基本信息
刘涛  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件： liutao@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码：

研究领域

长期从事微电子和纳米技术领域的先进量测技术与仪器方向研究。

主要围绕基于偏振光谱学、纳米光子学与光声等交叉学科，结合精密仪器技术，研制光学线宽膜厚、晶圆缺陷等面向微电子制程和微纳结构的尺度与物性量测技术与仪器。


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招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
080300-光学工程
招生方向
微电子光学量测技术与仪器
石英MEMS传感器
微纳量测技术

教育背景

2003-09--2009-01   佛罗里达国际大学   博士
1998-09--2003-07   中国科学技术大学   学士

工作经历

   
工作简历
2021-10~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
2013-10~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2010-04~现在, 中国科学院微电子研究所, 助理研究员
社会兼职
2021-06-01-今,中国科学技术大学, 校外导师
2015-06-01-2018-05-31,深圳中科飞测科技有限公司, 总监

指导学生

现指导学生

许帆  硕士研究生  085400-电子信息  

胡韬  硕士研究生  085400-电子信息  

魏铮  硕士研究生  085400-电子信息