制备方法. CN: CN111933787A, 2020-11-13.
[19] 应利良, 张雪, 任洁, 王镇. 一种平面超导纳米桥结的制备方法. CN: CN111682096A, 2020-09-18.
[20] 应利良, 许婉宁, 任洁, 王镇. 一种纳米超导量子干涉器件及其制备方法. CN: CN111463342A, 2020-07-28.
[21] 应利良, 许婉宁, 任洁, 王镇. 一种纳米超导量子干涉器件及其制备方法. CN: CN111463342B, 2022-03-25.
[22] 伍文涛, 梁恬恬, 张国峰, 应利良, 王永良, 高波, 彭炜, 王镇. 一种约瑟夫森结及超导量子干涉器件的制备方法. CN: CN111244259A, 2020-06-05.
[23] 伍文涛, 梁恬恬, 张国峰, 应利良, 王永良, 高波, 彭炜, 王镇. 一种约瑟夫森结及超导量子干涉器件的制备方法. CN: CN111244259B, 2023-07-25.
[24] 应利良, 许婉宁, 任洁, 王镇. 金属侧壁的制备方法及器件结构. CN: 201910506664.8, 2019-06-12.
[25] 唐鑫, 王会武, 张栖瑜, 石炜峰, 应利良, 公凯轩, 彭炜, 王镇. 约瑟夫森结的制备方法. CN: CN110148664A, 2019-08-20.
[26] 王镇, 李秀婷, 高小平, 任洁, 应利良. 一种超导数字电路设计方法. CN: CN110032792A, 2019-07-19.
[27] 许婉宁, 任洁, 应利良, 王镇. 一种用于并行数据存储的超导高速缓冲存储器. CN: CN109508303A, 2019-03-22.
[28] 任洁, 杨若婷, 李冠群, 应利良, 王镇. 约瑟夫森结电路模型和超导集成电路结构及建立方法. 中国: CN107704649A, 2018-02-16.
[29] 王会武, 张栖瑜, 刘全胜, 应利良, 王镇. 全张量磁场梯度测量组件及制备方法. CN: CN107329098A, 2017-11-07.
[30] 王会武, 张栖瑜, 刘全胜, 应利良, 王镇. 三维磁场测量组件及制备方法. CN: CN107229021A, 2017-10-03.
[31] 王会武, 刘全胜, 张栖瑜, 刘晓宇, 马林贤, 应利良, 王镇. 集成于约瑟夫森结的超导磁场线圈及其制备方法. CN: CN106953000A, 2017-07-14.
[32] 王会武, 刘全胜, 张栖瑜, 应利良, 王镇. 氮化铌SQUID器件、制备方法及参数后处理方法. CN: CN106816525A, 2017-06-09.
[33] 任洁, 应利良, 王镇. 基于ERSFQ电路的低温超导读出电路及读出系统. CN: CN106767944B, 2019-02-22.
[34] 熊伟, 应利良, 王会武, 任洁, 王镇. 台阶区域覆盖有超导覆盖层的超导电路结构及其制备方法. 中国: CN105702849B, 2018-09-07.
[35] 张栖瑜, 王会武, 刘全胜, 蒋坤, 应利良, 王镇. 一种超导量子干涉器件的封装结构. CN: CN105489750A, 2016-04-13.
[36] 应利良, 熊伟, 张露, 孔祥燕, 任洁, 王镇. 一种超导电路结构及其制备方法. CN: CN105633268B, 2019-04-05.
[37] 刘全胜, 王会武, 张栖瑜, 应利良, 王镇. 氮化铌薄膜的制备方法、SQUID器件及其制备方法. CN: CN105449094A, 2016-03-30.
[38] 应利良, 熊伟, 王会武, 张国峰, 王镇. 一种双通道超导连接及其制备方法. CN: CN105428517A, 2016-03-23.
[39] 刘全胜, 王会武, 应利良, 张国峰, 王镇. 无磁屏蔽环境下抑制磁场干扰的SQUID器件的结构. CN: CN104377299A, 2015-02-25.
[40] 亢心洁, 王会武, 应利良, 高波, 谢晓明. 一种经改进的高温SQUID的封装结构及方法. CN: CN103871976A, 2014-06-18.

出版信息

   
发表论文
[1] Siqi Li, Minghui Niu, Huanli Liu, Xiaoping Gao, Liliang Ying, Jie Ren. Periodic-threshold amalgamated quasi-one-junction SQUID comparator. PHYSICA C: SUPERCONDUCTIVITY AND ITS APPLICATIONS. 2024, 第 5 作者618: http://dx.doi.org/10.1016/j.physc.2024.1354445.
[2] Yang Gao, Xi Gao, Jie Ren, Liliang Ying, Minghui Niu, Hui Zhang, Weifeng Shi, Yujian Ding, Zhen Wang. New figure of merit to compare josephson balanced comparators. PHYSICA C: SUPERCONDUCTIVITY AND ITS APPLICATIONS. 2023, 第 4 作者610: http://dx.doi.org/10.1016/j.physc.2023.1354281.
[3] Kuang Liu, He, Xiaoliang, Zhengqi Niu, Xue Hang, Wenbing Jiang, Liliang Ying, Wei Peng, Masaaki Maezawa, Zhirong Lin, Xiaoming Xie, Zhen Wang. Quasiparticle dynamics in superconducting quantum-classical hybrid circuits. PHYSICAL REVIEW B[J]. 2023, 第 6 作者
[4] Li, Songrui, Chen, Liyun, Ying, Liliang, Ren, Jie, Wang, Zhen. Demonstration and Comparison of On-Chip High-Frequency Test Methods for RSFQ Circuits. IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY[J]. 2023, 第 3 作者33(5): http://dx.doi.org/10.1109/TASC.2023.3234880.
[5] YingYuChen, ChaoQunWang, YuanXingXu, YueZhao, LiLiangYing, HangXingXie, BoGao, ZhenWang. Increasing linear flux range of SQUID amplifier using self-feedback effect. Chinese Physics B[J]. 2023, 第 5 作者32(11): 118501, https://cpb.iphy.ac.cn/EN/10.1088/1674-1056/acd8ac.
[6] 郑亦宁, 陈滢宇, 徐元星, 张洹千, 唐丽红, 应利良, 谢颃星, 高波, 王镇. Development of sensor SQUID and Zappe interferometer switch for HUBS. Space Telescopes and Instrumentation 2022: Ultraviolet to Gamma Ray. 2022, 第 6 作者
[7] HouRongZhou, KunJieCheng, JieRen, LiXingYou, LiLiangYing, XiaoYanYang, HaoLi, ZhenWang. Photon number resolvability of multi-pixel superconducting nanowire single photon detectors using a single flux quantum circuit. Chinese Physics B[J]. 2022, 第 5 作者31(5): 57401-057401, https://cpb.iphy.ac.cn/EN/10.1088/1674-1056/ac398a.
[8] Yang Gao, Xi Gao, Jie Ren, Siqi Li, Xue Zhang, Hui Zhang, Qian Lin, Minghui Niu, Weifeng Shi, Liliang Ying, Zhen Wang. Josephson junction parameters extraction method for the RCLSJ model. Physica C: Superconductivity and its Applications[J]. 2022, 第 10 作者598: 
[9] WentaoWu, ZhirongLin, ZhiNi, PeizhanLi, TiantianLiang, GuofengZhang, YongliangWang, LiliangYing, WeiPeng, WenZhang, ShengcaiShi, LixingYou, ZhenWang. Development of series SQUID array with on-chip filter for TES detector. Chinese Physics B[J]. 2022, 第 8 作者31(2): 28504-028504, https://cpb.iphy.ac.cn/EN/10.1088/1674-1056/ac2b91.
[10] Chen, Liyun, Maezawa, Masaaki, Ying, Liliang, Ren, Jie, Wang, Zhen. On-chip test vector generation and downsampling for testing RSFQ circuits. SUPERCONDUCTOR SCIENCE & TECHNOLOGY[J]. 2022, 第 3 作者35(11): 
[11] Xue Zhang, Liliang Ying, Minghui Niu, Hui Zhang, Huanli Liu, Yu Wu, Wanning Xu, Liyun Chen, Yingyi Shao, Tiantian Liang, Linxian Ma, Hua Jin, Hui Xie, Yang Gao, Hao Sun, Jie Ren, Wei Peng, Masaaki Maezawa, Zhen Wang. Process Control Monitoring for Fabrication Technology of Superconducting Integrated Circuits. IEEE Transactions on Applied Superconductivity[J]. 2021, 第 2 作者31(5): 
[12] 梁恬恬, 张国峰, 伍文涛, 倪志, 王永良, 应利良, 伍俊, 荣亮亮, 彭炜, 高波. 串联超导量子干涉器件阵列制备与测试分析. 物理学报[J]. 2021, 第 6 作者70(17): 318-323, https://wulixb.iphy.ac.cn/cn/article/doi/10.7498/aps.70.20210467.
[13] Liang TianTian, Zhang GuoFeng, Wu WenTao, Ni Zhi, Wang YongLiang, Ying LiLiang, Wu Jun, Rong LiangLiang, Peng Wei, Gao Bo. Fabrication and experimental analysis of series superconducting quantum inteference device array. ACTA PHYSICA SINICA[J]. 2021, 第 6 作者70(17): 
[14] Xu, Wanning, Ying, Liliang, Lin, Qian, Ren, Jie, Wang, Zhen. Design and implementation of bit-parallel RSFQ shift register memories. SUPERCONDUCTOR SCIENCE & TECHNOLOGY[J]. 2021, 第 2 作者34(8): 
[15] Liyun Chen, Minghui Niu, Guanqun Li, Xiaoping Gao, Wanning Xu, Liliang Ying, Jie Ren, Zhen Wang. Research On Power Dissipation of ERSFQ Circuits. IEEE Transactions on Applied Superconductivity[J]. 2021, 第 6 作者31(5): 
[16] Xu, Wanning, Wu, Yu, Jin, Hua, Ying, Liliang, Ren, Jie, Chen, Liyun, Shao, Yingyi, Li, Xiuting, Peng, Wei, Wang, Zhen. Investigation for Low-Rate Fenceless Al Etching Applied in Fabrication of Superconducting Circuits. IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY[J]. 2020, 第 4 作者  通讯作者  30(7): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000575635800002.
[17] Liang, Tiantian, Zhang, Guofeng, Wu, Wentao, Wang, Yongliang, Zhang, Lu, Jin, Hua, Zhang, Xue, Ying, Liliang, Gao, Bo. Fabrication and Characterization of Molybdenum Thin-Film Resistor for Superconducting Quantum Devices. IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY[J]. 2020, 第 8 作者30(7): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000572134200001.
[18] Wei Xiong, Liliang Ying, Yu Wu, Jie Ren, Wei Peng, Zhen Wang. Development of Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junctions for Large Scale Integrated Digital Circuits. IEEE Transactions on Applied Superconductivity[J]. 2017, 第 2 作者27(4): 

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 大规模超导集成电路工艺研发, 负责人, 中国科学院计划, 2018-02--2023-12
( 2 ) 中科院关键技术人才, 负责人, 中国科学院计划, 2018-01--2020-12
( 3 ) 大规模超导集成电路高保真器件模型研究, 负责人, 地方任务, 2021-07--2023-06
( 4 ) 高带宽超导模数转换器芯片, 负责人, 国家任务, 2023-12--2027-11
参与会议
(1)超导大规模集成电路工艺研发   第十六届全国超导学术研讨会   应利良   2021-10-20
(2)Development of Multi-Layer Fabrication Process for SFQ Large Scale Integrated Digital Circuits   2020应用超导会议(ASC)   Liliang Ying, Xue Zhang, Minghui Niu, Jie Ren, Wei Peng, Masaaki Maezawa, and Zhen Wang   2020-10-29
(3)Development of 4-layer-Nb process for SFQ circuits   2018国际超导传感器和探测器研讨会(IWSSD)   Liliang Ying, Yu Wu, Wanning Xu, Guanqun Li, Jie Ren, Wei Peng, Zhen Wang,   2018-07-25
(4)Measurement of Specific Capacitance for Nb/Al-AlOx/Nb Josephson Junctions in Single Flux Quantum Circuit Applications   2017国际超导电子学会议(ISEC)   Liliang Ying ,Wei Xiong, Yu Wu,Guanqun Li , Jie Ren, Wei Peng, and Zhen Wang   2017-06-15
(5)Development of Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junction for Large Scale Integrated Digital Circuits   2016应用超导会议(ASC)   Liliang Ying*, Wei Xiong, Jie Ren, Wei Peng, Zhen Wang   2016-09-06
(6)Fabrication and measurements of Nb/Al-AlOx/Nb tunnel junctions and DC SQUID   2015应用超导与电磁装置技术国际学术会议(ASEMD)   Wei Xiong, Liliang Ying, Hai Wang, Guofeng Zhang, Zhen Wang   2015-11-22
(7)Development of NbAl-AlOxNb Tunnel Junctions for DC SQUID Magnetometers   2015国际超导电子学会议(ISEC)   Liliang Ying, Wei Xiong,Hai Wang, Guofeng Zhang, Wei Peng, Xiangyan Kong, Xiaoming Xie, Zhen Wang   2015-07-08
(8)Investigation of Interface and Tunneling Barrier Height for Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junctions   2014应用超导会议(ASC)   应利良   2014-08-12
(9)Investigation of Interface and Tunneling Barrier Height for Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junctions   2014 SIMIT-NICT研讨会   应利良   2014-03-04
(10)约瑟夫森结中 Nb 膜表面阳极氧化层的研究及应用   第 12 届全国全国超导学术研讨会   应利良   2013-07-30