先进光刻制造与检测技术、高分辨光学系统研制、绝对检测技术、测量不确定度及工艺控制等

   

140100-集成电路科学与工程

先进光学制造技术
集成电路检测技术

2012-07--2017-07   中国科学院大学   博士研究生
2008-08--2012-08   长春理工大学   本科

博士研究生

博士学位

   

2019-12~2023-09,中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2017-08~2019-12,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员
2016-08~2017-08,中国科学院光电技术研究所, 研究实习员

已指导学生

肖康  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

王青蓝  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

王洪  硕士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

翟方轩  硕士研究生  085400-电子信息  

罗建耀  硕士研究生  085400-电子信息  

李建科  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器