080903-微电子学与固体电子学

超导器件工艺
超导大规模集成工艺
超导薄膜制备研究

2005-09--2011-07   上海大学   博士
1999-09--2003-07   上海大学   学士

   

2022-01~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 正高级工程师
2018-01~2021-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 高级工程师
2013-05~2017-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 工程师
2012-10~2013-04,日本产业技术综合研究所(AIST), 访问学者
2011-07~2012-09,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 工程师
2008-08~2008-11,德国德累斯顿固体与材料研究所(IFW), 访问学者
2007-08~2007-11,德国德累斯顿固体与材料研究所(IFW), 访问学者

   

[1] 谢辉, 何桂香, 应利良, 彭炜, 王镇. 超导集成电路及其制备方法. CN: CN116568123A, 2023-08-08.
[2] 应利良, 唐瑀锶, 彭炜, 任洁, 王镇. 一种分步刻蚀的约瑟夫森结制备方法. 202211209042.7, 2022-09-30.
[3] 应利良, 林倩, 石炜峰, 任洁, 王镇. 应用于超导集成电路的堆栈式电连接结构及其制备方法. CN: CN114496915A, 2022-05-13.
[4] 应利良, 林倩, 石炜峰, 任洁, 王镇. 应用于超导集成电路的堆栈式电连接结构及其制备方法. CN: CN114496915A, 2022-05-13.
[5] 应利良, 林倩, 石炜峰, 任洁, 王镇. 应用于超导集成电路的堆栈式电连接结构及其制备方法. CN: CN114496915A, 2022-05-13.
[6] 任洁, 林倩, 应利良, 王镇. 一种双层约瑟夫森结的超导集成电路及其制备方法. CN: CN114497113A, 2022-05-13.
[7] 任洁, 林倩, 应利良, 王镇. 一种双层约瑟夫森结的超导集成电路及其制备方法. CN: CN114497113A, 2022-05-13.
[8] 任洁, 林倩, 应利良, 王镇. 一种双层约瑟夫森结的超导集成电路及其制备方法. CN: CN114497113A, 2022-05-13.
[9] 任洁, 陈理云, 应利良, 王镇. 超导单磁通量子电路的测试系统及方法. CN: CN113447795B, 2023-02-03.
[10] 任洁, 陈理云, 应利良, 王镇. 超导单磁通量子电路的测试系统及方法. CN: CN113447795A, 2021-09-28.
[11] 任洁, 许婉宁, 应利良, 王镇. 提高超导集成电路工作范围的方法. CN: 202110426087.9, 2021-07-02.
[12] 任洁, 陈理云, 应利良, 王镇. 超导高频降频模块和方法、超导高频测试系统和方法. CN: 202110367341.2, 2021-07-09.
[13] 应利良, 张雪, 任洁, 王镇. 约瑟夫森结及其超导器件与制备方法. CN: 202011518329.9, 2020-12-21.
[14] 张雪, 应利良, 任洁, 王镇. 深亚微米约瑟夫森隧道结及其制备方法. CN: CN114497344A, 2022-05-13.
[15] 张雪, 应利良, 任洁, 王镇. 深亚微米约瑟夫森隧道结及其制备方法. CN: CN114497344A, 2022-05-13.
[16] 张雪, 应利良, 任洁, 王镇. 深亚微米约瑟夫森隧道结及其制备方法. CN: CN114497344A, 2022-05-13.
[17] 林志荣, 薛航, 江文兵, 应利良, 王镇. 一种磁通驱动约瑟夫森参量放大器及其制备方法. CN: CN111953308A, 2020-11-17.
[18] 应利良. 超导连接通道及其制备方法. CN: CN111933787A, 2020-11-13.
[19] 应利良, 张雪, 任洁, 王镇. 一种平面超导纳米桥结的制备方法. CN: CN111682096A, 2020-09-18.
[20] 应利良, 许婉宁, 任洁, 王镇. 一种纳米超导量子干涉器件及其制备方法. CN: CN111463342A, 2020-07-28.
[21] 应利良, 许婉宁, 任洁, 王镇. 一种纳米超导量子干涉器件及其制备方法. CN: CN111463342B, 2022-03-25.
[22] 伍文涛, 梁恬恬, 张国峰, 应利良, 王永良, 高波, 彭炜, 王镇. 一种约瑟夫森结及超导量子干涉器件的制备方法. CN: CN111244259A, 2020-06-05.
[23] 伍文涛, 梁恬恬, 张国峰, 应利良, 王永良, 高波, 彭炜, 王镇. 一种约瑟夫森结及超导量子干涉器件的制备方法. CN: CN111244259B, 2023-07-25.
[24] 应利良, 许婉宁, 任洁, 王镇. 金属侧壁的制备方法及器件结构. CN: 201910506664.8, 2019-06-12.
[25] 唐鑫, 王会武, 张栖瑜, 石炜峰, 应利良, 公凯轩, 彭炜, 王镇. 约瑟夫森结的制备方法. CN: CN110148664A, 2019-08-20.
[26] 王镇, 李秀婷, 高小平, 任洁, 应利良. 一种超导数字电路设计方法. CN: CN110032792A, 2019-07-19.
[27] 许婉宁, 任洁, 应利良, 王镇. 一种用于并行数据存储的超导高速缓冲存储器. CN: CN109508303A, 2019-03-22.
[28] 任洁, 杨若婷, 李冠群, 应利良, 王镇. 约瑟夫森结电路模型和超导集成电路结构及建立方法. 中国: CN107704649A, 2018-02-16.
[29] 王会武, 张栖瑜, 刘全胜, 应利良, 王镇. 全张量磁场梯度测量组件及制备方法. CN: CN107329098A, 2017-11-07.
[30] 王会武, 张栖瑜, 刘全胜, 应利良, 王镇. 三维磁场测量组件及制备方法. CN: CN107229021A, 2017-10-03.
[31] 王会武, 刘全胜, 张栖瑜, 刘晓宇, 马林贤, 应利良, 王镇. 集成于约瑟夫森结的超导磁场线圈及其制备方法. CN: CN106953000A, 2017-07-14.
[32] 王会武, 刘全胜, 张栖瑜, 应利良, 王镇. 氮化铌SQUID器件、制备方法及参数后处理方法. CN: CN106816525A, 2017-06-09.
[33] 任洁, 应利良, 王镇. 基于ERSFQ电路的低温超导读出电路及读出系统. CN: CN106767944B, 2019-02-22.
[34] 熊伟, 应利良, 王会武, 任洁, 王镇. 台阶区域覆盖有超导覆盖层的超导电路结构及其制备方法. 中国: CN105702849B, 2018-09-07.
[35] 张栖瑜, 王会武, 刘全胜, 蒋坤, 应利良, 王镇. 一种超导量子干涉器件的封装结构. CN: CN105489750A, 2016-04-13.
[36] 应利良, 熊伟, 张露, 孔祥燕, 任洁, 王镇. 一种超导电路结构及其制备方法. CN: CN105633268B, 2019-04-05.
[37] 刘全胜, 王会武, 张栖瑜, 应利良, 王镇. 氮化铌薄膜的制备方法、SQUID器件及其制备方法. CN: CN105449094A, 2016-03-30.
[38] 应利良, 熊伟, 王会武, 张国峰, 王镇. 一种双通道超导连接及其制备方法. CN: CN105428517A, 2016-03-23.
[39] 刘全胜, 王会武, 应利良, 张国峰, 王镇. 无磁屏蔽环境下抑制磁场干扰的SQUID器件的结构. CN: CN104377299A, 2015-02-25.
[40] 亢心洁, 王会武, 应利良, 高波, 谢晓明. 一种经改进的高温SQUID的封装结构及方法. CN: CN103871976A, 2014-06-18.

   

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[16] Xu, Wanning, Wu, Yu, Jin, Hua, Ying, Liliang, Ren, Jie, Chen, Liyun, Shao, Yingyi, Li, Xiuting, Peng, Wei, Wang, Zhen. Investigation for Low-Rate Fenceless Al Etching Applied in Fabrication of Superconducting Circuits. IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY[J]. 2020, 第 4 作者  通讯作者  30(7): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000575635800002.
[17] Liang, Tiantian, Zhang, Guofeng, Wu, Wentao, Wang, Yongliang, Zhang, Lu, Jin, Hua, Zhang, Xue, Ying, Liliang, Gao, Bo. Fabrication and Characterization of Molybdenum Thin-Film Resistor for Superconducting Quantum Devices. IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPERCONDUCTIVITY[J]. 2020, 第 8 作者30(7): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000572134200001.
[18] Wei Xiong, Liliang Ying, Yu Wu, Jie Ren, Wei Peng, Zhen Wang. Development of Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junctions for Large Scale Integrated Digital Circuits. IEEE Transactions on Applied Superconductivity[J]. 2017, 第 2 作者27(4): 

   

（ 1 ） 大规模超导集成电路工艺研发, 负责人, 中国科学院计划, 2018-02--2023-12
（ 2 ） 中科院关键技术人才, 负责人, 中国科学院计划, 2018-01--2020-12
（ 3 ） 大规模超导集成电路高保真器件模型研究, 负责人, 地方任务, 2021-07--2023-06
（ 4 ） 高带宽超导模数转换器芯片, 负责人, 国家任务, 2023-12--2027-11

（1）超导大规模集成电路工艺研发   第十六届全国超导学术研讨会   应利良   2021-10-20
（2）Development of Multi-Layer Fabrication Process for SFQ Large Scale Integrated Digital Circuits   2020应用超导会议(ASC)   Liliang Ying, Xue Zhang, Minghui Niu, Jie Ren, Wei Peng, Masaaki Maezawa, and Zhen Wang   2020-10-29
（3）Development of 4-layer-Nb process for SFQ circuits   2018国际超导传感器和探测器研讨会(IWSSD)   Liliang Ying, Yu Wu, Wanning Xu, Guanqun Li, Jie Ren, Wei Peng, Zhen Wang,   2018-07-25
（4）Measurement of Specific Capacitance for Nb/Al-AlOx/Nb Josephson Junctions in Single Flux Quantum Circuit Applications   2017国际超导电子学会议(ISEC)   Liliang Ying ，Wei Xiong, Yu Wu，Guanqun Li , Jie Ren, Wei Peng, and Zhen Wang   2017-06-15
（5）Development of Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junction for Large Scale Integrated Digital Circuits   2016应用超导会议(ASC)   Liliang Ying*, Wei Xiong, Jie Ren, Wei Peng, Zhen Wang   2016-09-06
（6）Fabrication and measurements of Nb/Al-AlOx/Nb tunnel junctions and DC SQUID   2015应用超导与电磁装置技术国际学术会议(ASEMD)   Wei Xiong, Liliang Ying, Hai Wang, Guofeng Zhang, Zhen Wang   2015-11-22
（7）Development of NbAl-AlOxNb Tunnel Junctions for DC SQUID Magnetometers   2015国际超导电子学会议(ISEC)   Liliang Ying, Wei Xiong,Hai Wang, Guofeng Zhang, Wei Peng, Xiangyan Kong, Xiaoming Xie, Zhen Wang   2015-07-08
（8）Investigation of Interface and Tunneling Barrier Height for Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junctions   2014应用超导会议(ASC)   应利良   2014-08-12
（9）Investigation of Interface and Tunneling Barrier Height for Nb/Al-AlOx/Nb Tunnel Junctions   2014 SIMIT-NICT研讨会   应利良   2014-03-04
（10）约瑟夫森结中 Nb 膜表面阳极氧化层的研究及应用   第 12 届全国全国超导学术研讨会   应利良   2013-07-30