声学与振动MEMS：微电子机械系统（Micro Electro-Machanical System), 简称MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理、控制电路以及通信接口等组成的集信号采集（感知）、信号处理和执行、显示和控制为一体的微型集成系统。具有成本低、功耗低、集成度高等优点。声学与振动MEMS器件与系统在移动通信、医用声学、物联网、水下探测、自动控制、汽车工程等领域有着重要的应用。
功能薄膜材料和器件：主要研究高性能铁电、压电、磁致伸缩等功能薄膜材料及其器件。

   

081002-信号与信息处理
085208-电子与通信工程

声学与振动MEMS
压电薄膜与器件

2004-09--2009-07   中国科学院声学研究所   博士
1999-09--2002-03   北京理工大学机械工程与自动化学院   硕士
1995-09--1999-07   北京理工大学机械工程与自动化学院   学士

   

2021-08--今, 中国科学院声学研究所 超声学实验室 副主任 

2018-07--今, 中国科学院声学研究所 研究员

2007-01--2018-07, 中国科学院声学研究所 副研究员 

2005-04--2007-01, 中国科学院声学研究所 助理研究员 

2002-04--2005-04, 中国科学院声学研究所 研究实习员

   

声学MEMS器件原理与技术

（ 1 ）高温微加速度传感器, 主持, 国家任务, 2024-4--2030-12

（ 2 ）面向海洋湖泊监测的高性能微型化MEMS压电水声传感器关键技术研究，主持, 国家任务, 2023-12--2026-11

（ 3 ）超高频声波换能器, 主持, 国家任务, 2023-12--2026-11 

（ 4 ）医用MEMS压电超声换能器及其阵列研究, 主持, 国家任务, 2022-01--2025-12

（ 5 ）高性能压电微型医学超声换能器, 主持, 研究所自主部署, 2021-10--2024-12

（ 6 ）面向MEMS水下传感器的掺杂氧化锌膜研究, 主持, 研究所自主部署, 2021-01--2023-12

（ 7 ）掺钒氧化锌厚膜MEMS矢量水听器研究, 主持, 国家任务, 2019-01--2022-12

（ 8 ）超声检测和成像的逆时偏移和时间反转混合方法, 参与,中国科学院计划, 2016-08--2022-12 

（ 9 ）MEMS水下换能器, 主持, 国家任务, 2017-02--2021-12 

（ 10 ）MEMS声学矢量传感器研究, 子课题主持, 国家任务, 2019-06--2021-12 

（ 11 ）基于BST可调声表面波滤波器关键技术研究, 主持, 国家任务, 2018-08--2020-08

（ 12 ）基于微色谱技术的小型化声表面波毒气报警系统研究, 主持, 研究所自主部署, 2016-01--2019-12 

（ 13 ）高频超声检测关键技术研究, 主持, 国家任务, 2016-01--2020-06