基本信息
全海洋  男  硕导  中国科学院光电技术研究所
电子邮件: alsea111.1989@163.com
通信地址: 双流西航港街道
邮政编码: 610209

研究领域

先进光刻制造与检测技术、高分辨光学系统研制、绝对检测技术、测量不确定度及工艺控制等

招生信息

   
招生专业
080300-光学工程
085400-电子信息
招生方向
先进光学制造技术
仪器仪表工程

教育背景

2012-07--2017-07   中国科学院大学   博士研究生
2008-08--2012-08   长春理工大学   本科
学历
博士研究生

学位
博士学位

工作经历

   
工作简历
2019-12~2023-09,中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2017-08~2019-12,中国科学院光电技术研究所, 助理研究员
2016-08~2017-08,中国科学院光电技术研究所, 研究实习员

专利与奖励

   
专利成果
[1] 刘俊伯, 孙海峰, 张清延, 全海洋, 杜婧. 用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法. CN: CN115469555A, 2022-12-13.
[2] 刘俊伯, 张清延, 孙海峰, 全海洋, 杜婧. 传感芯片投影光刻机匹配方法. CN: CN115457299B, 2023-03-31.
[3] 刘俊伯, 孙海峰, 张清延, 全海洋, 杜婧. 用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法. CN: CN115469555B, 2023-03-31.
[4] 刘俊伯, 张清延, 孙海峰, 全海洋, 杜婧. 传感芯片投影光刻机匹配方法. CN: CN115457299A, 2022-12-09.
[5] 李天, 全海洋, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建, 胡松, 杜婧, 周吉. 一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法. CN: CN115657425A, 2023-01-31.
[6] 李天, 全海洋, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建, 胡松. 一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法. CN: CN115657424A, 2023-01-31.
[7] 杜婧, 刘俊伯, 全海洋. 一种用于物镜像质检测的光束扫描台. CN: CN115524941A, 2022-12-27.
[8] 王青蓝, 陈小君, 胡常安, 全海洋, 胡松, 李建科, 朱咸昌, 刘俊伯. 一种通用于提高四波横向剪切干涉仪检测灵敏度的方法. CN: CN115493710A, 2022-12-20.
[9] 王青蓝, 全海洋, 胡常安, 刘俊伯, 胡松, 李建科, 朱咸昌, 王建. 一种通用于双通道干涉仪的系统误差标定装置和标定方法. CN: CN115435677A, 2022-12-06.
[10] 王青蓝, 全海洋, 胡松, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建. 一种用于成像系统波像差高精度在线测量装置和测量方法. CN: CN114967368A, 2022-08-30.
[11] 王青蓝, 全海洋, 胡松, 刘俊伯, 朱咸昌, 王建. 一种用于投影物镜波像差绝对检测的测量装置和测量方法. CN: CN114967365A, 2022-08-30.
[12] 胡小川, 李梦凡, 赵远程, 侯溪, 全海洋. 一种基于多传感融合的缺陷三维检测方法. CN: CN113970560A, 2022-01-25.
[13] 侯溪, 张帅, 全海洋, 胡小川, 雷茸粮. 一种相移干涉仪大口径参考平面镜绝对标定装置及方法. CN: CN111397505B, 2021-09-07.
[14] 全海洋, 胡小川, 李声, 侯溪. 一种精密光学表面微弱缺陷显微照明方法及装置. CN: CN110715930A, 2020-01-21.
[15] 胡小川, 全海洋, 徐富超, 付韬韬, 侯溪, 李声. 一种基于相位解析的光学元件自动对心方法. CN: CN110045477A, 2019-07-23.
[16] 胡小川, 全海洋, 徐富超, 付韬韬, 侯溪, 李声. 一种基于深度学习的光学元件表面缺陷检测方法. CN: CN109934811A, 2019-06-25.
[17] 全海洋, 胡小川, 李声, 侯溪, 徐富超, 付韬韬, 伍凡. 一种光学元件表面缺陷检测自动对焦方法及装置. CN: CN109781745A, 2019-05-21.
[18] 全海洋, 胡小川, 李声, 侯溪, 徐富超, 伍凡. 一种光学元件自定心方法及装置. CN: CN109799076A, 2019-05-24.
[19] 全海洋, 侯溪, 胡小川, 宋伟红, 吴高峰, 伍凡, 李声. 一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法及装置. CN: CN109443260A, 2019-03-08.
[20] 徐富超, 全海洋, 付韬韬, 胡小川, 侯溪, 李声. 一种基于线扫描和环带拼接的大口径平面镜的瑕疵检测装置和方法. CN: CN109358068A, 2019-02-19.
[21] 全海洋, 徐富超, 付韬韬, 胡小川, 吴高峰, 侯溪, 伍凡, 李声. 一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法. CN: CN109490313A, 2019-03-19.
[22] 宋伟红, 吴高峰, 侯溪, 全海洋. 一种计算全息基底刻蚀误差的在位标定方法. CN: CN107255456A, 2017-10-17.

出版信息

   
发表论文
[1] Zhang, Shuai, Hou, Xi, Yan, Wei, Zhang, Changrui, Qin, Die, Hu, Xiaochuan, Li, Mengfan, Quan, Haiyang. Stitching method based on dual quaternion for cylindrical mirrors. OPTICS EXPRESS[J]. 2022, 第 8 作者30(12): 21568-21581, http://dx.doi.org/10.1364/OE.455391.
[2] Sun, Haifeng, Du, Jing, Jin, Chuan, Quan, Haiyang, Li, Yanli, Tang, Yan, Wang, Jian, Hu, Song, Liu, Junbo. Global optimisation of source and mask in inverse lithography via tabu search combined with genetic algorithm. OPTICS EXPRESS[J]. 2022, 第 4 作者30(14): 24166-24185, http://dx.doi.org/10.1364/OE.456243.
[3] 侯溪, 张帅, 胡小川, 全海洋, 吴高峰, 贾辛, 何一苇, 陈强, 伍凡. 超高精度面形干涉检测技术进展. 光电工程[J]. 2020, 第 4 作者47(8): 18-30, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7102644754.
[4] Gu, Wei, Song, Weihong, Wu, Gaofeng, Quan, Haiyang, Wu, Yongqian, Zhao, Wenchuan. Model-based multi-fringe interferometry using Zernike polynomials. OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING[J]. 2018, 第 4 作者105: 198-200, http://dx.doi.org/10.1016/j.optlaseng.2018.01.020.
[5] 侯溪, 宋伟红, 吴高峰, 贾辛, 全海洋, 徐富超. 超高精度光学元件面形干涉检测技术及应用. 《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》[J]. 2018, 第 5 作者1, http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9226.
[6] Quan, Haiyang, Gu, Wei, Hou, Xi, Wu, Fan. Model-based optimization of gravity sagging for a horizontally mounted optical flat. APPLIED OPTICS[J]. 2016, 第 1 作者  通讯作者  55(5): 993-1000, http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/3844.
[7] Quan Haiyang, Wu Fan, Hou Xi. Iterative algorithm for reconstructing rotationally asymmetric surface deviation with pixel-level spatial resolution. Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 2015, 第 1 作者9677: 96771M, http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7628.
[8] He Yiwei, Hou, Xi, Quan Haiyang, Song, Weihong. Retrace error reconstruction based on point characteristic function. OPTICS EXPRESS[J]. 2015, 第 3 作者23(22): 28216-28223, http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7050.
[9] Quan, Haiyang, Hou, Xi, Wu, Fan, Song, Weihong. Absolute measurement of optical flats based on basic iterative methods. OPTICS EXPRESS[J]. 2015, 第 1 作者  通讯作者  23(12): 16305-16319, http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/3229.
[10] He Yiwei, Hou Xi, Wu Yongqian, Wu Fan, Quan Haiyang, Liu Fengwei. Modeling Fizeau interferometer based on ray tracing with Zemax. Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 2015, 第 5 作者9677: 96771G, http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7627.

指导学生

已指导学生

肖康  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

王青蓝  硕士研究生  080402-测试计量技术及仪器  

王洪  硕士研究生  080300-光学工程  

现指导学生

张清延  硕士研究生  085400-电子信息  

李建科  硕士研究生  080300-光学工程  

翟方轩  硕士研究生  085400-电子信息  

罗建耀  硕士研究生  085400-电子信息