长期从事微电子和纳米技术领域的先进量测技术与仪器方向研究。

主要围绕基于偏振光谱学、纳米光子学与光声等交叉学科，结合精密仪器技术，研制光学线宽膜厚、晶圆缺陷等面向微电子制程和微纳结构的尺度与物性量测技术与仪器。

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080903-微电子学与固体电子学
080300-光学工程

微电子光学量测技术与仪器
石英MEMS传感器
微纳量测技术

2003-09--2009-01   佛罗里达国际大学   博士
1998-09--2003-07   中国科学技术大学   学士

   

2021-10~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
2013-10~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员
2010-04~现在, 中国科学院微电子研究所, 助理研究员

2021-06-01-今,中国科学技术大学, 校外导师
2015-06-01-2018-05-31,深圳中科飞测科技有限公司, 总监

   

（1） 国际发明银奖, 二等奖, 部委级, 2005

（ 1 ） 一种高阶模态的石英晶体谐振器加工方法及装置, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: 202210754055.6

（ 2 ） 一种用于提高原子层沉积多层膜膜厚控制精度的方法, 发明专利, 2023, 第 6 作者, 专利号: CN116657118A

（ 3 ） 一种用于半导体中子探测器的微结构, 发明专利, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN115704910A

（ 4 ） 一种MEMS谐振式电场传感器灵敏度漂移补偿方法, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN115201585A

（ 5 ） 一种多层膜菲涅尔波带片的设计方法及系统, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114764192A

（ 6 ） 一种X射线显微成像系统及其厚度渐变式菲涅尔波带片, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN114765080A

（ 7 ） 近红外傅里叶变换偏振光谱仪, 发明专利, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN113804646A

（ 8 ） 一种图案化有机半导体的制备方法及形变拉伸测试方法, 发明专利, 2021, 第 12 作者, 专利号: CN113772620A

（ 9 ） 基于柔性衬底的有机半导体阵列转移方法, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113830725A

（ 10 ） 一种用于原子层沉积系统的平板式放电装置, 发明专利, 2021, 第 6 作者, 专利号: CN113755822A

（ 11 ） 近场光学偏振光谱仪, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113739920A

（ 12 ） 反射式近场光学偏振光谱仪, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: CN113739919A

（ 13 ） 保偏反射式近红外傅里叶变换偏振光谱仪, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113739918A

（ 14 ） 一种碘化亚铜薄膜的制备方法, 发明专利, 2021, 第 12 作者, 专利号: CN113699506A

（ 15 ） 一种掺杂的碘化亚铜薄膜的制备方法, 发明专利, 2021, 第 11 作者, 专利号: CN113699505A

（ 16 ） 一种集成镀膜设备的样品传输装置, 发明专利, 2021, 第 4 作者, 专利号: CN113445015A

（ 17 ） 一种石英晶体谐振器的加工方法及装置, 发明专利, 2021, 第 2 作者, 专利号: CN113452335A

（ 18 ） 一种可伸缩式光学镜片压紧结构, 实用新型, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN206532011U

（ 19 ） 可拆卸式晶圆传送盘, 实用新型, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN206584906U

（ 20 ） 一种可拆卸晶圆直线滑轨, 实用新型, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN206532758U

（ 21 ） 一种晶圆压紧装置, 实用新型, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN206532759U

（ 22 ） 一种圆盘净化隔离装置, 实用新型, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN206532757U

（ 23 ） 一种光路定标装置, 实用新型, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN206594350U

（ 24 ） 一种可调节式晶圆自中心定位装置, 实用新型, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN206532765U

（ 25 ） 一种分体式反光杯, 实用新型, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN206531986U

（ 26 ） 一种单光子成像探测器及其制造方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: CN105609511B

（ 27 ） 一种单光子成像探测器及其制造方法, 发明专利, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN105609511A

（ 28 ） 一种外延片拉曼散射光谱数据生成方法, 2017, 专利号: CN104697973B

（ 29 ） 一种在线实时检测外延片生长的装置, 2017, 专利号: CN104697974B

（ 30 ） 一种在线实时检测外延片生长的方法, 2017, 专利号: CN104697972B

（ 31 ） 一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104677835A

（ 32 ） 一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104677833A

（ 33 ） 一种自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104677836A

（ 34 ） 一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104677837A

（ 35 ） 一种利用全穆勒矩阵椭圆偏振仪进行光学测量的方法, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104677834A

（ 36 ） 一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统, 发明专利, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN104677838A

（ 37 ） 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN103968783B

（ 38 ） 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103968783A

（ 39 ） Broadband polarization spectrometer with inclined incidence and optical measurement system, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: US8767209(B2)

（ 40 ） 一种包含相位补偿器的椭圆偏振仪的校准方法, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN102878940A

（ 41 ） 一种包含相位补偿器的椭圆偏振仪的校准方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN102878940B

（ 42 ） 一种椭圆偏振仪的校准方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN102879337A

（ 43 ） 一种椭圆偏振仪的校准方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN102879337B

（ 44 ） 太阳能基板薄膜多任务测量系统, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN103575222B

（ 45 ） 光学无色差聚焦系统, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN103575230B

（ 46 ） 利用反射光谱测量单晶硅基太阳能表面增透膜的方法, 发明专利, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN103575703A

（ 47 ） 利用反射光谱测量硅基太阳能电池增透膜的方法, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN103575223B

（ 48 ） 光学无色差聚焦系统, 发明专利, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN103575230A

（ 49 ） W型光纤束及使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN103575392B

（ 50 ） 太阳能基板薄膜多任务测量系统, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN103575222A

（ 51 ） 利用反射光谱测量单晶硅基太阳能表面增透膜的方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103575703B

（ 52 ） W型光纤束及使用W型光纤束的半导体薄膜光学测量系统, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103575392A

（ 53 ） 利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN103512864B

（ 54 ） 利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统, 发明专利, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103512864A

（ 55 ） 宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103185638A

（ 56 ） 宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN103185638B

（ 57 ） 包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103162832A

（ 58 ） 包含参考光束的垂直入射光谱仪及光学测量系统, 2015, 第 3 作者, 专利号: CN103162830B

（ 59 ） 宽带偏振光谱仪及光学测量系统, 2014, 第 3 作者, 专利号: CN103162831B

（ 60 ） 宽带偏振光谱仪及光学测量系统, 发明专利, 2013, 第 3 作者, 专利号: CN103162831A

（ 61 ） 包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统, 2014, 第 2 作者, 专利号: CN103162832B

（ 62 ） 近垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN103134591B

（ 63 ） 包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103048047B

（ 64 ） 包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103048047A

（ 65 ） 包含相位元件的斜入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102338662B

（ 66 ） BROADBAND POLARIZATION SPECTROMETER WITH NORMAL INCIDENCE AND OPTICAL MEASURING SYSTEM, 发明专利, 2011, 第 2 作者, 专利号: WO2011150680-A1

（ 67 ） 斜入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN102297721B

（ 68 ） 利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102455511A

（ 69 ） 利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102455511B

（ 70 ） 垂直入射宽带光谱仪, 2013, 第 5 作者, 专利号: CN102269622B

   

[1] Laser Photonics Rev. 2023,   通讯作者  
[2] Nan, Chen, Yue, Wang, Yang, Xia, Tao, Liu. Broadband Near-Field Near-Infrared Spectroscopy and Imaging with a Laser-Driven Light Source. PHOTONICS[J]. 2022, 第 4 作者  通讯作者  9(2): http://apps.webofknowledge.com/CitedFullRecord.do?product=UA&colName=WOS&SID=5CCFccWmJJRAuMzNPjj&search_mode=CitedFullRecord&isickref=WOS:000764779800001.
[3] Wang Yue, Chen Nan, Wang Boyu, Liu Tao, Xia Yang. Fourier Transform Near-Infrared Spectral System Based on Laser-Driven Plasma Light Source. SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS[J]. 2022, 第 4 作者  通讯作者  42(6): 1666-1673, 
[4] 李磊, 张明烨, 冷兴龙, 张凌云, 夏洋, 刘涛. Qplus传感器工艺误差影响的仿真分析. 传感器与微系统. 2022, 第 6 作者41(10): 5-9, https://d.wanfangdata.com.cn/periodical/cgqjs202210002.
[5] 王玥, 陈楠, 王博雨, 刘涛, 夏洋. 基于激光驱动等离子体光源的近红外傅里叶变换光谱系统. 光谱学与光谱分析[J]. 2022, 第 4 作者  通讯作者  42(6): 1666-1673, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7107282635.
[6] 陈楠, 王玥, 刘涛, 夏洋. 散射式扫描近场光学显微系统的研制及应用测试. 光子学报[J]. 2021, 第 3 作者  通讯作者  50(11): 195-203, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7106124636.
[7] Chen Nan, Wang Yue, Wang Boyu, Xia Yang, Liu Tao. Research on Numerical Model of Nano-FTIR System Based on COMSOL. SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS[J]. 2021, 第 5 作者  通讯作者  41(4): 1125-1130, http://dx.doi.org/10.3964/j.issn.1000-0593(2021)04-1125-06.
[8] 陈楠, 王玥, 王博雨, 夏洋, 刘涛. 基于COMSOL的纳米傅里叶红外光谱系统数值模型. 光谱学与光谱分析[J]. 2021, 第 5 作者  通讯作者  41(4): 1125-1130, https://kns.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?dbcode=CJFQ&dbname=CJFDLAST2021&filename=GUAN202104026&v=MTE3ODdTN0RoMVQzcVRyV00xRnJDVVI3dWZZZWRtRmlEbVZick5JampLWUxHNEhORE1xNDlIWW9SOGVYMUx1eFk=.
[9] Nan, Chen, Yue, Wang, Tao, Liu, Yang, Xia. Fourier transform infrared nano-spectroscopy: Mechanism and applications. APPLIED SPECTROSCOPY REVIEWS[J]. 2021, 第 3 作者  通讯作者  56(7): 531-552, http://dx.doi.org/10.1080/05704928.2020.1830789.
[10] 杨胜, 夏洋, 兰丽丽, 陶晓俊, 冯嘉恒, 明帅强, 卢维尔, 屈芙蓉, 刘涛. 集束型多层纳米薄膜沉积设备的研制. 真空科学与技术学报[J]. 2020, 第 9 作者40(11): 1096-1102, http://cjvst.cvs.org.cn/article/doi/10.13922/j.cnki.cjovst.2020.11.18.
[11] 姜春光, 刘涛, 谌雅琴, 熊伟. 全反射式宽光谱成像椭偏仪. 光电工程[J]. 2016, 第 2 作者43(1): 55-59, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=667898210.
[12] 徐鹏, 刘涛, 王林梓, 李国光, 熊伟, 荣健. 样品校准法在单波长椭偏仪中的应用. 光学学报[J]. 2013, 第 2 作者33(4): 0412002-1, http://sciencechina.cn/gw.jsp?action=detail.jsp&internal_id=4832050&detailType=1.
[13] 严冬, 李国光, 刘涛, 熊伟, 李成敏, 郭青杨, 叶甜春. 基于反射测定法的SOI膜厚检测系统. 微电子学[J]. 2013, 第 3 作者43(5): 727-730, https://d.wanfangdata.com.cn/periodical/wdzx201305033.
[14] 崔高增, 刘涛, 李国光, 郭霞, 夏洋. 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法. 激光与光电子学进展[J]. 2013, 第 2 作者50(6): 061201-1, http://sciencechina.cn/gw.jsp?action=detail.jsp&internal_id=4864378&detailType=1.

（1） 集成电路产业全书, 电子工业出版社, 2018-09, 第 5 作者
（2） 中国集成电路检测和测试产业技术创新路线图, 电子工业出版社, 2019-03, 第 5 作者

   

（ 1 ） 高品质SPM传感器研制, 负责人, 国家任务, 2020-01--2024-12
（ 2 ） 基于光学弹性散射的近红外扫描探针显微光谱仪, 负责人, 中国科学院计划, 2019-01--2021-12
（ 3 ） 石英高品质SPM传感器研制, 负责人, 中国科学院计划, 2020-05--2023-05
（ 4 ） 微纳标记技术研究（实陪）, 负责人, 地方任务, 2019-09--2020-08
（ 5 ） 扫描探针显微关键技术研发, 负责人, 中国科学院计划, 2020-07--2023-06
（ 6 ） SZQXWYM三维快速制备技术, 负责人, 国家任务, 2023-12--2025-10

（1）先进封装中的光学检测技术及趋势   中国集成电路封测年会   2017-06-23

现指导学生

许帆  硕士研究生  085400-电子信息  

胡韬  硕士研究生  085400-电子信息  

魏铮  硕士研究生  085400-电子信息