干涉测量技术与仪器，光刻像质检测技术与装置研发。

硕士

080300-光学工程

干涉测量技术与仪器，光刻像质检测技术与装置

2018-09--2022-06   中国科学院大学   工学博士

研究生

博士

   

2022-09~现在, 中国科学院上海光学精密机械研究所, 高级工程师
2010-07~2022-09,中国科学院上海光学精密机械研究所, 助理研究员

申请二十多项发明专利。目前授权十余项。

（ 1 ） 一种偏振同步相移点衍射干涉仪及其检测方法, 发明专利, 2021, 第 1 作者, 专利号: 202111392143.8

（ 2 ） 光栅剪切干涉光学元件缺陷检测装置与检测方法, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN110132125A

（ 3 ） 激光器输出光空间相干性抑制装置, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109814270A

（ 4 ） 感光芯片不同入射角响应度测量装置及测量方法, 发明专利, 2019, 第 1 作者, 专利号: CN109612690A

（ 5 ） 一种干涉仪相移装置, 发明专利, 2018, 第 1 作者, 专利号: CN108844454A

（ 6 ） 基于改进型哈特曼掩模的波前传感器及检测方法, 专利授权, 2020, 第 4 作者, 专利号: CN108955905B

（ 7 ） 光学成像系统倍率与畸变高精度测量装置及测量方法, 专利授权, 2018, 第 4 作者, 专利号: CN108106818A

（ 8 ） 精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法, 专利授权, 2018, 第 5 作者, 专利号: CN108036720A

（ 9 ） 双点光源间距的纳米精度测量方法, 专利授权, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107462179A

（ 10 ） 偏振同步相移干涉仪, 专利授权, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107036529A

（ 11 ） 点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法, 专利授权, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN107036789A

（ 12 ） 光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法, 专利授权, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN107063477A

（ 13 ） 点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法, 发明专利, 2018, 第 3 作者, 专利号: CN105466668B

（ 14 ） 光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法, 发明专利, 2017, 第 4 作者, 专利号: CN106324996A

（ 15 ） 光纤相移装置, 实用新型, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN204166257U

（ 16 ） 可补偿光程差的光纤相移装置, 发明专利, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN104267556A

（ 17 ） Simultaneous Phase-Shift point diffraction interferometer and method for detecting wave aberration., 专利授权, 2023, 第 1 作者, 专利号: US 11,788,829 B2.

   

[1] 曹译莎, 唐锋, 王向朝, 刘洋, 冯鹏, 卢云君, 郭福东. 光刻投影物镜畸变检测技术. 激光与光电子学进展[J]. 2022, 59(9): 206-222, http://lib.cqvip.com/Qikan/Article/Detail?id=7107426691.
[2] 冯鹏, 李中梁, 王向朝, 步扬, 卢云君, 郭福东, 李思坤. 偏振相移点衍射干涉波像差检测技术研究. 中国激光[J]. 2022, [3] 冯鹏, 唐锋, 王向朝, 卢云君, 徐静浩, 郭福东, 张国先. 双孔点衍射干涉成像系统波像差检测技术研究. 中国激光[J]. 2021, [4] Feng, Peng, Tang, Feng, Wang, Xiangzhao, Lu, Yunjun, Xu, Jinghao, Guo, Fudong, Zhang, Guoxian. Dual-fiber point diffraction interferometer to measure the wavefront aberration of an imaging system. APPLIED OPTICS[J]. 2020, 59(10): 3093-3096, https://www.webofscience.com/wos/woscc/full-record/WOS:000526531100033.
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[9] 唐锋, 王向朝, 郭福东, 冯鹏, 张国先, 徐世福, 程欣. 极紫外光刻投影物镜波像差检测技术研究. 第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集null. 2014, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/17248.
[10] Dai, Fengzhao, Tang, Feng, Wang, Xiangzhao, Sasaki, Osami, Feng, Peng. Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry: comparisons of existing algorithms. APPLIED OPTICS[J]. 2012, 51(21): 5028-5037, http://www.irgrid.ac.cn/handle/1471x/684832.
[11] Dai, Fengzhao, Tang, Feng, Wang, Xiangzhao, Feng, Peng, Sasaki, Osami. Use of numerical orthogonal transformation for the Zernike analysis of lateral shearing interferograms. OPTICS EXPRESS[J]. 2012, 20(2): 1530-1544, http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/11053.

   

（ 1 ） 浸没光刻机多通道像质检测技术, 负责人, 国家任务, 2017-01--2023-12
（ 2 ） 红外干涉仪研制, 负责人, 境内委托项目, 2020-10--2024-09
（ 3 ） 点衍射干涉投影物镜波像差检测装置研发, 负责人, 境内委托项目, 2023-08--2025-02