基本信息
李超波  男  硕导  中国科学院微电子研究所
电子邮件: lichaobo@ime.ac.cn
通信地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码: 100029

招生信息

   
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程
招生方向
微纳感知系统与器件
微纳米先进制造技术
微电子装备与工艺

教育背景

2002-09--2007-06   中国科学院微电子研究所   工学博士

工作经历

   
工作简历
2007-06~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员/研究室主任
社会兼职
2018-03-01-今,评审专家, 中国博士后科学基金
2017-07-01-今,委员, 中国生物工程学会生命科学仪器专业委员会
2017-05-01-今,责任专家, 北京市生产力促进中心

专利与奖励

   
奖励信息
(1) 原子层沉积系统的开发与应用, 一等奖, 部委级, 2017
(2) 等离子体浸没离子注入机开发与应用, 三等奖, 省级, 2014

出版信息

   
发表论文
(1) Tiny impacts for far-field focusing by plasmonic lens with a free slit-width design, optical engineering, 2017, 通讯作者
(2) Preparation of ZnO films with variable electric field-assisted atomic layer deposition technique, Applied Surface Science, 2014, 通讯作者
(3) ALD生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究, 物理学报, 2013, 通讯作者
(4) High-precision thickness regulation of graphene layers with low energy helium plasma implantation, Nanotechnology, 2012, 通讯作者
(5) Anodic bonding using a hybrid electrode with a two-step bonding process, journal of semiconductor, 2012, 通讯作者

科研活动

   
科研项目
( 1 ) 中国科学院青年创新促进会优秀会员, 主持, 部委级, 2016-01--2018-12
( 2 ) 光通信器件微纳3D打印系统研究, 主持, 省级, 2016-01--2017-12
( 3 ) 生物微流体芯片技术, 参与, 国家级, 2016-01--2018-12
( 4 ) 冷冻电镜中的先进纳米流道芯片研究, 参与, 部委级, 2017-07--2020-06
( 5 ) 高精密真空零部件研发, 主持, 国家级, 2017-01--2020-12

指导学生

已指导学生

孙铁成  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

窦伟  硕士研究生  430110-集成电路工程  

邹志超  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

符庭钊  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

崔绍晖  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

现指导学生

刘丽花  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

陈峰岭  博士研究生  080903-微电子学与固体电子学