储昭志 男 中国科学院微电子研究所
电子邮件： chuzhaozhi@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码： 100029
研究领域
MEMS传感器核心器件及设备系统；MEMS加工与封装技术；ALD工艺、装备及其应用；电子器件薄膜防护技术
招生信息
招收学术硕士和专业硕士
招生专业
140100-集成电路科学与工程080903-微电子学与固体电子学080902-电路与系统
招生方向
MEMS传感器与执行器，MEMS加工与封装技术
教育背景
2013-09--2018-06 中国科学院大学/中国科学院电子学研究所 获得工学博士学位2009-09--2013-07 清华大学 获得工学学士学位
工作经历
2018-07~现在, 中国科学院微电子研究所, 任助理研究员、副研究员