先进光刻器件，微纳加工技术

光学，物理，半导体物理

140100-集成电路科学与工程
080300-光学工程

微纳加工，先进光刻工艺，衍射光学元件

2014-07--2018-01   中国科学院微电子研究所   获博士学位

研究生

博士

   

（1） 新型存储器件及集成研究, 院级, 2018

（ 1 ） 一种相位型准随机孔阵列叉形光栅及其制备方法, 发明专利, 2024, 第 2 作者, 专利号: CN117406318A

（ 2 ） 微纳结构的制备方法、微纳结构、电子元器件, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN115321473A

（ 3 ） 一种制备纳米图形的方法, 发明授权, 2024, 第 6 作者, 专利号: CN114988353B

（ 4 ） 一种制备纳米图形的方法, 发明专利, 2022, 第 6 作者, 专利号: CN114988353A

（ 5 ） 一种微纳三维混合结构的制备方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114464527A

（ 6 ） 一种微纳三维混合结构的制备方法, 发明专利, 2022, 第 1 作者, 专利号: CN114464527A

（ 7 ） 一种正弦光栅的制备方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN113064227A

（ 8 ） 一种相位型衍射光栅, 专利授权, 2019, 第 7 作者, 专利号: CN109212641A

（ 9 ） 图形化装置及其使用方法, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109244002A

（ 10 ） 一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法, 专利授权, 2019, 第 5 作者, 专利号: CN109160483A

（ 11 ） 一种单极涡旋光栅, 发明专利, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN108931829B

（ 12 ） 一种用于极紫外的二维单级衍射光栅, 专利授权, 2017, 第 6 作者, 专利号: CN106959482A

（ 13 ） 一种极紫外单级衍射光栅, 专利授权, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN106646710A

（ 14 ） 一种极紫外高级抑制衍射光栅, 发明专利, 2017, 第 5 作者, 专利号: CN107045156A

（ 15 ） 一种衍射光栅, 专利授权, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN106772732A

（ 16 ） 一种透射光栅, 专利授权, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106597588A

（ 17 ） 一种托盘及其加工工艺, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106754247A

（ 18 ） 一种透射光栅, 专利授权, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN106094086A

（ 19 ） 一种单级衍射光栅, 专利授权, 2016, 第 4 作者, 专利号: CN106094087A

（ 20 ） 大高宽比纳米级金属结构的制作方法, 发明专利, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106094445A

（ 21 ） 极紫外多层膜反射式单级衍射光栅, 发明专利, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN106094084A

（ 22 ） 脉冲电镀金的方法及形成的金镀层, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107385486A

（ 23 ） 电子束光刻对准标记在芯片上的布局, 发明专利, 2015, 第 8 作者, 专利号: CN104932212A

（ 24 ） 一种增加石英片表面刻蚀粗糙度的方法, 发明专利, 2014, 第 4 作者, 专利号: CN104176943A

（ 25 ） 一种基于自支撑光栅结构的传感器及其制备方法, 发明专利, 2014, 第 5 作者, 专利号: CN103543128A

（ 26 ） 极紫外光刻掩模缺陷检测系统, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103424985A

（ 27 ） 极紫外光刻掩模缺陷检测系统, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103365073A

（ 28 ） 基于导波共振的传感器及传感器测试系统, 发明专利, 2015, 第 4 作者, 专利号: CN105044029A

（ 29 ） 基于导波共振的传感器及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 5 作者, 专利号: CN103245635A

（ 30 ） 一种制作用于极紫外光刻的铬侧墙衰减型移相掩模的方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103163726A

（ 31 ） 生物传感器及其制造方法、生物传感器测试系统, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103105378A

（ 32 ） 表面等离子体共振样品台及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN103018167A

（ 33 ） 光子筛及其制作方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103018808A

（ 34 ） 表面等离子体增强对称结构及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103018800A

（ 35 ） 一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN103018806A

（ 36 ） 一种基于周期性纳米介质颗粒的生物传感器及其制备方法, 发明专利, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102954950A

（ 37 ） 复合光子筛投影式光刻系统, 发明专利, 2011, 第 5 作者, 专利号: CN102289157A

（ 38 ） 一种基于周期性纳米结构的生物传感器及其制备方法, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102798615A

（ 39 ） 一种偶次级透射光栅, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102736152A

（ 40 ） 基于纳米岛衬底制备大高宽比X射线衍射光学元件的方法, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102683167A

（ 41 ） 一种基于湿法腐蚀制备位相型衍射光学元件的方法, 发明专利, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN102681335A

（ 42 ） 制备大高宽比衍射光学元件的方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102608863A

（ 43 ） 一种大高宽比衍射光学元件的制作方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102466967A

（ 44 ） 基于电子束光刻和X射线曝光制作多层膜闪耀光栅的方法, 发明专利, 2012, 第 2 作者, 专利号: CN102466980A

   

（1） Micro/nano-hybrid hierarchical structure of black silicon decorated with gold nanoparticles for ultralow broadband reflectivity (<1%), Applied Surface Science, 2024, 第 4 作者  通讯作者
（2） Planar crossed-fork gratings with sinusoidal transmittance for eliminating high-order diffraction, Optical Engineering, 2023, 第 3 作者  通讯作者
（3） Design and fabrication of ordered silicon micro/nano-hybrid hierarchical structures decorated by silica thin layer for superantiwetting surface, Vacuum, 2023, 第 4 作者  通讯作者
（4） Self-standing quasi-random-dots fork gratings for single-order diffraction, Journal of Applied Physics, 2022, 第 3 作者  通讯作者
（5） Facile and Stable Fabrication of Wafer-Scale, Ultra-Black c-Silicon with 3D Nano/Micro Hybrid Structures for Solar Cells, Nanoscale Advances, 2022, 第 5 作者  通讯作者
（6） One step reactive ion etching of black germanium conical nanostructures: Ultra-wide solar spectral absorption, finite element simulation, super hydrophilicity, photothermal conversion, Solar Energy Materials and Solar Cells, 2022, 第 6 作者  通讯作者
（7） Fabrication and Characterization of Inverted Silicon Pyramidal Arrays with Randomly Distributed Nanoholes, MICROMACHINES, 2021, 第 3 作者  通讯作者
（8） Design and fabrication of wafer-scale highly uniform silicon nanowire arrays by metal-assisted chemical etching for antireflection film, RESULTSINPHYSICS, 2021, 第 2 作者  通讯作者
（9） Bistable active spectral tuning of one-dimensional nanophotonic crystal by phase change, OPTICS EXPRESS, 2020, 第 5 作者
（10） Quadratic Meta-Reflectors Made of HfO 2 Nanopillars with a Large Field of View at Infrared Wavelengths, NANOMATERIALS, 2020, 第 4 作者
（11） Fabrication of Ultra-High Aspect Ratio (> 420:1) Al2O3 Nanotube Arraysby Sidewall TransferMetal Assistant Chemical Etching, MICROMACHINES, 2020, 第 1 作者
（12） Broadband polarization-insensitive and wide-angle solar energy absorber based on tungsten ring-disc array, NANOSCALE, 2020, 第 10 作者
（13） Fabrication of Ultra-High Aspect Ratio (>420:1) Al 2 O 3 Nanotube Arraysby Sidewall TransferMetal Assistant Chemical Etching, MICROMACHINES, 2020, 第 1 作者
（14） Ultra-broadband and wide-angle perfect solar absorber based on TiN nanodisk and Ti thin film structure, SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS, 2020, 第 8 作者  通讯作者
（15） Complete Control of Multichannel, Angle-Multiplexed, and Arbitrary Spatially Varying Polarization Fields, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2020, 第 4 作者
（16） High-Efficiency Metasurfaces with 2 pi Phase Control Based on Aperiodic Dielectric Nanoarrays, NANOMATERIALS, 2020, 第 5 作者  通讯作者
（17） Ultra-Broadband High-Efficiency Solar Absorber Based on Double-Size Cross-Shaped Refractory Metals, NANOMATERIALS, 2020, 第 1 作者  通讯作者
（18） Dual-band, polarization-insensitive metamaterial perfect absorber based on monolayer graphene in the mid-infrared range, RESULTS IN PHYSICS, 2019, 第 1 作者  通讯作者
（19） Preparation of TiO2 nanotube arrays with efficient photocatalytic performance and super-hydrophilic properties utilizing anodized voltage method, RESULTS IN PHYSICS, 2019, 第 1 作者  通讯作者
（20） Direct Production of Silicon Nanostructures with Electrochemical Nanoimprinting, ACS APPLIED ELECTRONIC MATERIALS, 2019, 第 1 作者
（21） Tailoring focused optical vortices by using spiral forked plates, OPTICS LETTERS, 2019, 第 3 作者
（22） Multichannel Spatially Nonhomogeneous Focused Vector Vortex Beams for Quantum Experiments, ADVANCED OPTICAL MATERIALS, 2019, 第 5 作者
（23） Composited holograms for the generation of cylindrical optical lattices and flower modes, APPLIED OPTICS, 2018, 第 3 作者
（24） Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for EUVL by magnetron sputtering deposition with bias assistance, EXTREME ULTRAVIOLET (EUV) LITHOGRAPHY IX, 2018, 第 3 作者
（25） Nanofabrication and characterization of high-line-density x-ray transmission gratings, J. MICRO/NANOLITH. MEMS MOEMS, 2017, 第 1 作者
（26） 大高宽比硬X射线波带片制作及聚焦测试, Fabrication and focusing test of hard X-ray zone plates with high aspect ratio, 光学精密工程, 2017, 第 1 作者
（27） Higher-order diffraction suppression of free-standing quasiperiodic nanohole arrays in the x-ray region, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2017, 第 1 作者
（28） Fabrication of ultra-high aspect ratio (>160:1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching, J. MICROMECH. MICROENG, 2017, 第 1 作者
（29） Fabrication of ultra-high aspect ratio (> 160: 1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2017, 第 1 作者
（30） High order diffraction suppression of the membrane with hexagonal hole array, PHOTOPTICS, 2017, 第 2 作者
（31） The Quasi-Triangle Array of Rectangular Holes with the Completely, 2017, 第 3 作者
（32） Quasi-periodic gratings: diffraction orders accelerate along curves, OPTICS LETTERS, 2013, 第 2 作者
（33） Fabrication of x-ray diffractive optical elements for laser fusion applications, OPTICAL ENGINEERING, 2013, 第 3 作者
（34） Toward two-dimensional nanometer resolution hard X-ray differential-interference-contrast imaging using modified photon sieves, OPTICS LETTERS, 2012, 第 3 作者
（35） Enhanced optical transmission through asymmetric nanostructured gold films, JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS, 2012, 第 2 作者
（36） 33331／mmX射线全镂空自支撑透射光栅的制备与测试, Fabrication and Measurement of 3 333 l/mm X-Ray Self-Standing Transmission Gratings, 微纳电子技术, 2010, 第 1 作者
（37） Feasibility study of hard-x-ray nanofocusing above 20 keV using compound photon sieves, OPTICS LETTERS, 2010, 第 3 作者
（38） 带支撑结构的大高宽比硬X射线波带片制作, Fabrication of High Aspect-ratio Hard X-Ray Zone Plates with Supporting Structures, 光电工程, 2009, 第 5 作者
（39） 极紫外光刻掩模及元件制造关键技术研究, 第 1 作者

   

（ 1 ） EUV光刻掩模缺陷检测与补偿技术的研究, 负责人, 国家任务, 2023-01--2026-12
（ 2 ） 高分辨率软X射线波带片制作技术研究, 负责人, 国家任务, 2022-12--2027-11
（ 3 ） 基于双面两步金属催化化学腐蚀法的穿透、超高深宽比功能微结构阵列加工基础研究, 负责人, 国家任务, 2019-01--2021-12
（ 4 ） DUV光栅测试掩模版研制, 负责人, 境内委托项目, 2018-01--2019-12
（ 5 ） 基于脉冲反向函数的电化学沉积, 参与, 国家任务, 2017-11--2022-12
（ 6 ） “水窗”波段高分辨率X射线波带片, 负责人, 研究所自主部署, 2016-06--2018-05
（ 7 ） 亚光波长微分干涉相衬光子筛, 参与, 国家任务, 2012-10--2017-12
（ 8 ） 极紫外光刻掩模技术, 参与, 国家任务, 2009-06--2016-12

已指导学生

孙小凡  硕士研究生  085400-电子信息  

现指导学生

姚昊  硕士研究生  085400-电子信息