声学与振动MEMS：微电子机械系统（Micro Electro-Machanical System), 简称MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理、控制电路以及通讯接口等组成的集信号采集（感知）、信号处理和执行、显示和控制为一体的微型集成系统。具有成本低、功耗低、集成度高等优点。声学与振动MEMS器件与系统在移动通讯、医用声学、物联网、水下探测、自动控制、汽车工程等领域有着重要的应用。
功能薄膜材料和器件：主要研究高性能铁电、压电、磁致伸缩等功能薄膜材料及其器件。

   

081002-信号与信息处理
085208-电子与通信工程

声学与振动MEMS
压电薄膜与器件

2004-09--2009-07   中国科学院声学研究所   博士
1999-09--2002-03   北京理工大学机械工程与自动化学院   硕士
1995-09--1999-07   北京理工大学机械工程与自动化学院   学士

   

2021-08--今, 中国科学院声学研究所 超声学实验室 副主任 

2018-07--今, 中国科学院声学研究所 研究员

2007-01--2018-07, 中国科学院声学研究所 副研究员 

2005-04--2007-01, 中国科学院声学研究所 助理研究员 

2002-04--2005-04, 中国科学院声学研究所 研究实习员

   

申请发明专利20余项，其中授权18项，代表性专利：

(1) 双质量块悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器芯片及制备方法,发明,2023,第 2 作者,专利号: 202310035451.8

(2) 一种基于双质量块多边形结构的MEMS矢量水听器芯片,发明,2023,第 3 作者,专利号: 202310034371.0

(3) 双质量块多边形结构的MEMS矢量水听器芯片的制备方法,发明,2023,第 3 作者,专利号: 202310036836.6

(4) 一种微硅球形腔的加工方法,发明,2022,第 2 作者,专利号: 2022114889612

(5) 一种制备介质膜片的设备及方法,发明,2022,第 2 作者,专利号: 202210073663.0

(6) 一种十字形板状MEMS压电指向性传感芯片,发明,2019,第 2 作者,专利号: 201911331181.5

(7) 十字形板状MEMS压电指向性传感芯片的制备方法,发明,2019,第 2 作者, 专利号:201911331218.4

(8) 一种简支悬臂梁结构MEMS压电矢量水听器及制备方法, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 201810630642.8

(9) 一种用于超声扫描显微镜的高频换能器及其制备方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201710683049.5

(10) 一种掺钒ZnO厚膜及其制备方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201711494906.3

(11) 一种U型槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710924451.8

(12) 一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201610007166.5

(13) 具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201610007249.4

(14) 具有微结构锆钛酸铅PZT厚膜的制备方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410515474X

(15)  一种软支撑桥式硅微压电超声换能器及其制备方法, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: ZL200910078945.4

(16)  一种软支撑桥式硅微压电传声器及其制备方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL200910078947.3

(17)  一种软支撑悬臂梁式硅微压电传声器及其制备方法, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: ZL200910078946.9

(18)  一种图形化锆钛酸铅铁电薄膜的剥离制备方法, 发明, 2009, 第 1 作者, 专利号: ZL200610112678.4

(19)  一种图形化铂/钛金属薄膜的剥离制备方法, 发明, 2009, 第 1 作者, 专利号: ZL200610112676.5

(20)  一种硅微压电式传感器芯片及其制备方法, 发明, 2008, 第 3 作者, 专利号: ZL200410098844.0

   

发表论文60余篇，代表性论文：

(1) Directivity Modeling and Simulation Analysis of a Novel Structure MEMS Piezoelectric Vector Hydrophone, MICROMACHINES, 2023, 通讯作者
(2) MEMS Piezoelectric bionic directional sound sensor based on ZnO thin film, Sensor. Actuat. A-Phys. 2022, 通讯作者
(3) PZT-Film-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer with I-Shaped Composite Diaphragm, Micromachines, 2022, 通讯作者
(4) Magnetron sputtering of ZnO thick film for high frequency focused ultrasonic transducer, Journal of Alloys and Compounds, 2023, 通讯作者
(5) 新型MEMS压电矢量水听器, 声学学报, 2023, 通讯作者
(6) Numerical simulation and experimental analysis of directivity of a MEMS piezoelectric vector hydrophone, Jpn.J. Appl. Phys. 2022, 通讯作者
(7) 聚焦超声换能器的仿真与性能分析, 压电与声光, 2022, 通讯作者
(8) 压电微机械超声换能器仿真与结构优化, 压电与声光, 2022, 通讯作者
(9) MEMS压电式矢量水听器仿真与结构优化, 压电与声光, 2021, 通讯作者
(10) MEMS压电指向性传声器仿真与性能优化, 压电与声光, 2021, 通讯作者
(11) Structure and piezoelectricity properties of V-doped ZnO thin films fabricated by sol-gel method, Journal of Alloys and Compounds,2020,通讯作者
(12) BST 铁电薄膜的制备及介电性能研究, 压电与声光, 2019, 通讯作者
(13) 溶胶-凝胶法制备掺钒ZnO纳米粉, 压电与声光, 2019, 通讯作者
(14) Design and Analysis of a Novel MEMS Piezoelectric Accelerometer for Vector Hydrophone, Symposiumon Piezoelectricity, Acoustic waves, and Device Applications, 2019, 通讯作者
(15) Experimental investigation of the detection and location of a target in layered media by using the TR-RTM mixed method, Science China (Physics, Mechanics & Astronomy), 2019, 第 4 作者
(16)  MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展, 应用声学, 2018, 第 1 作者
(17)  Reverse-time-migration imaging for a crack in a thin plate by dispersed flexural waves, AIP Advances, 2018, 第 4 作者
(18) ZnO thin film piezoelectric micromachined microphone with symmetric composite vibrating diaphragm, Smart Materials and Structures, 2017, 第 1 作者
(19) Design and Fabrication of Piezoelectric Micromachined Ultrasound Transducer (pMUT) with Partially-Etched ZnO Film, Sensors, 2017, 第 1 作者
(20)  Design and Analysis of MEMS Linear Phased Array, Micromachines, 2016, 通讯作者
(21) ZnO薄膜硅微压电矢量水听器, 声学学报, 2016, 第 1 作者
(22) 高次谐波体声波谐振器的机械品质因数, 声学学报, 2016, 第 3 作者
(23) 0-3 法制备 PZT 厚膜及其性能研究, Preparation and Properties of PZT Thick Film by 0-3 Method, 人工晶体学报 , 2015, 通讯作者
(24) Micro-patterning of PZT thick film by lift-off using ZnO a sasacrificial layer, Ceramics International, 2015, 第 1 作者
(25) Effect of Annealing Process on Properties of Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 Thin Films Prepared by Sol-Gel Method, Ferroelectrics, 2013, 第 1 作者
(26) Micromachined Ultrasonic Transducers Based on Lead Zirconate Titanate (PZT) Films, Microsystem Technologies, 2013, 第 1 作者
(27) Design of MEMS Piezoelectric Vector Hydrophone, Key Engineering Materials, 2013, 第 2 作者
(28) Influences of crystallization temperature and slurry concentration on stress of PZT thick film prepared by a modified sol-gel method, Key Engineering Materials, 2013, 第 3 作者
(29) 时间反转和逆时偏移混合法用于层状介质中目标的声学检测和定位, 声学学报, 2013, 第 4 作者
(30) 基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究, 机械工程学报, 2012, 第 1 作者
(31) Sｏｌ－Ｇｅｌ法制备ＰＺＴ粉体的工艺研究, 压电与声光, 2012, 通讯作者
(32) Design and Fabrication of a Novel PZT Films Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers, 2009 International Conference on Measuring Technology and Mechatronics Automation, 2009, 第 1 作者
(33) 不同厚度ZnO薄膜取向和应力的研究, 压电与声光, 2009, 第 1 作者
(34) Pt/Ti electrodes of PZT thin films patterning by novel lift-off using ZnO as a sacrificial layer., Chinese Physics Letters, 2008, 第 1 作者
(35) 衬底和O₂/Ar气体比例对ZnO薄膜结构及性能的影响, 功能材料, 2008, 第 1 作者
(36) Development and Analysis of A RF Film Bulk Acoustic Resonator, Chinese Journal of Semiconductors, 2008, 第 2 作者
(37)  应用于体声波谐振器的ZnO薄膜结构和电学特性, 功能材料与器件学报, 2008, 第 2 作者
(38)  圆形复合振动膜硅微压电传声器的研制, 声学技术, 2007, 第 1 作者
(39)  PZT 薄膜的制备及其与 MEMS 工艺的兼容性研究,半导体学报, 2006, 第 1 作者

（ 1 ）医用MEMS压电超声换能器及其阵列研究, 主持, 国家级, 2022-01--2025-12

（ 2 ）高性能压电微型医学超声换能器, 主持, 所级, 2021-10--2024-12

（ 3 ）面向MEMS水下传感器的掺杂氧化锌膜研究, 主持, 所级, 2021-01--2023-12

（ 4 ）掺钒氧化锌厚膜MEMS矢量水听器研究, 主持, 国家级, 2019-01--2022-12

（ 5 ）超声检测和成像的逆时偏移和时间反转混合方法, 参与,部委级, 2016-08--2022-12 

（ 6 ）MEMS水下换能器, 主持, 国家级, 2017-02--2021-12 

（ 7） MEMS声学矢量传感器研究, 子课题主持, 国家级, 2019-06--2021-12 

（ 8 ）基于BST可调声表面波滤波器关键技术研究, 主持, 国家级, 2018-08--2020-08

（ 9 ）基于微色谱技术的小型化声表面波毒气报警系统研究, 主持, 所级, 2016-01--2019-12 

（ 10 ）超声检测关键技术研究, 子课题主持, 国家级, 2016-01--2020-06