集成电路装备

博士、硕士

080300-光学工程
140100-集成电路科学与工程

集成电路光刻技术
光学精密检测

2002-09--2007-03   北京理工大学   硕博连读

北京理工大学 -- 研究生

北京理工大学 -- 博士

2007年~2009年，北京理工大学博士后流动站。
2009年~至今，中国科学院光电研究院光电工程部。

2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
2015-01~2018-10,中国科学院光电研究院, 研究员
2009-06~2014-12,中国科学院光电研究院, 副研究员
2007-04~2009-06,北京理工大学, 博士后

光刻技术

   

（1）光刻机精密测量技术   2023 中国仪器仪表学会学术年会   2023-07-15
（2）Research on displacement measurement technology based on phase grating interferometry   第十二届信息光学与光子学国际会议   2021-07-23
（3）The Polarization tracing in Self-Referencing Interferometer for Displacement Measurement    第三届国际先进光刻技术研讨会   2020-11-05
（4）confocal position alignment in high precision wavefront error metrology using shack-hartmann wavefront sensor   国际先进光刻技术会议   2016-02-24
（5）A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor   国际先进光学制造与检测学术会议   齐月静   2014-04-26
（6）Design of a CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method   国际先进光学制造与检测学术会议   qiyuejing   2007-08-16

已指导学生

李伟超  硕士研究生  430103-光学工程  

孟庆宾  硕士研究生  080300-光学工程  

庄函  硕士研究生  080300-光学工程  

马敬  硕士研究生  085202-光学工程  

李琦  硕士研究生  080300-光学工程  

裴雨多  硕士研究生  085208-电子与通信工程  

李耀坤  硕士研究生  085400-电子信息  

么铭怡  硕士研究生  085400-电子信息  

安超杰  硕士研究生  085400-电子信息  

周光迎  博士研究生  080300-光学工程  

李爱琳  博士研究生  080902-电路与系统  

现指导学生

金浩  博士研究生  080300-光学工程  

周昕  博士研究生  080902-电路与系统  

沈志远  博士研究生  080300-光学工程  

赵俊华  硕士研究生  080903-微电子学与固体电子学  

邱俊  博士研究生  080300-光学工程  

史徵羽  博士研究生  080300-光学工程  

赵子昂  硕士研究生  085400-电子信息  

杨舒漫  博士研究生  080300-光学工程