140100-集成电路科学与工程

计算光刻、光刻光学系统、半导体光学系统、综合像质测试

2012-09--2017-06   中国科学院光电技术研究所   博士
2008-09--2012-06   南京理工大学   学士

   

2020-01~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2017-07~2019-12,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员
2016-03~2017-06,中国学科院光电技术研究所, 研究实习员

   

[1] 刘俊伯, 孙海峰, 张清延, 全海洋, 杜婧. 用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法. CN: CN115469555A, 2022-12-13.
[2] 刘俊伯, 张清延, 孙海峰, 全海洋, 杜婧. 传感芯片投影光刻机匹配方法. CN: CN115457299B, 2023-03-31.
[3] 刘俊伯, 孙海峰, 张清延, 全海洋, 杜婧. 用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法. CN: CN115469555B, 2023-03-31.
[4] 刘俊伯, 张清延, 孙海峰, 全海洋, 杜婧. 传感芯片投影光刻机匹配方法. CN: CN115457299A, 2022-12-09.
[5] 李天, 全海洋, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建, 胡松, 杜婧, 周吉. 一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法. CN: CN115657425A, 2023-01-31.
[6] 李天, 全海洋, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建, 胡松. 一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法. CN: CN115657424A, 2023-01-31.
[7] 杜婧, 刘俊伯, 王建. 一种用于物镜像质检测的物镜调平旋转装置. CN: CN115493815A, 2022-12-20.
[8] 杜婧, 刘俊伯, 全海洋. 一种用于物镜像质检测的光束扫描台. CN: CN115524941A, 2022-12-27.
[9] 王青蓝, 陈小君, 胡常安, 全海洋, 胡松, 李建科, 朱咸昌, 刘俊伯. 一种通用于提高四波横向剪切干涉仪检测灵敏度的方法. CN: CN115493710A, 2022-12-20.
[10] 王青蓝, 全海洋, 胡常安, 刘俊伯, 胡松, 李建科, 朱咸昌, 王建. 一种通用于双通道干涉仪的系统误差标定装置和标定方法. CN: CN115435677A, 2022-12-06.
[11] 王青蓝, 全海洋, 胡松, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建. 一种用于成像系统波像差高精度在线测量装置和测量方法. CN: CN114967368A, 2022-08-30.
[12] 王青蓝, 全海洋, 胡松, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建. 一种用于投影物镜波像差绝对检测的测量装置和测量方法. CN: CN114967365A, 2022-08-30.
[13] 康霞, 朱咸昌, 胡松, 赵立新, 刘俊伯, 杜婧, 周清华, 杨超, 刘文静, 周吉. 一种镜片弹性支撑装置. CN: CN113917645B, 2023-03-31.
[14] 康霞, 朱咸昌, 胡松, 赵立新, 刘俊伯, 杜婧, 周清华, 杨超, 刘文静, 周吉. 一种镜片弹性支撑装置. CN: CN113917645A, 2022-01-11.
[15] 刘俊伯, 冯金花, 赵立新, 杜婧, 胡淘. 一种非接触自动中心对准套刻投影光刻机. CN: CN111025855A, 2020-04-17.
[16] 刘俊伯, 赵立新, 杨勇, 胡松, 冯金花, 杜靖. 一种表面等离子体光刻机的高光功率密度照明系统. CN: CN110806681A, 2020-02-18.
[17] 刘江辉, 刘俊伯, 赵立新, 唐燕, 胡松. 一种适用于无掩模数字光刻的邻近效应校正方法. CN: CN110456609A, 2019-11-15.
[18] 冯金花, 刘俊伯, 杜婧. 一种基于样片的非接触中心对准方法. CN: CN110058497A, 2019-07-26.
[19] 杜婧, 冯金花, 刘俊伯. 一种基于双掩模对准的双面光刻工件台. CN: CN110045583A, 2019-07-23.
[20] 谢仲业, 唐燕, 刘俊伯, 何金花, 赵立新, 胡松. 一种基于空域相移单帧图像调制度解调方法. CN: CN109945801A, 2019-06-28.
[21] 何渝, 冯金花, 刘俊伯, 谷林. 一种用于纳米位移测量的修正方法. CN: CN108036729A, 2018-05-15.
[22] 何渝, 唐燕, 刘俊伯, 杜婧. 一种多光场调制的三维形貌测量方法. CN: CN108120393A, 2018-06-05.
[23] 严伟, 高洪涛, 田鹏, 李凡星, 彭伏平, 刘俊伯, 何渝, 杨帆, 吴云飞. 一种激光双光束干涉光刻系统. CN: CN107643656A, 2018-01-30.
[24] 陈楚怡, 周毅, 刘俊伯, 邓钦元, 邓茜, 唐燕, 杨勇, 赵立新. 基于调制度的宽光谱干涉的零级条纹的寻找方法. CN: CN106556340A, 2017-04-05.
[25] 姚靖威, 唐燕, 邓茜, 周毅, 邓钦元, 刘俊伯, 田鹏, 杨帆, 赵立新, 胡松. 一种适用于大行程高精度白光干涉仪的扫描系统. CN: CN106323195A, 2017-01-11.
[26] 杜婧, 胡松, 刘俊伯, 周毅, 邓钦元, 邓茜. 一种硅片传输手动机械手. CN: CN106181954A, 2016-12-07.
[27] 周毅, 邓钦元, 刘俊伯, 程依光, 邓茜, 唐燕, 杨勇, 胡松. 一种基于调制度的宽光谱微纳结构三维形貌检测方法. CN: CN106197310A, 2016-12-07.
[28] 姚靖威, 邓茜, 刘俊伯, 程依光, 司新春, 邓钦元, 周毅, 赵立新, 胡松. 一种适用于投影光刻机的实时调平系统及其调平方法. CN: CN105607431A, 2016-05-25.
[29] 周毅, 程依光, 刘俊伯, 邓钦元, 邓茜, 唐燕, 杨勇, 胡松. 一种基于莫尔干涉的双远心镜头倍率测量方法. CN: CN105547653A, 2016-05-04.
[30] 邓茜, 刘俊伯, 赵立新, 胡松, 司新春, 邓钦元, 周毅, 程依光. 一种用于光刻系统的单倍双远心光刻投影物镜. CN: CN105259740A, 2016-01-20.
[31] 邓茜, 刘俊伯, 姚靖威, 程依光, 司新春, 邓钦元, 周毅, 赵立新, 胡松. 基于紫外宽光谱自成像制备二维周期阵列的光刻方法及装置. CN: CN105259739A, 2016-01-20.
[32] 程依光, 刘俊伯, 何渝, 周毅, 邓钦元, 胡松, 赵立新. 一种单焦点光子筛. CN: CN105204102A, 2015-12-30.
[33] 姚靖威, 刘俊伯, 邓茜, 程依光, 司新春, 邓钦元, 周毅, 赵立新, 胡松. 一种基于紫外宽光谱泰伯自成像的光刻系统. CN: CN105242500A, 2016-01-13.
[34] 邓茜, 刘俊伯, 赵立新, 胡松, 司新春, 邓钦元, 周毅. 基于数字微镜阵列制作不同深度的多台阶光栅的无掩模光刻机. CN: CN105137720A, 2015-12-09.
[35] 邓钦元, 周毅, 司新春, 程依光, 刘俊伯, 杨勇, 胡松. 一种用于3D微结构制造的流体光刻方法. CN: CN104898382A, 2015-09-09.
[36] 周毅, 邓钦元, 司新春, 刘俊伯, 程依光, 杨勇, 高洪涛, 胡松. 一种基于莫尔条纹相位分析的应变测量方法. CN: CN105091769A, 2015-11-25.
[37] 邓钦元, 杨勇, 胡松, 程依光, 刘俊伯, 司新春, 周毅. 一种用于光刻精密工件台的针孔检测镜头. CN: CN104808313A, 2015-07-29.
[38] 司新春, 唐燕, 胡松, 魏嘉, 刘俊伯, 邓钦元, 周毅. 一种复合光栅纳米光刻自动对准系统. CN: CN104614955A, 2015-05-13.
[39] 周毅, 邓钦元, 司新春, 刘俊伯, 胡松, 杨勇, 程依光. 一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头. CN: CN104503066A, 2015-04-08.
[40] 程依光, 刘俊伯, 胡松, 赵立新. 一种透镜热变形对光学系统成像结果影响的分析方法. CN: CN104537182A, 2015-04-22.
[41] 邓钦元, 周毅, 司新春, 刘俊伯, 胡松, 杨勇, 程依光. 一种DMD无掩模光刻机的投影物镜镜头. CN: CN104536120A, 2015-04-22.
[42] 司新春, 唐燕, 胡松, 刘俊伯, 周毅, 邓钦元, 陈昌龙, 邸成良, 程依光. 一种用于接近式纳米光刻二维光栅自动对准系统. CN: CN104536273A, 2015-04-22.
[43] 司新春, 刘俊伯, 周毅, 邓钦元. 一种点阵激光器的双远心成像系统. CN: CN104375264A, 2015-02-25.
[44] 周毅, 刘俊伯, 邓钦元, 司新春, 胡松, 高洪涛. 一种宽波段光纤-CCD耦合成像镜头. CN: CN104360457A, 2015-02-18.
[45] 刘俊伯, 程依光, 司新春, 邓钦元, 周毅, 高洪涛, 胡松. 一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜. CN: CN104330870A, 2015-02-04.
[46] 刘俊伯, 程依光, 赵立新, 胡松. 一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜. CN: CN104238092A, 2014-12-24.
[47] 程依光, 刘俊伯, 胡松, 赵立新, 朱江平. 一种有限元仿真分析中的轴承简化方法. CN: CN104239654A, 2014-12-24.
[48] 陈昌龙, 邸成良, 唐小萍, 胡松, 马平, 刘俊伯, 马驰飞, 何渝. 一种适用于投影光刻机的实时检焦调焦方法. CN: CN104133346A, 2014-11-05.
[49] 陈昌龙, 唐小萍, 胡松, 马平, 王楠, 刘俊伯, 马驰飞, 何渝. 一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法. CN: CN103888471A, 2014-06-25.
[50] 程依光, 朱江平, 胡松, 赵立新, 陈磊, 刘俊伯. 基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法. CN: CN103838093A, 2014-06-04.
[51] 刘俊伯, 高洪涛, 陈铭勇, 朱咸昌, 胡松, 马驰飞, 程依光. 一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜. CN: CN103837967A, 2014-06-04.
[52] 刘俊伯, 赵立新, 陈铭勇, 朱咸昌, 胡松, 何渝, 陈昌龙. 一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜. CN: CN103837966A, 2014-06-04.

   

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[31] Zhou, Yi, Zhu, Jiangping, Deng, Qinyuan, Liu, Junbo, Si, Xinchun, Hu, Song. Moire-Based Interferometry for Magnification Calibration of Bitelecentric Lens System. IEEE PHOTONICS JOURNAL[J]. 2015, 7(6): http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/3785.

   

（ 1 ） 二次谐波非线性自成像效应的高分辨光刻机理及工艺研究, 负责人, 国家任务, 2017-01--2019-12
（ 2 ） 超分辨光刻装备研制, 参与, 国家任务, 2012-01--2018-10
（ 3 ） 基于空域、时域联合调制的微纳器件三维形貌检测方法及技术研究, 负责人, 地方任务, 2018-01--2021-07
（ 4 ） 超大面积中紫外高分辨直接光刻设备研制, 负责人, 地方任务, 2018-01--2021-12
（ 5 ） 中科院西部青年学者项目——类三维光场扫描微立体光刻方法研究, 负责人, 中国科学院计划, 2018-01--2020-12
（ 6 ） 亚微米紫外投影光刻设备研制, 负责人, 地方任务, 2018-01--2021-12

已指导学生

孙海峰  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

兰俊  硕士研究生  085203-仪器仪表工程  

现指导学生

张清延  硕士研究生  085400-电子信息  

俞大杰  硕士研究生  085400-电子信息  

李世玉  硕士研究生  085400-电子信息  

周杰  硕士研究生  085400-电子信息  

张凯瑞  硕士研究生  085400-电子信息  

孙海峰  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  第一导师：胡松

刘江辉  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器  第一导师：胡松