先进光刻制造与检测技术、高分辨光学系统研制、绝对检测技术、测量不确定度及工艺控制等

   

140100-集成电路科学与工程

先进光学制造技术
集成电路检测技术

2012-07--2017-07   中国科学院大学   博士研究生
2008-08--2012-08   长春理工大学   本科

博士研究生

博士学位

   

2019-12~2023-09,中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2017-08~2019-12,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员
2016-08~2017-08,中国科学院光电技术研究所, 研究实习员

   

（ 1 ） 用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN115469555A

（ 2 ） 传感芯片投影光刻机匹配方法, 发明授权, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN115457299B

（ 3 ） 用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法, 发明授权, 2023, 第 4 作者, 专利号: CN115469555B

（ 4 ） 传感芯片投影光刻机匹配方法, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN115457299A

（ 5 ） 一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法, 发明专利, 2023, 第 2 作者, 专利号: CN115657425A

（ 6 ） 一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法, 发明专利, 2023, 第 2 作者, 专利号: CN115657424A

（ 7 ） 一种用于物镜像质检测的光束扫描台, 发明专利, 2022, 第 3 作者, 专利号: CN115524941A

（ 8 ） 一种通用于提高四波横向剪切干涉仪检测灵敏度的方法, 发明专利, 2022, 第 4 作者, 专利号: CN115493710A

（ 9 ） 一种通用于双通道干涉仪的系统误差标定装置和标定方法, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN115435677A

（ 10 ） 一种用于成像系统波像差高精度在线测量装置和测量方法, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114967368A

（ 11 ） 一种用于投影物镜波像差绝对检测的测量装置和测量方法, 发明专利, 2022, 第 2 作者, 专利号: CN114967365A

（ 12 ） 一种基于多传感融合的缺陷三维检测方法, 发明专利, 2022, 第 5 作者, 专利号: CN113970560A

（ 13 ） 一种相移干涉仪大口径参考平面镜绝对标定装置及方法, 发明专利, 2021, 第 3 作者, 专利号: CN111397505B

（ 14 ） 一种精密光学表面微弱缺陷显微照明方法及装置, 发明专利, 2020, 第 1 作者, 专利号: CN110715930A

（ 15 ） 一种基于相位解析的光学元件自动对心方法, 专利授权, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN110045477A

（ 16 ） 一种基于深度学习的光学元件表面缺陷检测方法, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109934811A

（ 17 ） 一种光学元件表面缺陷检测自动对焦方法及装置, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109781745A

（ 18 ） 一种光学元件自定心方法及装置, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109799076A

（ 19 ） 一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法及装置, 专利授权, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109443260A

（ 20 ） 一种基于线扫描和环带拼接的大口径平面镜的瑕疵检测装置和方法, 发明专利, 2019, 第 2 作者, 专利号: CN109358068A

（ 21 ） 一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109490313A

（ 22 ） 一种计算全息基底刻蚀误差的在位标定方法, 专利授权, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107255456A

（ 23 ） 一种投影物镜波像差实时绝对检测系统, 发明专利, 2023, 第 2 作者, 专利号: CN117289551A

（ 24 ） 一种用于高分辨力光学成像系统的波像差标定装置及方法, 发明专利, 2023, 第 2 作者, 专利号: CN116839873A

   

（1） Stitching method based on dual quaternion for cylindrical mirrors, OPTICS EXPRESS, 2022, 第 8 作者
（2） Global optimisation of source and mask in inverse lithography via tabu search combined with genetic algorithm, OPTICS EXPRESS, 2022, 第 4 作者
（3） 超高精度面形干涉检测技术进展, The research progress of surface interferometric measurement with higher accuracy, 光电工程, 2020, 第 4 作者
（4） Model-based multi-fringe interferometry using Zernike polynomials, OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2018, 第 4 作者
（5） 超高精度光学元件面形干涉检测技术及应用, 《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》, 2018, 第 5 作者
（6） Model-based optimization of gravity sagging for a horizontally mounted optical flat, APPLIED OPTICS, 2016, 第 1 作者  通讯作者
（7） Iterative algorithm for reconstructing rotationally asymmetric surface deviation with pixel-level spatial resolution, Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2015, 第 1 作者
（8） Retrace error reconstruction based on point characteristic function, OPTICS EXPRESS, 2015, 第 3 作者
（9） Absolute measurement of optical flats based on basic iterative methods, OPTICS EXPRESS, 2015, 第 1 作者  通讯作者
（10） Modeling Fizeau interferometer based on ray tracing with Zemax, Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2015, 第 5 作者

   

（ 1 ） 仪器研制相关项目i700曝光光学系统研制, 负责人, 境内委托项目, 2023-12--2024-12
（ 2 ） 仪器研制相关项目i350曝光光学系统研制, 负责人, 国家任务, 2023-09--2024-12
（ 3 ） I350曝光光学系统测试台研制, 负责人, 国家任务, 2023-09--2024-12
（ 4 ） 国家部门委托项目K130曝光光学系统研制, 负责人, 国家任务, 2023-08--2024-12
（ 5 ） 面向中高节点投影光刻装备的亚纳米像质检测技术研发及应用, 负责人, 中国科学院计划, 2023-01--2025-12
（ 6 ） 融合深度神经网络的人耳鼓膜结构光三维重构系统研发, 负责人, 地方任务, 2022-01--2024-12
（ 7 ） 表面疵病三维检测仪, 负责人, 地方任务, 2019-12--2021-12
（ 8 ） 基于模型的绝对面形重构技术及其不确定度评估方法研究, 参与, 国家任务, 2016-08--2020-12
（ 9 ） NA0.75光学系统α样机攻关-曝光光学系统精密加工与检测, 负责人, 国家任务, 2012-08--2019-09

已指导学生

肖康  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

王青蓝  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

王洪  硕士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

翟方轩  硕士研究生  085400-电子信息  

罗建耀  硕士研究生  085400-电子信息  

李建科  博士研究生  080402-测试计量技术及仪器