080903-微电子学与固体电子学
080300-光学工程

微纳加工，衍射光学元件

2014-07--2018-01   中国科学院微电子研究所   获博士学位

   

2018-04~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师

   

（1） 新型存储器件及集成研究, 院级, 2018

[1] 李海亮, 牛洁斌, 王冠亚, 朱效立, 谢常青, 叶甜春. 图形化装置及其使用方法. CN: CN109244002B, 2021-07-27.
[2] 刘子维, 浦探超, 史丽娜, 谢常青, 牛洁斌, 王冠亚, 李海亮, 刘明. 一种相位型衍射光栅. CN: CN109212641B, 2021-07-13.
[3] 谢常青, 胡华奎, 李海亮, 曹富林, 姚楚豪. 一种正弦光栅的制备方法. CN: CN113064227A, 2021-07-02.
[4] 刘子维, 史丽娜, 浦探超, 牛洁斌, 李海亮, 王冠亚, 谢常青, 刘明. 一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法. CN: CN109160483B, 2021-04-27.
[5] 史丽娜, 刘子维, 浦探超, 李海亮, 牛洁斌, 谢常青, 刘明. 一种透射光栅. CN: CN106094086B, 2019-10-29.
[6] 史丽娜, 李海亮, 刘子维, 浦探超, 牛洁斌, 谢常青, 刘明. 一种透射光栅. CN: CN106597588B, 2019-10-18.
[7] 刘子维, 浦探超, 史丽娜, 谢常青, 王冠亚, 李海亮, 牛洁斌, 刘明. 一种用于极紫外的二维单级衍射光栅. CN: CN106959482B, 2019-08-06.
[8] 史丽娜, 刘子维, 浦探超, 李海亮, 牛洁斌, 谢常青, 刘明. 一种单级衍射光栅. CN: CN106094087B, 2019-07-23.
[9] 浦探超, 刘子维, 史丽娜, 谢常青, 李海亮, 牛洁斌, 刘明. 一种极紫外单级衍射光栅. CN: CN106646710B, 2019-05-21.
[10] 史丽娜, 牛洁斌, 李海亮, 刘子维, 浦探超, 谢常青, 刘明. 一种衍射光栅. CN: CN106772732B, 2019-05-03.
[11] 史丽娜, 谢常青, 牛洁斌, 李海亮, 刘明. 基于导波共振的传感器及传感器测试系统. 中国: CN105044029B, 2018-04-20.
[12] 朱效立, 谢常青, 华一磊, 李海亮, 刘明, 施百龄. 脉冲电镀金的方法及形成的金镀层. 中国: CN107385486A, 2017-11-24.
[13] 刘子维, 浦探超, 史丽娜, 谢常青, 李海亮, 牛洁斌, 王冠亚, 刘明. 一种极紫外高级抑制衍射光栅. 中国: CN107045156A, 2017-08-15.
[14] 刘明, 赵盛杰, 牛洁斌, 李海亮, 胡媛, 张凯平, 张培文, 路程, 刘宇. 一种托盘及其加工工艺. 中国: CN106754247A, 2017-05-31.
[15] 李海亮, 史丽娜, 牛洁斌, 王冠亚, 谢常青, 刘明. 大高宽比纳米级金属结构的制作方法. 中国: CN106094445A, 2016-11-09.
[16] 李海亮, 史丽娜, 牛洁斌, 王冠亚, 谢常青, 刘明. 极紫外多层膜反射式单级衍射光栅. 中国: CN106094084A, 2016-11-09.
[17] 牛洁斌, 刘明, 陈宝钦, 谢常青, 龙世兵, 王冠亚, 张建宏, 李海亮, 史丽娜, 朱效立. 电子束光刻对准标记在芯片上的布局. 中国: CN104932212A, 2015-09-23.
[18] 谢常青, 付杰, 朱效立, 李海亮, 刘明. 一种增加石英片表面刻蚀粗糙度的方法. 中国: CN104176943A, 2014-12-03.
[19] 谢常青, 洪梅华, 史丽娜, 朱效立, 李海亮, 刘明. 一种基于自支撑光栅结构的传感器及其制备方法. 中国: CN103543128A, 2014-01-29.
[20] 李海亮, 谢常青, 刘明, 李冬梅, 史丽娜, 朱效立. 一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法. 中国: CN103018806A, 2013.04.03.
[21] 李海亮, 谢常青, 刘明, 李冬梅, 牛洁斌, 史丽娜, 朱效立, 王子欧. 极紫外光刻掩模缺陷检测系统. 中国: CN103424985A, 2013-12-04.
[22] 李海亮, 谢常青, 刘明, 李冬梅, 牛洁斌, 史丽娜, 朱效立. 极紫外光刻掩模缺陷检测系统. 中国: CN103365073A, 2013-10-23.
[23] 史丽娜, 杜宇禅, 谢常青, 牛洁斌, 李海亮, 李冬梅, 刘明. 基于导波共振的传感器及其制备方法. 中国: CN103245635A, 2013-08-14.
[24] 李海亮, 谢常青, 刘明, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅. 一种制作用于极紫外光刻的铬侧墙衰减型移相掩模的方法. 中国: CN103163726A, 2013-06-19.
[25] 史丽娜, 李海亮, 杜宇禅, 牛洁斌, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 生物传感器及其制造方法、生物传感器测试系统. 中国: CN103105378A, 2013-05-15.
[26] 史丽娜, 李海亮, 杜宇禅, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 表面等离子体共振样品台及其制备方法. 中国: CN103018167A, 2013-04-03.
[27] 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 光子筛及其制作方法. 中国: CN103018808A, 2013-04-03.
[28] 李海亮, 史丽娜, 牛洁斌, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 表面等离子体增强对称结构及其制备方法. 中国: CN103018800A, 2013-04-03.
[29] 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 一种基于周期性纳米介质颗粒的生物传感器及其制备方法. 中国: CN102954950A, 2013-03-06.
[30] 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 一种基于周期性纳米结构的生物传感器及其制备方法. 中国: CN102798615A, 2012-11-28.
[31] 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 李冬梅, 谢常青, 刘明. 一种偶次级透射光栅. 中国: CN102736152A, 2012-10-17.
[32] 李海亮, 谢常青, 朱效立, 史丽娜, 刘明. 基于纳米岛衬底制备大高宽比X射线衍射光学元件的方法. 中国: CN102683167A, 2012-09-19.
[33] 李海亮, 谢常青, 牛洁斌, 朱效立, 史丽娜, 刘明. 一种基于湿法腐蚀制备位相型衍射光学元件的方法. 中国: CN102681335A, 2012-09-19.
[34] 谢常青, 李海亮, 朱效立, 史丽娜. 制备大高宽比衍射光学元件的方法. 中国: CN102608863A, 2012-07-25.
[35] 谢常青, 李海亮, 史丽娜, 朱效立, 刘明. 一种大高宽比衍射光学元件的制作方法. 中国: CN102466967A, 2012-05-23.
[36] 谢常青, 李海亮, 朱效立, 刘明. 基于电子束光刻和X射线曝光制作多层膜闪耀光栅的方法. 中国: CN102466980A, 2012-05-23.
[37] 谢常青, 高南, 华一磊, 朱效立, 李海亮, 史丽娜, 李冬梅, 刘明. 复合光子筛投影式光刻系统. 中国: CN102289157A, 2011-12-21.

   

[1] Yao, Chuhao, Li, Hailiang. Design and fabrication of wafer-scale highly uniform silicon nanowire arrays by metal-assisted chemical etching for antireflection film. Results in Physics[J]. 2021, [2] Zhao, Yue, Zhang, Kaiping, Li, Hailiang, Xie, Changqing. Fabrication and Characterization of Inverted Silicon Pyramidal Arrays with Randomly Distributed Nanoholes. MICROMACHINES[J]. 2021, 12(8): http://dx.doi.org/10.3390/mi12080931.
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[9] Wang, Enliang, Niu, Jiebin, Liang, Yonghao, Li, HaiLiang, Hua, Yilei, Shi, Lina, Xie, Changqing. Complete Control of Multichannel, Angle-Multiplexed, and Arbitrary Spatially Varying Polarization Fields. ADVANCED OPTICAL MATERIALS[J]. 2020, 8(6): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000506894300001.
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[16] Wang, Enliong, Shi, Lino, Niu, Jiebin, Hua, Yilei, Li, Hailiang, Zhu, Xiaoli, Xie, Chongqing, Ye, Tianchun. Multichannel Spatially Nonhomogeneous Focused Vector Vortex Beams for Quantum Experiments. ADVANCED OPTICAL MATERIALS[J]. 2019, 7(8): https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000465160400006.
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[23] 浦探超, 刘子维, 李海亮, 史丽娜, 谢常青, 高南. The Quasi-Triangle Array of Rectangular Holes with the Completely. 2017, http://159.226.55.106/handle/172511/18286.
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[27] Xie, Changqing, Zhu, Xiaoli, Li, Hailiang, Shi, Lina, Hua, Yilei, Liu, Ming. Toward two-dimensional nanometer resolution hard X-ray differential-interference-contrast imaging using modified photon sieves. OPTICS LETTERS[J]. 2012, 37(4): 749-751, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000300706500102.
[28] Shi, Lina, Li, Hailiang, Du, Yuchan, Xie, Changqing. Enhanced optical transmission through asymmetric nanostructured gold films. JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS[J]. 2012, 29(12): 3377-3385, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000311990300025.
[29] 李海亮, 马杰, 朱效立, 吴坚, 谢常青, 陈宝钦, 刘明. 33331／mmX射线全镂空自支撑透射光栅的制备与测试. 微纳电子技术. 2010, 47(3): 174-178, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=33068232.
[30] Xie, Changqing, Zhu, Xiaoli, Li, Hailiang, Shi, Lina, Wang, Yanhua. Feasibility study of hard-x-ray nanofocusing above 20 keV using compound photon sieves. OPTICS LETTERS[J]. 2010, 35(23): 4048-4050, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000284832200064.
[31] 马杰, 曹磊峰, 谢常青, 吴璇, 李海亮, 朱效立, 刘明, 陈宝钦, 叶甜春. 带支撑结构的大高宽比硬X射线波带片制作. 光电工程. 2009, 36(10): 30-34, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=31864814.
[32] 李海亮. 极紫外光刻掩模及元件制造关键技术研究. 

   

（ 1 ） 基于双面两步金属催化化学腐蚀法的穿透、超高深宽比功能微结构阵列加工基础研究, 主持, 国家级, 2019-01--2021-12
（ 2 ） “水窗”波段高分辨率X射线波带片, 主持, 市地级, 2016-06--2018-05
（ 3 ） DUV光栅测试掩模版研制, 主持, 院级, 2018-01--2019-12
（ 4 ） 极紫外光刻掩模技术, 参与, 国家级, 2009-06--2016-12
（ 5 ） 亚光波长微分干涉相衬光子筛, 参与, 国家级, 2012-10--2017-12
（ 6 ） 基于脉冲反向函数的电化学沉积, 参与, 国家级, 2017-11--2022-12

现指导学生

孙小凡  硕士研究生  085400-电子信息