基本信息

李海亮 男 硕导 中国科学院微电子研究所
电子邮件: lihailiang@ime.ac.cn
通信地址: 北京朝阳区北土城西路3号
邮政编码:
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研究领域
先进光刻器件,微纳加工技术
招生信息
光学,物理,半导体物理
招生专业
140100-集成电路科学与工程080300-光学工程
招生方向
微纳加工,先进光刻工艺,衍射光学元件
教育背景
2014-07--2018-01 中国科学院微电子研究所 获博士学位
学历
研究生
学位
博士
专利与奖励
奖励信息
(1) 新型存储器件及集成研究, 院级, 2018
专利成果
( 1 ) 一种相位型准随机孔阵列叉形光栅及其制备方法, 发明专利, 2024, 第 2 作者, 专利号: CN117406318A( 2 ) 微纳结构的制备方法、微纳结构、电子元器件, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN115321473A( 3 ) 一种制备纳米图形的方法, 发明授权, 2024, 第 6 作者, 专利号: CN114988353B( 4 ) 一种制备纳米图形的方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN114988353A( 5 ) 一种微纳三维混合结构的制备方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114464527A( 6 ) 一种微纳三维混合结构的制备方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114464527A( 7 ) 一种正弦光栅的制备方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113064227A( 8 ) 一种相位型衍射光栅, 专利授权, 2019, 第 7 作者, 专利号: CN109212641A( 9 ) 图形化装置及其使用方法, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109244002A( 10 ) 一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法, 专利授权, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109160483A( 11 ) 一种单极涡旋光栅, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN108931829B( 12 ) 一种用于极紫外的二维单级衍射光栅, 专利授权, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN106959482A( 13 ) 一种极紫外单级衍射光栅, 专利授权, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106646710A( 14 ) 一种极紫外高级抑制衍射光栅, 发明专利, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN107045156A( 15 ) 一种衍射光栅, 专利授权, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106772732A( 16 ) 一种透射光栅, 专利授权, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106597588A( 17 ) 一种托盘及其加工工艺, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106754247A( 18 ) 一种透射光栅, 专利授权, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN106094086A( 19 ) 一种单级衍射光栅, 专利授权, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN106094087A( 20 ) 大高宽比纳米级金属结构的制作方法, 发明专利, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106094445A( 21 ) 极紫外多层膜反射式单级衍射光栅, 发明专利, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106094084A( 22 ) 脉冲电镀金的方法及形成的金镀层, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107385486A( 23 ) 电子束光刻对准标记在芯片上的布局, 发明专利, 2015, 第 8 作者, 专利号: CN104932212A( 24 ) 一种增加石英片表面刻蚀粗糙度的方法, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN104176943A( 25 ) 一种基于自支撑光栅结构的传感器及其制备方法, 发明专利, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN103543128A( 26 ) 极紫外光刻掩模缺陷检测系统, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103424985A( 27 ) 极紫外光刻掩模缺陷检测系统, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103365073A( 28 ) 基于导波共振的传感器及传感器测试系统, 发明专利, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN105044029A( 29 ) 基于导波共振的传感器及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 5 作者, 专利号: CN103245635A( 30 ) 一种制作用于极紫外光刻的铬侧墙衰减型移相掩模的方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103163726A( 31 ) 生物传感器及其制造方法、生物传感器测试系统, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103105378A( 32 ) 表面等离子体共振样品台及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103018167A( 33 ) 光子筛及其制作方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103018808A( 34 ) 表面等离子体增强对称结构及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103018800A( 35 ) 一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103018806A( 36 ) 一种基于周期性纳米介质颗粒的生物传感器及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102954950A( 37 ) 复合光子筛投影式光刻系统, 发明专利, 2011, 第 5 作者, 专利号: CN102289157A( 38 ) 一种基于周期性纳米结构的生物传感器及其制备方法, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102798615A( 39 ) 一种偶次级透射光栅, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102736152A( 40 ) 基于纳米岛衬底制备大高宽比X射线衍射光学元件的方法, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102683167A( 41 ) 一种基于湿法腐蚀制备位相型衍射光学元件的方法, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102681335A( 42 ) 制备大高宽比衍射光学元件的方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102608863A( 43 ) 一种大高宽比衍射光学元件的制作方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102466967A( 44 ) 基于电子束光刻和X射线曝光制作多层膜闪耀光栅的方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102466980A
出版信息
发表论文
(1) Micro/nano-hybrid hierarchical structure of black silicon decorated with gold nanoparticles for ultralow broadband reflectivity (<1%), Applied Surface Science, 2024, 第 4 作者 通讯作者(2) Planar crossed-fork gratings with sinusoidal transmittance for eliminating high-order diffraction, Optical Engineering, 2023, 第 3 作者 通讯作者(3) Design and fabrication of ordered silicon micro/nano-hybrid hierarchical structures decorated by silica thin layer for superantiwetting surface, Vacuum, 2023, 第 4 作者 通讯作者(4) Self-standing quasi-random-dots fork gratings for single-order diffraction, Journal of Applied Physics, 2022, 第 3 作者 通讯作者(5) Facile and Stable Fabrication of Wafer-Scale, Ultra-Black c-Silicon with 3D Nano/Micro Hybrid Structures for Solar Cells, Nanoscale Advances, 2022, 第 5 作者 通讯作者(6) One step reactive ion etching of black germanium conical nanostructures: Ultra-wide solar spectral absorption, finite element simulation, super hydrophilicity, photothermal conversion, Solar Energy Materials and Solar Cells, 2022, 第 6 作者 通讯作者(7) Fabrication and Characterization of Inverted Silicon Pyramidal Arrays with Randomly Distributed Nanoholes, MICROMACHINES, 2021, 第 3 作者 通讯作者(8) Design and fabrication of wafer-scale highly uniform silicon nanowire arrays by metal-assisted chemical etching for antireflection film, RESULTSINPHYSICS, 2021, 第 2 作者 通讯作者(9) Bistable active spectral tuning of one-dimensional nanophotonic crystal by phase change, OPTICS EXPRESS, 2020, 第 5 作者(10) Quadratic Meta-Reflectors Made of HfO 2 Nanopillars with a Large Field of View at Infrared Wavelengths, NANOMATERIALS, 2020, 第 4 作者(11) Fabrication of Ultra-High Aspect Ratio (> 420:1) Al2O3 Nanotube Arraysby Sidewall TransferMetal Assistant Chemical Etching, MICROMACHINES, 2020, 第 1 作者(12) Broadband polarization-insensitive and wide-angle solar energy absorber based on tungsten ring-disc array, NANOSCALE, 2020, 第 10 作者(13) Fabrication of Ultra-High Aspect Ratio (>420:1) Al 2 O 3 Nanotube Arraysby Sidewall TransferMetal Assistant Chemical Etching, MICROMACHINES, 2020, 第 1 作者(14) Ultra-broadband and wide-angle perfect solar absorber based on TiN nanodisk and Ti thin film structure, SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS, 2020, 第 8 作者 通讯作者(15) Complete Control of Multichannel, Angle-Multiplexed, and Arbitrary Spatially Varying Polarization Fields, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2020, 第 4 作者(16) High-Efficiency Metasurfaces with 2 pi Phase Control Based on Aperiodic Dielectric Nanoarrays, NANOMATERIALS, 2020, 第 5 作者 通讯作者(17) Ultra-Broadband High-Efficiency Solar Absorber Based on Double-Size Cross-Shaped Refractory Metals, NANOMATERIALS, 2020, 第 1 作者 通讯作者(18) Dual-band, polarization-insensitive metamaterial perfect absorber based on monolayer graphene in the mid-infrared range, RESULTS IN PHYSICS, 2019, 第 1 作者 通讯作者(19) Preparation of TiO2 nanotube arrays with efficient photocatalytic performance and super-hydrophilic properties utilizing anodized voltage method, RESULTS IN PHYSICS, 2019, 第 1 作者 通讯作者(20) Direct Production of Silicon Nanostructures with Electrochemical Nanoimprinting, ACS APPLIED ELECTRONIC MATERIALS, 2019, 第 1 作者(21) Tailoring focused optical vortices by using spiral forked plates, OPTICS LETTERS, 2019, 第 3 作者(22) Multichannel Spatially Nonhomogeneous Focused Vector Vortex Beams for Quantum Experiments, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2019, 第 5 作者(23) Composited holograms for the generation of cylindrical optical lattices and flower modes, APPLIED OPTICS, 2018, 第 3 作者(24) Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for EUVL by magnetron sputtering deposition with bias assistance, EXTREME ULTRAVIOLET (EUV) LITHOGRAPHY IX, 2018, 第 3 作者(25) Nanofabrication and characterization of high-line-density x-ray transmission gratings, J. MICRO/NANOLITH. MEMS MOEMS, 2017, 第 1 作者(26) 大高宽比硬X射线波带片制作及聚焦测试, Fabrication and focusing test of hard X-ray zone plates with high aspect ratio, 光学精密工程, 2017, 第 1 作者(27) Higher-order diffraction suppression of free-standing quasiperiodic nanohole arrays in the x-ray region, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2017, 第 1 作者(28) Fabrication of ultra-high aspect ratio (>160:1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching, J. MICROMECH. MICROENG, 2017, 第 1 作者(29) Fabrication of ultra-high aspect ratio (> 160: 1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017, 第 1 作者(30) High order diffraction suppression of the membrane with hexagonal hole array, PHOTOPTICS, 2017, 第 2 作者(31) The Quasi-Triangle Array of Rectangular Holes with the Completely, 2017, 第 3 作者(32) Quasi-periodic gratings: diffraction orders accelerate along curves, OPTICS LETTERS, 2013, 第 2 作者(33) Fabrication of x-ray diffractive optical elements for laser fusion applications, OPTICAL ENGINEERING, 2013, 第 3 作者(34) Toward two-dimensional nanometer resolution hard X-ray differential-interference-contrast imaging using modified photon sieves, OPTICS LETTERS, 2012, 第 3 作者(35) Enhanced optical transmission through asymmetric nanostructured gold films, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS, 2012, 第 2 作者(36) 33331/mmX射线全镂空自支撑透射光栅的制备与测试, Fabrication and Measurement of 3 333 l/mm X-Ray Self-Standing Transmission Gratings, 微纳电子技术, 2010, 第 1 作者(37) Feasibility study of hard-x-ray nanofocusing above 20 keV using compound photon sieves, OPTICS LETTERS, 2010, 第 3 作者(38) 带支撑结构的大高宽比硬X射线波带片制作, Fabrication of High Aspect-ratio Hard X-Ray Zone Plates with Supporting Structures, 光电工程, 2009, 第 5 作者(39) 极紫外光刻掩模及元件制造关键技术研究, 第 1 作者
科研活动
科研项目
( 1 ) EUV光刻掩模缺陷检测与补偿技术的研究, 负责人, 国家任务, 2023-01--2026-12( 2 ) 高分辨率软X射线波带片制作技术研究, 负责人, 国家任务, 2022-12--2027-11( 3 ) 基于双面两步金属催化化学腐蚀法的穿透、超高深宽比功能微结构阵列加工基础研究, 负责人, 国家任务, 2019-01--2021-12( 4 ) DUV光栅测试掩模版研制, 负责人, 境内委托项目, 2018-01--2019-12( 5 ) 基于脉冲反向函数的电化学沉积, 参与, 国家任务, 2017-11--2022-12( 6 ) “水窗”波段高分辨率X射线波带片, 负责人, 研究所自主部署, 2016-06--2018-05( 7 ) 亚光波长微分干涉相衬光子筛, 参与, 国家任务, 2012-10--2017-12( 8 ) 极紫外光刻掩模技术, 参与, 国家任务, 2009-06--2016-12
指导学生
已指导学生
孙小凡 硕士研究生 085400-电子信息
现指导学生
姚昊 硕士研究生 085400-电子信息