电子邮件: liwh@ciomp.ac.cn
通信地址: 长春市东南湖大路3888号
邮政编码: 130033
研究领域
全息衍射元器件研究
光刻机精密位移测量技术研究
新型干涉光刻技术研究
招生信息
招收有志于从事衍射光学元器件、新型光刻技术、高精度位移感知研究,具有物理,光学和电子学背景的学生。
招生专业
招生方向
教育背景
学历
学位
工作经历
工作经历
2015-09—现在 长春光学精密机械与物理研究所 研究员
2009-09--2015-09 长春光学精密机械与物理研究所 副研究员
2007-09--2009-09 长春光学精密机械与物理研究所 助理研究员
2002-07--2007-09 长春光学精密机械与物理研究所 研究实习员
出版信息
专利
序号 | 专利名称 | 授权号 | 授权年份 | 排名 |
1 | 锥面衍射式光栅位移测量装置及测量方法 | ZL202111104433.8 | 2022 | 1 |
2 | 外差光栅位移测量方法 | ZL202010953637.8 | 2022 | 1 |
3 | 光栅位移测量方法 | ZL202010953614.7 | 2022 | 1 |
4 | 一种对称式4倍光学细分的外差一维光栅位移测量装置 | ZL202011287160.0 | 2022 | 3 |
5 | 外差二维光栅位移测量系统及测量方法 | ZL202010953663.0 | 2022 | 2 |
6 | 六维测量装置及方法 | ZL2021107229613 | 2022 | 2 |
7 | 一种刀具颤振状态的在线检测装置 | ZL202111157590.5 | 2022 | 2 |
8 | 一种可实现亚波长像素偏振器与探测器集成的光学系统 | ZL201911242240.1 | 2022 | 2 |
9 | 一种中阶梯光栅拼接方法和系统 | ZL2021109305202 | 2022 | 2 |
10 | 回转类零件测量时轴心对准方法 | ZL202211276434.5 | 2022 | 1 |
11 | 一种基于空谱维滤波的高光谱图像分类方法及装置 | ZL202010050795.2 | 2022 | 6 |
12 | 外差光栅位移测量装置 | ZL202010953595.8 | 2021 | 1 |
13 | 零差一维光栅位移测量装置 | ZL202011287432.7 | 2021 | 3 |
14 | 外差光栅位移测量光学系统 | ZL202010953635.9 | 2021 | 2 |
15 | 一种三光栅拼接系统 | ZL202011051435.0 | 2021 | 4 |
16 | 光栅位移测量装置 | ZL202010953671.5 | 2021 | 3 |
17 | 拼接光栅位移测量系统及测量方法 | ZL202010854092.5 | 2021 | 1 |
18 | 一种偏振器 | ZL201811619222.6 | 2021 | 2 |
19 | 一种适用于衍射光栅的切割方法 | ZL201910679691.5 | 2021 | 8 |
20 | 一种衍射光栅保护结构及其制备方法 | ZL201910679696.8 | 2021 | 7 |
21 | 噪声评价方法、反射率反演方法以及图像分析装置 | ZL201911393056.7 | 2021 | 6 |
22 | 一种用于大面积光栅制造的涂布装置及方法 | ZL201711096951.3 | 2020 | 4 |
23 | 一种位移测量光学系统 | ZL201811329268.4 | 2020 | 3 |
24 | 一种测量装置 | ZL201710860038.X | 2020 | 4 |
25 | 一种测量装置 | ZL201710893616.X | 2020 | 4 |
26 | 一种位移与角度同步测量方法 | ZL201910063278.6 | 2020 | 4 |
27 | 一种位移与角度同步测量系统 | ZL201910063298.3 | 2020 | 4 |
28 | 一种二维平面全息光栅曝光方法 | ZL201910225892.8 | 2020 | 3 |
29 | 一种二维平面全息光栅曝光装置 | ZL201910225890.9 | 2020 | 3 |
30 | 高开口面积临界角透射光栅的制备方法 | ZL201811592328.1 | 2020 | 3 |
31 | 临界角透射光栅制作方法 | ZL201811597429.8 | 2020 | 4 |
32 | 一种衍射光栅的保护方法 | ZL201910679685.X | 2020 | 9 |
33 | 用于扫描干涉场曝光系统的精密光栅位移测量系统及方法 | ZL201710734787.8 | 2019 | 3 |
34 | 一种平面全息光栅扫描曝光装置的调试方法 | ZL201810132412.9 | 2019 | 5 |
35 | 一种平面全息光栅扫描曝光装置 | ZL201810132422.2 | 2019 | 6 |
36 | 一种用于扫描干涉场曝光系统的光束姿态调整方法 | ZL201711302638.0 | 2019 | 6 |
37 | 长行程、高精度测量的光栅位移测量系统 | ZL201710735473.X | 2019 | 1 |
38 | 长行程、高精度测量的光栅位移测量方法 | ZL201710734790.X | 2019 | 1 |
39 | 基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量方法 | ZL201710734786.3 | 2019 | 1 |
40 | 基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量系统 | ZL201710735440.5 | 2019 | 1 |
41 | 一种平面双闪耀光栅的制备方法 | ZL201711434100.5 | 2019 | 4 |
42 | 全息光栅制作装置、曝光干涉条纹相位稳定装置及方法 | ZL201610537325.2 | 2017 | 6 |
43 | 全息扫描曝光二维工作台位移和摆角测量光路结构 | ZL201410817175.1 | 2017 | 7 |
44 | 采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法 | ZL201310693328.1 | 2015 | 3 |
45 | 一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置 | ZL201310693406.8 | 2015 | 4 |
46 | 在扫描曝光光路中精确调整干涉条纹方向的方法 | ZL201310693376.0 | 2015 | 4 |
47 | 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 | ZL201010599705.1 | 2012 | 3 |
48 | 一种利用莫尔条纹调整全息光栅曝光光路中准直光的方法 | ZL201010599714.0 | 2012 | 3 |
49 | 一种平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法 | ZL201010599560.5 | 2012 | 3 |
指导学生
已指导学生
刘兆武 博士研究生 070207-光学
赵美红 博士研究生 070207-光学
吕强 博士研究生 070207-光学
张淑芬 硕士研究生 070207-光学
刘林 博士研究生 070207-光学
李逸凡 博士研究生 070207-光学
现指导学生
梅云浩 博士研究生 070207-光学
彭灿福 硕士研究生 070207-光学
于晶华 硕士研究生 070207-光学
张靖 硕士研究生 085400-电子信息
张婧英 硕士研究生 070207-光学
白雪龙 博士研究生 070207-光学
王楷炀 硕士研究生 080300-光学工程
陈国学 硕士研究生 070207-光学
王新宇 硕士研究生 085400-电子信息
李泽霖 硕士研究生 080201-机械制造及其自动化
王瑞鹏 硕士研究生 085400-电子信息
周文渊 硕士研究生 070207-光学
郭灏锋 硕士研究生 080300-光学工程
孙澳 硕士研究生 085400-电子信息
刘睿 博士研究生 070207-光学
朱星宇 博士研究生 070207-光学
张亚楠 博士研究生 070207-光学
王新宇 博士研究生 080300-光学工程
王起程 硕士研究生 070207-光学
张振宇 硕士研究生 070207-光学
李文龙 硕士研究生 070207-光学
张洛嘉 硕士研究生 080300-光学工程
魏源松 硕士研究生 080300-光学工程
黄昊华 硕士研究生 080300-光学工程
赵晟杰 硕士研究生 085400-电子信息
王博 硕士研究生 085400-电子信息
刘三仔 硕士研究生 080202-机械电子工程
获奖
获奖名称 | 获奖类别 | 获奖等级 | 获奖级别 | 获奖年度 | 本人排名 |
吉林省科技进步奖 | 省部科学技术进步奖 | 一等奖 | 省 | 2022年 | 1 |
吉林省杰出青年人才 | 人才 | - | 省 | 2022年 | - |
吉林省拔尖创新人才 | 人才 | - | 省 | 2022年 | - |
中国产学研合作创新奖 | 科技奖 | 创新奖 | 协会 | 2021年 | 1 |
吉林省人才计划 | 人才 | C类 | 省 | 2021年 | - |
中国仪器仪表学会技术发明奖一等奖 | 科技奖 | 一等奖 | 国家 | 2020年 | 1 |
《中国光学》优秀论文奖 | 其他 | 一等奖 | 其他 | 2019年 | 1 |
中国精品科技期刊顶尖学术论文领跑者5000 | 其他 | 一等奖 | 研究所(学校) | 2018年 | 1 |
中国科学院青年创新促进会优秀会员 | 其他 | 一等奖 | 院级 | 2017年 | 1 |
吉林省中青年科技创新领军人才 | 省部自然科学 | 一等奖 | 省 | 2016年 | 1 |
中国科学院青年创新促进会 | 其他 | 一等奖 | 院级 | 2013年 | 1 |
吉林省科技进步奖 | 省部科学技术进步奖 | 一等奖 | 省 | 2012年 | 4 |
长白青年科技奖 | 其他 | 特等奖 | 其他 | 2010年 | 1 |
中国科学院院长奖学金 | 其他 | 一等奖 | 院级 | 2008年 | 1 |
科研项目
任务名称 | 任务来源 | 开始日期 | 结束日期 | 科研经费(万元) | 本人角色 |
基于二维拼接光栅的大幅面六维测量系统关键技术研究 | 吉林省 | 2023-01-01 | 2025-12-31 | 60.0 | 项目负责人 |
基于高刻线密度光栅合成栅距的绝对位移测量技术研究 | 国家自然科学基金委 | 2023-01-01 | 2026-12-31 | 54.0 | 项目负责人 |
消像差凸面闪耀光栅刻划及在线复合检测系统 | 中国科学院 | 2022-01-01 | 2023-12-31 | 299.0 | 项目负责人 |
面向高档数控的高精度位移测量系统研制及产业化 | 中国科学院计划-院其他任务 | 2021-01-01 | 2023-12-31 | 375.0 | 项目负责人 |
XX荧光光谱仪 | - | 2021-01-01 | 2022-12-31 | 526.0 | 项目负责人 |
高功率激光合束光栅关键技术研究 | 中国科学院计划-院其他任务 | 2020-01-01 | 2021-03-31 | 100.0 | 项目负责人 |
凸面全息光栅研制及产业化 | 中国科学院计划-院地合作专项 | 2020-01-01 | 2021-12-31 | 90.0 | 项目负责人 |
精密角运动参数测试仪 | 其他任务 | 2020-01-01 | 2022-12-31 | 310.0 | 项目负责人 |
基于光栅干涉位移测量技术的高精度轴承检测与建模 | 中国科学院计划-战略性先导科技专项A | 2020-01-01 | 2022-12-01 | 500.0 | 项目负责人 |
基于偏振高光谱成像技术的黄海绿潮监测研究 | 中国科学院计划-院重点部署项目 | 2019-11-01 | 2023-02-28 | 120.0 | 项目负责人 |
紫外凸面光栅研发及应用 | 国家任务-国家重点研发计划 | 2019-01-01 | 2021-12-31 | 972.0 | 项目负责人 |
基于光栅精密位移感知系统的地震预警终端研制 | 地方任务-除上述地方计划外由地方政府部门下达的课题 | 2019-01-01 | 2021-12-31 | 100.0 | 项目负责人 |
基于光栅位移感知系统的坝体形变传感器的研制 | 地方任务-地方科技攻关计划课题 | 2019-01-01 | 2021-12-31 | 50.0 | 项目负责人 |
二维超精密平面位移感知系统 | 地方任务-地方科技攻关计划课题 | 2019-01-01 | 2021-12-31 | 1050.0 | 项目负责人 |
扫描干涉场曝光中干涉场边缘效应及光栅掩模参数精确控制方法研究 | 国家任务-国家自然科学基金课题(面上项目) | 2018-01-01 | 2018-12-31 | 14.0 | 项目负责人 |
中国科学院青年创新促进会优秀会员 | 中国科学院计划-院其他任务 | 2018-01-01 | 2020-12-31 | 180.0 | 项目负责人 |
高通量消像差凹面全息光栅研制 | 地方任务-地方科技攻关计划课题 | 2017-10-01 | 2019-09-30 | 200.0 | 项目负责人 |
中青年科技创新领军人才及团队项目 | 地方任务-地方科技攻关计划课题 | 2017-01-01 | 2019-12-31 | 20.0 | 项目负责人 |
凹面全息光栅研制及产业化 | 中国科学院计划-院地合作专项 | 2017-01-01 | 2018-12-31 | 100.0 | 项目负责人 |
深海关键溶解气体同位素分析系统光栅合束系统研制 | 国家任务-国家重点研发计划 | 2016-07-01 | 2020-06-30 | 154.0 | 子课题负责人 |
宽波段荧光光谱仪的研制 | 地方任务-地方科技攻关计划课题 | 2015-01-01 | 2017-12-31 | 95.0 | 项目负责人 |
1.5米扫描干涉场曝光系统 | 国家任务 | 2013-01-01 | 2017-12-31 | 8300.0 | 总体负责人 |
高端全息光栅研发 | 国家任务 | 2011-10-01 | 2016-10-01 | 3875.0 | 分系统负责人 |
扫描干涉场曝光技术PCG光栅 | 国家任务 | 2011-07-01 | 2013-06-30 | 40.0 |
|
扫描干涉场曝光系统干涉条纹调整及锁定技术研究 | 中国科学院计划 | 2010-04-02 | 2012-03-31 | 280.0 |
|
高刻线密度平面全息光栅的优化设计与制作技术研究 | 中国科学院计划 | 2009-12-21 | 2011-12-20 | 10.0 |
|
基于同心光学系统的新型成像光谱仪技术 | 国家任务 | 2008-10-15 | 2011-12-22 | 300.0 |
|
社会兼职
兼职名称 | 担任职务 | 起始时间 |
Nanomanufacturing and Metrology | 编委 | 2023-01-01 |
中国仪器仪表学会光机电技术与系统集成分会 | 理事 | 2022-12-01 |
中国光学学会激光光谱学专业委员会 | 委员 | 2022-12-01 |
中国光学学会光电技术专业委员会 | 委员 | 2022-12-01 |
吉林省仪器仪表学会 | 副理事长 | 2022-12-01 |
中国光学工程学会第一届先进光学制造青年专家委员会 | 委员 | 2020-06-01 |
吉林省光学学会第八届理事会 | 理事 | 2019-10-01 |
吉林省青年科技工作者协会 | 理事 | 2019-01-01 |
《中国光学》编委 | 编委 | 2018-04-30 |
《光学精密工程》编委 | 编委 | 2018-01-01 |
中国生物工程学会生命科学仪器专业委员会 | 委员 | 2017-09-01 |
中国科学院青年创新促进会 | 会员 | 2012-12-31 |
发表论文
1. Yin Yunfei, Liu Lin, Bai Yu, Jirigalantu, Yu Hongzhu, Bayanheshig, Liu Zhaowu*, Li Wenhao. Littrow 3D measurement based on 2D grating dual-channel equal-optical path interference[J]. Optics Express, 2022, 30(23): 41671-41684.
2. Zhang Wei, Li Wenhao*, Zhang Tong, et al. A large-size and polarization-independent two dimensional grating fabricated by scanned reactive-ion-beam etching[J]. Nanophotonics, 2022, 11(21): 4649-4657.
3. Wang Xinyu; Jiang Yanxiu; Zheng Zhongming; Wang Wei; Chi Zhendong; Li Wenhao*. Reconstruction design method of an aspherical recording optical system for the varied line-space grating[J]. Optics Letters, 2022.
4. Yin Yunfei; Liu Zhaowu; Jiang Shan; Wang Wei; Yu Hongzhu; Jiri Galantu; Hao Qun; Li Wenhao*. High-precision 2D grating displacement measurement system based on double-spatial heterodyne optical path interleaving[J]. Optics and Lasers in Engineering, 2022, 158: 107167.
5. Jiamin Wang, Kuo Zhang, Jinghua Yu, Yin Zhang, Yanhui Ji, Jirigalantu, Wei Zhang, Wenhao Li, Changbin Zheng* and Fei Chen*. Electric field enhancement effect of aluminum grating with nanosecond pulsed laser irradiation[J]. Frontiers in Physics, 2022: 347.
6. Liu Lin; Liu Zhaowu; Jiang Shan; Wang Wei; Yu Hongzhu; Jiang Yanxiu; Li Wenhao *. Polarization-modulated grating interferometer by conical diffraction[J]. Optics Express, 2022, 30(2): 689-699.
7. Liu Zhaowu*; Yang Hang; Li Yubo; Jiang Shan; Wang Wei; Song Ying; Bayanheshig; Li Wenhao*. Active control technology of a diffraction grating wavefront by scanning beam interference lithography[J]. Optics Express, 2021, 29(23): 37066-37074.
8. 张淑芬, 姜珊, 董磊, 王建立, 吴娜, 李文昊*. (2021). 基于衍射光栅的高精度干涉星敏感器的理论分析[J]. 中国光学, 14(6), 1368.
9. Xue Qingsheng*, Qi Ming, Li Zhanfeng, Yang Bai, Li Wenhao, Wang Fupeng, Li Qian, Fluorescence hyperspectral imaging system for analysis and visualization of oil sample composition and thickness[J]. Applied Optics, 2021, 60(27): 8349-8359.
10. Li Yifan, Mi Xiaotao*, Qi Xiangdong, Zhang Shanwen, Yang Guojun, Yu Hongzhu, Li Xiaotian, Li Wenhao, Echelle gratings tiling method based on lateral shearing interferometry[J]. Optics & Laser Technology, 2022, 145: 107475.
11. Yin Yunfei, Liu Zhaowu, Jiang Shan, Wang Wei, Yu Hongzhu, Li Wenhao, Jirigalantu*, Grating-based 2D displacement measurement with quadruple optical subdivision of a single incident beam[J]. Optics express, 2021, 29(15): 24169-24181.
12. 尹云飞; 刘兆武; 吉日嘎兰图; 于宏柱; 王玮; 李晓天; 鲍赫; 李文昊*; 郝群*. 二维光栅位移测量技术综述[J]. 中国光学, 2020, 13(6): 1224.
13. Yang Zongyao, Feng Bo, Lu Bingrui, Chen Yifang*, Li Wenhao, Zhang Wei, Li Tao, A study of nano-structural effect on the polarization characteristics of metallic sub-wavelength grating polarizers in visible wavelengths[J]. Microelectronic Engineering, 2020, 227: 111327.
14. Yang Zongyao, Feng Bo, Lu Bingrui, Chen Yifang*, Li Wenhao, Zhang Wei, Li Tao. Optimization study of metallic sub-wavelength gratings as the polarizer in infrared wavelengths[J]. Applied Optics, 2020, 59(5): 1253-1258.
15. Zhao Meihong, Jiang Yanxiu, Yang Shuo, Li Wenhao*. Geometric aberration theory of Offner imaging spectrometers[J]. sensors, 2019, 19(4046):1-18.
16. 吕强,王玮,刘兆武,宋莹,姜珊,刘林,巴音贺希格,李文昊. 五维自由度衍射光栅精密测量系统[J].中国光学,2020, 13(11):189-202
17. Lv Qiang, Liu Zhaowu, Wang Wei, Jiang Shan, Bayanheshig, Li Wenhao*. Fast method to detect and calculate displacement errors in Littrow grating-based interferometer[J]. Applied Optics: 2019,58(12):3193-3199
18. Zhang, Wei; Tan, Xin; Wu, Na; Li, Wenhao*; Jiao, Qingbin; Yang, Shuo; Broad visible spectral subwavelength polarizer with high extinction ratio using hyperbolic metamaterial[J]. Optics Express, 2019, 27(13): 18399-18409.
19. Lv Qiang, Liu Zhaowu, Wang Wei, Li Xiaotian, Li Shuo, Song Ying, Yu Hongzhu, Bayanheshig, Li Wenhao*. Simple and compact grating-based heterodyne interferometer with the Littrow configuration for high-accuracy and long-range measurement of two-dimensional displacement[J]. Applied Optics: 2018,57(31):9455-9463
20. 赵美红,李文昊*,巴音贺希格,吕强.Offner成像光谱仪的消像差设计[J]. 光学 精密工程,2017,25(12):3001-3011
21. 赵旭龙,巴音贺希格,李文昊,姜岩秀,吴娜,张桐. 紫外高分辨率像散校正型罗兰全息光栅设计[J]. 光谱学与光谱分析,2017,37(11):3616-3620
22. Zhaowu Liu, Wenhao Li*, Bayanheshig, Xiaotian Li, Shan Jiang, Ying Song, and Qiang Lv. Two-color heterodyne laser interferometry for long-distance stage measurement with correction of uncertainties in measured optical distances[J]. Scientific Reports, 2017, 7(1): 8173
23. 王玮,巴音贺希格,潘明忠,宋莹,李文昊.扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制[J]. 光学学报,2017, 37 (7) :239-248
24. Zhaowu Liu, Shan Jiang, Xiaotian Li, Ying Song, Wenhao Li*, and Bayanheshig*. Precision measurement of X-axis stage mirror profile in scanning beam interference lithography by three-probe system based on bidirectional integration model[J]. Optics Express, 2017, 25 (9) :10312-21
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26. 吕强,李文昊*,巴音贺希格,柏杨,刘兆武,王玮. 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统[J]. 中国光学,2017 , 10 (1) :39-50
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28. 刘兆武,李文昊,王敬开,姜珊,宋莹,潘明忠,巴音贺希格. 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测[J]. 光学精密工程,2016,24 (9):2134-2141
29. 赵旭龙,巴音贺希格,李文昊,姜岩秀,杨硕.光谱仪中球面聚焦反射镜和凹面全息光栅像差互补的一体化设计[J]. 光学学报,2016(6):60-69
30. 姜岩秀,巴音贺希格,杨硕,赵旭龙,吴娜,李文昊.在线诊断光谱仪用光栅制作误差对光谱成像的影响及补偿[J]. 光谱学与光谱分析,2016,36(3):857-863
31. 李文昊,姜岩秀,吴娜,张桐,王鹍.极紫外波段变栅距光栅刻槽密度变化及光谱分辨能力分析[J]. 发光学报,2015,(9):1094-1099
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33. 姜岩秀,韩建,李文昊,巴音贺希格. 平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析[J]. 中国光学,2015,02:241-247.
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